KR100314586B1 - 액정디스플레이 검사용 프로브장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 티에프티 엘씨디(TFT-LCD)가 에러없이 효과적으로 동작되어 점등여부가 양호한지를 검사하기 위한 액정디스플레이 검사용 프로브장치에 관한 것이다. 본 프로브장치는 상기 TFT-LCD 패널의 RGB화소로부터 각 화소의 동작을 전기적인 신호로 검출하기 위한 탐침첨부와 상기 화소의 동작신호를 전달하기 위한 전달첨부를 갖는 다수 개의 박막형 탐침부재와, 상기 탐침부재 간의 소정 이격거리를 유지하기 위하여 상기 탐침부재의 상단부와 하단부 소정영역을 동시에 수용하도록한 수용슬롯이 길이방향으로 다수 개 배열된 한쌍의 절연슬릿과, 상기 탐침부재의 상부에 위치하여 상기 전달첨부가 일측에서 타측으로 관통되는 다수 개의 가이드홀이 마련되어 있는 절연가이드필름과, 상기 가이드홀로부터 노출된 상기 전달첨부의 상기 동작신호를 처리하는 신호처리PCB부와, 상기 절연가이드필름과 상기 신호처리PCB부 사이에는 상기 전달첨부의 동작신호를 전달하기 위한 텝IC와, 상기 박막형 탐침부재의 소정 구획에 측면방향을 향하여 형성된 적어도 하나의 고정홀에 수용되어 상기 탐침부재의 탐침첨부의 배열위치를 고정유지하기 위한 절연세라믹봉과, 상기 탐침부재의 상측에 위치하고 상기 절연슬릿과 접촉되어 있는 프로브본체와, 상기 프로브본체와 상기 탐침부재 사이에 위치하여 상기 프로브본체를 외부 시스템에 고정시키기 위한 고정블록과, 상기 프로브본체의 측면일측과 타측에 스크루결합되어 상기 절연세라믹봉을 수용한 상기 탐침부재를 고정시키는 한 쌍의 가이드판, 상기 절연가이드필름과 면접촉되어 고정시키기 위한 필름가이드와, 상기 텝IC의 전반부에 위치하며 상기 절연가이드필름을 사이에 두고 상기 프로브본체와 체결하여 상기 텝IC의 프린트회로를 지지하는 텝IC하우징과, 상기 텝IC의 후반부에 위치하며 상기 신호처리PCB부와 전기적인 접촉시키기 위하여 상기 프린트회로 상의 패턴을 상,하에서 결합하는 한 쌍의 연결블록를 포함한다. 이에 따라, TFT-LCD의 화소동작신호를 에러없이 정확하게 검출하여 TFT-LCD의 양호 및 불양을 신뢰성있게 판정하기 때문에 제품에 대한 수율을 향상시키는 효과가 있다.

Description

액정디스플레이 검사용 프로브장치{PROBER APPARATUS FOR TESTING OF TFT-LCD}

본 발명은 액정디스플레이 검사용 프로브장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 티에프티 엘씨디(이하, TFT-LCD라 함)가 에러 없이 효과적으로 동작되어 양호한 점등상태부가 양호한지를 검사하기 위한 액정디스플레이 검사용 프로브장치에 관한 것이다.

일반적으로 TFT-LCD는 평판디스플레이의 일종으로써, 무수히 많은 박막트랜지스터(TFT)와 화소전극이 배열되어 소정의 크기를 갖는 하판과, 색상을 나타내기 위한 컬러필터 및 공통전극이 순차적으로 형성되어 상기 하판과 소정 이격되어 있는 상판과, 상기 상판과 하판 사이의 이격공간에 채워져 있는 액정을 가지고 있다. 이와 같은 TFT-LCD는 스위칭소자인 TFT와, 상,하판 전극 사이에 있는 액정으로 인해 형성되는 충전영역(CAPACITOR REGION) 및 보조충전영역과, 상기 TFT의 온 오프를 구동하는 게이트구동전극과, 외부의 영상신호를 인가하는 영상신호전극 등에 의해서 소정의 화면(동영상을 포함)을 점등시킨다.

상기와 같은 TFT-LCD의 점등상태를 정확하게 검사하기 위한 시스템은 도 1에 도시된 바와 같이, 소정의 형상을 갖는 프로브프레임(51)과, 상기 프로브프레임(51)을 하방에서 지지하는 베이스(52)와, 상기 프로브프레임(51)의 일측에 스크루고정되는 실린더(53)와, 상기 실린더(53)에 수용되어 미끄러지는 슬라이더(54)와, 상기 슬라이더(54)와 스크루결합된 사다리꼴형상의 머리부(55)와, 상기 머리부(55)와 스프링(56)에 의해 탄성유지되도록 결합된 머리지지부(57)와, 상기 베이스(52)의 하방에서 스크루로 결합되어 이들간의 결합을 용이하게 하는 베어링(58)과, 상기 베이스(52)의 하부에 설치되어 상기 TFT-LCD로부터 인가된 신호를 소정의 신호로 가공하는 신호처리PCB부(60)와, 상기 신호처리PCB부(60)와 상기 베이스(52) 사이에 배치되어 상호간의 절연을 위한 절연아크릴판(59)을 가지고 있다. 또한, 상기 머리지지부(57)의 하방에서 결합되어 상기 TFT-LCD의 화소로부터 신호를 검출하는 탐침유니트(61)와, 상기 탐침유니트(61)의 출력측 하단부와 연결을 위해 결합되어 상기 화소신호를 인지하는 텝IC 및 텝IC하우징(62)과, 상기 텝IC(62)의 출력단자에 접속시켜 상기 신호처리PCB부(60)에게로 전기적으로 연결시키는 한쌍의 상,하측 연결블록(63)과, 상기 프로브프레임(51)의 상부에 형성되는 커버(64)를 더 포함한다. 여기서, 몇몇 상기 구성 간에는 결합하기 위한 다수의 스크류가 도면상에 생략되어 있다.

종래 프로브장치의 탐침유니트는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 TFT-LCD의 화소면에 접촉되어 그 화소로부터 소정의 전기적인 신호를 센싱하는 다수 개의 탐침(65)과, 배열된 탐침(65)들을 고정하기 위한 에폭시수지재(66)로 구성되어 있다. 탐침은 상기 TFT-LCD의 무수히 많은 각각의 RGB화소와 일 대 일 대응되도록 배열되어 길이부(67)와 절곡부(68)로 구성되어 있으며, 상기 길이부(67)는 상기 절곡부(68) 간에 소정의 이격간격이 형성되도록 서로 다른 각각의 길이수치를 가지고 있고, 상기 절곡부(68)는 상기 길이부(67)의 일측에 상기 화소를 향하여 절곡된 접촉부(69)와, 타측에 상기 접촉부와 상반되는 방향으로 절곡되어 상기 화소로부터의 신호를 텝IC에게로 전달하는 전달부(70)로 구성되어 있다. 여기서, 상기 접촉부(69)는 상기 전달부(70)의 경우에 비하여 그 절곡각도가 더 크고, 그 길이가 더 길다. 또한, 각각의 탐침(65)의 접촉부(69) 끝단에 위치한 첨부 간에는 이격되어 있다.

그런데, 상기와 같은 프로브장치의 탐침유니트는 다수 탐침(65)의 각 접촉부(69) 간의 이격거리 및 굴곡정도가 균등하지 않아 TFT-LCD의 화소신호가 정확하게 검출되지 않기 때문에 TFT-LCD의 점등여부에 대한 미세한 동작상태를 명확하게 파악할 수 없고, 이에 따라 TFT-LCD의 양호 및 불양을 판정하기 어려워 신뢰성이 없는 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 발명한 것으로써, TFT-LCD의 화소동작신호를 정확하게 검출하여 TFT-LCD의 양호 및 불양을 신뢰성있게 판정할 수 있도록 한 액정디스플레이 검사용 프로브장치를 제공하는데, 그 목적이 있다.

도 1는 본 발명에 따른 액정디스플레이 검사용 프로브장치의 전체시스템에 대한 분해사시도이고,

도 2은 종래의 기술에 따른 프로브장치의 탐침유니트를 나타낸 설명도이고,

도 3은 본 발명에 따른 액정디스플레이 검사용 프로브장치를 나타낸 분해사시도이고,

도 4는 본 발명에 따른 프로브장치의 탐침부재를 나타낸 정면도이고,

도 5는 도 4의 상단부를 나타낸 정면도이고,

도 6은 도 4의 하단부를 나타낸 정면도이고,

도 7은 도 4의 서로 다른 탐침부재를 다수개 배열해 놓은 사시도이고,

도 8은 도 7의 상단부의 절연슬릿을 나타낸 사시도이고,

도 9는 도 7의 하단부의 절연슬릿을 나타낸 사시도이고,

도 10은 본 발명에 따른 탐침부재의 하단부에 형성되는 절연가이드필름을 나타낸 정면도이고,

도 11은 도 10의 절연가이드필름을 고정하는 가이드필름을 나타낸 정면도이고,

도 12 및 도 13는 본 발명에 따른 프로브본체를 나타내 정면도 및 단면도이고,

도 14는 본 발명에 따른 가이드판을 나타낸 정면도이고,

도 15은 본 발명에 따른 고정블록을 나타낸 사시도이고,

도 16은 도 4 내지 도 14의 조립상태를 나타낸 부분 절개 사시도이다.

도 17은 본 발명에 따른 필름고정부재를 나타낸 정면도이고,

도 18은 본 발명에 따른 텝IC하우징을 나타낸 정면도이고,

도 19 및 도 20은 본 발명에 따른 상측과 하측의 연결블록을 나타낸 정면도이다.

- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 -

1 ; 탐침부재 2 ; 탐침첨부

3 ; 전달첨부 4 ; 고정홀

5 ; 열분산홀 7 ; 수용슬롯

8 ; 탐침유니트 9 ; 절연슬릿

13 ; 가이드홀 17 ; 절연가이드필름

23 ; 텝IC 31 ; 절연세라믹봉

33 ; 프로브본체 35 ; 고정블록

37 ; 봉고정홀 39 ; 가이드판

41 ; 필름가이드 44 ; 텝IC하우징

45,46 ; 연결블록 47 ; 핀홀

상기 목적은, 본 발명에 따라, TFT-LCD 패널의 특성검사를 위한 액정디스플레이 검사용 프로브장치에 있어서, 상기 TFT-LCD 패널의 RGB화소로부터 각 화소의 동작을 전기적인 신호로 검출하기 위한 탐침첨부와 상기 화소의 동작신호를 전달하기 위한 전달첨부를 갖는 다수 개의 박막형 탐침부재와, 상기 탐침부재 간의 소정 이격거리를 유지하기 위하여 상기 탐침부재의 상단부와 하단부 소정영역을 동시에 수용하도록 한 수용슬롯이 길이방향으로 다수 개 배열된 한쌍의 절연슬릿과, 상기 탐침부재의 상부에 위치하여 상기 전달첨부가 일측에서 타측으로 관통되는 다수 개의 가이드홀이 마련되어 있는 절연가이드필름과, 상기 가이드홀로부터 노출된 상기 전달첨부의 상기 동작신호를 처리하는 신호처리PCB부와, 상기 절연가이드필름과 상기 신호처리PCB부 사이에는 상기 전달첨부의 동작신호를 전달하기 위한 텝IC와, 상기 박막형 탐침부재의 소정 구획에 측면방향을 향하여 형성된 적어도 하나의 고정홀에 수용되어 상기 탐침부재의 탐침첨부의 배열위치를 고정유지하기 위한 절연세라믹봉과, 상기 탐침부재의 상측에 위치하고 상기 절연슬릿과 접촉되어 있는 프로브본체와, 상기 프로브본체와 상기 탐침부재 사이에 위치하여 상기 프로브본체를 외부 시스템에 고정시키기 위한 고정블록과, 상기 프로브본체의 측면일측과 타측에 스크루결합되어 상기 절연세라믹봉을 수용한 상기 탐침부재를 고정시키는 한 쌍의 가이드판, 상기 절연가이드필름과 면접촉되어 고정시키기 위한 필름가이드와, 상기 텝IC의 전반부에 위치하며 상기 절연가이드필름을 사이에 두고 상기 프로브본체와 체결하여 상기 텝IC의 프린트회로를 지지하는 텝IC하우징과, 상기 텝IC의 후반부에 위치하며 상기 신호처리PCB부와 전기적인 접촉시키기 위하여 상기 프린트회로 상의 패턴을 상,하에서 결합하는 한 쌍의 연결블록을 포함하는 액정디스플레이 검사용 프로브장치에 의해 달성된다.이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 액정디스플레이 검사용 프로브장치를 상세하게 설명하면 다음과 같다. 도 3은 본 발명에 따른 액정디스플레이 검사용 프로브장치를 나타낸 분해사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 프로브장치의 탐침부재를 나타낸 정면도이고, 도 5는 도 4의 상단부를 나타낸 정면도이고, 도 6은 도 4의 하단부를 나타낸 정면도이고, 도 7은 도 4의 서로 다른 탐침부재를 다수개 배열해 놓은 사시도이고, 도 8은 도 7의 상단부의 절연슬릿을 나타낸 사시도이고, 도 9는 도 7의 하단부의 절연슬릿을 나타낸 사시도이고, 도 10은 본 발명에 따른 탐침부재의 하단부에 형성되는 절연가이드필름을 나타낸 정면도이고, 도 11은 도 10의 절연가이드필름을 고정하는 가이드필름을 나타낸 정면도이고, 도 12 및 도 13는 본 발명에 따른 프로브본체를 나타내 정면도 및 단면도이고, 도 14는 본 발명에 따른 가이드판을 나타낸 정면도이고, 도 15은 본 발명에 따른 고정블록을 나타낸 사시도이고, 도 16은 도 4 내지 도 14의 조립상태를 나타낸 부분 절개 사시도이다. 도 17은 본 발명에 따른 필름고정부재를 나타낸 정면도이고, 도 18은 본 발명에 따른 텝IC하우징을 나타낸 정면도이고, 도 19 및 도 20은 본 발명에 따른 상측과 하측의 연결블록을 나타낸 정면도이다.본 프로브장치는 도 3에 도시된 바와 같이, 탐침부재(1)와, 절연슬릿(9)과, 절연가이드필름(17)과, 텝IC(25)와, 절연세라믹봉(31)과, 프로브본체(33)와, 고정블록(35)과, 가이드판(39)과, 필름가이드(41)와, 텝IC하우징(44)과, 연결블록(45, 46)을 가지고 있다. 그리고, 도시되지 않았지만 상기 연결블록(45,46)에 의해서 상기 텝IC(25)로부터 전달되는 TFT-LCD 패널의 RGB화소의 전기적인 신호를 받아 가공된 소정의 데이터로 처리하는 신호처리PCB부(미도시)가 마련되어 있다.탐침부재(1)는 도 4, 5, 및 6에 도시된 바와 같이, TFT-LCD 패널의 RGB화소로부터 각 화소의 동작을 전기적인 신호로 검출하기 위한 것으로서, 상단부에는 상기 패널의 화소면에 직접 접촉되어 있는 탐침첨부(2)가 형성되어 있고, 하단부에는 상기 화소의 동작신호를 상기 텝IC(25)에게로 전달하기 위한 전달첨부(3)가 형성되어 있다. 탐침첨부(2)와 전달첨부(3)의 인접한 영역 각각에는 일체화가 된 다수 개의 탐침부재(1)를 고정시키기 위한 고정홀(4)이 형성되어 있으며, 상기 고정홀(4)사이에는 상기 화소와의 접촉시에 발생되는 미열을 분산시키는 열분산홀(5)이 적어도 하나 이상 형성되어 있다. 상기 탐침부재(1)는 20에서 35μm를 갖는 두께 범위의 박판을 에칭기법으로 가공하여 상기 탐침첨부(2)와 상기 전달첨부(3) 및 상기 고정홀(4)과 열분산홀(5)를 갖는 형상으로 패턴한 것으로 그 탐침의 인장강도를 향상시키기 위하여 소정의 온도에서 열처리를 일정 시간동안 행하고, 경도를 높이기 위해 0.5내지 3μ m범위내의 로듐도금을 증착시킨 것이다.

이와 같은 탐침부재(1)는 도 7에 도시된 바와 같이, 수많은 화소를 동시에 검사하기 위하여 각각의 화소에 대응되도록 상기 탐침첨부(2) 또는 상기 전달첨부(3)를 배치 즉, 탐침첨부(2)가 탐침부재(1)의 길이방향으로 일정한 이격거리에 위치하고, 적어도 3개 이상이 상기 이격거리만큼 순차적으로 감소되는 패턴이 다수 번 반복한 형상을 갖는다. 서로 다른 위치에 배치된 상기 3개 이상의 탐침부재(1)는 그 길이가 서로 다른 길이값을 가지며, 상기 탐침첨부(2)와 전달첨부(3)사이에는 상기 길이값에 대응하게 서로 다른 소정의 패턴모양을 갖는다. 실제로, 상기 탐침부재(1) 간의 이격거리는 65μ m(45에서 75μ m까지)의 등간격을 갖고, 300개 내지 400여개의 탐침부재(1)가 하나의 그룹으로 형성되어 있다. 이와 같은 그룹을 탐침유니트(8)라 한다.

이와 같은 상기 탐침유니트(8)의 상단부영역과 하단부영역에는 상기 탐침부재(1)간의 소정 이격거리(65μ m)를 유지하기 위하여 상기 탐침부재(1)의 상단부(탐침첨부(2))와 하단부(전달첨부(3)) 소정영역을 수용하도록 한 수용슬롯(7)이 길이 방향으로 상기 탐침부재(1)의 수 만큼 배열되어 있는 절연슬릿(9)이 요철결합되어 있다. 상기 절연슬릿(9)은 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 각각의 탐침부재(1)에서 검출된 신호를 서로 간섭방지하는 절열기능을 가지고, 상기 탐침첨부(2)의 상단부에 위치하여 휘어짐현상을 방지한다.

상기 탐침유니트(8) 하단부의 전달첨부(3)의 상측에는 상기 전달첨부(3)의 위치를 셋팅하기 위하여 상기 탐침첨부(2)의 이격거리와 동일한 간격의 가이드홀(13)이 다수 개 형성되어 있는 절연가이드필름(17)이 결합되어 있다. 상기 절연가이드필름(17)은 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 탐침부재(1)의 하단부의 위에서 결합되어 지고, 상기 가이드홀(13)에 의해 절연을 유지시켜준다. 이 때, 상기 절연가이드필름(17)의 상부에는 도 11에 도시된 바와 같은 필름가이드(41)가 결합되어 있으며, 또한 상기 신호처리PCB부와 연결되어 상기 전달첨부(3)의 동작신호를 전달하기 위한 텝IC(25)를 사이에 두고 상기 텝IC(25)를 고정시킨다.

상기 탐침유니트(8)의 고정홀(4)에는 소정의 길이를 갖는 원기둥형상의 절연세라믹봉(31)이 삽입설치되어 있으며, 상기 탐침부재(1) 각각의 고유길이에 따르는 확정된 배열위치를 고정유지하는 기능과 아울러 상기 탐침유니트(8)를 프로브본체(33)에 고정시킨다.

상기 프로브본체(33)는 도 12와 도 13과 같은 형상을 가지며, 상기 탐침유니트(8)의 중간영역의 상측에 이격되게 위치하고, 특히 상기 절연슬릿(9)의 상부에접촉되어 있다. 실제로 외측 조립체에 고정시키기 위하여 프로브본체(33)가 마련되어 있다할 수 있다.

즉, 상기 탐침유니트(8)의 고정홀(4)에 삽입된 상기 절연세라믹봉(31)의 양측 종단에는 상기 절연세라믹봉(31)을 수용하는 한 쌍의 가이드판(39)이 결합되어 있다. 상기 가이드판(39)은 실제로 도 14에 도시된 바와 같이, 상기 봉고정홀(37)이 형성되어 있고 상기 봉고정홀(37)에 상기 절연세라믹봉(31)이 삽입되어 있음고 동시에 상기 봉고정홀(37)의 상,하브에 위치한 스크류공을 이용하여 상기 탐침유니트(8)를 상기 프로브본체(33)의 측면에 고정유지시킨다. 이 때, 상기 프로브본체(33)의 하부에는 도 15에 도시된 바와 같이, 외부의 조립체(미도시)로부터 분리이탈을 방지하는 고정블록(35)이 스크류결합되어 있다.

여기까지 본 프로브장치는 도 16에 도시된 바와 같이, 상기 TFT-ICD 패널의 RGB화소로부터 각 화소의 동작을 전기적인 신호로 검출하기 위한 탐침첨부(2)와 상기 화소의 동작신호를 전달하기 위한 전달첨부(3)를 갖는 다수 개의 박막형 탐침부재(1)와, 상기 탐침부재(1) 간의 소정 이격거리를 유지하기 위하여 상기 탐침부재(1)의 상단부와 하단부 소정영역을 동시에 수용하여 고정한 한쌍의 절연슬릿(9)과, 상기 탐침부재(1)의 상부에 위치하여 상기 전달첨부(3)를 일측에서 타측으로 관통하는 다수 개의 가이드홀(13)이 마련되어 있는 절연가이드필름(17)과, 상기 박막형 탐침부재(1)의 소정 구획에 측면방향을 향하여 형성된 적어도 하나의 고정홀(4)에 수용되어 상기 탐침부재(1)의 탐침첨부(2)의 배열위치를 고정유지하기 위한 절연세라믹봉(31)과, 상기 탐침부재(1)의 상측에 위치하고 상기 절연슬릿(9)과 접촉되어 있는 프로브본체(33)와, 상기 프로브본체(33)와 상기 탐침부재(1) 사이에 위치하여 상기 프로브본체(33)를 외부 조립체에 고정시키기 위한 고정블록(35)과, 상기 프로브본체(33)의 측면 일측과 타측 각각에 스크루결합되고 상기 절연세라믹봉(31)이 수용결합되어 상기 탐침부재(1)를 고정시키는 한 쌍의 가이드판(39)을 갖는다.

한편, 상기 절연가이드필름(17)과 가이드필름(41) 사이에는 도 17에 도시된 바와 같이, 절연가이드필름(17)을 고정시키기 위하여 필름고정부재(18)가 상기 프로브본체(33)의 일측에 스크루체결되어 있다.

도 18 내지 도 20에 도시된 바와 같이, 텝IC(25)의 전반부에는 상기 절연가이드필름(17)을 사이에 두고 상기 프로브본체(33)와 체결하여 상기 텝IC(25)의 프린트회로(미도시)를 지지하는 텝IC하우징(44)이 설치되어 있고, 상기 텝IC(25)의 후반부에는 상기 신호처리PCB부와 전기적인 접촉시키기 위하여 상기 프린트회로 상의 패턴을 상,하측에서 결합하는 한 쌍의 연결블록(45, 46)이 설치되어 있다.

상기 상측의 연결블록(45)은 상기 텝IC(25)와 상기 신호처리PCB부를 전기적으로 연결시키기 위한 다수개의 연결핀(미도시)을 삽입할 수 있는 핀공(47)을 가지고 있다.

본 발명은 TFT-LCD의 화소동작신호를 에러없이 정확하게 검출하여 TFT-LCD의 양호 및 불양을 신뢰성있게 판정하기 때문에 제품에 대한 수율을 향상시키는 효과가 있다.

Claims (1)

1. TFT-LCD 패널의 특성검사를 위한 액정디스플레이 검사용 프로브장치에 있어서;

   상기 TFT-LCD 패널의 RGB화소로부터 각 화소의 동작을 전기적인 신호로 검출하기 위한 탐침첨부와 상기 화소의 동작신호를 전달하기 위한 전달첨부를 갖는 다수 개의 박막형 탐침부재와;

   상기 탐침부재 간의 소정 이격거리를 유지하기 위하여 상기 탐침부재의 상단부와 하단부 소정영역을 동시에 수용하도록 한 수용슬롯이 길이방향으로 다수 개 배열된 한쌍의 절연슬릿과;

   상기 탐침부재의 상부에 위치하여 상기 전달첨부가 일측에서 타측으로 관통되는 다수 개의 가이드홀이 마련되어 있는 절연가이드필름과;

   상기 가이드홀로부터 노출된 상기 전달첨부의 상기 동작신호를 처리하는 신호처리PCB부와;

   상기 절연가이드필름과 상기 신호처리PCB부 사이에는 상기 전달첨부의 동작 신호를 전달하기 위한 텝IC와;

   상기 박막형 탐침부재의 소정 구획에 측면방향을 향하여 형성된 적어도 하나의 고정홀에 수용되 어 상기 탐침부재의 탐침첨부의 배열위치를 고정유지하기 위한 절연세라믹봉과;

   상기 탐침부재의 상측에 위치하고 상기 절연슬릿과 접촉되어 있는 프로브본체와;

   상기 프로브본체와 상기 탐침부재 사이에 위치하여 상기 프로브본체를 외측 조립체에 고정시키기 위한 고정블록과;

   상기 프로브본체의 측면 일측과 타측에 스크루결합되어 상기 절연세라믹봉을 수용한 상기 탐침부재를 고정시키는 한 쌍의 가이드판과;

   상기 절연가이드필름과 면접촉되어 고정시키기 위한 필름가이드와;

   상기 텝IC의 전반부에 위치하며 상기 절연가이드필름을 사이에 두고 상기 프로브본체와 체결하여 상기 텝IC의 프린트회로를 지지하는 텝IC하우징과;

   상기 텝IC의 후반부에 위치하며 상기 신호처리PCB부와 전기적인 접촉시키기 위하여 상기 프린트회로 상의 패턴을 상,하에서 결합하는 한 쌍의 연결블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이 검사용 프로브장치.