JP2022528975A - マザーガラスパネル移送装置、ディスプレイパネル検査装置およびディスプレイパネル検査設備 - Google Patents

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Abstract

本発明の一実施例に係るマザーガラスパネル移送装置は、マザーガラスパネルの一面が上部を向いた正常状態で前記マザーガラスパネルの他面を吸着して固定させるためのステージモジュール；前記ステージモジュール上で前記正常状態から前記逆転状態に状態が変化した前記マザーガラスパネルの前記他面を吸着した後、前記ディスプレイパネルの不良の有無に対する検査のための第１位置に移動させるための移送モジュール；前記ディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行されるようにするための真空吸着モジュール；および前記移送モジュールによって前記第１位置に移動された前記マザーガラスパネルの前記他面を吸着した後、第２位置に移動させて、前記ディスプレイパネルの不良の有無が検査されるようにするピッカーモジュール；を含むことができる。

Description

本発明はマザーガラスパネル移送装置、ディスプレイパネル検査装置およびディスプレイパネル検査設備に関し、さらに詳細には、フェイスダウン（Ｆａｃｅ ｄｏｗｎ）方式で大型マザーガラスパネル内に含まれた多様な大きさのディスプレイパネルの不良の有無を検査できる、マザーガラスパネル移送装置、ディスプレイパネル検査装置およびディスプレイパネル検査設備に関する。
平板ディスプレイ装置として使われる有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）は、視野角が広くコントラストが優秀であるとともに応答速度が速いという長所を有しているため、最近スマートフォン、テレビなどに広く使われている。
有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）は基板となるパネル上に有機発光層の形成のための有機物層が蒸着されることになり、このため、電気的信号によって光と色を出すことになるピクセルが具現されることになる。
ここで、蒸着によって基板となるパネル上に有機物層が形成されてピクセルが具現されることになると、封止工程の前にピクセルの不良の有無に対する検査が進行されなければならない。
従来には検査の途中で飛散するパーティクルからの汚染などを防止するために、フェイスダウン（Ｆａｃｅ ｄｏｗｎ）方式、すなわち、検査が必要なディスプレイパネルの蒸着部が存在する一面が下部を向いた状態で検査が進行されていた。
ディスプレイパネルは使用目的に応じて多様な大きさで製造され得、製造工程上でマザーガラスパネル上に提供されることになり、マザーガラスパネルは面取り効率を増大させるために、同一大きさのディスプレイパネルが複数個存在する単一タイプまたは多様な大きさのディスプレイパネルが混合されて形成される混合タイプであってもよい。
従来にはディスプレイパネルの不良の有無を検査するために、マザーガラスパネル上のディスプレイパネルの蒸着部が存在する一面が下部を向いた状態でフィッシュボーン（Ｆｉｓｈｂｏｎｅ）タイプのステージモジュールに配置され、フィッシュボーン（Ｆｉｓｈｂｏｎｅ）タイプのステージモジュールは前記蒸着部が下部を向いた状態で、蒸着部が存在する一面のうち蒸着部が形成されていない外郭部分をグリップした後、検査のためのチャンバー内に移動することになる。
その後、真空プレートによって蒸着部が存在しないマザーガラスパネルの他面が吸着されることになり、プローブユニットのプローブブロックが位置する所に移動された後、ディスプレイパネルの接触パッドがプローブブロックに接触するようにすることによって検査が進行されていた。
しかし、従来の検査方法は比較的大きさが小さいマザーガラスパネル上のディスプレイパネルを検査するのには有用であるが、大型のマザーガラスパネル上のディスプレイパネルをフェイスダウン（Ｆａｃｅ ｄｏｗｎ）方式で不良の有無を検査するには深刻な問題が発生するため、適用が難しいのが実情である。
換言すると、大型マザーガラスパネルの場合、蒸着部が存在する一面が下部を向いた状態でフィッシュボーン（Ｆｉｓｈｂｏｎｅ）タイプのステージモジュールに配置することになると、フィッシュボーン（Ｆｉｓｈｂｏｎｅ）タイプのステージモジュールは蒸着部が存在する一面のうち蒸着部が形成されていない外郭部分を支持することになるが、この時、大型マザーガラスパネルは自重によって中央部が垂れてしまうため事実上正確な検査が不可能である。
また、従来の検査方法は前述した問題の他に、下記のような問題がさらに発生することになる。
プローブユニットにはディスプレイパネルの不良の有無を検査するためのプローブブロックが一種類しか装着され得ず、このため、マザーガラスパネル上に検査が必要な多様な大きさのディスプレイパネルが存在して検査の対象となるディスプレイパネルが変わる場合、必然的にそれに合う新しいプローブユニットに取り替える必要がある。
プローブユニットの取り替え作業は作業者によって手動でなされるのが一般的であり、これに伴い、取り替え作業に所要する時間が長くなって歩留まりが低下する問題がある。
それだけでなく、プローブユニットの取り替え時に作業者が怪我をしたりまたは感電する場合がたびたび発生する問題があった。
したがって、検査の途中で飛散するパーティクルからの汚染などを防止するためのフェイスダウン（Ｆａｃｅ ｄｏｗｎ）方式で、大型マザーガラスパネル上の多様な種類のディスプレイパネルの不良の有無を迅速かつ正確に検査するための設備開発に対する研究が急を要しているのが実情である。
本発明の目的は、フェイスダウン（Ｆａｃｅ ｄｏｗｎ）方式で大型マザーガラスパネル内に含まれた多様な大きさのディスプレイパネルの不良の有無を、プローブユニットまたはプローブブロックを取り替えることなく進行できるようにする、マザーガラスパネル移送装置、ディスプレイパネル検査装置およびディスプレイパネル検査設備に関する。
本発明の一実施例に係るマザーガラスパネル移送装置は、マザーガラスパネルの一面が上部を向いた正常状態で前記マザーガラスパネルの他面を吸着して固定させるためのステージモジュール－前記マザーガラスパネルの一面は有機発光層の形成のための有機物層が蒸着された少なくとも一種類以上のディスプレイパネルが備えられ、前記ステージモジュールは、前記マザーガラスパネルが前記正常状態で前記一面が下部を向いた状態である逆転状態となるように回転する－；前記ステージモジュール上で前記正常状態から前記逆転状態に状態が変化した前記マザーガラスパネルの前記他面を吸着した後、前記マザーガラスパネルを前記逆転状態を維持しながら前記ディスプレイパネルの不良の有無に対する検査のための第１位置に移動させるための移送モジュール；プローブブロックが装着されたプローブユニットとの相互作用によって前記ディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行されるようにするための真空吸着モジュール；および前記移送モジュールによって前記第１位置に移動された前記マザーガラスパネルの前記他面を吸着した後、前記逆転状態を維持しながら第２位置に移動させて、前記真空吸着モジュールによって前記マザーガラスパネルが前記逆転状態を維持しながら前記他面が吸着されるようにして、前記相互作用による前記ディスプレイパネルの不良の有無が検査されるようにするピッカーモジュール；を含むことができる。
本発明の一実施例に係るマザーガラスパネル移送装置の前記真空吸着モジュールは、前記マザーガラスパネルを前記逆転状態に維持した状態で位置移動を通じて、前記ディスプレイパネルの電極パッドと前記プローブブロックが接触するようにして、前記逆転状態で前記ディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行されるようにすることを特徴とすることができる。
本発明の一実施例に係るマザーガラスパネル移送装置の前記移送モジュールは、前記ピッカーモジュールによって前記他面が吸着されると、吸着を解除して前記マザーガラスパネルから分離された後、元の位置に位置移動されることを特徴とすることができる。
本発明の一実施例に係るマザーガラスパネル移送装置の前記第２位置は、前記第１位置を基準として前記ピッカーモジュールによって前記真空吸着モジュールまで上昇した位置であることを特徴とすることができる。
本発明の一実施例に係るマザーガラスパネル移送装置の前記ステージモジュールは、前記正常状態で前記マザーガラスパネルの前記他面を吸着するものの、前記マザーガラスパネルが自重によって中央部が垂れないようにするための複数のステージユニットを含み、前記複数のステージユニットは、それぞれ互いに離隔するように配置された間に第１空間が形成されるようにすることを特徴とすることができる。
本発明の一実施例に係るマザーガラスパネル移送装置の前記移送モジュールは、前記ステージモジュールが回転して前記マザーガラスパネルが前記正常状態から前記逆転状態に状態変化した場合、前記第１空間に挿入されて前記逆転状態で配置される前記マザーガラスパネルの前記他面を吸着するものの、前記マザーガラスパネルが自重によって中央部が垂れないようにするための複数の移送ユニットを含むことを特徴とすることができる。
本発明の一実施例に係るマザーガラスパネル移送装置の前記ピッカーモジュールは、第３位置に位置した状態で、下降によって前記真空吸着モジュールを通過した後、前記第１位置に移動されて前記移送モジュールによって前記第１位置に移動された前記マザーガラスパネルの前記他面を吸着した後、上昇によって前記第２位置に移動されて前記真空吸着モジュールによって前記マザーガラスパネルの前記他面が吸着されるようにすることを特徴とすることができる。
本発明の一実施例に係るマザーガラスパネル移送装置の前記ピッカーモジュールは、前記マザーガラスパネルの前記他面を均一に吸着できるように互いに離隔して配置される複数のピッカーユニットを含むことを特徴とすることができる。
本発明の一実施例に係るマザーガラスパネル移送装置の前記ピッカーモジュールは、前記第２位置に移動された前記マザーガラスパネルの前記他面が前記真空吸着モジュールによって吸着されると、吸着を解除して前記マザーガラスパネルから分離された後、前記第３位置に復帰することを特徴とすることができる。
本発明に係るマザーガラスパネル移送装置、ディスプレイパネル検査装置およびディスプレイパネル検査設備によると、フェイスダウン（Ｆａｃｅ ｄｏｗｎ）方式で大型マザーガラスパネル内に含まれた多様な大きさのディスプレイパネルの不良の有無を、プローブユニットまたはプローブブロックを取り替えることなく進行できるようにして、不良有無の検査の正確性および迅速性などを最大化することができる。
本発明に係るディスプレイパネル検査設備によって不良の有無が検査されるディスプレイパネルを説明するための図面である。 本発明に係るディスプレイパネル検査設備に提供されるステージモジュール上に装着され得るマザーガラスパネルに含まれたディスプレイパネルの組み合わせに対する多様な実施例を説明するための図面である。 本発明に係るディスプレイパネル検査設備を説明するためのブロック構成図である。 本発明に係るディスプレイパネル検査設備を説明するための図面である。 本発明に係るディスプレイパネル検査設備に提供される検査工程進行設備内の空気の流れを説明するための図面であって、図４のＡＡ線による概略断面図である。 本発明に係るディスプレイパネル検査設備に提供される検査工程進行設備内の空気の流れを説明するための図面であって、図４のＢＢ線による概略断面図である。 本発明に係るディスプレイパネル検査設備に提供されるマザーガラスパネル移送装置によってマザーガラスパネルが真空吸着モジュールに吸着される過程を説明するためのフローチャートである。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供されるステージモジュール上にマザーガラスパネルが正常状態で装着される状況を説明するための図面である。 図８に図示された状況からステージモジュールの回転によって正常状態のマザーガラスパネルが逆転状態に変化する状況を説明するための図面である。 図８に図示された状況からステージモジュールの回転によって正常状態のマザーガラスパネルが逆転状態に変化する状況を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される移送モジュールがステージモジュールに進入する状況を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される移送モジュールが逆転状態のマザーガラスパネルを吸着した状況を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される移送モジュールが逆転状態のマザーガラスパネルを吸着した状況を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される移送モジュールが第１位置に移動された状況を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供されるピッカーモジュールが下降して逆転状態のマザーガラスパネルを吸着する状況を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供されるピッカーモジュールが下降して逆転状態のマザーガラスパネルを吸着する状況を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される移送モジュールが元の位置に復帰する状況を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供されるピッカーモジュールが第２位置に上昇する状況を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供されるピッカーモジュールが第３位置に上昇する状況を説明するための図面である。 本発明に係るディスプレイパネル検査設備に提供されるディスプレイパネル検査装置を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される真空吸着モジュールに、６５インチのディスプレイパネルと５５インチのディスプレイパネルの組み合わせ体である被検査対象マザーガラスパネルが吸着されて不良の有無に対する検査が進行される場合、それぞれのディスプレイパネルに対する検査方法を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される真空吸着モジュールに、６５インチのディスプレイパネルと５５インチのディスプレイパネルの組み合わせ体である被検査対象マザーガラスパネルが吸着されて不良の有無に対する検査が進行される場合、それぞれのディスプレイパネルに対する検査方法を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される真空吸着モジュールに、６５インチのディスプレイパネルと５５インチのディスプレイパネルの組み合わせ体である被検査対象マザーガラスパネルが吸着されて不良の有無に対する検査が進行される場合、それぞれのディスプレイパネルに対する検査方法を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される真空吸着モジュールに、６５インチのディスプレイパネルと５５インチのディスプレイパネルの組み合わせ体である被検査対象マザーガラスパネルが吸着されて不良の有無に対する検査が進行される場合、それぞれのディスプレイパネルに対する検査方法を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される真空吸着モジュールに、６５インチのディスプレイパネルと５５インチのディスプレイパネルの組み合わせ体である被検査対象マザーガラスパネルが吸着されて不良の有無に対する検査が進行される場合、それぞれのディスプレイパネルに対する検査方法を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される真空吸着モジュールに、６５インチのディスプレイパネルと５５インチのディスプレイパネルの組み合わせ体である被検査対象マザーガラスパネルが吸着されて不良の有無に対する検査が進行される場合、それぞれのディスプレイパネルに対する検査方法を説明するための図面である。 本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される真空吸着モジュールに、６５インチのディスプレイパネルと５５インチのディスプレイパネルの組み合わせ体である被検査対象マザーガラスパネルが吸着されて不良の有無に対する検査が進行される場合、それぞれのディスプレイパネルに対する検査方法を説明するための図面である。 本発明に係るディスプレイパネル検査装置によってディスプレイパネルの不良の有無が検査される場合、使われないプローブブロックの位置移動を説明するための図面である。
本発明の一実施例に係るマザーガラスパネル移送装置は、マザーガラスパネルの一面が上部を向いた正常状態で前記マザーガラスパネルの他面を吸着して固定させるためのステージモジュール－前記マザーガラスパネルの一面は有機発光層の形成のための有機物層が蒸着された少なくとも一種類以上のディスプレイパネルが備えられ、前記ステージモジュールは、前記マザーガラスパネルが前記正常状態で前記一面が下部を向いた状態である逆転状態となるように回転する－；前記ステージモジュール上で前記正常状態から前記逆転状態に状態が変化した前記マザーガラスパネルの前記他面を吸着した後、前記マザーガラスパネルを前記逆転状態を維持しながら前記ディスプレイパネルの不良の有無に対する検査のための第１位置に移動させるための移送モジュール；プローブブロックが装着されたプローブユニットとの相互作用によって前記ディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行されるようにするための真空吸着モジュール；および前記移送モジュールによって前記第１位置に移動された前記マザーガラスパネルの前記他面を吸着した後、前記逆転状態を維持しながら第２位置に移動させて、前記真空吸着モジュールによって前記マザーガラスパネルが前記逆転状態を維持しながら前記他面が吸着されるようにして、前記相互作用による前記ディスプレイパネルの不良の有無が検査されるようにするピッカーモジュール；を含むことができる。
以下では、図面を参照して本発明の具体的な実施例を詳細に説明する。ただし、本発明の思想は提示される実施例に制限されず、本発明の思想を理解する当業者は同じ思想範囲内で他の構成要素を追加、変更、削除等を通して、退歩的な他の発明や本発明思想の範囲内に含まれる他の実施例を容易に提案できるであろうが、これも本願発明の思想範囲内に含まれるものと言える。
また、各実施例の図面に示される同じ思想範囲内の機能が同一の構成要素は同一の参照符号を使って説明する。
１．ディスプレイパネルおよびマザーガラスパネル
図１は本発明に係るディスプレイパネル検査設備によって不良の有無が検査されるディスプレイパネルを説明するための図面であり、図２は本発明に係るディスプレイパネル検査設備に提供されるステージモジュール上に装着され得るマザーガラスパネルに含まれたディスプレイパネルの組み合わせに対する多様な実施例を説明するための図面である。
図１を参照すると、ディスプレイパネルＤＰは基板となるパネル上に有機発光層の形成のための有機物層が蒸着されてピクセルが具現されたものであり、封止工程の前に本発明に係るディスプレイパネル検査設備（１０００、図３および図４参照）によって不良の有無に対する検査が進行され得る。
前記ディスプレイパネルＤＰはピクセルの不良の有無に対する検査のために、上面の角領域のうちの一つである第１角領域に沿って形成される第１電極パッドＥＰ１、前記上面の角領域のうちの他の一つである第２角領域に沿って形成される第２電極パッドＥＰ２、前記上面の角領域のうちのさらに他の一つである第３角領域に沿って形成される第３電極パッドＥＰ３および前記上面の角領域のうちのさらに他の一つである第４角領域に沿って形成される第４電極パッドＥＰ４を具備することができる。
ただし、前記ディスプレイパネルＤＰはパネルの特性により電極パッドの形成位置および個数等は変わり得るが、以下では図１に図示されたディスプレイパネルＤＰを例に挙げて不良の有無が検査される過程などを説明することにする。
前記ディスプレイパネルＤＰは、製造工程上でステージモジュール（１１０、図３および図４参照）の大きさに従属的に大きさが決定されるマザーガラスパネルＭＰに複数個が形成された後、切断などの工程を通じて製造され得、前記マザーガラスパネルＭＰはディスプレイパネルＤＰの生産の基盤となるガラス基板であってもよい。
前記マザーガラスパネルＭＰは空いた空間を最小化して不良検査に対する効率性を増大させるために、すなわち、面取り効率を増大させるために、同一大きさのディスプレイパネルＤＰが複数個存在する単一タイプまたは多様な大きさのディスプレイパネルＤＰが混合されて形成された混合タイプであってもよい。
例えば、前記マザーガラスパネルＭＰは図２（ａ）に図示された通り、９８インチディスプレイパネル２個の単一 タイプ、図２（ｂ）に図示された通り、６５インチディスプレイパネル３個と３２インチディスプレイパネル６個の混合タイプ、図２（ｃ）に図示された通り、３１．５インチディスプレイパネル１８個の単一タイプ、図２（ｄ）に図示された通り、４９インチディスプレイパネル２個と７５インチディスプレイパネル２個の混合タイプおよび図２（ｅ）に図示された通り、６５インチディスプレイパネル３個と５５インチディスプレイパネル２個の混合タイプであってもよいが、必ずしもこれに限定されるものではなく、多様な大きさのディスプレイパネルの混合タイプが適用されたパネルであってもよい。
本発明に係るディスプレイパネル検査設備１０００は前述した多様な組み合わせの混合タイプのマザーガラスパネルＭＰに含まれたすべてのディスプレイパネルのそれぞれに対する不良の有無を検査することができ、以下では前記マザーガラスパネルが６５インチディスプレイパネル３個と５５インチディスプレイパネル２個か形成された混合タイプである場合を代表的な例として説明する。
２．ディスプレイパネル検査設備
図３は本発明に係るディスプレイパネル検査設備を説明するためのブロック構成図であり、図４は本発明に係るディスプレイパネル検査設備を説明するための図面である。
図３および図４を参照すると、本発明に係るディスプレイパネル検査設備１０００は、背面吸着方式、すなわち、フェイスダウン（Ｆａｃｅ ｄｏｗｎ）方式でマザーガラスパネルＭＰ内に含まれた多様な大きさのディスプレイパネルＤＰの不良の有無を、プローブユニット（ＰＵ、図２０参照）またはプローブブロックＰＢを取り替えることなく進行できるようにして、不良有無の検査の正確性および迅速性などを最大化できる検査設備であり、検査工程準備設備１１００および検査工程進行設備１２００を含むことができる。
検査工程準備設備１１００は、一面に有機発光層の形成のための有機物層が蒸着された少なくとも一種類以上のディスプレイパネルＤＰが備えられるマザーガラスパネルＭＰの前記一面が上部を向いた正常状態で前記マザーガラスパネルＭＰの他面がステージモジュール１１０に吸着されると、前記ステージモジュール１１０は回転して前記マザーガラスパネルＭＰが前記正常状態で前記一面が下部を向いた状態である逆転状態となるようにした後、移送モジュール１２０が前記逆転状態の前記マザーガラスパネルＭＰの伝達を受けて前記逆転状態を維持しながら次回の工程のための設備に前記マザーガラスパネルＭＰを移動させるための設備であってもよい。
検査工程進行設備１２００は、前記移送モジュール１２０によって進入した前記マザーガラスパネルＭＰの他面をピッカーモジュール１３０が吸着された後、前記ピッカーモジュール１３０の位置移動を通じて真空吸着モジュール１４０が前記逆転状態の前記マザーガラスパネルＭＰを吸着すると、前記真空吸着モジュール１４０の位置移動を通じて前記ディスプレイパネルＤＰの電極パッドがディスプレイパネル検査装置２００のプローブユニットＰＵのプローブブロックＰＢに接触するようにして、前記ディスプレイパネルＤＰの不良の有無に対する検査が進行されるための設備であってもよい。
一方、本発明に係るディスプレイパネル検査設備１０００は、マザーガラスパネルＭＰがステージモジュール１１０に装着され、移送モジュール１２０によって前記マザーガラスパネルＭＰがピッカーモジュール１３０を媒介として真空吸着モジュール１４０に吸着されるまでの構成要素をマザーガラスパネル移送装置１００と定義することができ、前記マザーガラスパネル移送装置１００によって前記真空吸着モジュール１４０に吸着されたディスプレイパネルＤＰがディスプレイパネル検査装置２００によって不良の有無に対する検査が進行される過程は図７～図２８を参照して具体的に説明する。
図５および図６は本発明に係るディスプレイパネル検査設備に提供される検査工程進行設備内の空気の流れを説明するための図面であって、図５は図４のＡＡ線による概略断面図であり、図６は図４のＢＢ線による概略断面図である。
図３および図４とともに図５および図６を参照すると、検査工程進行設備１２００は、ディスプレイパネルＤＰの電極パッドとプローブブロックＰＢが接触して前記ディスプレイパネルＤＰの前記不良の有無に対する検査が進行されるための第１空間部３００、および前記不良の有無に対する検査の対象となるディスプレイパネルＤＰを撮影して前記ディスプレイパネルＤＰ上のシミまたはスクラッチなどの存在の有無を確認するためのビジョンモジュール４１０が位置移動可能に設置される第２空間部４００を含むことができ、前記第２空間部４００は前記第１空間部３００の下部に位置することができる。
ここで、前記ビジョンモジュール４１０は例えば４個のカメラユニットを含むことができ、前記カメラユニットは撮影の対象となるディスプレイパネルＤＰのサイズによりＷｏｒｋｉｎｇ Ｄｉｓｔａｎｃｅ（ＷＤ）が変わることになるため、上部または下部に向かって位置移動可能であってもよい。
また、４個のカメラユニットは撮影対象となるディスプレイパネルＤＰの大きさに対応して前記ディスプレイパネルＤＰの全体領域を撮影しなければならないため、それぞれ撮影の対象となるディスプレイパネルＤＰの１／４領域の中央部に位置しなければならず、このために前方または後方、左側または右側に位置移動され得る。また、必要な場合、撮影の対象となるディスプレイパネルＤＰの回転に対応するために正回転または逆回転することもある。
一方、検査工程準備設備１１００および検査工程進行設備１２００内でのディスプレイパネルＤＰの不良の有無に対する検査は、窒素雰囲気下で進行され得る。
特に、検査工程進行設備１２００の場合、第１空間部３００および第２空間部４００内で前記窒素空気は停滞することなく循環が安定的になされなければならない。
このために、前記検査工程進行設備１２００は前記第１空間部３００内の上部に位置する強制循環モジュール３１０、前記第１空間部３００内での前記窒素空気の循環のために上部と下部を連結する第１循環ダクトモジュール３２０および前記第１空間部３００と前記第２空間部４００を連結する第２循環ダクトモジュール４２０を含むことができる。
前記第２循環ダクトモジュール４２０は、前記第１空間部３００から前記第２空間部４００に流入した前記窒素空気が前記第１空間部３００に再び流入して循環できるようにすることができ、前記第２循環ダクトモジュール４２０上には強制吸入モジュール４３０が位置することができる。
ここで、前記強制循環モジュール３１０および前記強制吸入モジュール４３０は一種の吸入ファンであり、前記強制吸入モジュール４３０は前記第２循環ダクトモジュール４２０上に位置して前記第１空間部３００から前記第２空間部４００に流入した前記窒素空気を吸入した後、前記第１空間部３００に排出されるようにすることができる。
したがって、前記検査工程進行設備１２００は均一な窒素雰囲気下でディスプレイパネルの検査工程が進行されることになる。
一方、検査工程準備設備１１００および検査工程進行設備１２００はメンテナンス時に作業者が内部に入らなければならないため、清浄乾燥空気（ＣＤＡ）雰囲気への転換がなされ得る。
３．マザーガラスパネル移送装置
図７は、本発明に係るディスプレイパネル検査設備に提供されるマザーガラスパネル移送装置によってマザーガラスパネルが真空吸着モジュールに吸着される過程を説明するためのフローチャートである。
まず、図３および図４を参照すると、マザーガラスパネル移送装置１００はステージモジュール１１０、移送モジュール１２０、ピッカーモジュール１３０および真空吸着モジュール１４０等を含むことができる。
前記ステージモジュール１１０はマザーガラスパネルＭＰの一面が上部を向いた正常状態で前記マザーガラスパネルＭＰの他面を吸着して固定させるための構成要素であり、前記マザーガラスパネルＭＰの一面は有機発光層の形成のための有機物層が蒸着された少なくとも一種類以上のディスプレイパネルＤＰが備えられ得る。
ここで、前記マザーガラスパネルＭＰの前記他面は全体的に非蒸着部であってもよい。
前記ステージモジュール１１０は前記ディスプレイパネルがフェイスダウン（Ｆａｃｅ ｄｏｗｎ）方式で検査されるようにするために回転され得、これによって前記ステージモジュール１１０に前記正常状態で配置されて吸着された前記マザーガラスパネルＭＰは、前記一面が下部を向いた状態である逆転状態となり得る。
前記移送モジュール１２０は前記ステージモジュール１１０上で前記正常状態から前記逆転状態に状態が変化した前記マザーガラスパネルＭＰの前記他面を吸着した後、前記マザーガラスパネルＭＰを前記逆転状態を維持しながら不良の有無に対する検査のための第１位置に移動させるための構成要素であってもよい。
前記ピッカーモジュール１３０は前記移送モジュール１２０によって前記第１位置に移動された前記マザーガラスパネルＭＰの前記他面を吸着した後、前記逆転状態を維持しながら前記第１位置を基準として上昇した位置である第２位置に移動させるための構成要素であり、後述する板状の真空吸着モジュール１４０が前記逆転状態の前記マザーガラスパネルＭＰを吸着するようにすることができる。
前記真空吸着モジュール１４０は、 前記ピッカーモジュール１３０によって前記第２位置に前記逆転状態のマザーガラスパネルＭＰが移動されると、前記逆転状態で平滑度を維持しながら前記マザーガラスパネルＭＰを吸着することができ、その後にはディスプレイパネル検査装置２００のプローブユニットＰＵのプローブブロックＰＢとの相互作用によって前記ディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行されるようにする構成要素であってもよい。
前記真空吸着モジュール１４０によって前記逆転状態でマザーガラスパネルが吸着されると、前記真空吸着モジュール１４０は前記マザーガラスパネルＭＰを前記逆転状態に維持した状態で位置移動を通じて、前記ディスプレイパネルＤＰの電極パッドと前記プローブブロックＰＢが接触するようにして、前記逆転状態で前記ディスプレイパネルＤＰの不良の有無に対する検査が進行されることになる。
ここで、前記マザーガラスパネルが最終的に前記逆転状態を維持しながら真空吸着モジュール１４０に吸着されなければならない理由は、ディスプレイパネルの不良有無の検査のためのディスプレイパネルＤＰの正確な位置制御およびディスプレイパネルＤＰの平滑度を維持するためであり、もし真空吸着モジュール１４０ではなく他の構成要素によってマザーガラスパネルＭＰが吸着された状態でディスプレイパネル検査装置２００に移動することになると、平滑度などにおいて問題が発生して正確な不良の有無に対する検査を保証できないためである。
以下では、本発明に係るマザーガラスパネル移送装置１００によってマザーガラスパネルＭＰが真空吸着モジュール１４０に吸着される過程を説明する。
図７を参照すると、本発明に係るマザーガラスパネル移送装置１００によってマザーガラスパネルが真空吸着モジュールに吸着される段階は、正常状態でマザーガラスパネルＭＰがステージモジュール１１０上に配置される第１段階（Ｓ１０）、前記ステージモジュール１１０が回転する第２段階（Ｓ２０）、移送モジュール１２０が進入して前記マザーガラスパネルＭＰを吸着する第３段階（Ｓ３０）、前記移送モジュール１２０が第１位置に移動する第４段階（Ｓ４０）、ピッカーモジュール１３０が下降して前記マザーガラスパネルＭＰを吸着する第５段階（Ｓ５０）、前記移送モジュール１２０が復帰する第６段階（Ｓ６０）、前記ピッカーモジュール１３０が第２位置に上昇する第７段階（Ｓ７０）、真空吸着モジュール１４０によって前記ディスプレイパネルＤＰが吸着される第８段階（Ｓ８０）、前記ピッカーモジュール１３０が上昇して第３位置に移動する第９段階（Ｓ９０）を含むことができる。
以下では前述した各段階について、図８～図１９を参照して具体的に説明する。
図８は、本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供されるステージモジュール上にマザーガラスパネルが正常状態で装着される状況を説明するための図面である。
図８を参照すると、マザーガラスパネルＭＰは正常状態でステージモジュール１１０上に配置（Ｓ１０）された後、吸着され得る。
ここで、前記マザーガラスパネルＭＰは説明の便宜のために、少なくとも一つ以上のディスプレイパネルＤＰが備えられた一面を陰影で表現している。
一方、前記マザーガラスパネルＭＰを前記ステージモジュール１１０上に配置させる方法は特に限定されず、窒素雰囲気下でロボット装置などによる自動方法または作業者による手動方法など、多様であってもよい。
前記ステージモジュール１１０は前記正常状態で前記マザーガラスパネルＭＰの前記他面ＳＦ２を吸着するための複数のステージユニット１１２を含むことができ、前記ステージユニット１１２はそれぞれ互いに離隔するように配置された間に第１空間Ｓ１が形成されるようにすることができる。
例えば、前記ステージユニット１１２は図８に図示された通り、９個で形成され得るが、必ずしもこれに限定されるものではなく、支持すべき前記マザーガラスパネルＭＰを自重によって中央部が垂れずに安定的に支持できる程度であれば個数が変更されてもよい。
前記ステージユニット１１２はそれぞれ前記マザーガラスパネルＭＰを吸着するための吸着パッドなどの吸着手段１１４を具備することができ、前記吸着手段１１４の個数は制限されない。
図９および図１０は、図８に図示された状況からステージモジュールの回転によって正常状態のマザーガラスパネルが逆転状態に変化する状況を説明するための図面である。
図９および図１０を参照すると、前記ステージモジュール１１０は正常状態で前記マザーガラスパネルＭＰを吸着したまま回転（Ｒ、Ｓ２０）され得、回転方向は制限されない。
前記ステージモジュール１１０の回転のための駆動方法は特に限定されず、例えば、公知のモータなどを利用して回転され得る。
前記ステージモジュール１１０が回転すると、正常状態で吸着されたマザーガラスパネルＭＰは蒸着部が存在する一面ＳＦ１が下部を向いた状態である逆転状態に状態が変化することになる。
前記マザーガラスパネルＭＰは不良の有無に対する検査が進行される間、持続して逆転状態を維持することになり、これによってディスプレイパネルＤＰはフェイスダウン（Ｆａｃｅ ｄｏｗｎ）方式で不良の有無に対する検査を進行できることになる。
図１１は本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される移送モジュールがステージモジュールに進入する状況を説明するための図面であり、図１２および図１３は本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される移送モジュールが逆転状態のマザーガラスパネルを吸着した状況を説明するための図面である。
図１１～図１３を参照すると、前記ステージモジュール１１０の回転によってマザーガラスパネルＭＰが逆転状態になると、移送モジュール１２０が前記ステージモジュール１１０に進入した後、前記マザーガラスパネルＭＰを吸着（Ｓ３０）することになる。
前記移送モジュール１２０は、前記ステージユニット１１２によって提供される第１空間Ｓ１に挿入されて逆転状態で配置される前記マザーガラスパネルＭＰの他面ＳＦ２を吸着するための複数の移送ユニット１２２を含むことができる。
前記移送ユニット１２２は前記ステージユニット１１２と同様にそれぞれ離隔するように配置され得る。
例えば、前記移送ユニット１２２は図面に図示された通り、８個で形成され得るが、必ずしもこれに限定されるものではない。
前記移送ユニット１２２は前記マザーガラスパネルＭＰと前記ステージユニット１１２によって提供される第１空間Ｓ１に進入した後、前記マザーガラスパネルＭＰの他面ＳＦ２を吸着することができ、前記マザーガラスパネルＭＰの吸着のために、必要であれば上下方向に位置移動されてもよい。
前記移送ユニット１２２はそれぞれ前記マザーガラスパネルＭＰを吸着するための吸着パッドなどの吸着手段１２４を具備することができ、前記吸着手段１２４の個数は制限されない。
前記のように、前記移送ユニット１２２によって前記マザーガラスパネルＭＰが吸着されると、前記ステージユニット１１２による前記マザーガラスパネルＭＰの吸着は解除されることになり、これによって前記マザーガラスパネルＭＰは前記移送ユニット１２２の移動と連動されることになる。
図１４は、本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される移送モジュールが第１位置に移動された状況を説明するための図面である。
図１４を参照すると、移送モジュール１２０は逆転状態のマザーガラスパネルＭＰを吸着した状態で、前記逆転状態を維持しながら不良の有無に対する検査のための第１位置に移動（Ｓ４０）され得る。
ここで、前記第１位置は、前記逆転状態のマザーガラスパネルＭＰが真空吸着モジュール１４０およびピッカーモジュール１３０が配置される位置を基準として下部上の位置を意味し得、以降の段階で前記ピッカーモジュール１３０が前記逆転状態の前記マザーガラスパネルＭＰを前記逆転状態を維持しながら安定的に吸着できるようにすることができる。
図１５および図１６は本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供されるピッカーモジュールが下降して逆転状態のマザーガラスパネルを吸着する状況を説明するための図面であり、図１７は本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される移送モジュールが元の位置に復帰する状況を説明するための図面である。
図１５および図１６を参照すると、ピッカーモジュール１３０は第３位置に位置した状態で下降によって真空吸着モジュール１４０を通過した後に第１位置に移動することができ、移送モジュール１２０によって前記第１位置に移動された逆転状態のマザーガラスパネルＭＰを吸着（Ｓ５０）することができる。
前記ピッカーモジュール１３０は、前記マザーガラスパネルＭＰの他面ＳＦ２を均一に吸着して垂れを防止するように互いに離隔して配置される複数のピッカーユニット１３２を含むことができる。
前記ピッカーモジュール１３０によって前記マザーガラスパネルＭＰが吸着されると、前記移送モジュール１２０は図１７に図示された通り、吸着を解除して前記マザーガラスパネルＭＰから分離されて元の位置に位置移動（Ｓ６０）され得る。
元の位置に位置移動された前記移送モジュール１２０は、他のマザーガラスパネルに備えられる他のディスプレイパネルを検査するために動作できることになる。
図１８は、本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供されるピッカーモジュールが第２位置に上昇する状況を説明するための図面である。
図１８を参照すると、ピッカーモジュール１３０は逆転状態のマザーガラスパネルＭＰを吸着した後、上昇によって第２位置に移動（Ｓ７０）され得、これによって真空吸着モジュール１４０は前記マザーガラスパネルＭＰを吸着（Ｓ８０）できることになる。
ここで、前記第２位置は前記第１位置を基準として前記ピッカーモジュール１３０によって前記真空吸着モジュール１４０まで上昇した位置であり得、前記真空吸着モジュール１４０は前記ピッカーモジュール１３０によって安定的に前記マザーガラスパネルＭＰを逆転状態で吸着できることになる。
前記真空吸着モジュール１４０は前記マザーガラスパネルＭＰを吸着するための吸着パッドなどの複数の吸着手段を具備することができる。
図１９は、本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供されるピッカーモジュールが第３位置に上昇する状況を説明するための図面である。
図１９を参照すると、第２位置に移動された前記マザーガラスパネルＭＰの前記他面ＳＦ２が前記真空吸着モジュール１４０によって吸着されると、ピッカーモジュール１３０は吸着を解除して前記マザーガラスパネルＭＰから分離された後、上昇して前記第３位置に復帰（Ｓ９０）され得る。
以降には、前記真空吸着モジュール１４０およびプローブブロックＰＢが装着されたプローブユニットＰＵを含むディスプレイパネル検査装置２００との相互作用によって不良の有無に対する検査が進行され得る。
ここで、前記相互作用は真空吸着モジュール１４０が位置移動されてマザーガラスパネルＭＰに備えられるディスプレイパネルＤＰの電極パッドとプローブユニットＰＵのプローブブロックＰＢの接触を具現して、ディスプレイパネルＤＰの不良の有無に対する検査が進行されることを意味し得る。
以下では、ディスプレイパネル検査装置２００によってディスプレイパネルＤＰの不良の有無に対する検査が進行される過程などを具体的に説明する。
４．ディスプレイパネル検査装置
図２０は、本発明に係るディスプレイパネル検査設備に提供されるディスプレイパネル検査装置を説明するための図面である。
図２０を参照すると、ディスプレイパネル検査装置２００は、プローブブロックＰＢを支持するプローブユニットＰＵおよび前記プローブユニットＰＵが位置移動可能に装着される支持ユニット２１０等を含むことができる。
前記支持ユニット２１０は一種の板の形状で形成されるフレームであり得、前記プローブユニットＰＵは横方向に配置された複数の第１プローブブロックＰＢ１を支持する第１プローブユニットＰＵ１、縦方向に配置された複数の第２プローブブロックＰＢ２を支持する第２プローブユニットＰＵ２、前記横方向に配置された複数の第３プローブブロックＰＢ３を支持する第３プローブユニットＰＵ３および前記縦方向に配置された複数の第４プローブブロックＰＢ４を支持する第４プローブユニットＰＵ４を含むことができる。
ここで、前記第１プローブユニットＰＵ１、前記第２プローブユニットＰＵ２、前記第３プローブユニットＰＵ３および前記第４プローブユニットＰＵ４は前記支持ユニット２１０上で横方向Ｄ１、Ｄ２または縦方向Ｄ３、Ｄ４に移動され得、前記横方向Ｄ１、Ｄ２および前記縦方向Ｄ３、Ｄ４への移動を通じて対角線方向Ｄ５に移動された結果を得ることができる。
ここで、前記横方向Ｄ１、Ｄ２および前記縦方向Ｄ３、Ｄ４はディスプレイパネルＤＰの形状と対応する四角形を形成するための方向であってもよい。
また、前記第１プローブユニットＰＵ１、前記第２プローブユニットＰＵ２、前記第３プローブユニットＰＵ３および前記第４プローブユニットＰＵ４は前記支持ユニット２１０上で対角線方向Ｄ５にすぐに移動されてもよい。
一方、前記複数の第１プローブブロックＰＢ１、前記複数の第２プローブブロックＰＢ２、前記複数の第３プローブブロックＰＢ３および前記複数の第４プローブブロックＰＢ４は、それぞれ前記第１プローブユニットＰＵ１、前記第２プローブユニットＰＵ２、前記第３プローブユニットＰＵ３および前記第４プローブユニットＰＵ４上で位置移動可能に装着され得る。
前記のように、前記支持ユニット２１０上での前記第１プローブユニットＰＵ１、前記第２プローブユニットＰＵ２、前記第３プローブユニットＰＵ３および／または前記第４プローブユニットＰＵ４の位置移動と前記第１プローブユニットＰＵ１上での前記複数の第１プローブブロックＰＢ１の位置移動、前記第２プローブユニットＰＵ２上での前記複数の第２プローブブロックＰＢ２の位置移動、前記第３プローブユニットＰＵ３上での前記複数の第３プローブブロックＰＢ３の位置移動および前記第４プローブユニットＰＵ４上での前記複数の第４プローブブロックＰＢ４の位置移動を通じて、プローブユニットを取り換えなくてもマザーガラスパネルＭＰに含まれた多様な大きさのディスプレイパネルＤＰそれぞれに対する不良の有無に対する検査を進行できるようになり、また、マザーガラスパネルＭＰに含まれた多様な大きさのディスプレイパネルＤＰの配置状態、すなわち、長辺が横方向Ｄ１、Ｄ２に配置されるか縦方向Ｄ３、Ｄ４に配置されるかにかかわらず、それに合うように適切に対応して検査を進行できるようになる。
図２１～図２７は、本発明に係るマザーガラスパネル移送装置に提供される真空吸着モジュールに、６５インチのディスプレイパネルと５５インチのディスプレイパネルの組み合わせ体である被検査対象マザーガラスパネルが吸着されて不良の有無に対する検査が進行される場合、それぞれのディスプレイパネルに対する検査方法を説明するための図面である。
まず、真空吸着モジュール１４０に逆転状態で吸着されたマザーガラスパネルＭＰは、ディスプレイパネルＤＰが、６５インチディスプレイパネルＤＰ１、ＤＰ２、ＤＰ３が３個、５５インチディスプレイパネルＤＰ４、ＤＰ５が２個形成された混合タイプのものを例に挙げて説明する。
そして、それぞれのディスプレイパネルは上面の角領域のうちの一つである第１角領域に沿って形成された複数の第１電極パッド、前記上面の角領域のうちの他の一つである第２角領域に沿って形成された複数の第２電極パッド、前記上面の角領域のうちのさらに他の一つである第３角領域に沿って形成された複数の第３電極パッドおよび前記上面の角領域のうちのさらに他の一つである第４角領域に沿って形成された複数の第４電極パッドを具備する。
また、６５インチディスプレイパネルＤＰ１、ＤＰ２、ＤＰ３それぞれが優先的に検査が進行された後、検査が完了すると残りの５５インチディスプレイパネルＤＰ４、ＤＰ５に対する検査が進行される場合を例に挙げて説明する。
図２１を参照すると、第１プローブユニットＰＵ１、第２プローブユニットＰＵ２、第３プローブユニットＰＵ３および第４プローブユニットＰＵ４は前記真空吸着モジュール１４０上に吸着されたマザーガラスパネルＭＰに含まれた６５インチのディスプレイパネルＤＰ１、ＤＰ２、ＤＰ３の不良の有無を検査するために、支持ユニット２１０上で位置移動が可能であってもよい。
換言すると、６５インチのディスプレイパネルＤＰ１、ＤＰ２、ＤＰ３の第１電極パッド、第２電極パッド、第３電極パッドおよび第４電極パッドそれぞれが、第１プローブユニットＰＵ１の複数の第１プローブブロックＰＢ１のうち少なくとも一部、第２プローブユニットＰＵ２の複数の第２プローブブロックＰＢ２のうち少なくとも一部、第３プローブユニットＰＵ３の複数の第３プローブブロックＰＢ３のうち少なくとも一部および第４プローブユニットＰＵ４の複数の第４プローブブロックＰＢ４のうち少なくとも一部に接触するようにするために、第１プローブユニットＰＵ１、第２プローブユニットＰＵ２、第３プローブユニットＰＵ３および第４プローブユニットＰＵ４のうち少なくとも一つが支持ユニット２１０上で位置移動され得るのである。
前記第１プローブユニットＰＵ１、前記第２プローブユニットＰＵ２、前記第３プローブユニットＰＵ３および前記第４プローブユニットＰＵ４のうち少なくとも一つは、対角線方向Ｄ５に直接移動されたり、図面に図示された通り、前記横方向Ｄ１、Ｄ２および前記縦方向Ｄ３、Ｄ４への移動を通じて前記対角線方向Ｄ５に移動され得る。
ここで、前記第１プローブユニットＰＵ１、前記第２プローブユニットＰＵ２、前記第３プローブユニットＰＵ３および前記第４プローブユニットＰＵ４それぞれの前記支持ユニット２１０上での位置移動は、リニアモーションガイド、モータ、ボールスクリューおよびボールナットなどの多様な構成要素を利用して具現され得るが、これは一例に過ぎず、多様な公知の移動方式が適用されて具現されてもよい。
前記第１プローブユニットＰＵ１、前記第２プローブユニットＰＵ２、前記第３プローブユニットＰＵ３および前記第４プローブユニットＰＵ４は、前記複数の第１電極パッド、前記複数の第２電極パッド、前記複数の第３電極パッドおよび前記複数の第４電極パッドそれぞれに接触しなければならないプローブブロックが、前記複数の第１プローブブロックＰＢ１のうち一部、前記複数の第２プローブブロックＰＢ２のうち一部、前記複数の第３プローブブロックＰＢ３のうち一部および前記複数の第４プローブブロックＰＢ４のうち一部である場合、対角線方向Ｄ５に直接移動されたり前記横方向Ｄ１、Ｄ２および前記縦方向Ｄ３、Ｄ４への移動を通じて前記対角線方向Ｄ５に移動され得る。
この場合、前記第１プローブユニットＰＵ１、前記第２プローブユニットＰＵ２、前記第３プローブユニットＰＵ３および前記第４プローブユニットＰＵ４は風車の形状となり得る。
一方、前記第１プローブユニットＰＵ１、前記第２プローブユニットＰＵ２、前記第３プローブユニットＰＵ３および前記第４プローブユニットＰＵ４は、前記複数の第１電極パッド、前記複数の第２電極パッド、前記複数の第３電極パッドおよび前記複数の第４電極パッドそれぞれに接触しなければならないプローブブロックが、前記複数の第１プローブブロックＰＢ１のうちすべて、前記複数の第２プローブブロックＰＢ２のうちすべて、前記複数の第３プローブブロックＰＢ３のうちすべておよび前記複数の第４プローブブロックＰＢ４のうちすべてである場合でも、状況によって対角線方向Ｄ５に直接移動されたり前記横方向Ｄ１、Ｄ２および前記縦方向Ｄ３、Ｄ４への移動を通じて前記対角線方向Ｄ５に移動され得る。
前記第１プローブブロックＰＢ１、前記第２プローブブロックＰＢ２、前記第３プローブブロックＰＢ３および前記第４プローブブロックＰＢ４はそれぞれ前記第１プローブユニットＰＵ１、前記第２プローブユニットＰＵ２、前記第３プローブユニットＰＵ３および前記第４プローブユニットＰＵ４上で位置移動され得、移動方式は特に制限されない。
前記のように、本発明に係るディスプレイパネル検査装置２００は、前記プローブユニットＰＵおよび／または前記プローブブロックＰＢの位置移動によって前記マザーガラスパネルＭＰに形成された６５インチディスプレイパネルＤＰ１、ＤＰ２、ＤＰ３および５５インチディスプレイパネルＤＰ４、ＤＰ５のすべてをプローブユニットおよび／またはプローブブロックの取り替えなしに不良の有無に対する検査を進行することができ、以下で詳細に説明する。
本発明に係るディスプレイパネル検査装置２００は、図示していない感知ユニットによって真空吸着モジュール１４０上に６５インチディスプレイパネルＤＰ１、ＤＰ２、ＤＰ３が３個、５５インチディスプレイパネルＤＰ４、ＤＰ５が２個形成されたマザーガラスパネルＭＰが吸着されたことを感知することになる。
前記感知ユニットはカメラなどを利用した撮像ユニットおよび／または各種センサユニットなどを含むことができ、前記マザーガラスパネルが前記真空吸着モジュール１４０に吸着された状態で前記プローブユニットＰＵが配置された位置に移動される前または移動される途中で、前記マザーガラスパネルＭＰを構成するディスプレイパネルＤＰの大きさなどを感知することになる。
前記感知ユニットによって前記マザーガラスパネルＭＰを構成するディスプレイパネルＤＰ１、ＤＰ２、ＤＰ３、ＤＰ４、ＤＰ５の大きさおよび／または種類が感知されると、制御ユニットによってどのような種類のディスプレイパネルＤＰ１、ＤＰ２、ＤＰ３、ＤＰ４、ＤＰ５を先に検査するかを決定することになり、以下では前述したように、６５インチディスプレイパネルＤＰ１、ＤＰ２、ＤＰ３が５５インチディスプレイパネルＤＰ４、ＤＰ５より優先的に検査対象に決定された状況を例に挙げて説明する。
前記制御ユニットによってマザーガラスパネルＭＰに形成されたディスプレイパネルＤＰ１、ＤＰ２、ＤＰ３、ＤＰ４、ＤＰ５の大きさおよび／または種類が感知され、感知されたディスプレイパネルのうち６５インチディスプレイパネルＤＰ１、ＤＰ２、ＤＰ３を優先的に検査する場合、前記制御ユニットはプローブブロックＰＢが前記６５インチディスプレイパネルＤＰに備えられた第１電極パッド、第２電極パッド、第３電極パッドおよび第４電極パッドと接触して電気的な接続が可能であるようにプローブユニットＰＵおよびプローブブロックＰＢを位置移動させることができる。
すなわち、第１プローブユニットＰＵ１は順序に関わらない第３プローブユニットＰＵ３に向かう方向である縦方向Ｄ３、Ｄ４のうち下側方向Ｄ４への位置移動および横方向Ｄ１、Ｄ２のうち右側方向Ｄ１への位置移動を通じて、対角線方向Ｄ５ｎｉ
位置移動され得るが、必ずしもこれに限定されるものではなく、対角線方向Ｄ５に直接移動されてもよい。
この時、複数の第１プローブブロックＰＢ１のうち、検査に必要なプローブブロックは第１プローブユニットＰＵ１上で横方向Ｄ１、Ｄ２のうち左側方向Ｄ２に向かって位置移動され得るが、ディスプレイパネルの電極パッドの配列状態により図面に図示された通り、位置変化がない場合もある。
また、第２プローブユニットＰＵ２は順序に関わらない第４プローブユニットＰＵ４に向かう方向である横方向Ｄ１、Ｄ２のうち左側方向Ｄ２への位置移動および縦方向Ｄ３、Ｄ４のうち下側方向Ｄ４への位置移動を通じて、対角線方向Ｄ５に位置移動され得るが、必ずしもこれに限定されるものではなく、対角線方向Ｄ５に直接移動されてもよい。
この時、複数の第２プローブブロックＰＢ２のうち検査に必要なプローブブロックは第２プローブユニットＰＵ２上で縦方向Ｄ３、Ｄ４のうち上側方向Ｄ３に位置移動され得るが、ディスプレイパネルの電極パッドの配列状態により図面に図示された通り、位置変化がない場合もある。
また、第３プローブユニットＰＵ３は順序に関わらない第１プローブユニットＰＵ１に向かう方向である縦方向Ｄ３、Ｄ４のうち上側方面Ｄ３への位置移動および横方向Ｄ１、Ｄ２のうち左側方向Ｄ２への位置移動を通じて、対角線方向Ｄ５に位置移動され得るが、必ずしもこれに限定されるものではなく、対角線方向Ｄ５に直接移動されてもよい。
この時、複数の第３プローブブロックＰＢ３のうち検査に必要なプローブブロックは第３プローブユニットＰＵ３上で横方向Ｄ１、Ｄ２のうち右側方向Ｄ１に位置移動され得るが、ディスプレイパネルの電極パッドの配列状態により図面に図示された通り、位置変化がない場合もある。
また、第４プローブユニットＰＵ４は順序に関わらない第２プローブユニットＰＵ２に向かう方向である横方向Ｄ１、Ｄ２のうち右側方向Ｄ１への位置移動および縦方向Ｄ３、Ｄ４のうち上側方面Ｄ３への位置移動を通じて、対角線方向Ｄ５に位置移動され得るが、必ずしもこれに限定されるものではなく、対角線方向Ｄ５に直接移動されてもよい。
この時、複数の第４プローブブロックＰＢ４のうち検査に必要なプローブブロックは第４プローブユニットＰＵ４上で縦方向Ｄ３、Ｄ４のうち下側方向Ｄ４に位置移動され得るが、ディスプレイパネルの電極パッドの配列状態により図面に図示された通り、位置変化がない場合もある。
前記第１プローブユニット ＰＵ１、前記第２プローブユニット ＰＵ２、前記第３プローブユニット ＰＵ３および前記第４プローブユニット ＰＵ４は風車の形状となるように位置移動され得るものである。
そして、検査に必要な前記第１プローブブロックＰＢ１および前記第３プローブブロックＰＢ３はディスプレイパネルの電極パッドの配列状態によりそれぞれ前記第１プローブユニットＰＵ１および前記第３プローブユニットＰＵ３上で互いに反対方向に位置移動され得、検査に必要な前記第２プローブブロックＰＢ２および前記第４プローブブロックＰＢ４はディスプレイパネルの電極パッドの配列状態によりそれぞれ前記第２プローブユニットＰＵ２および前記第４プローブユニットＰＵ４上で互いに反対方向に位置移動され得る。
もちろん、前述した通り、ディスプレイパネルの電極パッドの配列状態により前記第１プローブブロックＰＢ１、前記第２プローブブロックＰＢ２、前記第３プローブブロックＰＢ３および前記第４プローブブロックＰＢ４は位置変化がない場合もある。
前記のようなプローブユニットＰＵの位置移動およびプローブブロックＰＢの位置移動によって、複数の第１プローブブロックＰＢ１のうち一部、複数の第２プローブブロックＰＢ２のうち一部、複数の第３プローブブロックＰＢ３のうち一部および複数の第４プローブブロックＰＢ４のうち一部それぞれは、６５インチディスプレイパネルＤＰ１、ＤＰ２、ＤＰ３の第１電極パッド、第２電極パッド、第３電極パッドおよび第４電極パッドと対応する位置に正確に配置されることになる。
前記プローブユニットＰＵおよび前記プローブブロックＰＢの位置移動が完了すると、真空吸着モジュール１４０はマザーガラスパネルＭＰを構成する一番目の６５インチディスプレイパネルＤＰ１の第１電極パッド、第２電極パッド、第３電極パッドおよび第４電極パッドそれぞれが第１プローブブロックＰＢ１、前記第２プローブブロックＰＢ２、前記第３プローブブロックＰＢ３および前記第４プローブブロックＰＢ４の上部に位置するように移動することになる。
ここで、前記真空吸着モジュール１４０の位置移動は直線移動および／または回転移動などを含むことができ、それ以外に多様な方式の移動方式が適用されてもよい。
これによって、検査が必要なディスプレイパネルＤＰ１の多様な配置状態を具現することができる。
前記一番目の６５インチディスプレイパネルＤＰ１の第１電極パッド、第２電極パッド、第３電極パッドおよび第４電極パッドそれぞれが第１プローブブロックＰＢ１、前記第２プローブブロックＰＢ２、前記第３プローブブロックＰＢ３および前記第４プローブブロックＰＢ４の上部に位置することになると、図２２に図示された通り、前記真空吸着モジュール１４０の位置移動を通じて、一番目の６５インチディスプレイパネルＤＰ１の第１電極パッド、第２電極パッド、第３電極パッドおよび第４電極パッドそれぞれは第１プローブブロックＰＢ１、前記第２プローブブロックＰＢ２、前記第３プローブブロックＰＢ３および前記第４プローブブロックＰＢ４に接触して電気的接続が具現され、前記一番目の６５インチディスプレイパネルＤＰ１の不良の有無に対する検査が進行されることになる。
一方、前記一番目の６５インチディスプレイパネルＤＰ１の不良の有無に対する検査が完了すると、前記真空吸着モジュール１４０の位置移動を通じて、一番目の６５インチディスプレイパネルＤＰ１の第１電極パッド、第２電極パッド、第３電極パッドおよび第４電極パッドそれぞれと第１プローブブロックＰＢ１、前記第２プローブブロックＰＢ２、前記第３プローブブロックＰＢ３および前記第４プローブブロックＰＢ４の接触が解除されることになる。
その後、図２３に図示された通り、前記真空吸着モジュール１４０の位置移動を通じて、二番目の６５インチディスプレイパネルＤＰ２の第１電極パッド、第２電極パッド、第３電極パッドおよび第４電極パッドそれぞれと第１プローブブロックＰＢ１、前記第２プローブブロックＰＢ２、前記第３プローブブロックＰＢ３および前記第４プローブブロックＰＢ４の接触が具現されることになり、前記二番目の６５インチディスプレイパネルＤＰ２の不良の有無に対する検査が進行されることになる。
前記二番目の６５インチディスプレイパネルＤＰ２の不良の有無に対する検査が完了すると、前記真空吸着モジュール１４０の位置移動を通じて、二番目の６５インチディスプレイパネルＤＰ２の第１電極パッド、第２電極パッド、第３電極パッドおよび第４電極パッドそれぞれと第１プローブブロックＰＢ１、前記第２プローブブロックＰＢ２、前記第３プローブブロックＰＢ３および前記第４プローブブロックＰＢ４の接触が解除されることになる。
その後、図２４に図示された通り、前記真空吸着モジュール１４０の位置移動を通じて、三番目の６５インチディスプレイパネルＤＰ３の第１電極パッド、第２電極パッド、第３電極パッドおよび第４電極パッドそれぞれと第１プローブブロックＰＢ１、前記第２プローブブロックＰＢ２、前記第３プローブブロックＰＢ３および前記第４プローブブロックＰＢ４の接触が具現されることになり、前記三番目の６５インチディスプレイパネルＤＰ３の不良の有無に対する検査が進行されることになる。
前記三番目の６５インチディスプレイパネルＤＰ３の不良の有無に対する検査が完了すると、前記真空吸着モジュール１４０の位置移動を通じて、三番目の６５インチディスプレイパネルＤＰ３の第１電極パッド、第２電極パッド、第３電極パッドおよび第４電極パッドそれぞれと第１プローブブロックＰＢ１、前記第２プローブブロックＰＢ２、前記第３プローブブロックＰＢ３および前記第４プローブブロックＰＢ４の接触が解除されることになる。
その後、本発明に係るディスプレイパネル検査装置２００によって５５インチディスプレイパネルＤＰ４、ＤＰ５の不良の有無が検査されるように、前記制御ユニットは図２５に図示された通り、プローブブロックＰＢ１、ＰＢ２、ＰＢ３、ＰＢ４が前記５５インチディスプレイパネルＤＰ４、ＤＰ５に備えられた第１電極パッド、第２電極パッド、第３電極パッドおよび第４電極パッドと接触して電気的接続が可能であるようにプローブユニットＰＵ１、ＰＵ２、ＰＵ３、ＰＵ４およびプローブブロックＰＢ１、ＰＢ２、ＰＢ３、ＰＢ４を位置移動させることができる。
プローブユニットＰＵ１、ＰＵ２、ＰＵ３、ＰＵ４の位置移動およびプローブブロックＰＢ１、ＰＢ２、ＰＢ３、ＰＢ４の位置移動によって前記第１プローブブロックＰＢ１、前記第２プローブブロックＰＢ２、前記第３プローブブロックＰＢ３および前記第４プローブブロックＰＢ４それぞれは、５５インチディスプレイパネルＤＰ４、ＤＰ５の第１電極パッド、第２電極パッド、第３電極パッドおよび第４電極パッドと正確に対応する位置に移動されることになる。
前記プローブユニットＰＵ１、ＰＵ２、ＰＵ３、ＰＵ４および前記プローブブロックＰＢ１、ＰＢ２、ＰＢ３、ＰＢ４の位置移動が完了すると、真空吸着モジュール１４０はマザーガラスパネルＭＰを構成する一番目の５５インチディスプレイパネルＤＰ４の第１電極パッド、第２電極パッド、第３電極パッドおよび第４電極パッドそれぞれが第１プローブブロックＰＢ１、前記第２プローブブロックＰＢ２、前記第３プローブブロックＰＢ３および前記第４プローブブロックＰＢ４の上部に位置するように位置移動することになる。
ここで、前記真空吸着モジュール１４０の位置移動は直線移動および／または回転移動などを含むことができ、それ以外に多様な方式の移動方式が適用されてもよい。
前記一番目の５５インチディスプレイパネルＤＰ４の第１電極パッド、第２電極パッド、第３電極パッドおよび第４電極パッドそれぞれが第１プローブブロックＰＢ１、前記第２プローブブロックＰＢ２、前記第３プローブブロックＰＢ３および前記第４プローブブロックＰＢ４の上部に位置することになると、図２６に図示された通り、前記真空吸着モジュール１４０の位置移動を通じて、一番目の５５インチディスプレイパネルＤＰ４の第１電極パッド、第２電極パッド、第３電極パッドおよび第４電極パッドそれぞれは第１プローブブロックＰＢ１、前記第２プローブブロックＰＢ２、前記第３プローブブロックＰＢ３および前記第４プローブブロックＰＢ４に接触して電気的接続が具現され、前記一番目の５５インチディスプレイパネルＤＰ４の不良の有無に対する検査が進行されることになる。
一方、前記一番目の５５インチディスプレイパネルＤＰ４の不良の有無に対する検査が完了すると、前記真空吸着モジュール１４０の位置移動を通じて、一番目の５５インチディスプレイパネルＤＰ４の第１電極パッド、第２電極パッド、第３電極パッドおよび第４電極パッドそれぞれと第１プローブブロックＰＢ１、前記第２プローブブロックＰＢ２、前記第３プローブブロックＰＢ３および前記第４プローブブロックＰＢ４の接触が解除されることになる。
その後、図２７に図示された通り、前記真空吸着モジュール１４０の位置移動を通じて、二番目の５５インチディスプレイパネルＤＰ５の第１電極パッド、第２電極パッド、第３電極パッドおよび第４電極パッドそれぞれと第１プローブブロックＰＢ１、前記第２プローブブロックＰＢ２、前記第３プローブブロックＰＢ３および前記第４プローブブロックＰＢ４の接触が具現されることになり、前記二番目の５５インチディスプレイパネルＤＰ５の不良の有無に対する検査が進行されることになる。
前記二番目の５５インチディスプレイパネルＤＰ５の不良の有無に対する検査が完了すると、前記真空吸着モジュール１４０の位置移動を通じて、二番目の５５インチディスプレイパネルＤＰ５の第１電極パッド、第２電極パッド、第３電極パッドおよび第４電極パッドそれぞれと第１プローブブロックＰＢ１、前記第２プローブブロックＰＢ２、前記第３プローブブロックＰＢ３および前記第４プローブブロックＰＢ４の接触が解除されることになり、マザーガラスパネルに含まれたすべてのディスプレイパネルＤＰ１、ＤＰ２、ＤＰ３、ＤＰ４、ＤＰ５それぞれに対する不良の有無に対する検査が完了することになる。
前記のように、一つのマザーガラスパネルに形成されたすべてのディスプレイパネルＤＰ１、ＤＰ２、ＤＰ３、ＤＰ４、ＤＰ５の不良の有無に対する検査が完了すると、前記マザーガラスパネルＭＰは次の工程（例えば、封止工程など）のために移動することになり、他のマザーガラスパネルに対する検査工程は繰り返し進行されることになる。
図２８は、本発明に係るディスプレイパネル検査装置によってディスプレイパネルの不良の有無が検査される場合、使われないプローブブロックの位置移動を説明するための図面である。
図２８を参照すると、ディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行される場合、任意のプローブユニット上の複数のプローブブロックのうち一部は検査に使われないことがある。
以下では、任意のプローブユニット上の複数のプローブブロックのうち、最外側に位置したプローブブロックＰＢＸのみが検査に使われない場合を例に挙げて説明するが、検査に使われないプローブブロックが複数である場合にも同一に適用可能である。
特定の大きさのディスプレイパネルを検査する場合、任意のプローブユニット上の複数のプローブブロックのうち複数の電極パッドに接触しなければならないプローブブロックが一部である場合、前記複数のプローブブロックのうち残りのプローブブロックＰＢＸは、前記複数のプローブブロックのうち前記一部のプローブブロックが、前記複数の電極パッドに接触して前記不良の有無に対する検査が進行されるディスプレイパネル以外の前記マザーガラスパネル上の他のディスプレイパネルとの接触が防止されるように、位置移動され得る。
具体的には、プローブブロックＰＢＸは前記プローブユニットＰＵに装着されるプローブボディ部ＰＢＸ１、および上部または下部に向かって位置移動可能に前記プローブボディ部ＰＢＸ１に装着され、プローブを具備するプローブ可変部ＰＢＸ２を具備することができ、前記プローブ可変部ＰＢＸ２は前記残りのプローブブロックに該当する場合、前記プローブボディ部ＰＢＸ１から下部に向かって移動されて、前記マザーガラスパネル上の他のディスプレイパネルとの接触が防止され得る。
ここで、前記プローブボディ部ＰＢＸ１上での前記プローブ可変部ＰＢＸ２の位置移動方法はアクチュエータなどの駆動方法が適用され得るが、必ずしもこれに限定されるものではなく、公知の駆動方法をすべて適用することができる。
前記では本発明に係る実施例を基準として本発明の構成と特徴を説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明の思想と範囲内で多様に変更または変形できることは本発明が属する技術分野の当業者に明白なものであり、したがって、このような変更または変形は添付された特許請求の範囲に属するものと言える。

Claims (9)

  1. マザーガラスパネルの一面が上部を向いた正常状態で前記マザーガラスパネルの他面を吸着して固定させるためのステージモジュールと、
    ここで、前記マザーガラスパネルの一面は有機発光層の形成のための有機物層が蒸着された少なくとも一種類以上のディスプレイパネルが備えられ、前記ステージモジュールは、前記マザーガラスパネルが前記正常状態で前記一面が下部を向いた状態である逆転状態となるように回転し、
    前記ステージモジュール上で前記正常状態から前記逆転状態に状態が変化した前記マザーガラスパネルの前記他面を吸着した後、前記マザーガラスパネルを前記逆転状態を維持しながら前記ディスプレイパネルの不良の有無に対する検査のための第１位置に移動させるための移送モジュールと、
    プローブブロックが装着されたプローブユニットとの相互作用によって前記ディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行されるようにするための真空吸着モジュールと、
    前記移送モジュールによって前記第１位置に移動された前記マザーガラスパネルの前記他面を吸着した後、前記逆転状態を維持しながら第２位置に移動させて、前記真空吸着モジュールによって前記マザーガラスパネルが前記逆転状態を維持しながら前記他面が吸着されるようにして、前記相互作用による前記ディスプレイパネルの不良の有無が検査されるようにするピッカーモジュールと、
    を含む、マザーガラスパネル移送装置。
  2. 前記真空吸着モジュールは、
    前記マザーガラスパネルを前記逆転状態に維持した状態で位置移動を通じて、前記ディスプレイパネルの電極パッドと前記プローブブロックが接触するようにして、前記逆転状態で前記ディスプレイパネルの不良の有無に対する検査が進行されるようにすることを特徴とする、請求項１に記載のマザーガラスパネル移送装置。
  3. 前記移送モジュールは、
    前記ピッカーモジュールによって前記他面が吸着されると、吸着を解除して前記マザーガラスパネルから分離された後、元の位置に位置移動されることを特徴とする、請求項１に記載のマザーガラスパネル移送装置。
  4. 前記第２位置は、
    前記第１位置を基準として前記ピッカーモジュールによって前記真空吸着モジュールまで上昇した位置であることを特徴とする、請求項１に記載のマザーガラスパネル移送装置。
  5. 前記ステージモジュールは、
    前記正常状態で前記マザーガラスパネルの前記他面を吸着するものの、前記マザーガラスパネルが自重によって中央部が垂れないようにするための複数のステージユニットを含み、
    前記複数のステージユニットは、
    それぞれ互いに離隔するように配置された間に第１空間が形成されるようにすることを特徴とする、請求項１に記載のマザーガラスパネル移送装置。
  6. 前記移送モジュールは、
    前記ステージモジュールが回転して前記マザーガラスパネルが前記正常状態から前記逆転状態に状態変化した場合、前記第１空間に挿入されて前記逆転状態で配置される前記マザーガラスパネルの前記他面を吸着するものの、前記マザーガラスパネルが自重によって中央部が垂れないようにするための複数の移送ユニットを含むことを特徴とする、請求項５に記載のマザーガラスパネル移送装置。
  7. 前記ピッカーモジュールは、
    第３位置に位置した状態で、下降によって前記真空吸着モジュールを通過した後、前記第１位置に移動されて前記移送モジュールによって前記第１位置に移動された前記マザーガラスパネルの前記他面を吸着した後、上昇によって前記第２位置に移動されて前記真空吸着モジュールによって前記マザーガラスパネルの前記他面が吸着されるようにすることを特徴とする、請求項１に記載のマザーガラスパネル移送装置。
  8. 前記ピッカーモジュールは、
    前記マザーガラスパネルの前記他面を均一に吸着できるように互いに離隔して配置される複数のピッカーユニットを含むことを特徴とする、請求項７に記載のマザーガラスパネル移送装置。
  9. 前記ピッカーモジュールは、
    前記第２位置に移動された前記マザーガラスパネルの前記他面が前記真空吸着モジュールによって吸着されると、吸着を解除して前記マザーガラスパネルから分離された後、前記第３位置に復帰することを特徴とする、請求項７に記載のマザーガラスパネル移送装置。

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