JP2001337111A

JP2001337111A - プローブシート及びこれを用いたプローブ装置

Info

Publication number: JP2001337111A
Application number: JP2000160284A
Authority: JP
Inventors: Yuko Furukawa; 雄康古川; Mitsunori Kasai; 満範葛西; Toru Ishimura; 亨石村
Original assignee: Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 2000-05-30
Filing date: 2000-05-30
Publication date: 2001-12-07
Anticipated expiration: 2020-05-30
Also published as: JP4455733B2

Abstract

(57)【要約】【目的】検査装置に対する接触部の位置を容易に
調整し得ること【解決手段】プローブシートは、ガラス板に、複数の
配線を第１の方向に間隔をおいて第1の方向と交差する
第２の方向へ伸びる状態に形成すると共に、複数のアラ
イメントマークを第１の方向に間隔をおいて形成し、各
配線に被検査体の電極に接触される接触部を形成してい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネル、集積
回路等の平板状被検査体の検査に用いるプローブシート
及びプローブ装置に関し、特に液晶パネルの検査に好適
なプローブシート及びプローブ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】集積回路、液晶パネル等の平板状被検査
体は、一般に、プローブカードのようなプローブ装置を
用いて検査される。この種のプローブ装置の１つとし
て、互いに平行に伸びる複数の配線を電気絶縁性のフィ
ルム又はガラス板の一方の面に形成し、各配線の一部を
被検査体の電極への接触部として利用するプローブシー
トを用いるものがある。そのようなプローブシートは、
平坦であることから、面プローブとも称されている。

【０００３】プローブシートを用いたプローブ装置は、
金属細線から形成されたプローブを用いたニードルタイ
プのプローブ装置や、ブレード状のプローブを用いたブ
レードタイプのプローブ装置に比べ、針立て作業が不要
であることから、製作が容易で、廉価になる。

【０００４】プローブシートを用いたプローブ装置は、
種々提案され、実用に供されている。そのようなプロー
ブ装置は、一般に、１以上のプローブシートを基板に組
み付けている。また、被検査体の大きさ、被検査体の電
極数、電極の配置ピッチ等は被検査体の種類に応じて異
なることから、被検査体の種類に応じたプローブ装置が
検査装置に組み付けられる。

【０００５】

【解決しようとする課題】しかし、従来のプローブ装置
では、プローブ装置が検査装置に正しく組み付けられて
いない場合や、プローブ装置又はプローブシートが熱伸
縮をした場合に、検査装置に対するプローブ要素（特
に、接触部）の座標位置が不正確になり、その結果プロ
ーブ要素が被検査体の電極に正しく接触せず、正しい検
査（試験）をすることができない。

【０００６】プローブシート及びこれを用いたプローブ
装置においては、検査装置に対する接触部の位置を容易
に調整し得ることが重要である。

【０００７】

【解決手段、作用及び効果】本発明に係るプローブシー
トは、ガラス板と、該ガラス板に第１の方向に間隔をお
いて該第1の方向と交差する第２の方向へ伸びる状態に
形成された複数の配線であって被検査体の電極に接触さ
れる接触部を備える配線と、前記第１の方向に間隔をお
いて前記ガラス板に形成された複数のアライメントマー
クとを含む。

【０００８】本発明に係るプローブ装置は、プローブシ
ートと、該プローブシートが装着された下面を有する取
付部を備えるプローブホルダと、複数のテレビカメラと
を含む。前記プローブシートは、ガラス板と、該ガラス
板に第１の方向に間隔をおいて該第1の方向と交差する
第２の方向へ伸びる状態に形成された複数の配線であっ
て被検査体の電極に接触される接触部を備える配線と、
前記第１の方向に間隔をおいて前記ガラス板に形成され
た複数のアライメントマークであって前記テレビカメラ
により撮影されるアライメントマークとを含む。

【０００９】アライメントマークは、プローブシートを
用いたプローブ装置が検査装置に組み付けられた状態に
おいて、プローブ装置のテレビカメラにより撮影され
る。検査装置上におけるアライメントマークの座標位置
は、テレビカメラの出力信号を用いて求められる。求め
た座標位置は、検査用ソフトウエアにおける座標位置の
調整に用いられる。これにより、検査装置に対する接触
部の位置が調整される。

【００１０】上記のように、本発明によれば、シート状
部材としてガラス板を用い、複数のアライメントマーク
をガラス板に第１の方向に間隔をおいて形成したから、
検査装置に対する接触部の位置を容易に調整することが
できる。

【００１１】前記接触部は前記配線から突出する１以上
の突起電極を含むことができる。そのようにすれば、配
線を被検査体の電極に接触させることなく、突起電極を
被検査体の電極に確実に接触させることができる。

【００１２】前記接触部は、前記配線から突出する複数
の突起電極であって前記配線からの突出量が異なる複数
の突起電極を含むことができる。そのようにすれば、突
出量の大きい突起電極に摩耗が生じると、突出量の小さ
い突起電極が被検査体の電極に接触するようになるか
ら、プローブシートの寿命が長くなる。

【００１３】各配線の前記突起電極は対応する配線の長
手方向に間隔をおいていることができる。そのようにす
れば、突出量の大きい突起電極に摩耗が生じると、突出
量の小さい突起電極が被検査体の電極に確実に接触す
る。

【００１４】前記接触部は前記ガラス板の一方の面に形
成されており、プローブシートは、さらに、前記ガラス
板の他方の面を覆う樹脂層を含むことができる。そのよ
うにすれば、ガラス板が樹脂層により補強される。

【００１５】前記ガラス板が矩形の平面形状を有してお
り、前記配線が前記矩形の対向する一対の縁部の一方か
ら他方へ伸びており、前記接触部は前記配線の一端部に
形成されており、前記プローブシートは前記接触部の部
位を前記第２の方向における前記プローブホルダの一端
部から突出させており、前記ガラス板及び前記配線を透
明とすることができる。そのようにすれば、プローブホ
ルダからのプローブシートの突出領域を介してプローブ
シートの配線と被検査体の電極との位置関係を確認する
ことができる。

【００１６】プローブ装置は、さらに、前記接触部の配
置箇所を被検査体の電極に向けて変位させる力を前記プ
ローブシートに作用させる押圧機構を備えることができ
る。そのようにすれば、プローブシートの接触部と被検
査体の電極とが相対的に押圧されたとき、プローブシー
トの接触部の配置領域がその後方の領域に対し大きく曲
げられることが防止される。

【００１７】プローブ装置は、さらに、前記プローブホ
ルダが着脱可能に配置されたプローブベースと、前記第
２の方向における一端部及び他端部を有するアームであ
って前記他端部が前記プローブベースの上側となる状態
に及び前記第１の方向へ伸びる軸線の周りに枢軸運動可
能に前記他端部において前記プローブベースに結合され
たアームを含み、前記押圧機構は前記アームの一端部に
配置されていることができる。そのようにすれば、プロ
ーブベースに対するプローブホルダの着脱時、アームを
プローブホルダの着脱の妨げにならない位置に変位させ
ることができる。

【００１８】プローブ装置は、さらに、前記プローブホ
ルダに配置されたタブであって前記プローブシートの配
線に接続された集積回路を備えるタブと、前記集積回路
を介して前記プローブシートの配線に接続された複数の
第２の配線を備えるフラットケーブルとを含むことがで
きる。そのようにすれば、プローブシートが配線をガラ
ス板に形成していることとあいまって、タブとフラット
ケーブルとを熱圧着することができるのみならず、プロ
ーブシートとタブとを熱圧着することができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】図１から図６を参照するに、プロ
ーブ装置１０は、一部を図３及び図４に示す液晶パネル
１２の検査装置、特に点灯すなわち通電検査装置にプロ
ーブユニットとして用いられる。本発明においては、液
晶パネル１２側を前方といい、それと反対側を後方とい
う。

【００２０】液晶パネル１２は、長方形の形状をしてお
り、また帯状をした複数の電極１４（図３及び図６参
照）を長方形の１以上の辺に対応する縁部に所定のピッ
チで形成している。このため、検査装置は、電極が設け
られた液晶パネル１２の縁部毎に図示のような１以上の
プローブ装置１０を備えている。液晶パネル１２は、ま
た、十字状のアライメントマーク１６（図５参照）を電
極の配列方向（第1の方向）における各端部に有する。

【００２１】プローブ装置１０は、プローブブロック２
０を含む。プローブブロック２０は、図示の例では、プ
ローブシート２２と、プローブシート２２に接続された
複数の第１の接続シート２４と、各第１の接続シート２
４に接続された第２の接続シート２６と、それらシート
２２，２４及び２６が装着されたプローブホルダ２８と
により形成されている。

【００２２】プローブシート２２は、左右方向（第１の
方向）に間隔をおいて前後方向（第２の方向）へ伸びる
複数の配線３０を印刷配線技術によりガラス板３２の一
方の面に形成したフィルム状プローブユニット（面プロ
ーブ）である。プローブシート２２は、平面的にみて配
線３０の配列方向（第１の方向）に長い長方形の形状を
有する。図示の例では、液晶パネル１２の１つの縁部に
設けられた電極の数と同数の配線３０がガラス板３２に
形成されている。

【００２３】各配線３０は、帯状の形をしており、また
ガラス板３２の幅方向（前後方向＝第２の方向）におけ
る一端（前端）から他端（後端）まで伸びている。配線
３０の配列ピッチは、液晶パネル１２の電極の配列ピッ
チと同じである。各配線３０は、インジウムとすずとの
合金酸化膜（ＩＴＯ）のような透明電極とすることがで
きる。配線３０は、第１の接続シート２４に対応された
複数の配線群に分けられており、配線群毎に対応する第
１の接続シート２４に接続されている。

【００２４】プローブシート２２は、また、第２の方向
に間隔をおいた複数の接触子３４を各配線３０の前端部
に有する。各接触子３４は、ニッケルのような導電性金
属材料から形成されており、また図示の例では角錐状の
突起電極である。各配線３０からの接触子３４の突出高
さは、図６に示すように互いに異なる。

【００２５】ガラス板３２は、液晶パネル１４のガラス
基板と同様に、透明な強化ガラスから形成されており、
また他方の面をポリイミドのような透明の樹脂層３６に
より覆われている。この樹脂層３６により、ガラス板３
２の破損が防止され、プローブシート２２が補強されて
いる。

【００２６】ガラス板３２は、十字状をしたアライメン
トマーク３８を長手方向（第１の方向）の各端部に有す
る。アライメントマーク３８は、後に説明するテレビカ
メラ４０（図５参照）により撮影可能である。液晶パネ
ル１２に設けられたアライメントマーク１６も、テレビ
カメラ４０により撮影可能である。

【００２７】第１の接続シート２４は、帯状をした複数
の配線４２及び４４を印刷配線技術によりポリイミドの
ような電気絶縁性フィルム４６の一方の面に形成したタ
ブ（ＴＡＢ＝テープ自動化実装）であり、また配線４
２，４４に電気的に接続された駆動用集積回路４８を一
方の面に有する。

【００２８】各第１の接続シート２４の各配線４２は、
プローブシート２２の配線３０に一対一の形に対応され
ており、対応する配線３０の後端部に電気的に接続され
ている。集積回路４８は、液晶パネル１２の駆動に用い
られ、駆動用制御信号を配線４４から受けて、駆動信号
を配線４２に出力する。プローブシート２２と第１の接
続シート２４とは、加熱圧着、接着等の適宜な手法によ
り接合することができる。

【００２９】第２の接続シート２６は、帯状をした複数
の配線５０を印刷配線技術によりポリイミドのような電
気絶縁性フィルム５２の一方の面に形成したフレキシブ
ル印刷配線板（ＦＰＣ）又はフラットケーブル（ＦＦ
Ｃ）である。各第２の接続シート２６の各配線５０は、
第１の接続シート２４の配線４４に一対一の形に対応さ
れており、対応する配線４４の後端部に電気的に接続さ
れている。第１及び第２の接続シート２４及び２６も、
加熱圧着、接着等の適宜な手法により接合することがで
きる。

【００３０】プローブホルダ２８は、プローブシート２
２の長手方向（第１の方向）に長い厚板状のブロックで
あり、電気絶縁材料から形成されている。シート２２，
２４，２６は、プローブホルダ２８の下面に配置され
て、接着、ねじ止め等の適宜な手法によりプローブホル
ダ２８に装着されている。

【００３１】プローブシート２２は、接触子３４の配置
領域がプローブホルダ２８から液晶パネル１２側（前
方）に突出し、アライメントマーク３８の形成箇所がプ
ローブホルダ２８から第１の方向に突出し、樹脂層３６
がプローブホルダ２８側となる状態に、プローブホルダ
２８に装着されている。

【００３２】第１の接続シート２４は、配線４２，４４
及び集積回路４８がプローブホルダ２８側下側となる状
態に、フィルム４６においてプローブホルダ２８に装着
されている。第２の接続シート２６は、フィルム５２が
プローブホルダ２８側となる状態に、フィルム５２にお
いてプローブホルダ２８に装着されている。配線３０，
４２の電気的接続及び配線４４,５０の電気的接続は、
配線同士を直接接触させることにより行ってもよいし、
導電性部材を介して行ってもよい。

【００３３】各配線３０の前端部、その前端部に対応す
るガラス板３２の部位及び接触子３４は、プローブ要素
として作用する。したがって、プローブシート２２の前
端部、特に接触子３４が形成された領域は、プローブ領
域として作用し、またプローブホルダ２８から前方へ突
出されている。

【００３４】プローブホルダ２８は、複数のねじ部材５
４（図３参照）により板状のプローブベース５６の下面
に組み付けられている。プローブベース５６は、検査装
置のフレーム（図示せず）に組み付けられる。

【００３５】プローブ装置１０は、また、プローブベー
ス５６に連結されたアーム５８と、アーム５８の前端部
に配置されてプローブシート２２の前端部を下方へ押す
る押圧機構６０と、押圧機構６０がプローブシート２２
を押圧している状態に解除可能にアーム５８を維持する
複数のねじ部材６２とを含む。プローブシート２２の前
端部は押圧機構６０からさらに前方へ突出されている。

【００３６】アーム５８は、プローブシート２２の幅方
向（第２の方向）における一端部（前部）及び他端部
（後部）によりほぼへ字状の形をしており、また第１の
方向へ伸びる枢軸６４と第１の方向へ間隔をおいた一対
のブラケット６６とにより他端部においてプローブベー
ス５６に結合されている。

【００３７】アーム５８の一端部はプローブホルダ２８
及びプローブベース５６の前側を斜め上下方向へ伸びて
おり、またアーム５８の他端部はプローブベース５６の
上側に位置している。ブラケット６６は、プローブベー
ス５６に設けられている。ねじ部材６２は、プローブベ
ース５６に形成されたねじ穴に螺合されている。

【００３８】図３及び図４に示すように、押圧機構６０
は、アーム５８の前端部下側に配置された角柱状のベー
ス部材６８と、アーム５８の前端部を上下方向に貫通し
てベース部材６８に螺合する１以上の調整ねじ７０と、
アーム５８とベース部材６８との間に配置されてベース
部材６８をアーム５８に対し下方へ付勢する一対以上の
第１の弾性体７２と、ベース部材６８の下面に配置され
てプローブシート２２の前端部上面に接触する第２の弾
性体７４と、調整ねじ７０を間にして左右方向に間隔を
おいて上下方向へ伸びる一対以上のガイドピン７６とを
備える。

【００３９】図示の例では、３つの調整ねじ７０と、三
対の第１の弾性体７２と、三対のガイドピン７６とが備
えられている。第１の弾性体７２は、ガイドピン７６毎
に備えられている。調整ねじ７０は、接触子３４が電極
１４に押圧されない状態において、プローブシート２２
を変形させないように、調整されている。

【００４０】ベース部材６８は、第１の方向へ伸びてお
り、また調整ねじ７０及びガイドピン７６によりアーム
５８に上下方向へ移動可能に組み付けられている。ガイ
ドピン７６は、アーム５８及びベース部材６８のいずれ
か一方に支持されていると共にアーム５８及びベース部
材６８の他方に上下方向へ相対的移動可能に受け入れら
れており、また第１の弾性体７２を貫通して伸びてい
る。

【００４１】第１の弾性体７２は、図示の例では圧縮コ
イルばねであるが、ゴムのような他の部材であってもよ
い。第２の弾性体７４は、シリコーンゴムのような弾性
材料により厚い板状に形成されており、またベース部材
６８に第１の方向へ伸びる状態に組み付けられている。

【００４２】図５に示すように、アライメントマーク１
６，３８は、プローブ装置１０と液晶基板１２との位置
関係が正し場合に一致する位置に形成されている。アラ
イメントマーク１６と電極１４とは、それらが所定の位
置関係を有するように、形成されている。同様に、アラ
イメントマーク３８と配線３０（特に、接触子３４）と
は、それらが所定の位置関係を有するように、形成され
ている。

【００４３】図５に示すように、テレビカメラ４０は、
アライメントマーク１６，３８の対毎に備えられてお
り、また鏡筒８０を介してアライメントマーク１６，３
８を選択的に又は同時に撮影するように、プローブベー
ス５６に配置されている。

【００４４】プローブシート２２は、プローブホルダ２
８に装着された状態において、アライメントマーク３８
がプローブホルダ２８及び押圧機構６０により隠蔽され
ないように、アライメントマーク３８の位置をプローブ
ホルダ２８及び押圧機構６０から第１の方向に突出させ
ており、また前端部を押圧機構６０から前方に突出させ
ている。

【００４５】検査に先立って、プローブ装置１０とこれ
を用いる検査装置とのアライメントが行われる。このア
ライメントは、例えば、先ずプローブ装置１０が検査装
置に組み付けられた状態において、プローブシート２２
のアライメントマーク３８をテレビカメラ４０により撮
影し、次いでテレビカメラ４０の出力信号を基に検査装
置上におけるアライメントマーク３８の座標位置を求
め、次いで求めた座標位置を基に検査用ソフトウエアに
おけるアライメントマーク３８の座標位置調整又は変更
することにより、行うことができる。これにより、検査
用ソフトウエアにおける検査装置に対する接触子３４の
座標位置が見かけ上修正される。

【００４６】そのような検査用ソフトウエア上における
アライメントは、検査装置に組み付けるプローブ装置１
０を交換したとき、一定期間毎、液晶パネルの検査毎
等、所定の機会に行われる。しかし、検査装置に対する
接触子３４の位置は、上記のようにアライメントマーク
３８を利用して、容易に調整することができる。

【００４７】また、液晶パネル１２の実際の検査に先立
って、プローブ装置１０に対する液晶パネル１２のアラ
イメントが行われる。このアライメントは、アライメン
トマーク１６，３８を交互に撮影しつつ、アライメント
マーク１６，３８の位置がテレビカメラ４０により撮影
した画像内において一致するように、液晶パネル１２を
プローブシート２２に対して二次元的に移動させことに
より、行うことができる。このアライメントは、液晶基
板１２を交換するたびに行われる。

【００４８】検査時、先ずプローブ装置１０と液晶パネ
ル１２とが相寄る方向へ相対的に移動される。これによ
り、図６（Ａ）に示すように、１以上の接触子３４が液
晶パネル１２の電極１４に接触される。この時点におい
ては、プローブシート２２は液晶パネル１２に対しわず
かに傾いており、１又はそれ以上の接触子３４は電極に
接触していない。しかし、接触子３４が配線３０の下方
から突出しているから、接触子３４は電極１４に接触す
るが，配線３０は電極に接触しない。

【００４９】次いで、プローブ装置１０と液晶パネル１
２とがさらに相寄る方向へ相対的に移動される。これに
より、図６（Ｂ）に示すように、プローブシート２２の
上方への湾曲が押圧機構６０により阻止された状態で、
オーバードライブがプローブシート２２の先端部すなわ
ちプローブ領域に作用するから、プローブシート２２が
弾性体７２の力に抗してわずかに弾性変形し、１以上の
接触子３４が電極１４に押圧される。

【００５０】プローブシート２２の接触子３４が液晶パ
ネル１２の電極１４に押圧されたとき、アーム５８及び
押圧機構６０は、プローブシート２２の前端部（接触子
３４の配置領域）がその後方の領域に対し大きく曲げら
れることを防止する。また、プローブシート２２の接触
子３４が液晶パネル１２の電極１４に押圧されたとき、
弾性体７４が弾性変形するから、接触子３４と電極１４
との間の接触圧（針圧）が大きくなる。

【００５１】プローブシート２２がオーバードライブに
より湾曲されると、１以上の接触子３４は電極１４に接
触している状態で電極１４に対し滑る。これにより、電
極１４の表面の酸化膜が掻き取られ、電極１４と接触子
３４との間の電気的接続状態が良好になる。

【００５２】プローブ装置１０と液晶パネル１２とを相
寄る方向へ相対的に移動させるとき、プローブシート２
２の突出領域を介してプローブシート２２の配線３０と
液晶パネル１２の電極１４との位置関係を肉眼で又は適
宜なテレビカメラを用いて確認することができる。

【００５３】上記の状態で各配線３０に通電されて、液
晶パネル１２の検査が行われる。検査が終了すると、プ
ローブ装置１０と液晶パネル１２との相対的な押圧が解
除され、これによりプローブシート２２の前端部は元の
形状に戻る。

【００５４】液晶パネル１２の検査を繰り返すと、図６
（Ｃ）に示すように、配線３０からの突出量の大きい接
触子３４が摩耗し、配線３０からの突出量の小さい接触
子３４が配線３０に接触し始める。このため、いずれか
の接触子３４が電極１４に確実に接触し、プローブシー
ト２２の寿命が長くなる。

【００５５】配線３０、ガラス板３２及び樹脂層３６が
透明であると、液晶パネル１２をプローブシート２２に
対し位置決めるとき、プローブシート２２の配線３０と
液晶パネル１２の電極１４との位置関係を、プローブホ
ルダ２８及び押圧機構６０から前方へ突出するプローブ
シート２２の前端部を通して確認することができる。ま
た、液晶パネル１２のアライメントマーク１６を、プロ
ーブホルダ２８及び押圧機構６０から第１の方向へ突出
するプローブシート２２の領域を通して確認することが
できるし、テレビカメラ４０により撮影することができ
る。

【００５６】プローブブロック２０をプローブベース５
６から外すときは、先ずねじ部材６２がプローブベース
５６から外され、次いでねじ部材５４の頭部が上方に露
出する位置までアーム５８が立ち上げられ、次いで、プ
ローブブロック２０がプローブブロック２０から取り去
られる。

【００５７】プローブブロック２０をプローブベース５
６に装着するときは、プローブブロック２０が上記のよ
うにプローブベース５６から外され、次いでねじ部材５
４が新たなプローブブロック２０にねじ込まれ、次いで
アーム５８が下げられ、ねじ部材６２がプローブベース
５６にねじ込まれる。

【００５８】プローブブロック２０が新たにプローブベ
ース５６に装着された状態において、押圧機構６０の弾
性体７４は、プローブシート２２の先端部に当接してお
り、また押圧機構６０によるプローブシート２２の押圧
力が調整ねじ７０により調整調整される。その後、新た
なプローブブロック２０のアライメントマーク３８を利
用するアライメントが行われる。

【００５９】上記のようにねじ部材５４，６２の締め緩
めをすることにより、プローブブロック２０をプローブ
ベース５６に対し着脱することができると、プローブベ
ース５６へのプローブブロック２０の着脱作業が容易に
なる。また、アーム５８を上げた状態で、プローブベー
ス５６に対するプローブブロック２０の着脱作業を行う
ことができると、アーム５８及び押圧機構６０はプロー
ブブロック２０の着脱の妨げにならない。

【００６０】図７に示すように、複数のプローブ要素か
らなるプローブ要素群（プローブ領域）を区画するスリ
ット７８をガラス板３２及び樹脂層３６に形成してもよ
い。また、接触子３４は、半球状、短い円柱状、短い多
角柱状、直方体状、リング状等、他の形状を有する電極
であってもよい。

【００６１】図１に示す実施例においては、プローブシ
ート２２は、隣り合うプローブ要素が分離されていない
から、プローブ領域が変形する際、プローブ要素の左右
方向への変位を弾性体７４により阻止される。

【００６２】これに対し、図７に示す実施例において
は、隣り合うプローブ領域がスリット７８により分離さ
れているから、プローブシート２２のプローブ領域が弾
性変形するとき、隣り合うプローブ領域が独立して変形
する。この際、各プローブ要素は、弾性体７４の対応す
る箇所を圧縮変形させつつ、弾性変形するから、プロー
ブ要素の第１の方向への変位を、隣り合うプローブ要素
の先端が切り離されていないことと相まって、弾性体７
４により阻止される。

【００６３】上記の実施例においては、プローブシート
２２が液晶パネル１２の１つの縁部に形成された電極１
４と同数の配線３０を有するから、検査装置は、電極１
４が設けられた液晶パネル１２の各縁部に１つのプロー
ブ装置１０が配置される。

【００６４】しかし、液晶パネル１２の１つの縁部に形
成された電極１４の数より少ない複数の配線（例えば、
１つの第１の接続シート２４に接続された配線）を備え
るプローブシートとし、そのようなプローブシートを用
いた複数のプローブ装置１０を電極１４が設けられた液
晶パネル１２の縁部に配置してもよい。この場合、複数
のプローブ装置１０は、図８に示すように、共通のプロ
ーブベース５６に装着することができる。

【００６５】第１及び第２の方向におけるプローブブロ
ック２０とプローブベース５６とを機械的に位置決める
ストッパ及びこれが当接するストッパ面をプローブブロ
ック２０及びプローブベース５６に設けておくことが好
ましい。

【００６６】また、プローブシート２２の前端部を上記
実施例のように押圧機構６０から前方へ突出させるなら
ば、上記したように、プローブシート２２の配線３０と
液晶パネル１２の電極１４との位置関係をプローブシー
ト２２の前端部を通して確認することができる、という
利点を得ることができる。しかし、プローブシート２２
の前端部をそのように突出させなくてもよい。

【００６７】ガラスは、ポリイミドのような合成樹脂製
のフィルムに比べ、温度変化、経時変化、環境変化等に
よる寸法変化が著しく小さい。そのようなガラス板３２
を用いたプローブシート２２は、配線の配列ピッチ、ア
ライメントマークと配線との相対的位置関係等、各種の
寸法が長期間安定である。また、プローブシート２２と
接続シート２４とを加熱圧着により接合しても、それに
よる寸法変化はほとんど生じない。

【００６８】本発明は、液晶パネルの検査装置に用いる
プローブシート及びプローブ装置に適用すると、ガラス
板３２として、液晶パネル１２のガラス基板と同じ材質
で同じ性状を有するガラス板とすることにより、温度変
化のような環境変化に対する変形量が液晶パネル１２の
ガラス基板とガラス板３２とで同じになる、という利点
を有し、好適である。しかし、本発明は、集積回路のよ
うな他の平板状被検査体の検査に用いるプローブシート
及びプローブ装置にも適用することができる。

【００６９】本発明は、水平に配置された被検査体用の
プローブシート及びプローブ装置のみならず、斜めに傾
斜された被検査体用のプローブシート及びプローブ装置
にも適用することができる。後者の場合、上下方向は斜
めの方向となる。

【００７０】本発明は、上記実施例に限定されない。本
発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るプローブシートの一実施例を示す
斜視図

【図２】図１に示すプローブシートの一部を詳細に示す
平面図

【図３】本発明に係るプローブ装置の一実施例を示す断
面図

【図４】図３に示すプローブ装置の斜視図

【図５】図３に示すプローブ装置の一部を詳細に示す斜
視図

【図６】プローブシートの作用を説明するための図

【図７】プローブシートの他の実施例を示す斜視図

【図８】プローブ装置の他の実施例を示す図

【符号の説明】

１０プローブ装置１２液晶パネル１４液晶パネルの電極１６液晶パネルのアライメントマーク２０プローブブロック２２プローブシート２４第１の接続シート（タブ）２６第２の接続シート（ＦＰＣ）２８プローブホルダ３０プローブシートの配線３２プローブシートのガラス板３４接触子（突起電極）３６樹脂層３８プローブシートのアライメントマーク４０テレビカメラ４２，４４，５０接続シートの配線４６，５２接続シートのフィルム４８駆動用集積回路５６プローブベース５８アーム６０押圧機構６８ベース部材７０調整ねじ７２，７４弾性体７６ガイドピン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ０２Ｆ 1/1345 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｂ４Ｍ１０６Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｇ０１Ｒ 31/28 Ｋ (72)発明者石村亨東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号株式会社日本マイクロニクス内Ｆターム(参考） 2G011 AA21 AB06 AC14 AD01 AE01 AF06 2G014 AA00 AB21 AB59 AC10 AC12 2G032 AA00 AF01 AK04 AL03 2H088 FA12 FA13 FA16 FA30 HA02 HA06 2H092 GA41 GA57 JB77 MA35 MA57 PA06 4M106 AA01 AA20 BA01 CA01 DD04 DD05 DD10 DD12 DD13

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ガラス板と、該ガラス板に第１の方向に
間隔をおいて該第1の方向と交差する第２の方向へ伸び
る状態に形成された複数の配線であって被検査体の電極
に接触される接触部を備える配線と、前記第１の方向に
間隔をおいて前記ガラス板に形成された複数のアライメ
ントマークとを含む、プローブシート。
【請求項２】前記接触部は前記配線から突出する１以
上の突起電極を含む、請求項１に記載のプローブシー
ト。
【請求項３】前記接触部は、前記配線から突出する複
数の突起電極であって前記配線からの突出量が異なる複
数の突起電極を含む、請求項１又は２に記載のプローブ
シート。
【請求項４】各配線の前記突起電極は対応する配線の
長手方向に間隔をおいている、請求項３に記載のプロー
ブシート。
【請求項５】前記ガラス板は矩形の平面形状を有して
おり、前記配線は前記矩形の対向する一対の縁部の一方から他
方へ伸びており、前記接触部は前記配線の一端部に形成されている、請求
項１から４のいずれか１項に記載のプローブシート。
【請求項６】前記ガラス板及び前記配線は透明であ
る、請求項５に記載のプローブシート。
【請求項７】前記接触部は前記ガラス板の一方の面に
形成されており、プローブシートは、さらに、前記ガラス板の他方の面を
覆う樹脂層を含む、請求項１から５のいずれか１項に記
載のプローブシート。
【請求項８】プローブシートと、該プローブシートが
装着されたプローブホルダと、複数のテレビカメラとを
含み、前記プローブシートは、ガラス板と、該ガラス板に第１
の方向に間隔をおいて該第1の方向と交差する第２の方
向へ伸びる状態に形成された複数の配線であって被検査
体の電極に接触される接触部を備える配線と、前記第１
の方向に間隔をおいて前記ガラス板に形成された複数の
アライメントマークであって前記テレビカメラにより撮
影されるアライメントマークとを含む、プローブ装置。
【請求項９】前記ガラス板は矩形の平面形状を有して
おり、前記配線は前記矩形の対向する一対の縁部の一方から他
方へ伸びており、前記接触部は前記配線の一端部に形成されており、前記プローブシートは前記接触部の部位を前記第２の方
向における前記プローブホルダの一端部から突出させて
おり、前記ガラス板及び前記配線は透明である、請求項８に記
載のプローブ装置。
【請求項１０】前記プローブ装置は、さらに、前記接
触部の配置箇所を被検査体の電極に向けて変位させる力
を前記プローブシートに作用させる押圧機構を備える、
請求項８又は９に記載のプローブ装置。
【請求項１１】さらに、前記プローブホルダが着脱可
能に配置されたプローブベースと、前記第２の方向にお
ける一端部及び他端部を有するアームであって前記他端
部が前記プローブベースの上側となる状態に及び前記第
１の方向へ伸びる軸線の周りに枢軸運動可能に前記他端
部において前記プローブベースに結合されたアームとを
含み、前記押圧機構は前記アームの一端部に配置されて
いる、請求項１０に記載のプローブ装置。
【請求項１２】さらに、前記プローブホルダに配置さ
れたタブであって前記プローブシートの配線に接続され
た集積回路を備えるタブと、前記集積回路を介して前記
プローブシートの配線に接続された複数の第２の配線を
備えるフラットケーブルとを含む、請求項８から１１の
いずれか１項に記載のプローブ装置。