WO2021193579A1

WO2021193579A1 - 検査用プローブ、及び検査装置

Info

Publication number: WO2021193579A1
Application number: PCT/JP2021/011828
Authority: WO
Inventors: 博史野口
Original assignee: 日本電産リード株式会社
Priority date: 2020-03-25
Filing date: 2021-03-23
Publication date: 2021-09-30
Also published as: TW202144788A; JP2023089310A

Abstract

複数の検査点が設けられた検査対象の検査に使用される検査用プローブ２であって、検査点に接触可能な複数の接触パッド２２と、接触パッド２２にそれぞれ導通接続された複数の信号線２３と、各接触パッド２２が並列状態で配列された平板状の基板２１とを備え、基板２１には、各接触パッド２２をそれぞれ支持する複数のパッド支持部２４と、相隣接するパッド支持部２４を互いに分断して個別に変位可能とするスリット２５等からなる分断部とが設けられている。

Description

検査用プローブ、及び検査装置

　本発明は、検査用プローブ、およびこの検査用プローブを備えた検査装置に関する。

　従来、導体に線接触可能な導体接続部分を有するフラットケーブルで構成された接触子が知られている（例えば、日本国公開公報特開平９－２８８１４２号公報参照）。この接触子は、フレキシブル配線体の導通耐圧検査を行う導通耐圧検査用接続ユニットに用いられる。この導通耐圧検査用接続ユニットには、接触子の導体接続部分を定位置に固定するベースと、ベースに固定された導体接続部分にフレキシブル配線体の導体露出部分を接触させるように上記ベース上の導体接続部分を押圧する押圧板とが設けられている。

日本国公開公報特開平９－２８８１４２号公報

　ところで、日本国公開公報特開平９－２８８１４２号公報に開示された技術では、検査対象であるフレキシブル配線体に複数設けられた導体接続部分の設置高さが不揃いである場合に、各導体接続部分に対する接触子の接触圧に差が生じ易く、接触安定性が損なわれる可能性がある。そのため、複数の接触子を使用した導通試験を行う際に、より高い接触安定性が求められていた。

　本発明の目的は、検査対象に対する接触安定性を高めることが可能な検査用プローブ、およびこの検査用プローブを備えた検査装置を提供することである。

　本発明の一例に係る検査用プローブは、複数の検査点が設けられた検査対象の検査に使用される検査用プローブであって、前記複数の検査点に接触可能な複数の接触パッドと、前記複数の接触パッドにそれぞれ導通接続された複数の信号線と、前記各接触パッドが並列状態で配列された平板状の基板とを備え、前記基板には、前記各接触パッドをそれぞれ支持する複数のパッド支持部と、相隣接する前記パッド支持部を互いに分断して個別に変位可能とする分断部とが設けられている。

　また、本発明の一例に係る検査装置は、上述の検査用プローブと、前記検査用プローブを保持する検査治具と、前記検査用プローブの出力信号に応じて前記検査対象の検査を行う検査部とを備え、前記検査治具は、前記パッド支持部を押動して前記接触パッドを検査点に接触させる押動板を有している。

　このような構成の検査用プローブおよび検査装置は、検査対象に対する接触安定性を高めることが可能である。

図１は本発明の第一実施形態に係る検査装置の概略構造を示す側面図である。図２は本発明の第一実施形態に係る検査用プローブの構造を示す平面図である。図３は図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線断面図である。図４は検査点の配列状態を示す平面図である。図５は検査治具を検査位置に下降させた状態を示す側面図である。図６は本発明の比較例に係る検査用プローブによる検査状態を示す断面図である。図７は図５のＶＩＩ－ＶＩＩ線断面図である。図８は本発明の第二実施形態に係る検査用プローブの構造を示す平面図である。図９は本発明の第三実施形態に係る検査用プローブの構造を示す平面図である。

　以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、その説明を省略する。
（第一実施形態）

　本発明の一実施形態に係る検査装置１は、図１に示すように、検査用プローブ２を保持する検査治具３と、検査対象４が載置される載置台１１と、検査対象４の検査を行う検査部５と、検査用プローブ２と検査対象４との接触部を撮影するカメラ６とを備えている。

　検査用プローブ２は、平板状の基板２１を備えている。基板２１は、検査対象４に対向する第一面２１１と、第一面２１１の反対側に位置する第二面２１２とを有する。この基板２１は、可撓性を有する素材からなるフレキシブル基板、例えば５０μｍ～２００μｍ程度の板厚を有するポリイミドで形成されたフレキシブルプリント配線板等からなっている。

　図２および図３に示すように、基板２１の第一面２１１側には、複数の接触パッド２２が並列状態で配列されている。また、基板２１の第二面２１２側には、複数の信号線２３と、導通接続部２７とが並列状態で配列されている。そして、基板２１には、各接触パッド２２をそれぞれ個別に支持する複数のパッド支持部２４と、複数の信号線２３を支持する信号線保持部２６と、基板２１を貫通して導通接続部２７と信号線２３とを接続する複数のスルーホール２８とが設けられている。

　スルーホール２８は、貫通導体の一例に相当する。なお、スルーホール２８の代わりに孔の空いていない、例えば貫通孔の内部全体が導体で埋設された貫通導体を用いてもよい。

　接触パッド２２は、導体箔等からなる平形電線が、基板２１の第一面２１１に接着、あるいは電気めっきされる等により形成される。各接触パッド２２は、図５に示す検査点４１と同一の間隔で配列されている。これにより、検査対象４の検査時に、相対向する検査点４１と接触パッド２２とが接触可能とされている。

　なお、接触パッド２２の表面を、例えば数百番から１０００番程度の粒度を有する紙やすりに強く押し当てることによって、接触パッド２２の表面に、細かい歯型を付ける処理を施すことが望ましい。この処理により、接触パッド２２を検査点４１に接触させた際に、接触パッド２２の表面に形成された歯型の先端が検査点４１の表面の絶縁皮膜を破ることによって、接触パッド２２と検査点４１とのコンタクト性が向上する。

　相隣接するパッド支持部２４の間には、図２に示すように、スリット２５が形成されている。このスリット２５は、例えば１００μｍ程度の幅寸法Ｗと、接触パッド２２の全長Ｌ１よりも大きい全長Ｌ２とを有し、図略のレーザ加工機から基板２１に向けてレーザ光を照射する等により形成される。スリット２５は、相隣接するパッド支持部２４を互いに分断して個別に変位可能とする分断部の一例に相当する。

　接触パッド２２の一端部２２１側には、導通接続部２７の一端が接続されている。これにより、基板２１の第一面２１１側に設置された接触パッド２２と、基板２１の第二面２１２側に設置された信号線２３とが、導通接続部２７とスルーホール２８とを介して導通接続されている。なお、導通接続部２７を備えず、直接接触パッド２２と信号線２３とがスルーホール２８を介して導通接続されていてもよい。

　信号線２３には、図２に示すように、一定の幅寸法を有するシグナル線２３Ｓと、このシグナル線２３Ｓよりも大きな幅寸法を有するグランド線２３Ｇとが含まれる。また、信号線２３の後端部には、検査部５との間で電気信号のやり取りを行う高周波ケーブル７または高周波コネクタが接続されている。

　基板２１には、図２に示すように、接触パッド２２の一端部２２１側において、各パッド支持部２４を互いに連結する第一連結部２９１と、接触パッド２２の他端部２２２側において各パッド支持部２４を互いに連結する第二連結部２９２とが設けられている。また、基板２１のパッド支持部２４と信号線保持部２６との間には、図３に示すように、パッド支持部２４を信号線保持部２６よりも下方側に位置させるように基板２１を屈曲させた屈曲部２６３が設けられている。

　検査治具３は、図１に示すように、図外の昇降駆動機構により昇降駆動される昇降バー３１と、この昇降バー３１の下端部に設けられた昇降プレート３２と、この昇降プレート３２の下面に取り付けられた押動板３３および支持板３４とを有している。昇降プレート３２は、例えばアクリル、ポリカーボネート等の透明樹脂、又はガラス等の、透光性を有する材料によって構成されている。押動板３３は、透光性と柔軟性とを有するシリコ－ンゴム等からなる弾性部材によって構成されている。

　押動板３３の下面には、基板２１の先端部側に位置するパッド支持部２４が接着、またはボルト止めされる等の手段で固定されている。また、支持板４４の下面には、基板２１の後端部側に位置する信号線保持部２６が接着、またはボルト止めされる等の手段で固定されている。これにより、検査用プローブ２が、押動板３３および支持板３４を介して昇降プレート３２に取り付けられている。

　検査対象４は、例えばプリント配線基板等からなっている。この検査対象４には、図４に示すように、電極パッドからなる複数の検査点４１が一定間隔をもって並列状態で配列されている。なお、検査対象４は、プリント配線基板に限られず、例えばガラスエポキシ基板、フレキシブル基板、セラミック多層配線基板、半導体パッケージ用のパッケージ基板、インターポーザ基板、フィルムキャリア等の基板であってもよく、液晶ディスプレイ、ＥＬ（Electro-Luminescence）ディスプレイ、タッチパネルディスプレイ等のディスプレイ用の電極板や、タッチパネル用等の電極板であってもよく、種々の基板であってよい。

　上述の構成を有する検査用プローブ２および検査装置１を用いて検査対象４の検査を行うには、まず検査治具３および検査用プローブ２を、図１に示すように、上方位置に待機させた状態で、載置台１１上に検査対象４を載置する。

　次いで、昇降プレート３２に取り付けられた検査用プローブ２の接触パッド２２を、検査対象４の検査点４１に相対向させるように位置合わせする。押動板３３が透光性を有するので、位置合わせの際、カメラ６によって、検査点４１を、昇降プレート３２と押動板３３とを透過して撮影することができる。このように撮影された画像に基づき位置合わせすることにより、接触パッド２２と検査点４１との位置合わせを容易に行うことができる。

　そして、図外の昇降駆動機構により、検査治具３および検査用プローブ２を、図１に示す上方位置から図５に示す下方の押動位置に下降させる。

　このようにして検査用プローブ２の接触パッド２２を下降させることにより、押動板３３の加圧力に応じ、検査用プローブ２を検査対象４に接触させる。次いで、各検査点４１に検査用電流を通電し、検査部５において電気抵抗値を測定する等により、検査対象４の良否判定を行う。

　上述の第一実施形態では、相隣接するパッド支持部２４の間にスリット２５からなる分断部を設けることにより、各パッド支持部２４を個別に変位可能としている。このため、検査対象４の検査時に、検査用プローブ２の各パッド支持部２４を個別に変位させて、各接触パッド２２を、これに対向した検査点４１に適正に接触させることが容易である。したがって、簡単な構造で、検査点４１に対する接触パッド２２の接触圧に差が生じるのを防止して、接触安定性を高めることができる。

　すなわち、検査対象４に反りが発生し、あるいは検査点４１の厚みに差が生じる等により、図６に示すように、検査対象４に設けられた複数の検査点４１ａ，４１ｂの設置高さが不揃となる場合がある。このような場合に、上述の分断部が設けられていない基板２１’を備えた比較例に係る検査用プローブ２’を用いて検査を行うと、まず設置高さの高い検査点４１ａと、これに対向した接触パッド２２ａとが接触する。この時点で、基板２１’の下降が規制されるため、接触パッド２２ａに隣接した接触パッド２２ｂが検査点４１ｂから離間した状態となり易い。したがって、検査対象４が電気的に正常であるにも関わらず、相対向する検査点４１ｂと接触パッド２２ｂとの間に物理的な接触不良が生じ、これに起因して検査対象４が不良品であると誤判定される可能性がある。

　これに対して、パッド支持部２４を互いに分断するスリット２５が基板２１に設けられた検査用プローブ２によれば、他のパッド支持部２４に対して、各パッド支持部２４を個別に変位させることができる。このため、図７に示すように、複数の検査点４１ａ，４１ｂの設置高さが不揃いである場合においても、相対向する検査点４１ａ，４１ｂおよび接触パッド２２ａ，２２ｂを、それぞれ適正に接触させることが可能である。したがって、接触パッド２２と検査点４１との物理的な接触不良が生じるのを防止することができる。

　しかも、棒状のコンタクトピンをホルダーに進退可能に支持させたり、回路基板のランドにコンタクトピンを押圧接触させるためスプリングを設けたりする必要がなく、検査点４１に対する接触安定性を高めることが容易である。さらに、基板２１に配列された各接触パッド２２をそれぞれ支持する複数のパッド支持部２４を設けたため、上述のように各パッド支持部２４を個別に変位させた場合においても、各検査点４１に対する接触パッド２２の接触圧を確保することが容易である。したがって、各検査点４１に対する接触パッド２２の接触圧が不足することに起因した誤判定の発生を防止することが容易である。

　なお、上述のように可撓性を有するフレキシブル基板に代え、ガラス織布にエポキシ樹脂を滲みこませてなる一般的なガラスエポキシ基板等を用いることも可能である。しかし、上述の第一実施形態に示すように検査用プローブ２の基板２１をフレキシブル基板により構成した場合には、一般的なガラスエポキシ基板等に比べて、基板２１の板厚が小さいので、優れた高周波特性が得られるという利点がある。

　すなわち、検査用プローブ２を、いわゆる高周波信号の伝送に用いる場合に、基板２１の板厚が大きいと、基板２１のスルーホール２８が長くなる。このため、高周波信号の波形が変形し、あるいはインピーダンスの不整合が生じることにより伝達ロスが多くなる傾向がある。

　これに対して、板厚が小さいフレキシブル基板により基板２１を用いた場合には、高周波信号の波形が変形したり、インピーダンスの不整合が生じたりするのを防止することが容易である。これにより、信号の伝達ロスを低減して、検査用プローブ２の高周波特性を効果的に向上させることができる。

　なお、上述のスリット２５に代え、基板２１に設けられた薄肉部からなる分断部により、相隣接するパッド支持部２４を個別に変位させることも可能である。しかし、この場合には、基板２１に適正な薄さを有する薄肉部を形成することが困難であり、製造コストが高くなることが避けられない。これに対して上述の第一実施形態のように、相隣接するパッド支持部２４を互いに分断する分断部をスリット２５により構成した場合には、レーザ加工機等を用いることにより、適正な幅寸法Ｗおよび全長Ｌ２を有するスリット２５を容易に形成できるため、製造コストを安価に抑えることが容易である。

　また、上述のようにスリット２５の全長Ｌ２を、接触パッド２２の全長Ｌ１よりも大きくすれば、簡単な構成で各パッド支持部２４の変位量を確保することが容易である。したがって、各検査点４１間に多少の設置高さの差が生じた場合においても、相対向する検査点４１と接触パッド２２とをそれぞれ適正に接触させることが容易である。

　さらに、上述の第一実施形態では、図２に示すように、接触パッド２２の一端部２２１側において各パッド支持部２４を互いに連結する第一連結部２９１と、接触パッド２２の他端部２２２側において各パッド支持部２４を互いに連結する第二連結部２９２とが設けられた構成としている。この構成によれば、各パッド支持部２４の両端部を支持しつつ、その中間部を変位させることができる。したがって、各接触パッド２２の折損を効果的に防止しつつ、相対向する接触パッド２２と検査点４１とをそれぞれ適正に接触させることが可能である。

　また、上述の検査用プローブ２では、検査対象４に対向した基板２１の第一面２１１側に接触パッド２２を配置するとともに、第一面２１１の反対側に位置する第二面２１２側に信号線２３を配置している。そして、基板２１に設けられた導通接続部２７とスルーホール２８とにより、接触パッド２２と信号線２３とを導通接続している。このため、高周波ケーブル７等を第二面２１２側に配置することができ、接続自由度が向上する。

　なお、基板２１と接触パッド２２とを、それぞれ透光性を有する素材により構成してもよい。この場合、接触パッド２２としては、酸化インジウムスズ、酸化亜鉛、酸化スズ等の種々の透明電極を用いることができる。基板２１と接触パッド２２とが透光性を有する場合、接触パッド２２と検査点４１とを接触させた状態で、カメラ６によって、昇降プレート３２、押動板３３、基板２１、及び接触パッド２２を透過して検査点４１を撮影することができる。

　その結果、カメラ６で撮影された画像に基づき、接触パッド２２と検査点４１との位置合わせが正確に行われているか否かを検査部５等において判別することが可能になる。なお、カメラ６を省略し、作業者が接触パッド２２と検査点４１との接触部を視認することにより、接触パッド２２と検査点４１との位置合わせが正確に行われているか否かを判別するようにしてもよい。

　また、上述の検査装置１では、検査用プローブ２を保持する検査治具３と、検査用プローブ２の出力信号に応じて検査対象４の検査を行う検査部５とを備え、検査治具３には、検査用プローブ２のパッド支持部２４を押動して接触パッド２２を検査点４１に接触させる押動板３３が設けられている。したがって、検査対象４の検査時に、押動板３３から検査用プローブ２に付与される加圧力に応じて各接触パッド２２を検査対象４の各検査点４１に適正に接触させることが容易となる。

　また、弾力性を有するシリコ－ンゴム等のゴム板により押動板３３を構成している。このため、検査対象４の検査時に、各パッド支持部２４が個別に変位するのを許容しつつ、押動板３３により検査用プローブ２に適度の加圧力を付与することができるという利点がある。

　なお、押動板３３は、弾性を有していなくてもよい。また、押動板３３は、透光性を有していなくてもよい。
（第二実施形態）

　第二実施形態に係る検査装置は、検査用プローブ２Ａが以下の点で検査用プローブ２と異なることを除き、上述の検査装置１と同様に構成される。図８は、本発明の第二実施形態に係る検査用プローブ２Ａを示している。この検査用プローブ２Ａの基板２１Ａには、相隣接するパッド支持部２４の間に設けられたスリット２５と、接触パッド２２の他端部２２２側に位置し、各スリット２５の端部を互いに連通させる連通スリット２５１とからなる分断部が設けられている。

　検査用プローブ２Ａは、相隣接する各パッド支持部２４の他端側部分が、連通スリット２５１により互いに分断されている点で、第一実施形態に係る検査用プローブ２とは異なっている。すなわち、第一実施形態に係る検査用プローブ２では、図２に示すように、各パッド支持部２４の一端側部分を互いに連結する第一連結部２９１と、各パッド支持部２４の他端側部分を互いに連結する第二連結部２９２との両方を有している。これに対して第二実施形態に係る検査用プローブ２Ａでは、図８に示すように、第二連結部２９２がなく、第一連結部２９１により各パッド支持部２４が片持ち状態で支持されている。

　このように第二実施形態に係る検査用プローブ２Ａでは、検査用プローブ２の接触パッド２２を検査対象４の検査点４１に接触させて検査対象４の検査を行う際に、接触パッド２２の一端部２２１側に位置する第一連結部２９１を支点にして、各パッド支持部２４を容易に揺動変位させることができる。したがって、複数の検査点４１の設置高さが不揃いである場合においても、各接触パッド２２を検査点４１にそれぞれ接触させることがさらに容易になり、検査点４１に対する接触パッド２２の接触安定性を、より高めることができる。しかも、接触パッド２２の他端部２２２側に位置するパッド支持部２４の端部が、基板２１Ａの先端側部分２１３により覆われて保護されているため、パッド支持部２４の損傷を効果的に防止することができる。
（第三実施形態）

　第三実施形態に係る検査装置は、検査用プローブ２Ｂが以下の点で検査用プローブ２と異なることを除き、上述の検査装置１と同様に構成される。図９は、本発明の第三実施形態に係る検査用プローブ２Ｂを示している。この検査用プローブ２Ｂの基板２１Ｂには、信号線２３を保持する信号線保持部２６と、連結部２９３とが設けられている。連結部２９３は、接触パッド２２の一端部２２１側においてのみ、各パッド支持部２４を信号線保持部２６に連結する。

　第三実施形態に係る検査用プローブ２Ｂは、平板状の信号線保持部２６と、その端部に、いわゆる櫛状に突設された複数のパッド支持部２４とにより基板２１Ｂが構成され、連結部２９３を除くパッド支持部２４の三辺において、各パッド支持部２４が互いに分断されている。したがって、検査用プローブ２Ｂの構成をより簡素化することができる。

　この構成によれば、相隣接するパッド支持部を互いに分断する分断部を基板に設けることにより、検査対象の検査時に、検査用プローブの各パッド支持部を個別に変位させることが容易になる。その結果、各検査点に対する接触パッドの接触圧に生じる差を低減し、接触安定性を高めることができる。

　また、前記基板は、可撓性を有するフレキシブル基板であることが好ましい。

　この構成によれば、一般的なガラスエポキシ基板に比べて基板の板厚が小さいため、基板を貫通する貫通導体を短くするのが容易である。したがって、検査用プローブを高周波信号の伝送に用いた場合においても、貫通導体で高周波信号の波形が変形したり、あるいはインピーダンスの不整合が生じたりすることがなく、検査用プローブの高周波特性を向上させることが容易である。

　また、前記分断部は、相隣接する前記パッド支持部の間に設けられたスリットを有していることが好ましい。

　この構成によれば、適正な幅寸法および全長を有するスリットを形成することが容易であるため、相隣接するパッド支持部を互いに分断する分断部を形成することが容易である。

　また、前記スリットの全長は、前記各接触パッドの全長よりも大きいことが好ましい。

　この構成によれば、各パッド支持部の変位量を確保することが容易である。したがって、各検査点間に多少の設置高さの差が生じた場合においても、検査点に対して接触パッドをそれぞれ適正に接触させることが容易となる。

　また、前記各信号線は、前記各接触パッドの一端部側に導通接続され、前記基板には、前記各接触パッドの一端部側において前記各パッド支持部を互いに連結する第一連結部と、前記各接触パッドの他端部側において前記各パッド支持部を互いに連結する第二連結部とが設けられていることが好ましい。

　この構成によれば、各パッド支持部の両端部を支持しつつ、その中間部を変位させることができるため、各接触パッドの折損を防止しつつ、相対向する接触パッドと検査点とをそれぞれ適正に接触させることが容易である。

　また、前記各信号線は、前記各接触パッドの一端部側に導通接続され、前記基板には、前記各接触パッドの他端部側に位置する前記各スリットの端部を互いに連通させる連通スリットと、前記接触パッドの一端部側において前記各パッド支持部を互いに連結する連結部とが設けられている構成であってもよい。

　この構成によれば、検査用プローブの接触パッドを検査対象の検査点に接触させて検査対象の検査を行う際に、接触パッドの一端部側に位置する連結部を支点にして、各パッド支持部を容易に揺動変位させることができる。したがって、複数の検査点の設置高さが不揃いである場合においても、相対向する接触パッドと検査点とをそれぞれ適正に接触させることができるため、検査点に対する接触パッドの接触安定性を、より高めることが容易である。

　また、前記各信号線は、前記各接触パッドの一端部側に導通接続され、前記基板には、前記各信号線を保持する信号線保持部と、前記各接触パッドの一端部側においてのみ、前記各パッド支持部を前記信号線保持部に連結する連結部とが設けられていてもよい。

　この構成によれば、連結部を除くパッド支持部の三辺において、各パッド支持部が互いに分断されているため、より簡単な構成で、相対向する接触パッドと検査点とをそれぞれ適正に接触させることができるという利点がある。

　また、前記複数の接触パッドは、前記検査対象に対向する前記基板の第一面側に配置され、前記複数の信号線は、前記第一面の反対側に位置する前記基板の第二面側に配置され、前記基板には、前記基板を貫通して前記各接触パッドと前記各信号線とをそれぞれ導通接続する貫通導体が設けられていることが好ましい。

　この構成によれば、基板の第一面側に配置された接触パッドと、基板の第二面側に配置された信号線とを、貫通導体を介して導通接続することができる。このため、信号線につながるケーブル等を第二面側に配置することができ、接続自由度が向上する。

　また、前記基板と前記複数の接触パッドとが、それぞれ透光性を有する素材からなっていることが好ましい。

　この構成によれば、基板および接触パッドを透かして接触パッドと検査点との接触部を作業者が視認し、あるいは基板の上方に配置されたカメラにより接触パッドと検査点との接触部を撮影することができるため、接触パッドと検査点との位置合わせが容易となる。

　本発明の一例に係る検査装置は、上述の検査用プローブと、前記検査用プローブを保持する検査治具と、前記検査用プローブの出力信号に応じて前記検査対象の検査を行う検査部とを備え、前記検査治具は、前記パッド支持部を押動して前記接触パッドを検査点に接触させる押動板を有している。

　この構成によれば、検査対象の検査時に、押動板から検査用プローブに付与される圧接力に応じ、相対向する接触パッドと各検査点とを適正に接触させることが容易となる。

　また、前記押動板は、透光性を有する素材からなっていることが好ましい。

　この構成によれば、押動板を透かして接触パッドと検査点との接触部を作業者が視認し、あるいは押動板の上方に配置されたカメラにより、接触パッドと検査点との接触部を撮影する等により、相対向する接触パッドと検査点との位置合わせが容易となる。

　１　検査装置
　２　検査用プローブ
　３　検査治具
　４　検査対象
　５　検査部
　２１　基板
　２２　接触パッド
　２３　信号線
　２４　パッド支持部
　２５　スリット
　２６　信号線保持部
　２７　導通接続部
　２８　スルーホール（貫通導体）
　３３　押動板
　４１　検査点
　２１１　基板の第一面
　２１２　基板の第二面
　２２１　接触パッドの一端部
　２２２　接触パッドの他端部
　２５１　連通スリット
　２９１　第一連結部
　２９２　第二連結部
　２９３　連結部
　Ｌ１　接触パッドの全長
　Ｌ２　スリットの全長
　Ｗ　スリットの幅寸法

Claims

　複数の検査点が設けられた検査対象の検査に使用される検査用プローブであって、
　前記複数の検査点に接触可能な複数の接触パッドと、
　前記複数の接触パッドにそれぞれ導通接続された複数の信号線と、
　前記各接触パッドが並列状態で配列された平板状の基板とを備え、
　前記基板には、前記各接触パッドをそれぞれ支持する複数のパッド支持部と、相隣接する前記パッド支持部を互いに分断して個別に変位可能とする分断部とが設けられている検査用プローブ。
　前記基板は、可撓性を有するフレキシブル基板である請求項１記載の検査用プローブ。
　前記分断部は、相隣接する前記パッド支持部の間に設けられたスリットを有している請求項１または２記載の検査用プローブ。
　前記スリットの全長は、前記各接触パッドの全長よりも大きい請求項３記載の検査用プローブ。
　前記各信号線は、前記各接触パッドの一端部側に導通接続され、
　前記基板には、前記各接触パッドの一端部側において前記各パッド支持部を互いに連結する第一連結部と、前記各接触パッドの他端部側において前記各パッド支持部を互いに連結する第二連結部とが設けられている請求項３または４記載の検査用プローブ。
　前記各信号線は、前記各接触パッドの一端部側に導通接続され、
　前記基板には、前記各接触パッドの他端部側に位置する前記各スリットの端部を互いに連通させる連通スリットと、前記接触パッドの一端部側において前記各パッド支持部を互いに連結する連結部とが設けられている請求項３または４記載の検査用プローブ。
　前記各信号線は、前記各接触パッドの一端部側に導通接続され、
　前記基板には、前記各信号線を保持する信号線保持部と、前記各接触パッドの一端部側においてのみ、前記各パッド支持部を前記信号線保持部に連結する連結部とが設けられている請求項１または２記載の検査用プローブ。
　前記複数の接触パッドは、前記検査対象に対向する前記基板の第一面側に配置され、
　前記複数の信号線は、前記第一面の反対側に位置する前記基板の第二面側に配置され、
　前記基板には、前記基板を貫通して前記各接触パッドと前記各信号線とをそれぞれ導通接続する貫通導体が設けられている請求項１～７の何れか１項に記載の検査用プローブ。
　前記基板と前記複数の接触パッドとが、それぞれ透光性を有する素材からなっている請求項１～８の何れか１項に記載の検査用プローブ。
　前記請求項１～９の何れか１項に記載の検査用プローブと、
　前記検査用プローブを保持する検査治具と、
　前記検査用プローブの出力信号に応じて前記検査対象の検査を行う検査部とを備え、
　前記検査治具は、前記パッド支持部を押動して前記接触パッドを検査点に接触させる押動板を有している検査装置。
　前記押動板は、透光性を有する素材からなっている請求項１０記載の検査装置。