KR100647816B1 - 평판표시패널 검사용 프로브 장치 - Google Patents

평판표시패널 검사용 프로브 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100647816B1
KR100647816B1 KR1020060022177A KR20060022177A KR100647816B1 KR 100647816 B1 KR100647816 B1 KR 100647816B1 KR 1020060022177 A KR1020060022177 A KR 1020060022177A KR 20060022177 A KR20060022177 A KR 20060022177A KR 100647816 B1 KR100647816 B1 KR 100647816B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
needles
contact portion
block
needle
display panel
Prior art date
Application number
KR1020060022177A
Other languages
English (en)
Inventor
안재일
김학송
이광재
김학선
Original Assignee
(주)엠씨티코리아
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)엠씨티코리아 filed Critical (주)엠씨티코리아
Priority to KR1020060022177A priority Critical patent/KR100647816B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100647816B1 publication Critical patent/KR100647816B1/ko

Links

Images

Classifications

    • AHUMAN NECESSITIES
    • A41WEARING APPAREL
    • A41DOUTERWEAR; PROTECTIVE GARMENTS; ACCESSORIES
    • A41D27/00Details of garments or of their making
    • A41D27/08Trimmings; Ornaments
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A41WEARING APPAREL
    • A41DOUTERWEAR; PROTECTIVE GARMENTS; ACCESSORIES
    • A41D1/00Garments
    • A41D1/02Jackets

Abstract

본 발명은 평판표시패널 검사용 프로브 장치를 제공한다. 상기 장치는 복수의 니들과 복수의 니들이 배열되는 프로브 블록을 포함한다. 상기 복수의 니들은, 중앙몸체와, 상기 중앙몸체의 일측면으로부터 연장되어 형성되는 제 1 접촉부와, 상기 중앙몸체의 타측면으로부터 상기 제 1 접촉부와 반대 방향으로 연장되어 형성되는 제 2 접촉부로 구성되고, 인쇄회로기판에 전기적으로 연결되어 테스터와의 전기적 신호를 평판표시패널에 송수신한다. 상기 니들 장착부는 상기 평판표시패널에 대하여 경사진 표면을 갖는다. 상기 니들 장착부는, 상기 경사진 표면을 갖는 가이드 블록과, 상기 가이드 블록의 상기 경사진 표면에 부착되는 평판형의 플레이트와, 상기 플레이트에 고정 부착되고 상기 슬롯이 형성되어 상기 니들의 상기 제 1 접촉부 및 상기 제 2 접촉부가 삽입 고정되는 제 1 지지 블록 및 제 2 지지 블록을 포함한다.
프로브, 니들, 평판표시장치, 검사

Description

평판표시패널 검사용 프로브 장치{PROBE UNIT FOR TESTING FLAT DISPLAY PANEL}
도 1은 본 발명에 따른 프로브 장치의 측면도;
도 2a는 본 발명에 따른 프로브 장치의 니들 어셈블리의 사시도;
도 2b는 본 발명에 따른 프로브 장치의 니들 어셈블리의 단면도;
도 3은 본 발명에 따른 니들 어셈블리에서 복수의 니들의 조립 과정을 설명하기 위한 분해도;
도 4는 본 발명에 따른 니들 어셈블리에서 복수의 니들의 조립 과정의 일부를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 평판표시패널 검사 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판표시패널 검사용 프로브 장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치(TFT-LCD)와 같은 평판표시패널은 양산기술 확보와 연구개발의 성과로 대형화와 고해상도화가 급속도로 진전되어 노트북 컴퓨터(computer)용 뿐만 아니라 대형 모니터(monitor) 응용 제품으로도 개발되어 기존의 CRT(cathode ray tube) 제품을 점진적으로 대체하고 있어 디스플레이 산업에서의 그 비중이 점차 증대되고 있다.
이와 같은 평판표시패널은 패널 가장자리 부근에 패널을 구동하기 위한 수많은 접속단자를 구비하고 있으며, 이들 접속단자를 통해 평판표시패널의 화소에 전기적 신호를 인가한다. 한편, 평판표시패널은 반도체 칩과 마찬가지로 제품에 장착하기 전에 패널에 전기적 신호를 인가하여 화소의 불량 유무를 검사하게 된다.
이를 위한 검사장비는 각종 측정기기들이 내장된 테스터와, 테스터와 평판표시패널을 전기적으로 연결시켜 주는 프로브 장치를 갖추고 있다. 특히, 프로브 장치는 평판표시패널의 접속단자와 직접 접촉하여 접속단자에 전기적 신호를 인가함과 동시에 출력을 검출하는 역할을 한다.
그러나 기존의 프로브 장치의 니들 어셈블리는 니들들을 프로브 블록에 장착하기 위한 조립 작업이 어렵고 힘들고, 각각의 니들이 안정적으로 고정되는 못하여 검사 신뢰성이 저하되는 문제점을 갖고 있다. 한편, 평판표시패널의 접속단자들 사이의 간격이 좁아짐에 따라, 이에 상응하여 니들들 사이의 간격 또한 좁아져야 하지만, 종래의 기술로는 니들들 사이의 간격을 좁히는데 한계를 가진다.
본 발명의 목적은 니들 사이의 간격이 좁아짐에도 불구하고 니들의 안정적인 고정이 가능한 평판표시패널 검사용 프로브 장치를 제공하는데 있다.
상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 평판표시패널 검사용 프로브 장 치를 제공한다. 상기 장치는 복수의 니들과 복수의 니들이 배열되는 프로브 블록을 포함한다. 상기 복수의 니들은, 중앙몸체와, 상기 중앙몸체의 일측면으로부터 연장되어 형성되는 제 1 접촉부와, 상기 중앙몸체의 타측면으로부터 상기 제 1 접촉부와 반대 방향으로 연장되어 형성되는 제 2 접촉부로 구성되고, 인쇄회로기판에 전기적으로 연결되어 테스터와의 전기적 신호를 평판표시패널에 송수신한다. 상기 니들 장착부는 상기 평판표시패널에 대하여 경사진 표면을 갖는다. 상기 프로브 블록은 상기 니들 장착부를 지지하고, 상기 복수의 니들과 상기 인쇄회로기판을 연결한다. 상기 니들 장착부는, 상기 경사진 표면을 갖는 제 1 가이드 블록과, 상기 제 1 가이드 블록의 상기 경사진 표면에 부착되는 평판형의 제 1 플레이트와, 상기 제 1 플레이트에 고정 부착되고 상기 슬롯이 형성되어 상기 니들의 상기 제 1 접촉부 및 상기 제 2 접촉부가 삽입 고정되는 제 1 지지 블록 및 제 2 지지 블록을 포함한다.
상기 니들 장착부는, 상기 경사진 표면을 갖는 제 2 가이드 블록과, 상기 제 2 가이드 블록의 상기 경사진 표면에 부착되는 평판형의 제 2 플레이트와, 상기 제 2 플레이트에 고정 부착되고 상기 슬롯이 형성되어 상기 니들의 상기 제 1 접촉부 및 상기 제 2 접촉부가 삽입 고정되는 상기 제 1 지지 블록 및 상기 제 2 지지 블록을 더 포함할 수 있다. 상기 제 1 가이드 블록 및 상기 제 2 가이드 블록은 상하로 경사진 방향으로 서로 마주보도록 배치되고, 상기 복수의 니들이 2 개의 그룹으로 나뉘어져 상기 2 개의 그룹이 서로 마주보도록 배치된다.
상기 제 1 및 제 2 지지 블록은 상기 프로브 블록의 상기 인쇄회로기판 측 및 상기 평판표시패널 측에 대하여 서로 대칭적으로 배치된다.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이다.
본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 5에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.
본 발명의 기본적인 의도는 프로브 블록에 니들의 장착이 용이한 그리고 니들을 안정적으로 고정시키기 위한 것으로, 이를 달성하기 위하여 본 발명의 브로브 장치는 니들들의 간격을 일정하게 유지시키기 위한 프로브 블록에 니들을 고정시키기 위한 고정구조를 갖는데 그 특징이 있다.
일반적으로, 평판표시패널 검사를 위한 검사장치는 다수개의 프로브 장치들이 베이스 플레이트(미도시됨)상에 고정 배치되어 평판표시패널(이하 LCD 패널)을 검사하게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 프로브 장치의 측면도이다.
도 1을 참조하면, 이 프로브 장치는 프로브 프레임(102)과, 이 프로브 프레임(102)의 선단에 고정볼트에 의해 서로 체결되는 프로브 헤드(104)를 포함하며, 이 프로브 헤드(104)는 패널 검사 과정에서 상하로 유동이 발생할 수 있도록 프로브 프레임(102)과 프로브 헤드(104) 사이에는 리니어 가이드(106)가 설치된다. 프 로브 헤드(104)의 저면에는 니들 어셈블리(100)가 고정 수단(108)에 의해 착탈가능하게 고정 배치된다.
도 2a는 본 발명에 따른 프로브 장치의 니들 어셈블리의 사시도이고, 도 2b는 도 2a의 A-A'에 대한 단면도를 도시한 것이다.
도 2a, 도 2b 및 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 프로브 장치의 니들 어셈블리(100)는 복수의 니들(110)과, 인쇄회로기판(미도시됨)에 전기적으로 연결되어 복수개의 니들(110)에 구동신호를 전송하는 구동집적회로(구동 IC)를 구비한 구동 집적회로 블록(120)과, 복수의 니들(110)이 장착되는 니들 장착부(140)와, 니들 장착부를 지지하고 니들과 인쇄회로기판을 연결하는 프로브 블록(130)을 포함하여 구성된다.
상기 니들 장착부(140)는 상하로 경사진 방향으로 서로 마주보도록 배치되는 제1 및 제 2 가이드 블록(142, 144)을 포함한다. 제1 및 제 2 가이드 블록은 예를들면, 알루미늄으로 형성될 수 있다. 이에 따라, 복수의 니들(110)은 2 개의 그룹으로 나뉘어져, 2 개의 그룹이 서로 마주보도록 제1 및 제 2 가이드 블록(142, 144)에 각각 배치된다. 제 1 가이드 블록(142) 및 제 2 가이드 블록(144)은 경사진 표면(142s, 144s)을 갖는다. 상기 제 1 및 제 2 가이드 블록(142, 144)의 상기 경사진 표면(142s, 144s)에는 각각 평판형의 제 1 및 제 2 플레이트(142p, 144p)가 부착된다.
상기 제 1 플레이트(142p)의 양 가장자리에는 제 1 지지 블록(142a) 및 제 2 지지 블록(142b)이 서로 마주보며 나란하게 고정 부착된다. 상기 제 1 지지 블록 (142a) 및 제 2 지지 블록(142b)에는 복수개의 슬롯(141)이 일정한 간격으로 배치된다. 복수의 니들(110)이 복수개의 슬롯(141)에 삽입되어, 일정한 간격으로 배열된다. 제 1 지지 블록(142a) 및 제 2 지지 블록(142b)은 제 1 가이드 블록(142)에 에폭시 등으로 고정된다. 한편, 제 1 가이드 블록의 양 측면에는 제 1 덮개판(142c)이 제 1 가이드 블록의 측면에 형성된 나사홀(142d)에 의해 결합된다. 고정 방식은 예컨대, 에폭시 등의 접착제로 본딩하거나 볼트를 사용하여 이루어질 수 있다. 도 2b 및 도 3에서는 덮개판(142c)은 보이지 않는 것으로 도시된다.
상기 제 2 플레이트(144p)의 양 가장자리에는 제 3 지지 블록(144a) 및 제 4 지지 블록(144b)이 서로 마주보며 나란하게 고정 부착된다. 상기 제 3 지지 블록(144a) 및 제 4 지지 블록(144b)에는 복수개의 슬롯(141)이 일정한 간격으로 배치된다. 복수의 니들(110)이 복수개의 슬롯(141)에 삽입되어, 일정한 간격으로 배열된다. 제 3 지지 블록(144a) 및 제 4 지지 블록(144b)은 제 2 가이드 블록(144)에 에폭시 등으로 고정된다. 한편, 제 2 가이드 블록의 양 측면에는 제 2 덮개판(144c)이 제 2 가이드 블록의 측면에 형성된 나사홀(144d)에 의해 결합된다. 도 2b 및 도 3에서는 덮개판(144c)은 보이지 않는 것으로 도시된다. 제 1 내지 제 4 지지 블록(142a, 142b, 144a, 144b)은 세라믹일 수 있다.
복수의 니들(110)은 얇은 도전성 금속판으로 이루어지는 블레이드 타입으로, 2개의 관통공(111)을 갖는 사각형 모양의 중앙 몸체(110c)와, 이 중앙 몸체(110c)의 일측면으로부터 연장되어 형성된 제 1 접촉부(110a)와, 이 중앙 몸체(110c)의 타측면으로부터 제 1 접촉부(110a)와 반대 방향으로 연장되어 형성된 제 2 접촉부 (110b)를 포함하여 구성된다. 상기 중앙몸체(110c)는 제 1 접촉부(110a) 및 제 2 접촉부(110b) 보다 좁은 폭을 가지고, 서로 마주보는 복수의 니들 사이에 빈공간(110s)이 형성된다. 제 1 접촉부(110a)는 끝단에 절곡되어 제 1 및 제 2 가이드 블록(142, 144)의 슬롯(141)으로부터 노출되는 제 1 첨단(145)을 갖는다. 제 2 접촉부(110b)는 끝단이 제 1 접촉부와는 반대 방향으로 절곡되어 제 1 및 제 2 가이드 블록(142, 144)의 슬롯(141)으로부터 노출되는 제 2 첨단(146)을 갖는다. 제 1 및 제 2 첨단(145, 146)은 각각 LCD 패널(미도시)의 접속단자와 구동집적회로 블록(120)의 가이드 필름(123)의 연결패드(125)에 접촉되어 전기적 신호를 전달한다.
이에 따라, 복수의 니들(110)은 제 1 내지 제 4 지지 블록(142a, 142b, 144a, 144b)의 슬롯(141)들에 의해 일정 간격으로 정렬된다. 특히, 제 1 내지 제 4 지지 블록(142a, 142b, 144a, 144b)은 복수의 니들(141)과 결합을 위한 구조를 갖는다. 제 1 지지 블록(142a)과 제 3 지지 블록(144a)은 복수의 니들(141)이 가이드 블록들(142, 144)로부터 이탈되지 않도록 고정하기 위하여, 복수의 니들(141)과 마주하는 일면에 형성되는 끼움홈(143)을 구비한다. 한편, 복수의 니들(141)의 제 1 접촉부(110a)에는 상기 끼움홈(143)과 마주보는 일측면에 형성되는 돌출부(110p)를 구비한다. 상기 서로 마주보는 니들의 빈공간(110s)에는 고정바(113)가 삽입될 수 있다. 고정바는 예를 들면, 세라믹일 수 있다. 상기 고정바(113)에 의하여, 상기 서로 마주보는 복수의 니들을 각각 상기 제 1 및 제 2 가이드 블록(142, 144)으로 압착된다. 상기 고정바(113)는 도 2b 및 도 3과 같이, 한 쌍으로 구성되거나, 하나의 일체로 구성될 수 있다.
도 3은 본 발명에 따른 프로브 장치의 니들 어셈블리에서 복수의 니들의 조립 과정을 설명하기 위한 니들 어셈블리의 분해도이고, 도 4는 본 발명에 따른 프로브 장치의 니들 어셈블리에서 복수의 니들의 조립 과정의 일부를 설명하기 위한 도면이다.
도 3 및 도 4를 참조하여, 본 발명에 따른 프로브 장치의 니들 어셈블리에서 복수의 니들의 조립 과정을 설명한다.
먼저, 제 1 및 제 2 지지 블록(142a, 142b) 제 1 플레이트(142p)의 양 가장자리에 서로 마주보도록 에폭시 등으로 고정 배치된다. 제 1 플레이트(142p)는 평판형의 테이블(미도시)에 올려져, 상기 제 1 및 제 2 지지 블록(142a, 142b)의 슬롯(141)은 상방으로 향한다. 또한, 제 3 및 제 4 지지 블록(144a, 144b)은 제 2 플레이트(144p)의 양 가장자리에 서로 마주보도록 에폭시 등으로 고정된다. 제 2 플레이트(144p)는 평판형의 테이블(미도시)에 올려져, 상기 제 3 및 제 4 지지 블록(144a, 144b)의 슬롯(141)은 상방으로 향한다.
복수의 니들(110)은 제 1 내지 제 4 지지 블록(142a, 142b, 144a, 144b)의 슬롯(141)에 삽입되어 일정한 간격으로 장착된다. 도 4는 복수의 니들(110)이 상기 지지 블록들에 삽입되는 상황을 도시한다.
복수의 니들(110) 중의 반으로 구성된 제 1 그룹 니들의 제 1 접촉부(110a)가 제 1 지지 블록(142a)의 슬롯(141)에 삽입됨과 동시에, 제 1 접촉부(110a)의 돌출부(110p)가 제 1 지지 블록(142a)의 끼움홈(143)에 끼워진다. 제 1 그룹 니들의 제 2 접촉부(110b)는 제 2 지지 블록(142b)의 슬롯(141)에 삽입된다. 이때의 삽입 및 끼워짐은 제 1, 2 지지 블록(142a, 142b)의 슬롯(141) 및 끼움홈(143)이 상부로 노출된 상태에서 이루어진다. 한편, 나머지 절반으로 구성된 제 2 그룹 니들의 제 1 접촉부(110a)가 제 3 지지 블록(144a)의 슬롯(141)에 삽입됨과 동시에, 제 1 접촉부(110a)의 돌출부(110p)가 제 3 지지 블록(144a)의 끼움홈(143)에 끼워진다. 제 2 그룹 니들의 제 2 접촉부(110b)는 제 4 지지 블록(144b)의 슬롯(141)에 삽입된다. 이때의 삽입 및 끼워짐은 제 3, 4 지지 블록(144a, 144b)의 슬롯(141) 및 끼움홈(143)이 상부로 노출된 상태에서 이루어진다. 본 발명에서는 평판형의 플레이트를 이용함에 따라, 가이드 블록 상의 지지 블록들이 수평을 유지한 상태에서 복수의 니들(110)이 장착되므로, 상기 장착이 보다 용이하게 이루어질 수 있다.
상기 제 1, 2, 3, 4 지지 블록(142a, 142b, 144a, 144b)의 슬롯에 복수의 니들이 삽입된 제 1 플레이트(142p) 및 제 2 플레이트(144p)는 각각 상기 제 1 가이드 블록(142) 및 제 2 가이드 블록(144)에 부착된다. 상기 부착은 예컨대 에폭시에 의하여 이루어질 수 있다.
상기 제 1 가이드 블록(142) 및 제 2 가이드 블록(144)의 경사면이 서로 마주보도록 배치된다. 이에 따라, 제 1 그룹 니들과 제 2 그룹 니들은 서로 마주보도록 배치되어, 상기 서로 마주보는 니들 사이에 빈공간(110s)을 형성한다. 상기 빈공간(110s)에는 고정바(113)가 삽입된다. 고정바는 예를 들면, 세라믹일 수 있다. 상기 고정바(113)에 의하여, 상기 서로 마주보는 제 1 및 제 2 그룹의 니들을 각각 상기 제 1 및 제 2 가이드 블록(142, 144)으로 압착된다.
한편, 제 1 및 제 2 가이드 블록(142, 144)은 나사홀들(142d, 144d)에 의하 여 덮개판들(142c, 144c)에 부착되어 고정된다. 덮개판들(142c, 144c)은 서로 연결되어 고정된다. 덮개판들(142c, 144c)은 일체로 형성될 수도 있다. 이에 따라, 복수의 니들(110)이 제 1 및 2 가이드 블록(142, 144)으로부터 빠지지 않도록 잡아주게 된다.
전술한 바와 같은 본 발명에 의하면, 니들을 가이드 블록 상의 지지 블록들에 용이하게 장착할 수 있으며, 고정바에 의하여 안정적으로 고정될 수 있다.
한편, 본 발명은 상기의 구성으로 이루어진 프로브 장치에 있어 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있다. 하지만, 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 프로브 장치는 그들 사이의 간격이 좁아짐에도 불구하고 니들의 안정적인 고정이 가능한 각별한 효과를 갖는다.
본 발명의 프로브 장치는 복수의 니들이 장착부에 안정적으로 고정되어 항상 정확한 간격으로 배열됨으로써 검사 신뢰성이 뛰어난 이점이 있다.

Claims (3)

  1. 중앙몸체와, 상기 중앙몸체의 일측면으로부터 연장되어 형성되는 제 1 접촉부와, 상기 중앙몸체의 타측면으로부터 상기 제 1 접촉부와 반대 방향으로 연장되어 형성되는 제 2 접촉부로 구성되고, 인쇄회로기판에 전기적으로 연결되어 테스터와의 전기적 신호를 평판표시패널에 송수신하는 복수의 니들;
    상기 평판표시패널에 대하여 경사진 표면을 갖는 니들 장착부; 및
    상기 니들 장착부를 지지하고, 상기 복수의 니들과 상기 인쇄회로기판을 연결하는 프로브 블록을 포함하되;
    상기 니들 장착부는,
    상기 경사진 표면을 갖는 제 1 가이드 블록;
    상기 제 1 가이드 블록의 상기 경사진 표면에 부착되는 평판형의 제 1 플레이트;
    상기 제 1 플레이트에 고정 부착되고, 상기 슬롯이 형성되어 상기 니들의 상기 제 1 접촉부 및 상기 제 2 접촉부가 삽입 고정되는 제 1 지지 블록 및 제 2 지지 블록;
    상기 경사진 표면을 갖는 제 2 가이드 블록;
    상기 제 2 가이드 블록의 상기 경사진 표면에 부착되는 평판형의 제 2 플레이트; 및
    상기 제 2 플레이트에 고정 부착되고, 상기 슬롯이 형성되어 상기 니들의 상기 제 1 접촉부 및 상기 제 2 접촉부가 삽입 고정되는 상기 제 1 지지 블록 및 상기 제 2 지지 블록을 포함하고,
    상기 제 1 가이드 블록 및 상기 제 2 가이드 블록은 상하로 경사진 방향으로 서로 마주보도록 배치되고, 상기 복수의 니들이 2 개의 그룹으로 나뉘어져 상기 2 개의 그룹이 서로 마주보도록 배치되는 것을 특징으로 하는 평판표시패널 검사용 프로브 장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 지지 블록은 상기 프로브 블록의 상기 인쇄회로기판 측 및 상기 평판표시패널 측에 대하여 서로 대칭적으로 배치되는 것을 특징으로 하는 평판표시패널 검사용 프로브 장치.
KR1020060022177A 2006-03-09 2006-03-09 평판표시패널 검사용 프로브 장치 KR100647816B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060022177A KR100647816B1 (ko) 2006-03-09 2006-03-09 평판표시패널 검사용 프로브 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060022177A KR100647816B1 (ko) 2006-03-09 2006-03-09 평판표시패널 검사용 프로브 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100647816B1 true KR100647816B1 (ko) 2006-11-23

Family

ID=37712948

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060022177A KR100647816B1 (ko) 2006-03-09 2006-03-09 평판표시패널 검사용 프로브 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100647816B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102098650B1 (ko) * 2019-07-24 2020-04-10 주식회사 프로이천 핀 타입 프로브 장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102098650B1 (ko) * 2019-07-24 2020-04-10 주식회사 프로이천 핀 타입 프로브 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100600700B1 (ko) 평판표시패널 검사용 프로브 장치
KR100602154B1 (ko) 평판표시패널 검사용 프로브 장치
US6476626B2 (en) Probe contact system having planarity adjustment mechanism
KR100615907B1 (ko) 평판표시패널 검사용 프로브 장치
TWI821332B (zh) 檢查工具及檢查裝置
JP2008180716A (ja) プローブ及びこれを持つプローブカード
US20120038383A1 (en) Direct-docking probing device
KR20040110094A (ko) 프로브 카드
WO2006093185A1 (ja) プローブ及びプローブカード
JP2008309787A (ja) プローブカード用プローブ組立体
TWI428607B (zh) 探針卡
KR100533193B1 (ko) 평판표시패널 검사용 프로브 장치
KR100647816B1 (ko) 평판표시패널 검사용 프로브 장치
JP4369201B2 (ja) プローブ組立体
KR100272715B1 (ko) 프로브유닛 및 검사용 헤드
JP2006194772A (ja) 薄膜式ウエハー試験装置及びそのプローブ検出伝送構造
JP2681850B2 (ja) プローブボード
KR100951717B1 (ko) 프로브 블럭
KR100610803B1 (ko) 반도체 소자 검침용 프로브 카드와 그 제조 방법
KR100670557B1 (ko) 프로브 어셈블리
KR100669827B1 (ko) 프로브 어셈블리
KR100600701B1 (ko) 평판표시패널 검사용 프로브 장치
KR200415777Y1 (ko) 엘시디 검사용 프로브 카드
KR100737384B1 (ko) 모바일용 디스플레이 패널의 검사장치 및 방법
KR100657768B1 (ko) 회로기판 연결 유닛 및 그것을 갖는 평판표시패널 검사장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20111104

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee