JPH10282144A - 平板状被検査体試験用プローブユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 突起が配線部から剥がれることを防止す
ることにある。 【解決手段】 プローブユニットは、シート状の非導電
性部材と、該非導電性部材の一方の面に間隔をおいて形
成された細長い複数の配線部を備える配線パターンと、
非導電性部材の他方の面にあって少なくとも配線部の一
端部に対応する部位に配置されたシート状のばね部材
と、各配線部の一端部からばね部材と反対の側に突出す
る導電性の突起と、該突起の先端が突出した状態に該突
起および少なくとも該突起の近傍の配線部を覆う電気絶
縁性の保護層とを含み、突起が配線部から剥がされるこ
とを保護層により防止したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路のような
平板状被検査体の電気的特性試験に用いるプローブユニ
ットに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエーハ上の集積回路、半導体ウ
エーハからチップに分離された集積回路、および、チッ
プの実装が終了した集積回路は、回路が仕様書通りに動
作するか否かの通電試験をされる。この種の通電試験
は、プローブボード、プローブカード等と称されている
検査用ヘッドすなわち試験用ヘッドを用いて電気的特性
を測定することにより、行われる。

【０００３】この種の試験用ヘッドは、集積回路の電気
的接続パッドすなわち電極に通電可能の状態に接触され
る複数のプローブ要素を備える。プローブ要素は、高周
波信号を集積回路に確実に作用させ、対応する電気信号
を集積回路から確実に得られるように、集積回路の接続
パッドのような電極部のアルミニウム酸化物のような電
気絶縁膜を突き破る機能を有することが求められてい
る。

【０００４】上記の要求は、一般には、電極の表面をプ
ローブ要素の先端で擦る、いわゆる擦り作用により達成
される。そのような擦り作用は、集積回路の電極部とプ
ローブ要素の先端とを接触させた状態でわずかに過剰に
押圧し、そのようなオーバードライブによる反りをプロ
ーブ要素に生じさせ、それにより集積回路の電極部とプ
ローブ要素の先端との接触部位を相対的に変位させるこ
とにより、生じる。

【０００５】この種の通電試験に用いられている試験用
ヘッドの１つとして、弾性変形可能のフィルム状プロー
ブユニットを用いるものがある（たとえば、特開平４−
３６３６７１号公報）。

【０００６】このフィルム状プローブユニットは、集積
回路の製作に用いられている、写真食刻法、印刷配線法
等、いわゆる印刷配線技術により配線パターンを弾性変
形可能のフィルム状配線基板に形成し、配線パターンの
配線部をフィンガー状に分離する複数のスリットを配線
基板に形成して各配線部の一部をプローブ要素とし、そ
こにバンプすなわち突起を形成している。

【０００７】具体的には、フィルム状プローブユニット
は、可撓性を有するシート状の非導電性部材をシート状
のばね部材の一方の面にコーティング、接着等により配
置し、直線状の複数の配線部を有する配線パターンを可
撓性の非導電性部材に形成し、プローブ要素を形成する
１以上の配線部を含む細長い領域を形成する複数のスリ
ットをばね部材および非導電性部材に形成することによ
り、複数のフィンガー状プローブ領域を形成し、各プロ
ーブ要素の先端に突起をメッキ、接着等により形成して
いる。

【０００８】この種のフィルム状プローブユニットは、
これをプローブ取付体に接着剤により接着した後、プロ
ーブ取付体を適宜な取付具により板状配線基板に取り付
けることにより、試験用ヘッドとして組み立てられ、ま
たプローブ要素の先端の突起を集積回路の平坦な電極部
に押圧した状態で使用される。

【０００９】上記のフィルム状プローブユニットによれ
ば、配線部およびプローブ領域を印刷配線技術により製
作することができるから、金属線から製作した複数のプ
ローブを用いるプローブユニットを用いた板状ヘッドに
比べ廉価になる。

【００１０】しかし、従来のフィルム状プローブユニッ
トでは、プローブ要素がオーバードライブにより反り、
突起が集積回路の電極部に擦り作用を与えることに起因
して、各突起が配線部から剥がれ、その結果試験を中断
しなければならないことがある。

【００１１】

【解決しようとする課題】本発明の目的は、突起が配線
部から剥がれることを防止することにある。

【００１２】

【解決手段、作用、効果】本発明の、平板状被検査体の
試験に用いるプローブユニットは、シート状の非導電性
部材と、該非導電性部材の一方の面に間隔をおいて形成
された細長い複数の配線部を備える配線パターンと、非
導電性部材の他方の面にあって少なくとも配線部の一端
部に対応する部位に配置されたシート状のばね部材と、
各配線部の一端部からばね部材と反対の側に突出する導
電性の突起と、該突起の先端が突出した状態に該突起お
よび少なくとも該突起の近傍の配線部を覆う電気絶縁性
の保護層とを含む。

【００１３】保護層は、突起および少なくとも該突起の
近傍の配線部を覆うように、非導電性部材の他方の面に
設けられる。突起は、その先端が保護層から突出して保
護層の外に露出している。プローブ要素は、突起を有す
る配線部の一部により形成される。

【００１４】試験時、突起の露出した部分が被検査体の
電極部に当接されて、押圧される。１以上のプローブ要
素を含むプローブ領域は弧状に反り、それにより突起は
電極部を擦る。このとき、突起を配線部から剥がすよう
な摩擦力が突起と電極部との間に作用する。

【００１５】しかし、突起および少なくともこれの近傍
の配線部は保護層により突起の先端部が突出した状態に
保護されているから、突起が配線部から剥がれ落ちおそ
れはないし、配線部が突起の近傍において非導電性部材
から剥離されるおそれもない。

【００１６】本発明によれば、突起および少なくとも該
突起の近傍の配線部を電気絶縁性の保護層により突起の
先端が突出した状態に覆ったから、突起が配線部から剥
がれることが防止されるし、配線部が突起の近傍におい
て非導電性部材から剥離されることが防止される。

【００１７】保護層は、突起と、配線部のうち少なくと
もプローブ要素として作用する部位とを覆うことができ
る。このようにすれば、プローブ領域がオーバードライ
ブにより反っても、プローブ要素として作用する配線部
分が非導電性部材原剥離することを防止される。

【００１８】さらに、１以上の前記配線部を含む細長い
複数のプローブ領域を形成すべく少なくとも前記ばね部
材に形成された複数のスリットとを含むことができる。
このようにすれば、各プローブが完全に独立するから、
プローブ領域が独立していない場合に比べ、突起が被検
査体の電極部に確実に接触する。

【００１９】さらに、保護層内に配置された１以上の導
電体層を含むことができる。このようにすれば、ばね部
材および導電体層をアース電位の部位に接続することに
より、隣り合うプローブ要素間の電気信号の漏洩および
各プローブ要素への電気的雑音の混入が著しく減少す
る。

【００２０】好ましい実施例においては、さらに、プロ
ーブ要素と平行に伸びるように保護層に形成された細長
い複数の第２の配線部を備える第２の配線パターンと、
各第２の配線部の一端部からばね部材と反対の側に突出
する導電性の第２の突起と、該第２の突起の一部が突出
した状態に該第２の突起および第２の配線部を覆う電気
絶縁性の第２の保護層とを含む。

【００２１】導電体層を備える実施例においては、保護
層は、突起を貫通させた状態に突起および配線部を覆う
第１の電気絶縁層と、突起の先端を突出させた状態に突
起および導電体層を覆う第２の電気絶縁層とを含む。導
電体層は、第１の電気絶縁層に形成されており、またば
ね部材の配置位置（特に、プローブ領域）に対応する部
位を有する。

【００２２】各突起は電気絶縁状態を維持した状態で導
電体層を貫通させることができ、これにより配線部が導
電体層により短絡することを防止することができる。導
電体層はばね部材に電気的に接続することができ、これ
により試験時に導電体層をアース電位に維持することが
できる。導電体層は、電気絶縁状態を保たれた状態で配
線部を貫通させ、試験時にアース電位に維持することが
できる。各プローブ領域は複数の配線部を含むことがで
きる。

【００２３】

【発明の実施の形態】図１〜図３を参照するに、フィル
ム状のプローブユニット２０は、ポリイミド樹脂のよう
な電気絶縁材料により可撓性を有するシート状に形成さ
れた非導電性部材２２と、非導電性部材２２の一方の面
に形成された複数の配線部２４を有する配線パターン
と、非導電性部材２２の他方の面に配置されたシート状
のばね部材２６と、プローブユニット２０の一部に形成
された複数のスリット２８と、配線パターンを包囲する
電気絶縁材料製の保護層３０とを含む。

【００２４】非導電性部材２２は、電気絶縁材料をシー
ト状のばね部材２６の一方の面にコーティングのような
適宜な手法により、可撓性を有するシート状に形成され
て、ばね部材２６に固着されている。しかし、可撓性を
有する電気絶縁性のシート状部材とばね部材２６とを、
接着、溶着等の適宜な手法により、固着してもよい。

【００２５】配線パターンは、写真食刻法、印刷配線法
等、いわゆる印刷配線技術により電気絶縁部材すなわち
非導電性部材２２の他方の面に形成されている。各配線
部２４は、隣り合うプローブ領域３２の間を非導電性部
材２２の一端縁から直線状に伸びている。各配線部２４
は、その先端部にニッケルメッキのような適宜な手法に
より形成された突起３４を有する。

【００２６】図示の例では、突起３４は、鋲のように、
半球状の先端部および該先端部に続く円柱状の主体部と
を有する。図示の例では、各突起３４は、ニッケルメッ
キにより形成された半球状の突出部すなわちバンプであ
る。しかし、予め所定の形状に製作された突起を導電性
接着剤により配線部２４に固定してもよい。各配線部２
４とこれに設けられた突起３４との対は、プローブ要素
として作用する。

【００２７】ばね部材２６は、ステンレス板、銅板、黄
銅板、ベリリウム板等、導電性の薄い板ばね材により形
成されており、また非導電性部材２２に重ねられてい
る。ばね部材２６は、図示の例では、非導電性部材２２
の一方の面全体に配置されている。しかし、ばね部材２
６は、少なくとも配線部２４の一端部に対応する非導電
性部材２２の部位に配置されていればよい。

【００２８】各スリット２８は、非導電性部材２２、配
線パターン２４、ばね部材２６および保護層３０の端部
の側を配線部２４を含むフィンガー状の複数のプローブ
領域３２に分割するように、写真食刻法、レーザビーム
切削法等の適宜な手段を用いる切削加工によりプローブ
ユニット２０を貫通する状態に形成されている。各スリ
ット２８は、プローブユニット２０の一端縁から配線部
２４間を伸びている。

【００２９】保護層３０は、図示の例では、突起３４が
その先端だけを突出させた状態に、すなわち半球状の面
の外周部を覆う形に、突起３４および配線パターン２４
を包囲するように、非導電性部材２２の他方の面に、コ
ーティング、塗布、印刷等の適宜な手法により形成され
ている。

【００３０】しかし、保護層３０は、半球状の面の外周
部を覆う形に、突起３４と、少なくともその突起の近傍
の配線部２４の部位、好ましくは少なくともプローブ領
域２４の配線部２４の部位とを覆うように、形成しても
よい。

【００３１】各プローブ領域３２は、スリット２８によ
り区画された細長い領域内の、非導電性部材２２、ばね
部材２４、保護層３０、配線部２４および突起３４によ
り形成される。図示の例では、各プローブ領域３２は、
１つの配線部２４の一部を含み、したがって１つのプロ
ーブ要素を含む範囲である。しかし、各プローブ領域３
２は、複数のプローブ要素を含むように、複数の配線部
２４とを含む範囲であってもよい。

【００３２】図示の例では、５つのスリット２８と、６
つの配線部２４と、６つのプローブ領域３２とを示すに
すぎないが、実際にはプローブユニット２０は、それ以
上の、スリット、配線部およびプローブ領域を備える。

【００３３】図４および図５に示すように、プローブユ
ニット２０を用いる検査用ヘッドすなわち試験用ヘッド
４０は、たとえば、複数（図示の例では、４つ）のプロ
ーブユニット２０をプローブ取付体４２に接着剤のよう
な適宜な装着手段により装着し、そのプローブ取付体４
２をリングプレート４４のような適宜な取付具により、
電気的絶縁板を用いた配線基板４６に取り付けることに
より、組み立てることができる。

【００３４】試験用ヘッドに組み立てられた状態におい
て、各配線部２４は試験用電気信号の供給のために配線
基板４６に形成された図示しない配線部に電気的に接続
され、ばね部材２６はアース電位の部位に接続される。
これにより、隣り合うプローブ要素（配線部２４）間の
電気信号の漏洩、各プローブ要素への雑音の混入が減少
する。

【００３５】試験時、プローブユニット２０と被検査体
とは、突起の露出した部分が被検査体の電極部に当接さ
れた状態で、相対的に押圧される。これにより、各プロ
ーブ領域３２は弧状に反り、突起３４は電極部を擦る。
このとき、突起３４を配線部２４から剥がすような摩擦
力が突起３４と電極部との間に作用する。

【００３６】しかし、突起３４および配線部２４は保護
層３０により突起３４の先端が突出した状態に保護され
ているから、突起３４が配線部２４から剥がれ落ちおそ
れはないし、配線部２４が突起３４の近傍において非導
電性部材２２から剥離されるおそれもなく、さらに配線
部２４全体が非導電性部材２２から剥離されるおそれも
ない。

【００３７】特に、実施例のように、突起３４の半球状
の面の外周部が保護層３０により覆われていると、大き
な摩擦力が突起３４と電極部とに作用しても、突起３４
は配線部２４から剥がされるおそれがない。しかし、突
起３４の半球状の面の外周部を保護層３０により保護す
ることなく、突起３４の円柱状の主体部の外周を保護層
３０により挟み込む（すなわち、包み込む）ように突起
３４を保護層により保護してもよい。

【００３８】プローブユニット２０と被検査体とが相対
的に押圧されたとき、各プローブ領域３２は、隣のプロ
ーブ領域３２との間にスリット２８が存在するから、他
のプローブ領域３２から独立して湾曲する。このため、
プローブ領域３２が独立していない場合に比べ、突起３
４が被検査体の電極部に確実に接触する。

【００３９】プローブユニット２０は、たとえば、シー
ト状の非導電性部材２２とシート状のばね部材２６とを
ばね部材２６が非導電性部材２２の一方の面に固定され
た状態に配置し、非導電性部材２２の他方の面に複数の
配線部２４を含む配線パターンを形成し、各配線部２４
の端部にばね部材２６と反対の側に突出する突起３４を
形成し、非導電性部材２２の他方の面に保護膜３０を形
成し、その後プローブユニット２０の一端部に複数のス
リットを形成してその一端部を複数のプローブ領域３２
に分割することにより製作することができる。

【００４０】非導電性部材２２をばね部材２６にコーテ
ィングにより形成する代わりに、非導電性部材２２をシ
ート状のばね部材２６に塗布技術、印刷技術等により形
成してもよいし、ばね部材２６をシート状の非導電性部
材２２に、印刷配線技術、真空蒸着技術等により形成し
てもよい。

【００４１】上記の実施例では、１つのプローブ領域３
２に１つのプローブ要素を形成しているが、１つのプロ
ーブ領域３２に複数のプローブ要素を一層にまたは複数
層に形成してもよい。また、アースに接続する導電体層
を各プローブ領域３２に一層にまたは複数層に形成して
もよい。

【００４２】図６〜図８に示すプローブユニット５０
は、プローブ領域３２に複数のプローブ要素を２層にま
たは複数層に形成している。プローブユニット５０は、
さらに、保護層３０に形成された細長い複数の第２の配
線部５２を備える第２の配線パターンと、各第２の配線
部５２の一端部からばね部材２６と反対の側に突出する
導電性の第２の突起５４と、第２の突起５４の一部が突
出した状態に第２の突起５４および第２の配線部５２を
包囲する電気絶縁性の第２の保護層５６とを含む。

【００４３】各第２の配線部５２は、プローブ領域３２
に設けられており、また第１の配線部２４と平行に第１
の保護層３０の一端縁から伸びている。第２の配線部５
２および第２の突起５４の対は、第２のプローブ要素と
して作用する。突起５４は、半球状の面の外周部を保護
層５６により覆われて先端を保護層６６から突出させて
いる。第２の配線部５２、第２の突起５４および第２の
保護層５６は、その順に、第１の配線部２４，第１の突
起３４および第１の保護層３０と同様に形成することが
できる。

【００４４】図９および図１０に示すプローブユニット
６０は、アースに接続する導電体層６２を備える。各プ
ローブ領域３２は、これの長手方向へ平行に伸びる一対
の配線部２４と、各配線部２４の端部に取り付けられた
突起３４とにより形成される一対のプローブ要素を含む
導電体層６２は、保護層３０に埋め込まれている。

【００４５】保護層３０は、配線部２４を覆う第１の電
気絶縁層６４と、突起３４および導電体層６２を覆う第
２の電気絶縁層６６とを含む。導電体層６２は、第１の
電気絶縁層６４に形成される。各突起３４は、半球状の
先端部および該先端部に続く円柱状の主体部とを有して
おり、また第１の電気絶縁層６４を完全に貫通している
とともに、半球状の面の外周部を第２の電気絶縁層６６
により覆われて先端を第２の電気絶縁層６６から突出さ
せている。

【００４６】導電体層６２、第１および第２の電気絶縁
層６４，６６は、第１の電気絶縁層６４，導電体層６２
および第２の電気絶縁層６６の順に形成することができ
る。導電体層６２は、ばね部材２６とともに、後に図示
しないアース電位の部位に接続される。これにより、隣
り合うプローブ要素間、特に配線部２４間の電気信号の
漏洩および各プローブ要素への電気的雑音の混入が著し
く減少する。

【００４７】しかし、図１１に示すように、第１の電気
絶縁層６４および導電体層６２を貫通する導電性の短絡
部材６８により導電体層６２をばね部材２６に接続し、
ばね部材２６を図示しないアース電位の部位に接続して
もよい。この場合、短絡部材６８は、配線部２４に接触
しないように、第１の電気絶縁層６４の一部により維持
される。

【００４８】図１２および図１３に示すプローブユニッ
ト７０は、配線部２４の周りをアース電位に維持するた
めの複数の導電体層７２，７４，７６を保護層３０に設
けている。導電体層７２，７４，７６は、各プローブ領
域３２の一端縁からプローブ領域３２を越えてプローブ
領域３２の長手方向へ伸びている。

【００４９】導電体層７２，７４は、配線部２４を間に
して対向する位置を配線部２４と平行に伸びるように、
非導電性部材２２に形成されている。これに対し、導電
体層７６は、配線部２４および導電体層７２，７４から
ばね部材２６と反対の側に間隔をおいてこれらと平行に
伸びるように、保護層３０内に形成されている。

【００５０】保護層３０は、配線部２４および導電体層
７２，７４を覆う第１の電気絶縁層７８と、突起３４お
よび導電体層７６を覆う第２の電気絶縁層８０とを含
む。導電体層７６は、第１の電気絶縁層７８に形成され
る。突起３４は、半球状の先端部および該先端部に続く
円柱状の主体部とを有しており、また第１の電気絶縁層
７８を完全に貫通しているとともに先端を第２の電気絶
縁層８０から突出させている。

【００５１】導電体層７２，７４，７６は、ばね部材２
６とともに、後に図示しないアース電位の部位に接続さ
れる。これにより、隣り合うプローブ要素間、特に配線
部２４間の電気信号の漏洩および各プローブ要素への電
気的雑音の混入が著しく減少する。

【００５２】しかし、図１２に示すように、第１の電気
絶縁層７８、配線部２４および非導電性部材２２を貫通
する導電性の短絡部材８２により導電体層７６をばね部
材２６に接続し、ばね部材２６を図示しないアース電位
の部位に接続してもよい。この場合、短絡部材８２は、
配線部２４に接触しないように、第１の電気絶縁層７８
の一部により維持される。他の導電体層７２，７４も、
同様のピンによりばね部材２６に接続してもよい。

【００５３】上記のようなプローブユニットは、目の細
かいサンドペーパのような研磨紙と被査体用試験装置と
を用いて突起を研磨することにより、試験装置のチャッ
クトップに真空吸着された被検査体に対する突起の高さ
一を一定にすることができる。

【００５４】そのような研磨は、たとえば、ますプロー
ブユニットを図でに述べたように試験用ヘッドに組み立
て、その試験用ヘッドを試験装置に装着し、その状態で
突起とチャックトップとが最初に接触する基準位置を決
め、次いで少なくとも用いる研磨紙の厚さ分だけチャッ
クトップとプローブユニットとを離し、次いで研磨紙を
試験装置のチャックトップに真空吸着し、その状態でプ
ローブユニットに基準位置から研磨紙の札査定度（１０
０ミクロン程度のオーバードライブをかけることによ
り、行うことができる。

【００５５】上記の研磨法を用いれば、各プローブ領域
が弧状に反ることにより、突起が研磨紙に接触した状態
で研磨紙を擦るから、突起の先端が研磨され、チャック
トップひいてはこれに吸着された被検査体に対する突起
の先端の高さ位置が同じになる。

【００５６】上記の実施例は、いずれも、プローブユニ
ットをその厚さ方向に貫通するスリット２８を形成して
いるが、ばね部材２６のみを貫通するスリット２８をば
ね部材２６に形成してもよいし、ばね部材２６を厚さ方
向に貫通し、かつ、非導電性部材２２をその厚さ方向に
貫通しない程度に非導電性部材２２に達するスリットを
ばね部材２６および非導電性部材２２に形成してもよ
く、さらにはスリットを形成しなくてもよい。

【００５７】また、半球状の先端部とこれに一体に続く
柱状の主体部とを有する突起を用いる代わりに、円柱
形、角柱形、円錐形、角錐形等、他の形状の突出部であ
ってもよい。この場合、突起３４がその先端だけを突出
させた状態に、突起を保護層で覆うことが好ましい。

【００５８】ばね部材２６は、プローブユニットを試験
用ヘッドに組み立てた状態において、少なくともプロー
ブ領域３２の先端からプローブユニット取付体４２への
プローブユニットの取付部まで存在すればよい。それゆ
えに、ばね部材２６の不必要な部分は、プローブユニッ
トを試験用ヘッドに組み立てる前に除去してもよい。

【００５９】しかし、ばね部材の不必要な部位を除去し
なくてもよい。また、プローブユニットの長さ寸法をプ
ローブ領域３２の先端からプローブユニット取付体４２
へのプローブユニットの取付部まで程度とし、試験用ヘ
ッドに組み立てるときに、フレキフィブルフラットケー
ブルをプローブユニットに電気的におよび機械的に接続
してもよい。さらに、ばね部材の大きさをプローブユニ
ットの製作の段階から最小必要限度の大きさとしてもよ
い。

【００６０】本発明は、上記実施例に限定されない。た
とえば、本発明は、集積回路の試験に用いるプローブユ
ニットのみならず、液晶表示パネルのような他の平板状
被検査体の検査すなわち試験に用いるプローブユニット
にも適用することができるし、複数のプローブユニット
を１つの試験用ヘッドに用いるプローブユニットのみな
らず、１つのプローブユニットを１つの試験用ヘッドに
用いるプローブユニットにも適用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のプローブユニットの一実施例を示す斜
視図である。

【図２】図１に示すプローブユニットのにおけるローブ
領域の縦断面図である。

【図３】図２における２−２線に沿って得た断面図であ
る。

【図４】図１に示すプローブユニットを用いた試験用ヘ
ッドの一実施例を示す底面図である。

【図５】図５における５−５線に沿って得た断面図であ
る。

【図６】プローブユニットの第２の実施例におけるプロ
ーブ領域の縦断面図である。

【図７】図６に示すプローブ領域の底面図である。

【図８】図７における８−８線に沿って得た断面図であ
る。

【図９】プローブユニットの第３の実施例におけるプロ
ーブ領域の縦断面図である。

【図１０】図９における１０−１０線に沿って得た断面
図である。

【図１１】図９のプローブ領域の変形例を示す縦断面図
である。

【図１２】プローブユニットの第４の実施例におけるプ
ローブ領域の縦断面図である。

【図１３】図１２における１３−１３線に沿って得た断
面図である。

【符号の説明】

２０，５０，６０，７０ プローブユニット ２２ シート状の非導電性部材 ２４，５２ 配線パターンの配線部 ２６ シート状のばね部材 ２８ スリット ３０，５６ 保護層 ３２ プローブ領域 ３４、５４ 突起 ６２，７２，７４，７６ 導電体層 ６４，７８，８０ 電気絶縁層 ６８，７２ 短絡部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井沼 毅 東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号 株式会社日本マイクロニクス内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 シート状の非導電性部材と、該非導電性
   部材の一方の面に間隔をおいて形成された細長い複数の
   配線部を備える配線パターンと、前記非導電性部材の他
   方の面にあって少なくとも前記配線部の一端部に対応す
   る部位に配置されたシート状のばね部材と、前記各配線
   部の一端部から前記ばね部材と反対の側に突出する導電
   性の突起と、該突起の先端が突出した状態に該突起およ
   び少なくとも該突起の近傍の前記配線部を覆う電気絶縁
   性の保護層とを含む、平板状被検査体試験用プローブユ
   ニット。
2. 【請求項２】前記保護層は、前記突起と、前記配線部の
   うち少なくともプローブ要素として作用する部位とを覆
   う、請求項１に記載のプローブユニット。
3. 【請求項３】 さらに、１以上の前記配線部を含む細長
   い複数のプローブ領域を形成すべく少なくとも前記ばね
   部材に形成された複数のスリットとを含む、請求項１ま
   たは２に記載のプローブユニット。
4. 【請求項４】 さらに、前記保護層内に配置された１以
   上の導電体層を含む、請求項１，２または３に記載のプ
   ローブユニット。
5. 【請求項５】 さらに、前記配線部と平行に伸びるよう
   に前記保護層に形成された細長い複数の第２の配線部を
   備える第２の配線パターンと、各第２の配線部の一端部
   から前記ばね部材と反対の側に突出する導電性の第２の
   突起と、該第２の突起の一部が突出した状態に該第２の
   突起および前記第２の配線部を包囲する電気絶縁性の第
   ２の保護層とを含む、請求項１，２または３に記載のプ
   ローブユニット。