JPH02222156A - プローブカード - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 し発明の１」的コ （産業上の利用分野） 本発明は、プローブカードに関する。

（従来の技術） 一般に半導体装置の主構成部品である集積回路素子は、
半導体基板（以下ウェハと称す）上に多数整列した状態
で形成された後、各集積回路素子に切断される。

このような集積回路素子の製造工程では、ウェハ上に形
成された集積回路素子を良品と不良品とに選別する等の
目的のため、従来から集積回路素子の電極に探針を接触
させるプローバと、電気的信号を印加および／１１１１
定するテスタによってウェハの状態で各集積回路素子の
電気的特性の検査測定を行っている。

また、一般に上述の検査測定では、ウェハに形成された
集積回路素子の多数の電極に対応して探針が絶縁性基板
に植設されたプローブカードを用い、このプローブカー
ドを交換することにより異なる仕様の集積回路素子を検
査することができるようにしている。

なお、上記プローブカードは、絶縁性基板により例えば
円盤状に形成されており、その中央部に設けられた検査
ホールに向って多数の探針が植設さている。また、絶縁
性基板の周縁部には、各探針と測定装置とを電気的に接
続するための電極が形成されており、これらの探針と電
極との間は、絶縁性基板に形成された配線パタンによっ
て接続されている。また、例えば微少電流を測定するた
めのプローブカードでは、各探針に、それぞれ信号を印
加するためのフォースラインと、信号を４１１定するた
めのセンスラインとか接続されたいわゆるケルビン方式
（これらのラインは探針近傍で電気的に接続されている
）のものが多い。

（発明が解決しようとする課題） ところで、近年、半導体装置の小形化および高集積化に
よって集積回路素子の各電極の間隔がしだいに狭くなっ
ており、プローブカードの各探針の間隔およびこれらの
配線パターン間の間隔もこれに伴って狭くなっている。

このため、隣接する配線パターン間で、例えばこれらの
配線バタン間の電位差１ｖあたり　Ｏ，ＩｐＡ程度の微
少な漏れ電流か発生し、例えば集積回路素子の微少な直
流電流の検査測定を行うような場合、検査の誤判定等が
生しるという問題かあった。

本発明は、かかる従来の事情に対処してなされたもので
、隣接する配線パターン間における漏れ電流の発生、お
よび外部からの雑音の侵入を防止することができ、集積
回路素Ｊ″−の検査を正確に行うことのできるプローブ
カードを提供しようとするものである。

し発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明のプローブカードは、絶縁性の基板に設けられた
複数の探針と、それぞれの前記探針と測定機器とを電気
的に接続するために前記基板面に形成された第１の配線
パターン群と、それぞれの前記第１の配線パターンを囲
む如く形成され該第１の配線パターンと同電位となるよ
う電圧信号を印加される第２の配線パターン群とを備え
たことを特徴とする。

（作　用） 本発明のプローブカードでは、絶縁性の基板に設けられ
た複数の探針と測定機器とを電気的に接続するために、
この基板面に形成された第１の配線パターン群（フォー
スライン、センスライン）をそれぞれ囲む如く、これら
と同１−ｂ位となるよう電圧信号を印加される第２の配
線パターン群（ガドライン）が形成されている。したが
って、隣接する配線パターン間における漏れ電流の発生
を防止することかでき、さらに外部からの雑音の影響も
軽減することかできるので、正確な測定を行うことかで
きる。

（実施例） 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。

第１図および第２図に示すプローブカード１の絶縁性基
板２は、例えば絶縁性に優れたポリイミド系樹脂等から
円盤状に構成されており、その中央部には、検査ホール
２ａが設けられている。また、この絶縁性基板２には、
検査ホール２ａに向う如くウェハ３に形成された集積回
路素子４の電極パッド５列に対応して針先が位置付けさ
れる多数の探針６（第１図には１本のみ示す）が植設さ
れている。

また、各探針６には、それぞれ図示しない測定装置（テ
スタ）から電気信号を供給するためのフオースライン７
および電気信号を測定するためのセンスライン８が接続
されている。すなわち、これらのフォースライン７およ
びセンスライン８は、絶縁性基板２上に形成された配線
パターンからなり、探針６の近傍で連結され、ここから
２本に別れて放射状に絶縁性基板２の周縁部に向かう如
く形成されており、その外側端部には、それぞれ外部電
極に接続するためのフォース′電極７ｔ、センス電極８
ｔが設けられている。

さらに、絶縁性基板２には、上記フォースライン７およ
びセンスライン８の周囲を囲む如く、はぼＵ字状に形成
された配線パターンからなるガドライン９ａが設けられ
ており、このガードライン９ａの外側部位にはガード電
極９ｔが設けられている。また、絶縁性基板２の裏面側
には、ガドライン９ａに対応して楔形の配線パターンか
らなるガードライン９ｂが形成されており、これらのガ
ードライン９ａ、９ｂは、スルーホール９Ｃによって電
気的に接続されている。

そして、絶縁性基板２の裏面側のガ−ドライン９ｂのさ
らに外周側には、配線パターンからなるグランドライン
１０か設けられており、このグランドライン］Ｏは、ス
ルーホール１０ａによって絶縁性基板２の表面側に形成
されたグランド電極１０　ｔに接続されている。

上記１１外成のこの実施例のプローブカード１は、プロ
ーブ装置の所定部位に配置され、フォース電極７ｔ、セ
ンス電極８ｔ、ガード電極９ｔ、グランド電極］、　Ｏ
ｔは、それぞれテスタと電気的に接続される。そして、
プローブ装置を駆動して各探針６をウェハ３に形成され
た集積回路素子４の電極パラ］・５に接触さぜるととも
に、各フォース電極７ｔおよびフォースライン７を介し
て集積回路素子４に所定の信号を供給、例えば所定の電
圧を印加し、各センス電極８ｔおよびセンスライン８を
介して集積回路素子４の出力信号、例えば微少な直流電
流を測定する。

この時、ガードライン９ａ、９ｂには、フォスライン７
およびセンスライン８と同電位になるようテスタから電
圧か印加される。したがって、センスライン８には、隣
接する（他の探針６に接続された）フォースライン７お
よびセンスライン８との電位差に起因する漏れ電流が生
じることがなく、さらに外部からの雑音の影響も軽減す
ることができるので、正確な測定を行うことかできる。

なお、探針６としては、通常の探針の他に、例えば第３
図に示すように、芯線部６ａの外側を絶縁体６ｂで囲み
、絶縁体６ｂの外側に外部シールＦ　６　ｃを設けたも
のを用い、外部シールド６Ｃをガードライン９ａ、９ｂ
に接続するよう構成し、探針６の部位での雑音の侵入を
防止するよう構成することもできる。

また、第４図に配線パターンの状態を模式的に示すよう
に、フォースライン７とセンスライン８とを絶縁性基板
２の異なる面、例えばフォースライン７を絶縁性基板２
の上面側（表面側）、センスライン８を絶縁性基板２の
下面側（裏面側）に設け、これらをスルーホール１１で
接続するとともに、これらのフォースライン７およびセ
ンスライン８をそれぞれ囲む如く、スルーホール９Ｃて
接続されたガードライン９ａ、９ｂを設けてもよい。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明のプローブカードによれば
、隣接する配線パターン間における漏れ電流の発生、お
よび外部からの雑音の侵入を防止することができ、集積
回路素子の検査を正確に行うことかできる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明のプローブカードの一実施
例の要部構成を示す図、第３図は探針の構成を示す図、
第４図は第１図の他の実施例の配線パタンの構成を示す
図である。 ］・・・・・プローブカード、２・・・・・絶縁性基板
、２ａ・・・・・・検査ホール、３・・・ウェハ、４・
・・・・集積回路素子、５・・・・電極パッド、６・・
・・・・探針、７・・・・・フォースライン、７ｔ・・
・・フォース電極、８・・・・・・センスライン、８ｔ
・・・・・・センス電極、９ａ、９ｂ・・・・・ガード
ライン、９Ｃ・・・・・スルーホール、９ｔ・・・・・
・ガード電極、１０・・・・・・グランドライン、１０
ａ・・・・・・スルーホール、１０ｔ・・・・・・グラ
ンド電極。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）絶縁性の基板に設けられた複数の探針と、それぞ
   れの前記探針と測定機器とを電気的に接続するために前
   記基板面に形成された第１の配線パターン群と、それぞ
   れの前記第１の配線パターンを囲む如く形成され該第１
   の配線パターンと同電位となるよう電圧信号を印加され
   る第２の配線パターン群とを備えたことを特徴とするプ
   ローブカード。