KR100918683B1 - 연결 구조물 및 이를 포함하는 전기 검사 장치 - Google Patents

Abstract

개시된 전기 검사 장치는 피검사체와 접촉 가능한 프로브 팁이 구비된 제1 표면 그리고 상기 제1 표면에 대향하고, 제1 강도를 갖는 재질로 이루어진 패드들이 형성되고, 상기 피검사체와 접촉함에 의해 인가되는 전기 신호를 전달받는 제1 기판과, 상기 제1 기판의 제2 표면과 마주하게 위치하고, 상기 패드들 각각으로부터 인가되는 전기 신호를 전달받는 제2 기판 및 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 굽은 구조를 갖도록 위치하고, 상기 제1 강도에 비해 높은 제2 강도를 갖는 재질로 이루어지고, 상기 패드들 각각과 접촉하여 상기 제1 기판과 제2 기판 사이를 전기적으로 연결하는 연결부를 포함한다.

Description

연결 구조물 및 이를 포함하는 전기 검사 장치{Connecting assembly and apparatus for inspecting electric condition having the same}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전기 검사 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.

도 2는 도 1의 전기 검사 장치의 연결부에 대한 일 예를 나타내는 개략적인 도면이다.

도 3은 도 1의 전기 검사 장치의 연결부에 대한 다른 예를 나타내는 개략적인 도면이다.

도 4는 도 1의 전기 검사 장치의 연결부에 대한 또 다른 예를 나타내는 개략적인 도면이다.

도 5는 도 1의 전기 검사 장치의 제1 가이드에 대한 일 예를 나타내는 개략적인 도면이다.

도 6은 도 1의 전기 검사 장치의 제1 가이드에 대한 다른 예를 나타내는 개략적인 도면이다.

도 7은 도 1의 전기 검사 장치의 제2 가이드에 대한 일 예를 나타내는 개략적인 도면이다.

도 8은 도 1의 전기 검사 장치의 제3 가이드에 대한 일 예를 나타내는 개략 적인 도면이다.

도 9 및 도 10은 도 1의 전기 검사 장치의 거리 유지부에 대한 동작 관계를 나타내는 개략적인 도면들이다.

도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 검사 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.

본 발명은 연결 구조물 및 이를 포함하는 전기 검사 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 전기적 연결을 위한 구조물 및 피검사체와 전기 접촉에 의해 전기 검사를 수행하는 전기 검사 장치에 관한 것이다.

전기 검사 장치는 프로브 카드 등으로 통칭할 수 있는 것으로써, 주로 회로 패턴이 형성된 반도체 기판 등과 같은 피검사체와 접촉 가능한 프로브 팁들이 구비된 제1 표면 그리고 제1 표면에 대향하고, 피검사체와 접촉함에 의해 인가되는 전기 신호를 전달받는 패드들이 형성된 제2 표면을 갖는 제1 기판과, 제1 기판의 제2 표면과 마주하게 위치하고, 제1 기판의 제2 표면에 형성된 패드들 각각으로부터 인가되는 전기 신호를 전달받는 제2 기판과, 제1 기판과 제2 기판 사이를 전기적으로 연결하는 연결부 등을 포함한다.

여기서, 연결부는 주로 일단이 제2 기판에 고정되고, 타단이 제1 기판의 패드들 각각과 점-접촉하는 구조를 갖는다. 특히, 제1 기판의 패드들 각각과 점-접촉 하기 위하여 언급한 연결부의 타단은 제1 기판의 패드들 각각에 대하여 수직한 구조를 갖는다. 이에, 연결부는 제1 기판과 제2 기판 사이에서 수직 방향으로 유지되는 가압에 의해 제1 기판과 제2 기판을 전기적으로 연결하는 것이다. 아울러, 연결부는 제1 기판의 제2 표면에 형성된 패드들 각각과 개별적으로 접촉해야 하기 때문에 언급한 패드들 각각에 대응하는 개수를 가져야 한다. 그러므로, 최근의 대구경화를 요구하는 반도체 소자에 대응하기 위한 전기 검사 장치는 수천 내지 수만 개의 연결부를 포함한다.

그러나, 언급한 연결부를 포함하는 전기 검사 장치는 시간이 경과함에 따라 제1 기판이 휘어지는 상황이 빈번하게 발생한다. 이는, 수천 내지 수만 개의 연결부가 제1 기판의 패드들 각각과 점-접촉을 위하여 제1 기판을 수직 방향으로 계속적으로 가압하기 때문이다.

이와 같이, 언급한 연결부를 갖는 전기 검사 장치는 연결부가 제1 기판을 계속적으로 가압함으로써 제1 기판의 평탄도 자체에 결함에 발생하고, 그 결과 전기적 검사를 위하여 접촉이 이루어지는 피검사체와의 접촉 불량을 초래하고, 심할 경우에는 제1 기판 자체가 파손되는 상황까지도 발생한다.

또한, 언급한 연결부는 제1 기판의 패드들 각각에 점-접촉하는 구조를 갖기 때문에 제1 기판과 제2 기판 사이를 전기적으로 연결할 때 콘택 저항을 상승시키는 결과를 초래한다.

본 발명의 일 목적은 전기 검사 장치의 제1 기판에 수직하게 가해지는 가압 을 적절하게 분산시킴과 더불어 제1 기판과 제2 기판 사이에서의 콘택 저항을 충분하게 감소시킬 수 있는 전기 검사 장치의 연결 구조물을 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 언급한 연결 구조물을 포함하는 전기 검사 장치를 제공하는데 있다.

상기 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 연결 구조물은 피검사체와 접촉 가능한 프로브 팁이 구비된 제1 기판에 접촉 연결되고, 굽은 구조를 가지면서 상기 제1 기판의 접촉 부위보다 높은 강도를 갖는 재질로 이루어지는 접촉부와, 상기 제1 기판과 마주하게 위치하는 제2 기판에 연결되는 고정부 및 상기 접촉부와 고정부를 연결하는 연장부를 포함한다.

상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 전기 검사 장치는 피검사체와 접촉 가능한 프로브 팁이 구비된 제1 표면 그리고 상기 제1 표면에 대향하고, 제1 강도를 갖는 재질로 이루어진 패드들이 형성되고, 상기 피검사체와 접촉함에 의해 인가되는 전기 신호를 전달받는 제1 기판과, 상기 제1 기판의 제2 표면과 마주하게 위치하고, 상기 패드들 각각으로부터 인가되는 전기 신호를 전달받는 제2 기판 및 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 굽은 구조를 갖도록 위치하고, 상기 제1 강도에 비해 높은 제2 강도를 갖는 재질로 이루어지고, 상기 패드들 각각과 접촉하여 상기 제1 기판과 제2 기판 사이를 전기적으로 연결하는 연결부를 포함한다.

그리고, 상기 패드들 각각의 상부에는 상기 패드들 각각과 접촉이 이루어지 는 단부로부터 상기 제2 기판으로 연장되는 상기 연결부의 일부분과 접촉하는 제1 가이드와, 상기 패드들 각각과 접촉하는 상기 연결부의 단부와 접촉하는 제2 가이드가 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이의 거리를 유지하는 거리 유지부를 더 포함하고, 상기 제1 기판과 제2 기판 사이의 거리를 조절할 때 상기 거리 유지부에 의해 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이의 거리를 일정하게 유지시킴에 따라 상기 제1 기판의 제1 표면에 균일한 평탄도를 부여하는 것이 바람직하다.

이와 같이, 언급한 본 발명의 연결 구조물 및 전기 검사 장치에 의하면 제1 기판과 제2 기판 사이에 굽은 구조를 갖도록 위치시키고, 패드들 각각이 갖는 강도에 비해 높은 강도를 갖는 연결부를 마련한다. 이에, 제1 기판과 제2 기판 사이를 전기적으로 연결할 때 연결부의 구조적인 형태에 의해 제공되는 탄성력과 함께 연결부의 재질적인 형태에 의해 제공되는 패드들 각각과의 접촉 면적의 확장을 달성할 수 있다. 그러므로, 본 발명에 의하면 연결부에 의해 가해지는 수직 방향의 가압을 충분하게 감소시킴에 따라 제1 기판이 휘어지는 상황을 방지하고, 그 결과 시간이 경과하여도 제1 기판의 평탄도를 유지할 수 있다. 아울러, 연결부와 패드들 각각이 접촉하는 면적이 확장되기 때문에 제1 기판과 제2 기판 사이에서의 콘택 저항도 충분하게 감소시킬 수 있다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 아울러, 도면들에 있어서, 부재들 각각은 그 명확성을 기하기 위하여 다소 과장되어진 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전기 검사 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.

도 1을 참조하면, 전기 검사 장치(100)는 프로브 카드 등으로 통칭할 수 있는 것으로써, 제1 기판(10), 제2 기판(16), 연결부(25), 거리 유지부(18), 제1 기판(10)과 제2 기판(16)을 결합 지지하는 결합부(20) 등을 포함한다. 아울러, 도시하지는 않았지만, 본 발명의 일 실시예에 따른 전기 검사 장치(100)는 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이에 평탄도를 조절하는 평탄도 조절부, 제1 기판(10)과 제2 기판(16)을 구조적으로 보강하는 보강부 등을 더 포함하기도 한다.

구체적으로, 제1 기판(10)은 마이크로 프로브 헤드(micro probe head : MPH), 스페이스 트랜스포머(space transformer : 공간 변헝기) 등으로 통칭할 수 있는 것으로써, 회로 패턴이 형성된 반도체 기판 등과 같은 피검사체와 접촉 가능한 제1 표면(10a) 그리고 제1 표면(10a)에 대향하는 제2 표면(10b)을 갖는다. 또한, 제1 기판(10)의 제1 표면(10a)에는 피검사체와 전기적으로 접촉하는 프로브 팁(12)들이 구비되고, 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)에는 프로브 팁(12)들과 전기적으로 연결되는 패드(14)들이 구비된다.

특히, 언급한 패드(14)들 각각은 제1 강도를 갖는 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 이때, 패드(14)들 각각을 형성하기 위한 제1 강도를 갖는 재질은 후술하는 연결부와의 관계를 고려할 경우 다소 큰 연성(ductility)을 것이 적절하다. 그러므로, 제1 강도를 갖는 재질의 예로서는 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu), 납(Pb) 등을 들 수 있다. 그리고, 이들은 단독으로 사용하거나 또는 둘 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.

이에, 언급한 바와 같이 제1 기판(10)은 피검사체와 접촉 가능한 프로브 팁(12)들이 구비된 제1 표면(10a) 그리고 제1 표면(10a)에 대향하고, 피검사체와 접촉하여 프로브 팁(12)들로부터 인가되는 전기 신호를 전달받는 패드(14)들이 형성되는 제2 표면(10b)을 갖는다.

제2 기판(16)은 인쇄회로기판(PCB) 등을 통칭하는 것으로써, 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)과 마주하게 위치한다. 그리고, 제2 기판(16)은 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)에 형성된 패드(14)들 각각으로부터 인가되는 전기 신호를 전달받는 구조를 갖는다.

그러므로, 언급한 전기 검사 장치(100)를 사용한 전기 검사의 수행에서는 제1 기판(10)의 프로브 팁(12)들이 피검사체와 접촉하여 피검사체로부터 인가되는 전기 신호를 전달받고, 이를 제1 기판(10)으로부터 제2 기판(16)을 통하여 테스터 콘트롤러(도시되지 않음)로 전달하는 구성을 갖는다.

따라서, 전기 검사 장치는 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이를 전기적으로 연결하는 부재를 필요로 한다. 이에, 본 발명의 실시예에 따른 전기 검사 장치(100)는 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이를 전기적으로 연결하는 연결부(25)를 포함한다.

여기서, 언급한 연결부(25)는, 도 1에서와 같이 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이에 굽은 구조를 갖도록 위치한다. 특히, 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이에 위치할 때 연결부(25)가 탄성력의 제공이 가능한 구조를 가질 경우에는 언급한 굽은 구조 이외에도 다양한 구조를 갖도록 마련할 수 있다. 이에, 본 발명의 일 실시예에서는 연결부(25)를 구조적으로 탄성력의 제공이 가능한 굽은 구조로써 'S'자 구조로 마련한다. 아울러, 연결부(25)의 굽은 구조는 패드(14)들 각각과 접촉하는 단부에 위치하도록 마련하는 것이 보다 바람직하다. 또한, 연결부(25)는 제2 강도를 갖는 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 여기서, 연결부(25)가 갖는 제2 강도가 언급한 패드(14)들 각각이 갖는 제1 강도에 비해 낮을 경우에는 재질적으로 연결부(25)가 패드(14)들 각각에 충분하게 접촉이 이루어지지 않을 수 있다. 이에, 연결부(25)로 형성하기 위한 제2 강도를 갖는 재질은 언급한 패드(14)들 각각을 형성하기 위한 제1 강도를 갖는 재질에 비해 높은 것이 적절하다. 그러므로, 제2 강도를 갖는 재질의 예로서는 스테인레스(stainless)-스틸 등을 들 수 있다. 특히, 제2 강도를 갖는 재질은 니켈(Ni), 금 등을 사용하여 도금한 스테인레스-스틸인 것이 바람직하다. 이때, 니켈, 금 등은 단독으로 사용하거나 이들을 혼합하여 사용할 수 있다.

이와 같이, 언급한 전기 검사 장치(100)는 패드(14)들 각각을 제1 강도를 갖는 재질로 형성하고, 연결부(25)를 굽은 구조를 가지면서 아울러 제2 강도를 갖는 재질로 형성한다. 이에, 패드(14)들 각각에 연결부(25)가 접촉할 때 패드(14)들 각 각이 연결부(25)의 접촉을 충분하게 흡수할 수 있다. 즉, 패드(14)들 각각에 연결부(25)가 접촉할 때 탄성력이 있는 상태에서 접촉이 이루어질 뿐만 아니라 언급한 바와 같이 그들이 갖는 강도가 차이가 있기 때문에 연결부(25)가 패드(14)들 각각을 파고드는 형태로 접촉하는 것이다. 이에, 패드(14)들 각각에 접촉이 이루어지는 연결부(25)는 선-접촉 또는 면-접촉이 가능하여 접촉 면적의 확장을 달성할 수 있고, 그 결과 연결부(25)에 의해 제1 기판(10)에 수직 방향으로 가해지는 가압을 충분하게 감소시킬 수 있다.

따라서, 본 발명의 전기 검사 장치(100)는 연결부(25)에 의해 제1 기판(10)에 수직 방향으로 가해지는 가압을 충분하게 감소시킬 수 있기 때문에 시간이 경과하여도 제1 기판(10)이 휘어지는 상황을 방지하여 제1 기판(10)의 균일한 평탄도를 유지할 수 있다.

이하, 언급한 전기 검사 장치(100)의 연결부(25)에 대하여 보다 구체적으로 설명하기로 한다.

도 2는 도 1의 전기 검사 장치의 연결부에 대한 일 예를 나타내는 개략적인 도면이다.

도 2를 참조하면, 연결부(25)는 언급한 바와 같이 그 자체적으로 탄성력이 제공이 가능한 굽은 구조를 갖는다. 이때, 굽은 구조는 다양하게 마련할 수 있지만, 본 발명에서의 연결부(25)는 'S'자 구조를 갖도록 마련한다.

구체적으로, 연결부(25)는 접촉부(25a), 고정부(25b) 및 연장부(25c)를 포함한다.

여기서, 접촉부(25a)는 제1 기판(10)의 제2 표면(10a)에 마련한 패드(14)들 각각에 접촉 연결되는 부분이고, 고정부(25b)는 제2 기판(16)에 연결되는 부분이고, 연장부(25c)는 접촉부(25a)와 고정부(25b)를 서로 연결하는 부분이다.

그리고, 연결부(25)에서 접촉부(25a)는 제1 기판(10)의 패드(14)들 각각에 접촉 연결되는 부분이기 때문에 언급한 제2 강도를 갖는 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 그러므로, 접촉부(25a)는 스테인레스-스틸로 형성하는 것이 바람직하고, 니켈, 금, 이들의 혼합물 등을 사용하여 도금한 스테인레스-스틸로 형성하는 것이 더욱 바람직하다. 또한, 접촉부(25a)는 패드(14)들 각각에 접촉 연결될 때 선-접촉하는 형태를 갖도록 굽은 구조를 갖는 것이 바람직하다. 즉, 언급한 연결부(25)에서 접촉부(25a)를 선-접촉이 가능한 굽은 구조를 갖도록 형성하는 것으로써, 선-접촉이 가능한 굽은 구조는 설계 변경을 통하여 달성할 수 있다. 다시 말해, 접촉부(25a)의 굽은 구조가 갖는 곡률을 적절하게 조정함으로써 선-접촉이 이루어지는 굽은 구조를 달성할 수 있다.

특히, 언급한 연결부(25)는 접촉부(25a), 고정부(25b) 및 연장부(25c)를 별도로 마련하고, 이를 접합시키는 구조로도 마련할 수 있으나, 이 경우에는 접합 등의 난이도에 의해 다소 비효율적이다. 그러므로, 연결부(25)는 패드(14)들 각각과 접촉하는 부분인 접촉부(25a)를 굽은 구조를 가지도록 전제한다면 접촉부(25a), 고정부(25b) 및 연장부(25c)가 일체로 이루어지는 것이 바람직하다. 이에, 연결부(25)는 접촉부(25a) 뿐만 아니라 고정부(25b) 및 연장부(25c)도 언급한 제2 강도를 갖는 재질로 이루어진다. 즉, 연결부(25) 전체가 제1 강도를 갖는 재질로 이루 어지는 것이다.

그리고, 연결부(25)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 고정부(25b)를 제2 기판(16)에 마련한 홀(160)(또는 홈)에 삽입시켜 고정 연결할 수 있다. 이때, 고정부(25b)는 타원형의 구멍을 갖는 구조인 것이 바람직하다. 이는, 타원형 구멍을 갖는 고정부(25b)를 제2 기판(16)의 홀(160)에 삽입시키면 고정부(23)가 수축이 일어나고, 이후 고정부(23) 자체 탄성력에 의하여 제2 기판(16)이 홀(160)에 충분하게 억지 끼워지는 형태를 갖기 때문이다.

이와 같이, 타원형 구멍을 갖는 고정부(25b)를 제2 기판(16)의 홀(160)에 삽입시켜 고정시킬 경우에는 제2 기판(16)이 홀(160) 내벽에 전기 신호의 전달을 위한 전도성 물질로 이루어지는 박막(도시되지 않음)을 형성하는 것이 바람직하다.

또한, 도시하지는 않았지만 솔더 본딩에 의해 연결부(25)를 제2 기판(16)에 고정시켜 연결할 수도 있다. 즉, 연결부(25)의 고정부(25b)를 솔더 본딩에 의해 제2 기판(16)에 고정시켜 연결할 수도 있는 것이다.

언급한 바와 같이, 본 발명의 전기 검사 장치(100)에서는 접촉부(25a), 고정부(25b) 및 연장부(25c)를 포함하는 연결부(25)를 마련하고, 이를 사용하여 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이를 전기적으로 연결시킨다.

이에, 연결부(25)가 패드(14)들 각각에 위치하여 접촉할 때 연결부가 갖는 탄성력의 제공이 가능한 구조적인 개선과 그들이 갖는 재질적 차이를 통하여 연결부(25)로부터 가해지는 수직 방향의 가압을 충분하게 감소시킬 수 있다. 즉, 연결부(25)가 굽은 구조를 가짐에 의해 충분한 탄성력의 제공이 가능하고, 제1 기 판(10)의 패드(14)를 각각에 접촉할 때 연결부(25)가 패드(14)들 각각을 파고든다. 그러므로, 연결부에 의해 제1 기판(10)의 수직 방향으로 가해지는 가압을 충분하게 감소시킬 수 있다. 이에, 제1 기판(10)의 계속적인 수직 방향의 가압에 의해 제1 기판(10)의 평탄도가 저하되는 것을 막을 수 있고, 더불어 접촉 면적의 확장을 통하여 연결부(25)와 패드(14)들 사이에서의 콘택 저항을 감소시킬 수 있다.

도 3은 도 1의 전기 검사 장치의 연결부에 대한 다른 예를 나타내는 개략적인 도면이다. 그리고, 도 3의 연결부는 언급한 도 2의 연결부와 유사한 구조를 갖는다. 그러므로, 도 3의 연결부에 대한 설명에서 도 2의 연결부와 동일 부재에 대해서는 동일 부호를 사용하고, 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.

도 3을 참조하면, 언급한 연결부(25′)는 패드(14)들 각각에 접촉하는 형태를 달리하고는 도 2의 연결부(25)와 동일한 구조를 갖는다. 즉, 패드(14)들 각각에 접촉하는 부분인 접촉부(25a′)가 선-접촉이 아닌 면-접촉을 하는 구조를 달리하고는 언급한 도 2의 연결부(25)와 동일한 구조를 갖는다. 이때, 면-접촉을 하는 구조를 갖는 접촉부(25a′)는 면-접촉이 가능하면서도 그 자체가 탄성력을 제공할 수 있는 굽은 구조를 갖도록 형성하는 것으로써, 면-접촉이 가능한 굽은 구조는 설계 변경을 통하여 달성할 수 있다. 즉, 접촉부(25a′)의 굽은 구조가 갖는 곡률을 적절하게 조정함으로써 면-접촉이 이루어지는 굽은 구조를 달성할 수 있는 것이다. 또한, 제2 기판(16)에 연결되는 고정부(25b)의 구조도 언급한 도 2에서와 동일하다.

그러므로, 본 발명의 다른 예에 따른 연결부(25′)의 경우에도 제2 강도를 갖는 재질로 이루어지면서 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)에 마련한 패드(14)들 각각에 면-접촉에 의해 연결되는 접촉부(25a′), 제2 기판(16)에 연결되는 고정부(25b) 및 접촉부(25a′)와 고정부(25b)를 서로 연결하는 연장부(25c)를 포함한다.

이에, 언급한 연결부(25′)가 패드(14)들 각각에 위치하여 접촉할 때 패드(14)들 각각이 연결부(25)로부터 가해지는 가압을 충분하게 흡수할 수 있고, 또한 제1 기판(10)의 패드(14)들 각각과 충분한 면-접촉이 이루어진다.

따라서, 본 발명의 다른 예에 따른 연결부(25′)와 제1 강도를 갖는 재질로 이루어지는 패드(14)들을 포함하는 전기 검사 장치(100)는 제1 기판(10)에 가해지는 수직 방향의 가압을 충분하게 줄일 수 있기 때문에 시간이 경과하여도 제1 기판(10)이 휘어지는 것을 충분하게 방지할 수 있고, 그 결과 제1 기판(10)의 프로브 팁(12)이 구비된 제1 표면(10a)이 갖는 평탄도를 보다 균일하게 유지할 수 있다.

또한, 언급한 바와 같이 연결부(25)와 패드(14)들 각각이 면-접촉이 가능하기 때문에 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이에서 발생하는 콘택 저항도 충분하게 감소시킬 수 있다.

도 4는 도 1의 전기 검사 장치의 연결부에 대한 또 다른 예를 나타내는 개략적인 도면이다. 그리고, 도 4의 연결부는 언급한 도 2의 연결부와 유사한 구조를 갖는다. 그러므로, 도 4의 연결부에 대한 설명에서 도 2의 연결부와 동일 부재에 대해서는 동일 부호를 사용하고, 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.

도 4를 참조하면, 언급한 연결부(25″)는 패드(14)들 각각에 접촉하는 형태 를 달리하고는 도 2의 연결부(25)와 동일한 구조를 갖는다. 즉, 패드(14)들 각각에 접촉하는 부분인 접촉부(25a″)가 선-접촉이 아닌 적어도 두 군데에서 접촉하는 구조를 달리하고는 언급한 도 2의 연결부(25)와 동일한 구조를 갖는다. 이에, 접촉부(25a″)는 굽은 구조를 갖는 단부(250a)와 단부(250a)에 형성되는 접촉 돌기(250b)를 포함한다. 특히, 접촉 돌기(250b)는 언급한 바와 같이 패드(14)들 각각과 적어도 두 군데에서 접촉이 가능하게 형성된다. 그리고, 본 발명의 또 다른 예에서는 두 군데에서 접촉이 가능하게 접촉부(25a″)를 설계하고 있지만, 접촉이 이루어지는 부분의 개수에 대해서는 제한적이지 않다. 이에, 굽은 구조의 단부(250a)와 접촉 돌기(250b)를 포함하는 접촉부(25a″)는 굽은 구조가 갖는 곡률을 적절하게 조정하고, 단부(250a)에 접촉 돌기(250b)가 형성되도록 설계 변경을 통하여 형성할 수 있다. 또한, 제2 기판(16)에 연결되는 고정부(25b)의 구조도 언급한 도 2에서와 동일하다.

그러므로, 본 발명의 다른 예에 따른 연결부(25″)의 경우에도 제2 강도를 갖는 재질로 이루어지면서 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)에 마련한 패드(14)들 각각에 적어도 두 군데에서 접촉이 이루어지게 연결되는 접촉부(25a″), 제2 기판(16)에 연결되는 고정부(25b) 및 접촉부(25a′)와 고정부(25b)를 서로 연결하는 연장부(25c)를 포함한다.

따라서, 본 발명의 다른 예에 따른 연결부(25″)와 제1 강도를 갖는 재질로 이루어지는 패드(14)들을 포함하는 전기 검사 장치(100)는 제1 기판(10)에 가해지는 가압을 충분하게 줄일 수 있기 때문에 시간이 경과하여도 제1 기판(10)이 휘어 지는 것을 충분하게 방지할 수 있고, 그 결과 제1 기판(10)의 프로브 팁(12)이 구비된 제1 표면(10a)이 갖는 평탄도를 보다 균일하게 유지할 수 있다.

또한, 언급한 바와 같이 연결부(25″)와 패드(14)들 각각이 면-접촉이 가능하기 때문에 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이에서 발생하는 콘택 저항도 충분하게 감소시킬 수 있다.

이하, 도 1의 전기 검사 장치(100)의 패드(14)들 각각의 상부에 형성되는 제1 가이드와 제2 가이드에 대하여 구체적으로 설명하기로 한다.

도 5는 도 1의 전기 검사 장치의 제1 가이드에 대한 일 예를 나타내는 개략적인 도면이다.

도 5를 참조하면, 전기 검사 장치(100)의 패드(14)들 각각의 상부에 제1 가이드(50)가 형성된다. 이때, 제1 가이드(50)는 패드(14)들 각각과 접촉이 이루어지는 단부로부터 제2 기판(16)으로 연장되는 연결부(25)의 일부분과 접촉하게 형성한다. 즉, 제1 가이드(50)는 도 2에 도시된 연결부(25)에서 연장부(25c)의 일부분과 접촉하게 형성하는 것이다. 아울러, 제1 가이드(50)는 포토리소그라피 공정을 수행하여 형성하거나 또는 본딩 공정을 수행하여 형성할 수 있다. 특히, 본딩 공정을 수행할 경우에는 개별적으로 형성하거나 또는 일괄적으로 형성할 수 있다. 또한, 제1 가이드(50)는 연결부(25)에 비해 연성을 갖는 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 그러므로, 제1 가이드(50)는 연결부(25)가 갖는 제2 강도에 비해 작은 제3 강도를 갖는 도전성 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 한편, 제1 가이드(50)의 경우에는 비도전성 재질로 이루어진 폴리머 등을 사용하여 형성할 수도 있다.

이와 같이, 제1 가이드(50)는 제3 강도를 갖는 재질로 형성하기 때문에 연결부(25)가 제1 가이드(50)에 접촉할 때 제1 가이드(50)는 연결부(25)에 탄성력을 제공할 수 있다. 이에, 연결부(25)가 패드(14)들 각각에 접촉할 때 수직 방향으로 가해지는 가압을 충분하게 줄일 수 있다. 즉, 연결부(25)에 의해 가해지는 수직 방향의 가압을 제1 가이드(50)에 의해 제공되는 탄성력으로 줄일 수 있는 것이다.

여기서, 제1 가이드(50)는 도 2의 연결부(25)를 기준하여 설명하고 있지만, 이에 제한되는 것이 아니라 도 3의 연결부(25′)와 도 4의 연결부(25″)에도 접촉이 가능하게 형성할 수 있다.

이와 같이, 패드(14)들 상부에 언급한 제1 가이드(50)를 마련하여 연결부(25)가 가압하는 가압 부위와 연결부(25)가 접촉하는 접촉 부위를 더 확보함으로써 제1 기판(10)으로 가해지는 수직 방향의 가압을 다른 방향으로도 충분하게 분산시킬 수 있다. 아울러, 언급한 제1 가이드(50)가 재질적 해결을 통하여 연결부(25)의 접촉, 즉 접촉에 따른 가압을 제1 가이드(50) 자체의 탄성력에 의해 충분하게 흡수할 수 있기 때문에 연결부(50)에 의해 제1 기판(10)으로 가해지는 가압도 충분하게 줄일 수 있다.

이에, 언급한 제1 가이드(50)를 포함하는 전기 검사 장치(100)는 제1 기판(10)에 가해지는 가압을 충분하게 줄일 수 있기 때문에 시간이 경과하여도 제1 기판(10)이 휘어지는 것을 충분하게 방지할 수 있고, 그 결과 제1 기판(10)의 프로브 팁(12)이 구비된 제1 표면(10a)이 갖는 평탄도를 보다 균일하게 유지할 수 있다.

또한, 패드(14)들 각각과 접촉하는 연결부(25)의 접촉 면적을 확장시킬 수 있기 때문에 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이에서 발생하는 콘택 저항도 충분하게 감소시킬 수 있다.

도 6은 도 1의 전기 검사 장치의 제1 가이드에 대한 다른 예를 나타내는 개략적인 도면이다.

도 6을 참조하면, 본 발명의 다른 예에 따른 제1 가이드(50′)는 연결부(25)의 일부분과 접촉하는 부분이 경사진 구조를 갖는 것을 제외하고는 도 5의 제1 가이드(50)와 동일한 구조를 갖는다. 이에, 도 6의 제1 가이드(50′)는 도 2에 도시된 연결부(25)에서 연장되는 연장부(25c)와 충분하게 접촉하게 형성된다. 즉, 언급한 제1 가이드(50′)는 경사진 구조를 가짐에 따라 도 2에 도시된 연장부(25c)와 충분하게 접촉하게 형성되는 것이다.

또한, 다른 예에 따른 제1 가이드(50′)의 경우에도 2의 연결부(25)를 기준하여 설명하고 있지만, 이에 제한되는 것이 아니라 도 3의 연결부(25′)와 도 4의 연결부(25″)에도 접촉이 가능하게 형성할 수 있다.

이와 같이, 패드(14)들 상부에 언급한 제1 가이드(50′)를 마련하여 연결부(25)가 가압하는 가압 부위와 연결부(25)가 접촉하는 접촉 부위를 더 확보함으로써 제1 기판(10)으로 가해지는 수직 방향의 가압을 다른 방향으로도 충분하게 분산시킬 수 있다. 아울러, 언급한 제1 가이드(50′)가 재질적 해결을 통하여 연결부(25)의 접촉, 즉 접촉에 따른 가압을 충분하게 흡수할 수 있기 때문에 연결부(50)에 의해 제1 기판(10)으로 가해지는 가압도 충분하게 줄일 수 있다. 즉, 제1 가이드(50′) 자체가 탄성력을 제공하기 때문에 연결부(25)에 의해 제1 기판(10)으로 가해지는 수직 방향이 가압을 충분하게 줄일 수 있는 것이다.

이에, 언급한 제1 가이드(50′)를 포함하는 전기 검사 장치(100)는 제1 기판(10)에 가해지는 가압을 충분하게 줄일 수 있기 때문에 시간이 경과하여도 제1 기판(10)이 휘어지는 것을 충분하게 방지할 수 있고, 그 결과 제1 기판(10)의 프로브 팁(12)이 구비된 제1 표면(10a)이 갖는 평탄도를 보다 균일하게 유지할 수 있다.

또한, 패드(14)들 각각과 접촉하는 연결부(25)의 접촉 면적을 확장시킬 수 있기 때문에 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이에서 발생하는 콘택 저항도 충분하게 감소시킬 수 있다.

도 7은 도 1의 전기 검사 장치의 제2 가이드에 대한 일 예를 나타내는 개략적인 도면이다.

도 7을 참조하면, 전기 검사 장치(100)의 패드(14)들 각각의 상부에 제2 가이드(70)가 형성된다. 이때, 제2 가이드(70)는 패드(14)들 각각과 접촉하는 연결부(25)의 단부와 접촉하게 형성한다. 즉, 제2 가이드(70)는 도 2의 연결부(25)에서 접촉부(25a)의 단부와 접촉하게 형성하는 것이 바람직하다. 아울러, 제2 가이드(70)의 경우에도 포토리소그라피 공정을 수행하여 형성하거나 또는 본딩 공정을 수행하여 형성할 수 있다. 특히, 본딩 공정을 수행할 경우에는 개별적으로 형성하거나 또는 일괄적으로 형성할 수 있다. 또한, 제2 가이드(70)는 연결부(25)에 비해 연성을 갖는 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 그러므로, 제2 가이드(70)는 연 결부(25)가 갖는 제2 강도에 비해 작은 제4 강도를 갖는 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 특히, 제2 가이드(70)가 갖는 제4 강도의 재질은 도 5의 제1가이드(50)가 갖는 제3 강도를 갖는 도전성 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 한편, 제2 가이드(70)는 비도전성 재질로 이루어진 폴리머 등을 사용하여 형성할 수도 있다.

그러므로, 제2 가이드(70)의 경우에는 제1 가이드(50)와 마찬가지로 그 자체가 탄성력을 갖고, 패드(14)들 각각에 접촉하는 연결부(50)에 언급한 탄성력을 제공할 수 있다. 이에, 제2 가이드(70)도 연결부(25)에 의해 제1 기판(10)으로 가해지는 수직 방향의 가압을 충분하게 줄일 수 있다.

여기서, 제2 가이드(70)는 도 2의 연결부(25)를 기준하여 설명하고 있지만, 이에 제한되는 것이 아니라 도 3의 연결부(25′)와 도 4의 연결부(25″)에도 접촉이 가능하게 형성할 수 있다.

이와 같이, 패드(14)들 상부에 언급한 제2 가이드(70)를 마련하여 연결부(25)가 가압하는 가압 부위와 연결부(25)가 접촉하는 접촉 부위를 더 확보함으로써 제1 기판(10)으로 가해지는 수직 방향의 가압을 다른 방향으로도 충분하게 분산시킬 수 있다. 아울러, 언급한 제1 가이드(50)가 재질적 해결을 통하여 연결부(25)의 접촉, 즉 접촉에 따른 가압을 충분하게 흡수할 수 있기 때문에 연결부(50)에 의해 제1 기판(10)으로 가해지는 가압도 충분하게 줄일 수 있다.

또한, 제2 가이드(70)의 경우에는 연결부(25)가 패드(14)들 각각에 접촉할 때 연결부(25)의 단부에 접촉하기 때문에 연결부(25)가 미끄러져서 이웃하는 패 드(14)들에 접촉하는 것을 충분하게 막을 수 있다.

이에, 언급한 제1 가이드(50)를 포함하는 전기 검사 장치(100)는 제1 기판(10)에 가해지는 가압을 충분하게 줄일 수 있기 때문에 시간이 경과하여도 제1 기판(10)이 휘어지는 것을 충분하게 방지할 수 있고, 그 결과 제1 기판(10)의 프로브 팁(12)이 구비된 제1 표면(10a)이 갖는 평탄도를 보다 균일하게 유지할 수 있다.

또한, 패드(14)들 각각과 접촉하는 연결부(25)의 접촉 면적을 확장시킬 수 있기 때문에 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이에서 발생하는 콘택 저항도 충분하게 감소시킬 수 있다.

여기서, 제1 가이드(50, 50′)와 제2 가이드(70)에 대하여 그들 각각을 개별적으로 설명하고 있지만, 패드(14)들 각각의 상부에 제1 가이드(50, 50′)와 제2 가이드(70)를 함께 형성할 수도 있고, 이들은 도 2의 연결부(25), 도 3의 연결부(25′), 도 4의 연결부(25″) 모두에 적용할 수도 있다.

도 8은 도 1의 전기 검사 장치의 제3 가이드에 대한 일 예를 나타내는 개략적인 도면이다.

도 8을 참조하면, 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이에 개재되는 제3 가이드(80)가 형성된다. 그리고, 제3 가이드(80)에는 연결부가 관통하는 관통홀(180)이 구비된다. 이에, 연결부(25)는 제3 가이드(80)의 관통홀(180)을 통과하는 구조를 갖고, 제3 가이드(30)를 통과하는 형태로 제1 기판(10)의 패드(14)들 각각에 접촉한다.

이와 같이, 본 발명의 전기 검사 장치(100)는 언급한 제3 가이드(80)를 더 마련함으로써 연결부(25)가 패드(14)들 각각에 접촉할 때 연결부(25)가 제3 가이드(80)에 부분적으로 접촉하는 상황이 발생할 수 있다. 이와 같이, 연결부(25)가 제3 가이드(80)에 부분적으로 접촉할 경우 연결부(25)에 의해 제1 기판(10)의 수직 방향으로 가해지는 가압을 보다 감소시킬 수 있다.

이에, 언급한 제3 가이드(80)를 포함하는 전기 검사 장치(100)는 제1 기판(10)에 가해지는 가압을 충분하게 줄일 수 있기 때문에 시간이 경과하여도 제1 기판(10)이 휘어지는 것을 충분하게 방지할 수 있고, 그 결과 제1 기판(10)의 프로브 팁(12)이 구비된 제1 표면(10a)이 갖는 평탄도를 보다 균일하게 유지할 수 있다.

이하, 언급한 검사 장치의 거리 유지부에 대하여 설명하기로 한다.

도 9 및 도 10은 도 1의 전기 검사 장치의 거리 유지부에 대한 동작 관계를 나타내는 개략적인 도면들이다.

도 9 및 도 10을 참조하면, 거리 유지부(18)는 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이의 거리를 일정하게 유지시키는 부재로써, 제1 기판(10)의 제1 표면(10a)에 균일한 평탄도를 부여하기 위하여 마련한다. 여기서, 거리 유지부(18)는 제1 기판(10) 또는 제2 기판(16)에 고정되는 바(bar)-모양의 스토퍼를 포함하고, 제1 기판(10) 또는 제2 기판(16)에 접촉함에 의해 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이의 거리를 유지하거나, 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이의 거리를 센싱하는 센서를 포함하고, 센서의 센싱에 의해 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이의 거리를 유지할 수 있다. 특히, 본 발명의 일 예에서는 거리 유지부(18)로써 제2 기판(16)에 고정되는 바-모양의 스토퍼를 마련한다.

이에, 도 9에서와 같이 일정 거리를 유지하도록 거리 유지부(18)는 제2 기판(16)에 고정된 상태로 존재한다. 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이에서의 평탄도 조절은 길이가 다양한 거리 유지부(18)를 교체하여 이루어질 수 있다. 그리고, 도1에 도시된 체결을 위한 볼트(13) 등과 같은 부재를 사용하여 제1 기판(10)과 제2 기판(16)를 체결할 때 거리 유지부(18)가 제1 기판(10)에 접촉하여 더 이상 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이의 거리가 조절되지 않도록 한다.

아울러, 일반적인 별도의 평탄도 조절나사 등과 같은 평탄도 조절부를 사용하여 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이에서의 평탄도를 조절할 수도 있다. 또한, 본 발명의 다른 실시예는 평탄도 조절부를 사용하여 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이의 거리를 조절할 때 거리 유지부(18)가 제1 기판(10)에 접촉하여 더 이상 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이의 거리가 조절되지 않도록 한다. 따라서, 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이에서 이루어지는 과도한 이동을 방지하여 연결부의 연결을 적절하게 유지시킬 수도 있다.

아울러, 언급한 일 예에서는 제2 기판(16)에 고정되는 바-모양의 스토퍼를 포함하는 거리 유지부(18)에 대하여 설명하고 있지만, 센서 등을 사용하여도 동일한 기능을 얻을 수 있음은 본 발명에 종사하는 당업자라면 용이하게 이해할 수 있을 것이다.

이와 같이, 거리 유지부(18)를 사용하여 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이 의 거리를 일정하게 유지할 수 있음에 따라 제1 기판(10)의 제1 표면(10a) 즉, 프로브 팁(12)들에 대한 균일한 평탄도의 부여가 가능하고, 이를 통하여 전기적 검사를 위한 피검사체와의 원활한 접촉을 도모할 수 있다.

또한, 언급한 전기 검사 장치(100)의 제조는 제1 기판(10)과 제2 기판(16)을 마련한 후, 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이에 연결부(25, 25′, 25″)가 위치하도록 마련하면 가능하다. 아울러, 제1 기판(10)을 마련할 때 패드(14)들 각각의 상부에 제1 가이드(50, 50′)와 제2 가이드(70)가 위치하도록 형성하면 된다. 그러므로, 본 발명의 일 실시예에 따른 전기 검사 장치(100)의 제조는 당업자라면 용이하게 이해할 수 있는 정도이기 때문에 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.

도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 검사 장치를 나타내는 개략적인 도면이다. 그리고, 도 11의 전기 검사 장치는 언급한 도 1의 전기 검사 장치와 유사한 구조를 갖는다. 그러므로, 도 11의 전기 검사 장치에 대한 설명에서 도 1의 전기 검사 장치와 동일 부재에 대해서는 동일 부호를 사용하고, 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.

도 11을 참조하면, 도 1의 전기 검사 장치에서와 동일한 제1 기판(10) 및 제2 기판(16)을 포함한다. 이에, 제1 기판(10)은 피검사체와 접촉 가능한 프로브 팁(12)이 구비된 제1 표면(10a) 그리고 제1 표면(10a)에 대향하고, 피검사체와 접촉함에 의해 인가되는 전기 신호를 전달받는 패드(14)들이 형성된 제2 표면(10b)을 갖고, 제2 기판(16)은 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)과 마주하게 위치하고, 제1 기 판(10)의 패드(14)들 각각으로부터 인가되는 전기 신호를 전달받는다.

그리고, 도 11에서의 전기 검사 장치는 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이에 굽은 구조를 갖도록 위치하는 연결부(25)를 포함한다. 여기서, 연결부(25)의 굽은 구조는 언급한 도 2의 경우와 거의 유사하고, 이에 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.

이와 같이, 언급한 연결부(25)가 굽은 구조를 가짐으로써 연결부(25)는 그 자체의 탄성력을 가질 수 있다. 이에, 연결부(25)는 탄성력을 가진 상태에서 패드(14)들 각각과 접촉하여 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이를 전기적으로 연결한다.

또한, 도 11에서의 전기 검사 장치는 패드(14)들 각각의 상부에 형성되고, 패드(14)들 각각과 접촉이 이루어지는 단부로부터 제2 기판(16)으로 연장되는 연결부(25)의 일부분과 접촉하는 가이드(111)와, 제1 기판(10)과 제2 기판(16) 사이에 개재되고, 연결부(25)가 관통하는 관통홀(180)이 구비되는 가이드(113) 각각을 포함한다. 여기서, 언급한 가이드들(111, 113)은 편의상 제1 가이드(111) 및 제2 가이드(113)로 구분한다.

그리고, 언급한 제1 가이드(111)의 경우에는 연결부(25)의 일부분과 접촉하는 부분이 경사진 구조를 갖는 바람직하고, 연결부(25)가 갖는 강도에 비해 작은 강도를 갖는 재질로 이루어지는 것이 보다 바람직하다.

이와 같이, 패드(14)들 상부에 언급한 제1 가이드(111)를 마련하여 연결부(25)가 가압하는 가압 부위와 연결부(25)가 접촉하는 접촉 부위를 더 확보함으로 써 제1 기판(10)으로 가해지는 수직 방향의 가압을 다른 방향으로도 충분하게 분산시킬 수 있다. 아울러, 언급한 제1 가이드(111)가 재질적 해결을 통하여 연결부(25)의 접촉에 따른 가압을 충분하게 흡수할 수 있기 때문에 연결부(50)에 의해 제1 기판(10)으로 가해지는 가압도 충분하게 줄일 수 있다. 즉, 제1 가이드(111) 자체가 탄성력을 제공하기 때문에 연결부(25)에 의해 제1 기판(10)으로 가해지는 수직 방향이 가압을 충분하게 줄일 수 있는 것이다.

또한, 연결부(25)가 패드(14)들 각각에 접촉할 때 연결부(25)가 제2 가이드(113)에 부분적으로 접촉하는 상황이 발생할 수 있다. 이와 같이, 연결부(25)가 제2 가이드(113)에 부분적으로 접촉할 경우 연결부(25)에 의해 제1 기판(10)의 수직 방향으로 가해지는 가압을 보다 감소시킬 수 있다.

이에, 언급한 제1 가이드(111)와 제2 가이드(113)를 포함하는 전기 검사 장치는 연결부(25)와 패드(14)들 각각에 대하여 재질적으로 한정하지 않더라도 구조적인 해결만으로도 제1 기판(10)에 가해지는 가압을 충분하게 줄일 수 있다.

그러므로, 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 검사 장치의 경우에도 시간이 경과하여도 제1 기판(10)이 휘어지는 것을 충분하게 방지할 수 있고, 그 결과 제1 기판(10)의 프로브 팁(12)이 구비된 제1 표면(10a)이 갖는 평탄도를 보다 균일하게 유지할 수 있다.

이와 같이, 본 발명의 전기 검사 장치는 제1 기판과 제2 기판 사이를 연결하는 연결부의 재질적 해결과 구조적 해결을 통하여 제1 기판에 가해지는 가압을 충 분하게 줄일 수 있고, 더불어 수직 방향의 가압을 다른 방향으로도 충분하게 분산시킬 수 있다. 이에, 본 발명의 전기 검사 장치는 시간이 경과하여도 제1 기판이 휘어지는 것을 충분하게 방지할 수 있고, 그 결과 제1 기판의 프로브 팁이 구비된 제1 표면이 갖는 평탄도를 보다 균일하게 유지할 수 있다. 또한, 패드들 각각과 접촉하는 연결부의 접촉 면적을 확장시킬 수 있기 때문에 제1 기판과 제2 기판 사이에서 발생하는 콘택 저항도 충분하게 감소시킬 수 있다.

이에, 본 발명의 전기 검사 장치는 구조적인 안정성과 전기적인 안정성을 동시에 확보할 수 있다. 그러므로, 본 발명의 전기 검사 장치를 사용하면 전기 검사에 따른 신뢰도의 향상을 도모할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (23)

1. 피검사체와 접촉 가능한 프로브 팁이 구비된 제1 표면 그리고 상기 제1 표면에 대향하고, 상기 피검사체와 접촉함에 의해 인가되는 전기 신호를 전달받는 패드들이 형성된 제2 표면을 갖는 제1 기판;

   상기 제1 기판의 제2 표면과 마주하게 위치하고, 상기 패드들 각각으로부터 인가되는 전기 신호를 전달받는 제2 기판;

   상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 굽은 구조를 갖도록 위치하고, 상기 패드들 각각과 접촉하여 상기 제1 기판과 제2 기판 사이를 전기적으로 연결하는 연결부; 및

   상기 패드들 각각의 상부에 형성되고, 상기 패드들 각각과 접촉이 이루어지는 단부로부터 상기 제2 기판으로 연장되는 상기 연결부의 일부분과 접촉하는 제1 가이드를 포함하는 전기 검사 장치.
2. 제1 항에 있어서, 상기 제1 가이드는 상기 연결부의 일부분과 접촉하는 부분이 경사진 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
3. 제1 항에 있어서, 상기 제1 가이드는 상기 연결부가 갖는 강도에 비해 작은 강도를 갖는 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
4. 제1 항에 있어서, 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 개재되고, 상기 연결부가 관통하는 홀이 구비되는 제3 가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
5. 피검사체와 접촉 가능한 프로브 팁이 구비된 제1 표면 그리고 상기 제1 표면에 대향하고, 제1 강도를 갖는 재질로 이루어진 패드들이 형성되고, 상기 피검사체와 접촉함에 의해 인가되는 전기 신호를 전달받는 제1 기판;

   상기 제1 기판의 제2 표면과 마주하게 위치하고, 상기 패드들 각각으로부터 인가되는 전기 신호를 전달받는 제2 기판;

   상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 굽은 구조를 갖도록 위치하고, 상기 제1 강도에 비해 높은 제2 강도를 갖는 재질로 이루어지고, 상기 패드들 각각과 접촉하여 상기 제1 기판과 제2 기판 사이를 전기적으로 연결하는 연결부; 및

   상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 개재되고, 상기 연결부가 관통하는 홀이 구비되는 제3 가이드를 포함하는 전기 검사 장치.
6. 제5 항에 있어서, 상기 제1 강도를 갖는 재질은 납, 금, 은 및 구리로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 어느 하나를 포함하고, 상기 제2 강도를 갖는 재질은 스테인레스-스틸을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
7. 제6 항에 있어서, 상기 제2 강도를 갖는 재질은 니켈, 금 또는 이들의 혼합물을 사용하여 도금된 스테인레스-스틸을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
8. 제5 항에 있어서, 상기 굽은 구조는 상기 패드들 각각과 접촉하는 단부에 위치하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
9. 제8 항에 있어서, 상기 굽은 구조는 'S'자 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
10. 제5 항에 있어서, 상기 굽은 구조는 상기 패드들 각각과 접촉하는 단부에 위치하고, 상기 단부에는 상기 패드들 각각과 적어도 두 군데에서 접촉이 가능한 접촉 돌기가 형성된 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
11. 제5 항에 있어서, 상기 패드들 각각의 상부에는 상기 패드들 각각과 접촉이 이루어지는 단부로부터 상기 제2 기판으로 연장되는 상기 연결부의 일부분과 접촉하는 제1 가이드가 형성된 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
12. 제11 항에 있어서, 상기 제1 가이드는 상기 연결부의 일부분과 접촉하는 부분이 경사진 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
13. 제11 항에 있어서, 상기 제1 가이드는 상기 제2 강도에 비해 작은 제3 강도 를 갖는 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
14. 제5 항에 있어서, 상기 패드들 각각의 상부에는 상기 패드들 각각과 접촉하는 상기 연결부의 단부와 접촉하는 제2 가이드가 형성된 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
15. 제14 항에 있어서, 상기 제2 가이드는 상기 제2 강도에 비해 작은 제4 강도를 갖는 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
16. 제5 항에 있어서, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이의 거리를 유지하는 거리 유지부를 더 포함하고, 상기 제1 기판과 제2 기판 사이의 거리를 조절할 때 상기 거리 유지부에 의해 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이의 거리를 일정하게 유지시킴에 따라 상기 제1 기판의 제1 표면에 균일한 평탄도를 부여하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
17. 제16 항에 있어서, 상기 거리 유지부는 상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판에 고정되는 바(bar)-모양의 스토퍼를 포함하고, 상기 제1 기판가 제2 기판 사이의 거리를 조절할 때 상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판에 접촉함에 의해 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이의 거리를 유지하거나, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이의 거리를 센싱하는 센서를 포함하고, 상기 제1 기판과 제2 기판 사이의 거리를 조 절할 때 상기 센서의 센싱에 의해 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이의 거리를 유지하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
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