CN112345802A - 电触头及电连接装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种电触头及电连接装置，其可以使流至电触头的电信号的导通特性变得良好，从而使被检查体的电气检查变得良好。本发明的电触头的特征在于，具备：安装部；基端部，其与安装部相连地延伸；多个臂部，它们从基端部沿长度方向延伸；连结部，其与各臂部的顶端部连结；台座部，其与连结部相连地设置；以及接触部，其处于台座部的下端；多个臂部分别以弹性方式支承与第1接触对象接触的接触部，在多个臂部中的离接触部最近的最靠近接触部的臂部的连结部侧或基端部侧设置有弯曲部。

Description

电触头及电连接装置

技术领域

本发明涉及电触头以及电连接装置，例如可以运用于半导体晶圆上形成的半导体集成电路等的电气检查中使用的电触头以及电连接装置。

背景技术

在半导体晶圆上形成的各半导体集成电路(被检查体)的电气检查中，会使用将具有多个探针(以下也称为“电触头”)的探针卡等电连接装置安装在测试头上得到的检查装置(测试器)。

在探针卡上以各探针的顶端部从该探针卡的下表面突出的方式安装有多个探针，当将检查体按压至探针卡时，各探针的顶端部与被检查体的对应的电极端子电性接触。继而，在检查时，来自检查装置的电信号经由各探针供给至各被检查体，而且来自各被检查体的信号经由各探针导入至检查装置侧，由此来进行各被检查体的电气检查。

近年来，随着半导体集成电路的高密度化、高集成化等，半导体集成电路的电极端子的小径化、电极端子间的间隔的窄间距化在不断发展。对此，为了与已经小径化及窄间距化的电极端子可靠地电性接触而使用悬臂型探针。

例如，专利文献1揭示了一种接触件，其具备：安装部；2根臂部，它们从该安装部沿左右方向延伸；以及台座部，其在2根臂部的顶端侧连结2根臂体，在台座部的下端具有与电极端子电性接触的接触部。2根臂部的后端部支承在安装部上，在探针的接触部与被检查体的电极端子电性接触时，为了抑制接触部与电极端子的接触负载，2根臂部作为以弹性方式支承接触部的部分而发挥功能。此外，为了使接触部相对于被检查体的电极端子的定位变得可靠，2根臂部中的离接触部较近的臂部(专利文献1的图1中为下侧臂部34)形成为直线状。

这样的悬臂型探针中，安装部与接触部是在左右方向上分离配置的，进而，在探针的接触部与被检查体的电极端子电性接触时，像上文所述那样臂部以弹性方式发挥作用。因此，在接触部与电极端子电性接触时，探针的接触部的位置会以安装部为中心呈圆弧状移动，而且在施加了过驱动时，与电极端子相接触的探针的接触部会在电极端子的表面上刮擦。进而，为了减少电极端子的表面的缺损等，须恰当地调整接触部对电极端子的针压(接触时的压力)。

以往是通过对探针的臂体的粗细(上下方向的长度)、弯曲的形态等进行微调来调整上述那样的探针的接触部的移动量、刮擦量、针压等。

【现有技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本专利特开2009-229410号公报

发明内容

【发明要解决的问题】

另外，为了使被检查体的电气检查变得良好而高精度地检查被检查体，要求使流过探针的电信号的导通特性变得良好。因此，例如考虑增粗探针的臂部的粗细(上下方向的长度)来降低电阻值，但是，当增粗探针的臂部时，臂部将难以弹性变形(例如挠曲)，有探针的接触部的移动量、刮擦量增大之虞。

此外，由于探针的小型化在不断发展，因此还存在探针的臂部的左右方向的长度变短而难以控制(调整)探针的接触部的移动量这一问题。

因此，寻求可以使流至电触头的电信号的导通特性变得良好，从而使被检查体的电气检查变得良好的电触头以及电连接装置。

【解决问题的技术手段】

为了解决这样的问题，第1本发明的电触头的特征在于，具备：安装部；基端部，其与安装部相连地延伸；多个臂部，它们从基端部沿长度方向延伸；连结部，其与各臂部的顶端部连结；台座部，其与连结部相连地设置；以及接触部，其处于台座部的下端；多个臂部分别以弹性方式支承与第1接触对象接触的所述接触部，在多个臂部中的离接触部最近的最靠近接触部的臂部的连结部侧或基端部侧设置有弯曲部。

第2本发明的电连接装置具备与第1接触对象及第2接触对象电性接触的多个电触头，经由各电触头使第1接触对象与第2接触对象电连接，该电连接装置的特征在于，多个电触头为第1本发明的电触头。

【发明的效果】

根据本发明，可以使流至电触头的电信号的导通特性变得良好，从而使被检查体的电气检查变得良好。

附图说明

图1为表示实施方式的电触头的构成的构成图。

图2为表示实施方式的电连接装置的构成的构成图。

图3为表示以往的具有直线状臂部的电触头的构成的构成图。

图4为表示实施方式的电触头的接触部与被检查体的电极端子电性接触在一起的状态的图。

图5为说明实施方式的电触头中的第1臂部的弯曲部的设定方法的概念的说明图。

图6为表示变形实施方式的电触头的构成的构成图(其一)。

图7为表示变形实施方式的电触头的接触部与被检查体的电极端子电性接触在一起的状态的图。

图8为表示变形实施方式的电触头的构成的构成图(其二)。

具体实施方式

(A)主要实施方式

下面，一边参考附图，一边对本发明的电触头以及电连接装置的主要实施方式进行详细说明。

(A-1)实施方式的构成

(A-1-1)电连接装置

图2为表示该实施方式的电连接装置的构成的构成图。图2中图示了电连接装置1的主要构成构件，但并不限定于这些构成构件，实际上具有图2中未图示的构成构件。此外，以下着眼于图2中的上下方向来提及“上”、“下”。

图2中，该实施方式的电连接装置1具备：平板状的支承构件44；平板状的布线基板41，其保持在支承构件44的下表面；电连接单元42，其与布线基板41电连接；以及探针基板43，其安装有与电连接单元42电连接而且与被检查体2的电极端子51电连接的多个电触头(以下也称为“探针”)3。

电连接装置1在组装支承构件44、布线基板41、电连接单元42、探针基板43等时会使用大量固定构件(例如螺栓等螺合构件等)，但图2中省略了这些固定构件的图示。

电连接装置1例如以半导体晶圆上形成的半导体集成电路等为被检查体2来进行被检查体2的电气检查。具体而言，朝探针基板43按压被检查体2，使探针基板43的各电触头3的顶端部与被检查体2的电极端子51电性接触。继而，在检查时，来自未图示的检查装置(测试器)的电信号经由各电触头3供给至被检查体2的电极端子51，进而，来自被检查体2的电极端子51的电信号经由各电触头3施加至检查装置。如此一来，检查装置通过捕捉被检查体2的电气特性来进行被检查体2的电气检查。

身为检查对象的被检查体2载置于卡盘顶5的上表面。卡盘顶5可以在水平方向的X轴方向、在水平面上与X轴方向垂直的Y轴方向、与水平面(X-Y平面)垂直的Z轴方向上进行位置调整，进而，可以在绕Z轴的θ方向上调整转动姿态。在实施被检查体2的电气检查时，使可以沿上下方向(Z轴方向)升降的卡盘移动而使电连接装置1的探针基板43的下表面与卡盘顶5上的被检查体2以相对靠近的方式移动，以使被检查体2的电极端子51电性接触探针基板43的各电触头3的顶端部。

[支承构件]

支承构件44用于抑制布线基板41的变形(例如挠曲等)。例如，由于探针基板43上安装有大量电触头3，因此安装在布线基板41侧的探针基板43的重量较大。此外，在进行被检查体2的电气检查时，卡盘顶5上的被检查体2被推压至探针基板43，由此使得探针20的顶端部与被检查体2的电极端子51电性接触。如此，在电气检查时，产生从下往上地上顶的反作用力(接触负载)，布线基板41也承受较大的负载，因此布线基板41可能会变形(例如挠曲等)。支承构件44作为抑制这样的布线基板14的变形(例如挠曲等)的构件而发挥功能。

[布线基板]

布线基板41例如由聚酰亚胺等树脂材料形成，例如为形成为大致圆形板状的印刷基板等。在布线基板41的上表面的周缘部配置有与检查装置的测试头(未图示)电连接的大量电极端子(未图示)。此外，在布线基板41的下表面形成有未图示的布线图案，布线图案的连接端子与电连接单元42上设置的多个连接件(未图示)的上端部电连接。

布线基板41可以采取各种构成，例如可以采取如下构成。例如，在布线基板41的上表面形成有与测试头电连接的电极端子，在布线基板41的下表面形成有与电连接单元42的各连接件电连接的布线图案，进而在布线基板41内部形成有布线电路。布线基板41的下表面的布线图案与布线基板41的上表面的电极端子可以经由布线基板41内部的布线电路相连接。因而，可以经由布线基板41内的布线电路使电信号在电连接单元42的各连接件与测试头之间导通。再者，在布线基板41的上表面还配置有被检查体2的电气检查所需的多个电子零件。

[电连接单元]

电连接单元42例如具有弹簧针等之类的多个连接件。在电连接装置1的组装状态下，各连接件的上端部电连接至布线基板41的下表面的布线图案的连接端子，而且各连接件的下端部连接至探针基板43的上表面上设置的焊垫。电触头3的顶端部与被检查体2的电极端子51电性接触，因此，被检查体2的电极端子51通过电触头3及连接件与检查装置电连接，从而可以实现利用检查装置的电气检查。

[探针基板]

探针基板43是具有多个电触头3的基板，形成为大致圆形或多边形(例如16边形等)。在电连接装置1上安装探针基板43时，探针基板43借助探针基板支承部18来支承其周缘部。装在探针基板43上的电触头3例如可以使用悬臂型探针等，但并不限定于此。与被检查体(半导体集成电路)2的数量、各被检查体2的电极端子51的数量等相应的数量的电触头3装在探针基板43上。

探针基板43可以采取各种构成，图2中展示的是它的一例。例如，探针基板43具有例如由陶瓷板等形成的基板构件431和形成于基板构件431的下表面的多层布线基板432。

也可在身为陶瓷基板的基板构件431内部形成有在板厚方向上贯通的大量导电通道(未图示)。在基板构件431的上表面形成有焊垫，基板构件431内的导电通道的一端以与该基板构件431的上表面的对应的布线图案的连接端子连接的方式形成。在基板构件431的下表面以与多层布线基板432的上表面上设置的连接端子连接的方式形成有基板构件431内的导电通道的另一端。

多层布线基板432由例如由聚酰亚胺等合成树脂构件形成的多个多层基板形成，可在多个多层基板之间形成有布线通道(未图示)。多层布线基板432的布线通道的一端与基板构件431的导电通道的另一端连接在一起，多层布线基板432的另一端与多层布线基板432的下表面上设置的探针焊盘连接在一起。在多层布线基板432的下表面上设置的探针焊盘上配置有多个电触头3，探针基板43的多个电触头3经由电连接单元42与布线基板41的对应的连接端子电连接在一起。

(A-1-2)电触头

图1为表示该实施方式的电触头的构成的构成图。

图1中，电触头3具有安装部31、基端部32、臂部33、连结部34、定位部35、台座部36、接触部37。

电触头3由板状的导电性构件(例如金属材料)形成，在作为第1接触对象的被检查体2的电极端子51与作为第2接触对象的探针基板43的布线端子433(参考图4等)之间导通电信号。例如可以通过镀敷加工等来形成电触头3，电触头3在整体上是以相同厚度或相同程度的厚度形成的。

电触头3的尺寸根据被检查体2的电极端子51的大小、电极端子51间的间隔等来决定，因此无特别限定，例如电触头3的左右方向的尺寸(长度)可以设为几mm左右。

电触头3为如下悬臂型接触件：在被检查体2的电极端子51与接触部37电性接触时，从电极端子51侧朝接触部37侧作用接触负载，由此，与基端部32侧连结在一起的臂部33发生弹性变形，臂部33以弹性方式支承接触部37。由此，一方面能够抑制接触部37与电极端子51的接触负载，另一方面能使接触部37与电极端子51可靠地电性接触。

[安装部]

安装部31是安装在探针基板43的下表面的部分，与探针基板43的布线端子433电性接触。图1中例示的是安装部31为矩形形状的情况，但也可根据电触头3在探针基板43上的安装方法来改变安装部31的形状，例如也可在安装部31上设置1个或多个孔部等来设置安装至探针基板43所需的要素。在安装部31的下方一体地形成有基端部32。

[基端部]

基端部32是从安装部31的下方部朝下方延伸而成的部分。基端部32与臂部33的后端部(图1中为臂部33的右侧端部)连结，是支承弹性变形的臂部33的部分。再者，图1中，基端部32是从安装部31的下方部朝右斜下方延伸。其原因在于，随着被检查体2的电极端子51的小径化、电极端子51间的窄间距化等，有弹性的臂部33的左右方向的长度变短，难以使臂部33挠曲、控制接触部37的移动量。因而，通过相对于安装部31而言朝右斜下方略微延伸基端部32，能够在一定程度上确保臂部33的左右方向的长度，因此能使臂部33的弹性有效地发挥作用，从而能控制接触部37的移动量。

[臂部]

臂部33是以弹性方式支承接触部37的部分。此外，臂部33是调整接触部37的移动量、刮擦量的部分。图1中例示的是臂部33具有第1臂部61和第2臂部62的情况。此外，例示的是第1臂部61与第2臂部62的上下方向的长度相同的情况。换句话说，例示的是臂部33由2根臂部构成的情况。

第1臂部61与第2臂部62是在上下方向上空出间隔设置的。第1臂部61和第2臂部62的后端部(图1的右侧的端部)与基端部32一体地连结在一起，第1臂部61和第2臂部62的顶端部(图1的左侧的端部)与连结部34一体地连结在一起。

第1臂部61是2根臂部当中设置在接触部37侧(也就是被检查体2侧)的构件。第1臂部61是多个臂部当中设置得离接触部37最近的构件。以下，也将第1臂部61称为最靠近接触部的臂部或者最下部臂部等。

沿左右方向延伸的第1臂部61具有从基端部32朝左方呈直线状延伸的直线部612和从直线部612朝左斜上方弯曲而成的弯曲部611。在图1的例子中，弯曲部611是下凸地弯曲的部分。

第1臂部61的直线部612具有确保接触部37相对于被检查体2的电极端子51的定位的功能。此外，在接触部37与被检查体2的电极端子51相接触时，朝上的负载作用于第1臂部61，在第1臂部61中产生应力。尤其是与基端部32连结在一起的直线部612，由于远离接触部37，因此产生较大的应力。

第1臂部61的弯曲部611具有在接触部37与电极端子51电性接触时调整接触部37的移动量、刮擦量以及针压等的功能。

以往，在具有多个臂部的悬臂型探针中，为了使接触部37的定位变得可靠，离接触部37侧最近的臂部在左右方向的整个区域内形成为直线状，但该实施方式的第1臂部61具有使有接触部37的连结部34侧的一部分弯曲而成的弯曲部611。由此，使得第1臂部61具有了调整接触部37的移动量、刮擦量以及针压等的功能。再者，第1臂部61的弯曲部611的设定方法的详细说明于后文叙述。

第2臂部62是设置在安装部31侧的构件。在该实施方式中，第2臂部62是离接触部37最近的第1臂部61(最靠近接触部的臂部、最下部臂部)以外的构件。

再者，在该实施方式中，为了易于说明，第2臂部62在左右方向的整个区域内设为直线状的构件，但第2臂部62也可具有弯曲部分。例如，也可像第2臂部62与基端部32连结的部分、第2臂部62的中央部分、第2臂部62与连结部34连结的部分等那样在各种位置在1个或多个部位设置该弯曲部分。如此，通过在第2臂部62上具有弯曲部分，也能实现调整接触部37的移动量、刮擦量以及针压等的功能。换句话说，通过除了第1臂部61的弯曲部611以外还使第2臂部62具有弯曲部分，对于接触部37的移动量、刮擦量以及针压等的调整有协同效果，而在该实施方式中，是为了易于说明，而将第2臂部62设为直线状的构件。

[连结部]

连结部34是与臂部33(也就是第1臂部61和第2臂部62)的顶端部一体地连结的部分。连结部34是沿上下方向延伸而成的构件，是形成为大致矩形形状的部分。

[定位部]

定位部35是从连结部34的下方部以一体连结的方式朝基端部32侧(右方)延伸而成的部分。定位部35的下表面部351沿左右方向形成为直线状。定位部35是接触部37相对于被检查体2的电极端子51的定位用的部分。尤其是定位部35的下表面部351沿左右方向形成为直线状，因此能可靠地进行接触部37的定位。如上所述，第1臂部61还具有接触部37的定位功能，由于沿左右方向延伸第1臂部61上在与连结部34的连结附近有弯曲部611，因此，为了更可靠地进行接触部37的定位而配备具有沿左右方向形成为直线状的下表面部351的定位部35。

此外，在定位部35的顶端部(图1的左端部)设置有形成为圆弧状的位置确认部352，圆弧状的最凹陷部分的位置与设置在台座部36下部的接触部37的位置相对应。由此，可以一边确认接触部37的位置一边使接触部37电性接触被检查体2的电极端子51。

[台座部、接触部]

台座部36是从定位部35的下方部朝下方延伸而成的部分。接触部37设置在台座部36下部，是与被检查体2的电极端子51电性接触的部分。

[第1臂部的弯曲部的设定方法]

接着，一边参考附图，一边对第1臂部61的弯曲部611的设定方法的概念进行说明。

图3为表示以往的具有直线状臂部(最靠近接触部的臂部)的电触头9的构成的构成图。图3中的虚线展示了被检查体2的电极端子51与电触头9的接触部97电性接触在一起的状态。

图4为表示实施方式的电触头3的接触部37与被检查体2的电极端子51电性接触在一起的状态的图。

图3中例示的以往的电触头9基本上具备与实施方式的电触头3相对应的构成要素，具有2根臂部93(上部臂部931、下部臂部932)。下部臂部932是从基端部92朝左方呈直线状延伸而成的构件，下部臂部932的左端部与连结部94连结在一起。再者，图3中省略了相当于电触头3的定位部35的构成要素。

如图3所示，在使电触头9的接触部97与被检查体2的电极端子51电性接触在一起时，产生从电极端子51朝向接触部97的负载。如此一来，由于直线状的上部臂部931以基端部92为中心以描圆弧的方式支承接触部97，因此接触部97沿例如图3中的箭头方向移动。此外，例如在施加了过驱动时，接触部97会在电极端子51的表面上刮擦。如此，当接触部97的移动量、刮擦量增大时，还存在无法再确保接触部97与电极端子51的电性接触的情况。

相对于此，像图4中例示的那样，实施方式的电触头3的第1臂部61具有下凸的弯曲部611，因此，当接触部37与电极端子51接触时，在与接触部37相对于电极端子51的移动方向(例如图4的情况下为左方)相反的方向上施加负载，使得接触部37的移动量减少。换句话说，通过第1臂部61具有弯曲部611，接触部37拉起而朝上方移动，因此移动量减少。当然，施加了过驱动时也一样，接触部37的刮擦量也会减少。此外，由于第1臂部61具有弯曲部611，因此对电极端子51的针压得到抑制。

进而，即便为了使流过电触头3的电信号的导通特性变得良好而增粗第1臂部61及/或第2臂部62的粗细(上下方向的长度，以下也称为“臂宽”)，也可以通过第1臂部61的弯曲部611来调整接触部37的移动量、刮擦量。换句话说，通过调整使第1臂部61的顶端侧弯曲的弯曲程度、臂部33(第1臂部61及/或第2臂部62)的粗细，可以谋求兼顾接触部37的移动量、刮擦量、针压等的调整与电信号的导电特性的调整。

图5为说明实施方式的电触头3中的第1臂部61的弯曲部611的设定方法的概念的说明图。

图5中，将直线部612与弯曲部611的交界面的中点(假想点)设为“点O”。此外，将穿过点O的直线部612的轴向设为“X轴”，将在板状的电触头3的板面上(平面上)穿过点O而与X轴垂直的方向的直线设为“Y轴”。

在设计电触头3时，考虑接触部37的移动量、刮擦量、针压、电信号的导通特性等来决定(设计)第1臂部61的弯曲部611的弯曲形状是非常困难的。其原因在于，要使电信号的导通特性变得良好，较理想为增粗臂部33(第1臂部61及/或第2臂部62)的粗细来减少电阻值，但使接触部37的移动量、刮擦量减少的程度会减小，或者，当增大臂部33时，针压变得比目标值大，因此难以找到弯曲部611的最佳圆弧半径(弯曲程度)。由于臂部33的粗细和弯曲部611的圆弧半径是并行设计的，因此难以使粗细和圆弧半径达到最佳。

因此，在该实施方式中，以点O为基准，将第1臂部61与连结部34的交界面的中点设为点P，通过变更点O到点P的X轴方向的距离(也称为x距离或者x坐标值)与点O到点P的Y轴方向的距离(也称为y距离或者y坐标值)的组合即(x,y)来求弯曲部611的圆弧半径(弯曲程度)。

此外，关于第1臂部61的粗细(臂宽)，一边改变该粗细一边针对第1臂部61的每一粗细(x,y)酌情加以设计，导出第1臂部61的粗细和弯曲部611圆弧半径的最佳值。再者，第2臂部62的臂宽的大小也可能影响接触部37的移动量、刮擦量、针压、电阻值等。因而，也可不仅规定第1臂部61的臂宽还规定第2臂部62的臂宽，之后变更第1臂部61的臂宽的大小。此处，例示第2臂部62的臂宽是固定值的情况。

更具体而言，将沿左右方向延伸的第1臂部61的整个区域内的臂宽(上下方向的长度)设为“a1”。并且，例如将点P的(x,y)的组合设为(x1,y1)，根据连结点O与点P的弯曲的曲线来设计弯曲部611，并求该情况下的接触部37的移动量、刮擦量、针压、电阻值等的理论值或实测值。此外，针对点P的(x,y)的组合而像(x1,y2)、(x1,y3)、…或者(x2,y1)、(x2,y2)、(x2,y3)、…(x3,y1)、(x3,y2)、…等这样不断变更x坐标值(x距离)与y坐标值(y距离)的组合，求这些情况下的接触部37的移动量、刮擦量、针压、电阻值等的理论值或实测值。

接着，将臂宽变更为“a2”，与上述方法同样地变更点P的(x,y)的组合来求接触部37的移动量、刮擦量、针压、电阻值等的理论值或实测值。

不断实施这样的次序，从而不断调整弯曲部611的弯曲程度(也就是距点P的x距离与y距离的组合)和第1臂部61的粗细。

如上所述，通过一边变更第1臂部61的粗细(臂宽)一边针对第1臂部61的每一粗细而调整点P的(x,y)的组合，能够容易地设计第1臂部61的弯曲部611，从而能一边调整接触部37的移动量、刮擦量、针压一边调整电阻值。

此外，在上述例子中例示了臂宽在第1臂部61的整个区域内固定的情况，但臂宽也可根据沿左右方向延伸的第1臂部61的位置而不同。

例如，在对第1臂部61施加有负载的情况下，认为在第1臂部61中的靠近基端部32的位置(第1臂部61的后端部)应力达到最大。因而，也能以相对增大第1臂部61的后端部的臂宽，相对减小第1臂部61的顶端部的臂宽的方式进行设计。由此，可以加固作用有较大负载的第1臂部61的后端部。尤其是在增大弯曲部611的x距离时，在第1臂部61与基端部32的连结部分附近会产生较大负载，因此能有效地加固第1臂部61的基端部32。

(A-2)变形实施方式

在上述实施方式中，例示了臂部33由2根臂部构成的情况，但臂部33也可为3根以上。

图6为表示变形实施方式的电触头3A的构成的构成图。图7为表示变形实施方式的电触头3A的接触部37与被检查体2的电极端子51电性接触在一起的状态的图。

图6及图7中例示的电触头3A的臂部33A展示了具有第1臂部61、第2臂部62以及第3臂部63的情况。

再者，图6中，第2臂部62及第3臂部63在左右方向的整个区域内是设为直线状的构件，但第2臂部62及第3臂部63也可在沿左右方向延伸的任一位置上设置弯曲部分。

图6及图7中，第1臂部61为最靠近接触部的臂部。第1臂部61具有与基端部32一体连结而朝左方呈直线状延伸而成的直线部612和从直线部612朝左斜上方下凸地弯曲而成的弯曲部611。

在该情况下，如图7所示，由于第1臂部61具有弯曲部611，因此，当接触部37与电极端子51接触时，也会在与接触部37相对于电极端子51的移动方向相反的方向上施加负载，使得接触部37的移动量减少。结果，接触部37拉起而朝上方移动，因此移动量减少。施加了过驱动时也一样，接触部37的刮擦量也会减少。此外，由于第1臂部61具有弯曲部611，因此对电极端子51的针压得到抑制。

此外，第1臂部61的弯曲部611的设计方法与上述设计方法一样(参考图5)，以点O为基准，将第1臂部61与连结部34的交界面的中点设为点P，通过变更点P的x距离与y距离的组合即(x,y)来求弯曲部611的圆弧半径(弯曲程度)。由此，在臂部33A增加到3根或3根以上的情况下也能针对第1臂部61的每一粗细来调整点P的(x,y)的组合。因此，能够容易地设计第1臂部61的弯曲部611，从而能一边调整接触部37的移动量、刮擦量、针压一边调整电阻值。

(A-3)实施方式的效果

如上所述，根据该实施方式，一种板状的电触头，其从基端部沿左右方向具有多个臂部，其中，在这多个臂部中的位于与被检查体的电极端子电性接触的接触部侧的最靠近接触部的臂部上设置弯曲部，由此可以调整(控制)接触部的移动量、刮擦量、针压。因而，一方面可以增大多个臂部的臂宽来降低电阻值，另一方面可以调整接触部的移动量、刮擦量、针压。

此外，根据该实施方式，在最靠近接触部的臂部上，以直线部与弯曲部的交界为基准点，通过调整距该基准点的x距离和y距离，能够容易地设计弯曲部的圆弧。

(B)其他实施方式

在上述实施方式中提及了各种变形实施方式，但本发明也可以运用于以下的变形实施方式。

(B-1)在上述实施方式中，例示了将第1臂部61的基端部32侧设为直线部612，将接触部37侧设为弯曲部611的情况。

但并不限定于此，例如也可像图8所示那样将第1臂部(最靠近接触部的臂部)61B的基端部32侧设为弯曲部611B，将接触部37侧设为直线部612B。

在该情况下，通过在第1臂部61B的基端部32侧设置弯曲部611，在接触部37与电极端子51接触时，也会在与接触部37相对于电极端子51的移动方向相反的方向上施加负载，从而可以调整接触部37的移动量、刮擦量、对电极端子51的针压。

符号说明

3、3A及3B 电触头

31 安装部

32 基端部

33、33A及33B 臂部

61及61B 第1臂部

611及611B 弯曲部

612及612B 直线部

62 第2臂部

34 连结部

35 定位部

351 下表面部

352 位置确认部

36 台座部

37 接触部

1 电连接装置

41 布线基板

42 电连接单元

43 探针基板

431 基板构件

432 多层布线基板

44 支承构件

2 被检查体

51 电极端子。

Claims (6)

1.一种电触头，其特征在于，具备：

安装部；基端部，其与所述安装部相连地延伸；多个臂部，它们从所述基端部沿长度方向延伸；连结部，其与各所述臂部的顶端部连结；台座部，其与所述连结部相连地设置；以及接触部，其处于所述台座部的下端，

所述多个臂部分别以弹性方式支承与第1接触对象接触的所述接触部，

在所述多个臂部中的离所述接触部最近的最靠近接触部的臂部的所述连结部侧或所述基端部侧设置有弯曲部。

2.根据权利要求1所述的电触头，其特征在于，

在所述最靠近接触部的臂部上设置有直线部，所述直线部支承在所述基端部或所述连结部上，沿长度方向呈直线状延伸，

所述弯曲部与所述直线部一体形成，朝向所述连结部或所述基端部设置，用于抑制所述接触部的移动量。

3.根据权利要求1或2所述的电触头，其特征在于，

根据从所述最靠近接触部的臂部上的所述弯曲部与所述直线部的交界处的基准点起的长度方向的第1距离和该电触头的主体面上的从所述基准点起的相对于长度方向的垂直方向的第2距离来形成所述弯曲部的弯曲形状。

4.根据权利要求1所述的电触头，其特征在于，

在所述台座部上，在所述接触部与所述最靠近接触部的臂部之间设置有所述接触部的定位部，所述定位部具有与呈直线状延伸的所述直线部平行的表面。

5.根据权利要求4所述的电触头，其特征在于，

在所述台座部上，在与所述定位部相对的位置上设置有确认所述接触部的位置的位置确认部。

6.一种电连接装置，其具备与第1接触对象及第2接触对象电性接触的多个电触头，经由各所述电触头使所述第1接触对象与所述第2接触对象电连接，该电连接装置的特征在于，

所述多个电触头为权利要求1～5中任一项所述的电触头。

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