KR100862887B1

KR100862887B1 - 평탄도 조절 어셈블리와 이를 포함하는 전기 검사 장치 및이를 이용한 평탄도 조절 방법

Info

Publication number: KR100862887B1
Application number: KR1020070014714A
Authority: KR
Inventors: 황준태; 김배환
Original assignee: 주식회사 파이컴
Priority date: 2007-02-13
Filing date: 2007-02-13
Publication date: 2008-10-13
Also published as: KR20080075607A; TW200834081A; WO2008100053A1; TWI355496B

Abstract

평탄도 조절 어셈블리와 이를 포함하는 전기 검사 장치 및 이를 이용한 평탄도 조절 방법이 개시된다. 전기 검사 장치는 피검사체와 접촉 가능한 제1 표면 그리고 상기 제1 표면과 대향하는 제2 표면을 갖는 제1 기판과, 상기 제1 기판의 제2 표면과 마주하게 위치하는 제2 기판을 포함한다. 그리고, 전기 검사 장치는 평탄도 조절 어셈블리로써 서로 마주하는 상기 제1 기판과 제2 기판을 비탄성적으로 결합하고, 상기 비탄성적 결합을 조절함에 의해 상기 제1 기판의 평탄 정도를 조절하는 평탄부를 포함한다.

Description

평탄도 조절 어셈블리와 이를 포함하는 전기 검사 장치 및 이를 이용한 평탄도 조절 방법{Assembly for controlling uniformity of probe card and apparatus for inspecting electric condition having the same, and method for controlling uniformity using the same}

도 1은 본 발명의 실시예 1에 따른 전기 검사 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.

도 2는 도 1의 Ⅰ 영역을 확대한 도면이다.

도 3a 내지 도 3c는 도 1의 평탄부가 설치되는 위치를 나타내는 개략적인 도면들이다.

도 4는 본 발명의 실시예 2에 따른 전기 검사 장치용 평탄도 조절 어셈블리를 나타내는 개략적인 구성도이다.

도 5는 본 발명의 실시예 3에 따른 전기 검사 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.

도 6은 본 발명의 실시예 4에 따른 전기 검사 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.

도 7a 내지 도 7d는 도 4의 전기 검사 장치용 평탄도 조절 어셈블리를 사용하여 제1 기판의 평탄 정도를 조절하는 방법을 나타내는 개략적인 도면들이다.

본 발명은 평탄도 조절 어셈블리와 이를 포함하는 전기 검사 장치 및 이를 이용한 평탄도 조절 방법에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 피검사체와 접촉에 의해 전기 검사가 이루어지는 전기 검사 장치용 평탄도 조절 어셈블리와 이를 포함하는 전기 검사 장치 및 이를 이용한 평탄도 조절 방법에 관한 것이다.

최근, 반도체 소자는 고집적화를 요구함에 따라 반도체 소자로 제조하기 위한 반도체 기판의 크기도 증가하는 추세에 있다. 이에, 반도체 소자의 전기적 검사를 수행하기 위한 프로브 카드 등과 같은 전기 검사 장치도 그 크기가 증가하고 있다.

상기 프로브 카드 등과 같은 전기 검사 장치는 주로 피검사체인 회로 패턴이 형성된 반도체 기판과 접촉 가능한 제1 표면을 갖는 제1 기판과, 상기 제1 표면과 대향하는 제1 기판의 제2 표면과 마주하게 위치하는 제2 기판 및 상기 제1 기판과 제2 기판을 전기적으로 연결하는 전기-접촉부 등을 포함한다.

상기 제1 기판과 제2 기판 및 전기-접촉부 등을 포함하는 전기 검사 장치를 사용한 전기적 검사에는 피검사체와 접촉하는 제1 기판의 평탄 정도가 중요한 스펙으로 작용한다. 이는, 언급한 제1 기판의 평탄 정도가 오차 범위를 벗어난 상태에서 전기적 검사를 수행할 경우에는 그 신뢰도가 저하되기 때문이다. 즉, 상기 제1 기판의 평탄 정도가 오차 범위를 벗어나면 피검사체와의 충분한 접촉이 이루어지지 않기 때문인 것이다. 특히, 상기 제1 기판이 피검사체와 접촉하는 면적이 큰 경우에는 언급한 평탄 정도는 더욱 중요하게 작용한다.

이에, 종래의 전기 검사 장치는 상기 제1 기판을 아래로 가압하는 조절 나사와 상기 제1 기판을 위로 가압하는 스프링 등을 구비하고, 상기 조절 나사와 스프링 등을 적절하게 운용하여 상기 평탄 정도를 조절하고 있다. 특히, 상기 조절 나사는 상기 제1 기판을 아래로 가압할 때 제1 기판의 제2 표면에 면접하는 구조로 설치된다. 따라서, 상기 조절 나사를 적절하게 조절하여 제1 기판을 아래로 가압하여 제1 기판의 평탄 정도를 조절하고, 동시에 상기 스프링이 제1 기판을 위로 가압하여 제1 기판의 평탄 정도를 조절함과 아울러 제1 기판과 제2 기판 사이의 전기적 접촉을 용이하게 한다.

언급한 평탄 정도의 조절을 위한 부재로써 조절 나사와 스프링 등을 구비하는 전기 검사 장치에 대한 예들은 대한민국 공개특허 2002-95151호, 대한민국 공개특허 2006-126773호 등에 개시되어 있다.

그러나, 언급한 전기 검사 장치는 조절 나사가 아래로 가압할 때 스프링이 위로 가압해야 하기 때문에 제1 기판이 휘어지는 상황이 빈번하게 발생한다. 즉, 상기 제1 기판을 아래와 위에서 동시에 가압하기 때문에 이로 인하여 제1 기판이 휘어지는 것이다. 아울러, 언급한 전기 검사 장치는 조절 나사와 스프링 등을 평탄 정도의 조절을 위한 부재로 포함하기 때문에 그 구조가 다소 복잡한 단점을 갖는다.

본 발명의 제1 목적은 간단한 구조를 가짐과 동시에 평탄 정도를 용이하게 조절할 수 있는 전기 검사 장치용 평탄도 조절 어셈블리를 제공하는데 있다.

본 발명의 제2 목적은 언급한 평탄도 조절 어셈블리를 포함하는 전기 검사 장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 제3 목적은 언급한 평탄도 조절 어셈블리를 용이하게 사용할 수 있는 전기 검사 장치의 평탄도 조절 방법을 제공하는데 있다.

상기 제1 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 전기 검사 장치용 평탄도 조절 어셈블리는 연결부와 조절부를 포함한다. 상기 연결부는 피검사체와 접촉 가능한 제1 표면을 갖는 제1 기판과 상기 제1 표면과 대향하는 제1 기판의 제2 표면과 마주하게 위치하는 제2 기판을 서로 연결한다. 그리고, 상기 조절부는 상기 연결부와 비탄성적으로 결합된다. 이에, 상기 비탄성적 결합을 조절함에 의해 상기 제1 기판의 평탄 정도를 용이하게 조절한다.

특히, 상기 연결부는 상기 제2 기판을 관통하는 홀로부터 상기 제1 기판에 형성된 홈에 연속적으로 끼워지는 구조를 갖고, 상기 조절부는 상기 제2 기판의 홀에 의해 노출된 연결부와 나사 결합하는 구조를 갖거나, 상기 제1 기판을 관통하는 홀로부터 상기 제2 기판에 형성된 홈에 연속적으로 끼워지는 구조를 갖고, 상기 조절부는 상기 제1 기판의 홀에 의해 노출된 연결부와 나사 결합하는 구조를 가질 수 있다.

또한, 상기 연결부는 상기 제1 기판에 형성되는 홈에 끼워지는 구조를 갖고, 상기 조절부는 상기 제2 기판에 형성된 홀을 관통하여 상기 제1 기판에 형성된 홈에 끼워진 연결부와 나사 결합하는 구조를 갖거나, 상기 제2 기판에 형성되는 홈에 끼워지는 구조를 갖고, 상기 조절부는 상기 제1 기판에 형성된 홀을 관통하여 상기 제2 기판에 형성된 홈에 끼워진 연결부와 나사 결합하는 구조를 가질 수 있다.

상기 제2 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 전기 검사 장치는 피검사체와 접촉 가능한 제1 표면 그리고 상기 제1 표면과 대향하는 제2 표면을 갖는 제1 기판과, 상기 제1 기판의 제2 표면과 마주하게 위치하는 제2 기판을 포함한다. 아울러, 상기 전기 검사 장치는 서로 마주하는 상기 제1 기판과 제2 기판을 비탄성적으로 결합하고, 상기 비탄성적 결합을 조절함에 의해 상기 제1 기판의 평탄 정도를 조절하는 평탄부를 포함한다.

상기 제2 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 검사 장치는 제1 표면에는 피검사체와 전기적으로 접촉하는 프로브 팁들을 갖고, 상기 제1 표면에 대향하는 제2 표면에는 프로브 팁들과 전기적으로 연결되는 패드들을 갖는 제1 기판과, 상기 제1 기판의 제2 표면과 마주하게 위치하는 제2 기판을 포함한다. 아울러, 상기 전기 검사 장치는 서로 마주하는 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 개재되고, 상기 제1 기판의 제2 표면에 형성된 패드들과 접촉하여 상기 제1 기판과 제2 기판을 전기적으로 연결하는 전기-접촉부 및 서로 마주하는 상기 제1 기판과 제2 기판을 비탄성적으로 결합하고, 상기 비탄성적 결합을 조절함에 의해 상기 제1 기판의 평탄 정도를 조절하는 평탄부를 포함한다.

언급한 실시예들에서 상기 평탄부는 상기 제1 기판과 제2 기판을 서로 연결 하는 연결부 및 상기 연결부와 비탄성적으로 결합되는 조절부를 포함한다. 이에, 상기 비탄성적 결합을 조절함에 의해 상기 제1 기판의 평탄 정도를 조절한다.

상기 제2 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전기 검사 장치는 제1 표면에는 피검사체와 전기적으로 접촉하는 프로브 팁들을 갖고, 상기 제1 표면에 대향하는 제2 표면에는 프로브 팁들과 전기적으로 연결되는 패드들을 갖는 제1 기판과, 상기 제1 기판의 제1 표면과 마주하는 제3 표면을 갖고, 상기 제3 표면의 가장자리를 포함하는 외곽 부위는 상기 파지부와 마주하게 위치하는 제2 기판을 포함한다. 또한, 상기 전기 검사 장치는 상기 제1 기판의 가장자리를 파지하는 파지부를 포함하고, 서로 마주하는 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 개재되고, 상기 제1 기판의 제2 표면에 형성된 패드들과 접촉하여 상기 제1 기판과 제2 기판을 전기적으로 연결하는 전기-접촉부 및 서로 마주하는 상기 제2 기판과 파지부를 비탄성적으로 결합하고, 상기 비탄성적 결합을 조절함에 의해 상기 파지부에 파지된 제1 기판의 평탄 정도를 조절하는 평탄부를 포함한다.

언급한 실시예에서 상기 평탄부는 상기 제2 기판과 파지부를 서로 연결하는 연결부 및 상기 연결부와 비탄성적으로 결합되는 조절부를 포함한다. 이에, 상기 비탄성적 결합을 조절함에 의해 상기 파지부에 파지된 제1 기판의 평탄 정도를 조절한다.

상기 제3 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 전기 검사 장치의 평탄도 조절 방법은 피검사체와 접촉 가능한 제1 표면을 갖는 제1 기판과 상기 제1 표면과 대향하는 제1 기판의 제2 표면과 마주하게 위치하는 제2 기판이 비탄성 적으로 결합된 전기 검사 장치를 사용하여 상기 피검사체의 전기 검사를 수행할 때 상기 제1 기판의 평탄 정도를 확인한다. 그리고, 상기 제1 기판의 평탄 정도가 오차 범위를 벗어날 경우, 상기 비탄성적 결합을 조절하여 상기 제1 기판의 평탄 정도를 오차 범위 이내로 조절한다.

이와 같이, 본 발명의 평탄도 조절 어셈블리와 이를 포함하는 전기 검사 장치 및 이를 이용한 평탄도 조절 방법에서는 비탄성적 결합을 갖는 조절부를 사용하여 피검사체와 접촉하는 부재의 평탄 정도를 조절한다. 그러므로, 본 발명에서는 피검사체와 접촉하는 부재가 가압에 의해 휘어지는 상황이 거의 발생하지 않는다. 더불어, 본 발명의 평탄도 조절 어셈블리와 이를 포함하는 전기 검사 장치는 종래의 가압을 위한 부재를 생략할 수 있기 때문에 간단한 구조를 가질 수 있다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 아울러, 도면들에 있어서, 부재들 각각은 그 명확성을 기하기 위하여 다소 과장되어진 것이다.

실시예 1

도 1은 본 발명의 실시예 1에 따른 전기 검사 장치를 나타내는 개략적인 구 성도이다.

도 1을 참조하면, 전기 검사 장치(100)는 프로브 카드 등으로 통칭할 수 있는 것으로써, 실시예 1에서의 전기 검사 장치(100)는 제1 기판(10), 제2 기판(12) 및 평탄부(200)를 포함한다. 또한, 실시예 1에서의 전기 검사 장치(100)는 제1 기판(10)과 제2 기판(12) 사이에 개재되는 전기-접촉부(14)를 더 포함하기도 한다.

구체적으로, 제1 기판(10)은 마이크로 프로브 헤드(micro probe head : MPH), 스페이스 트랜스포머(space transformer : 공간변형기) 등으로 통칭할 수 있는 것으로써, 실시예 1에서의 제1 기판(10)은 피검사체와 접촉 가능한 제1 표면(10a) 그리고 제1 표면(10a)과 대향하는 제2 표면(10b)을 갖는다. 여기서, 피검사체의 예로서는 반도체 메모리 소자 등과 같은 집적 회로 소자를 들 수 있다. 그리고, 제1 기판(10)의 제1 표면(10a)에는 피검사체와 전기적으로 접촉하는 프로브 팁들(16)이 구비될 수 있다. 아울러, 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)에는 프로브 팁들과 전기적으로 연결되는 패드들이 구비될 수 있다.

제2 기판(12)은 전기 검사 장치(100)인 프로브 카드에 포함되는 부재인 인쇄회로기판을 통칭하는 것으로써, 실시예 1에서의 제2 기판(12)은 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)과 마주하게 위치한다. 이때, 제2 기판(12)은 제3 표면(12a) 그리고 제3 표면(12a)과 대향하는 제4 표면(12b)을 갖는다. 특히, 제2 기판(12)과 제1 기판(10)을 마주하게 위치시킬 때 제2 기판(12)의 제3 표면(12a)과 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)을 마주하게 위치시킨다.

이에, 언급한 전기 검사 장치(100)는 제1 기판(10)의 프로브 팁들(16)에 의 해 피검사체와 전기적으로 접촉하고, 그 신호를 제1 기판(10)으로부터 제2 기판(12)을 통하여 테스터 콘트롤러(도시되지 않음)로 전달하는 구성을 갖는다.

그러므로, 제1 기판(10)과 제2 기판(12) 사이에서도 전기적 신호가 용이하게 전달되어야 한다. 이때, 제1 기판(10)과 제2 기판(12) 사이에서의 전기적 신호의 전달은 다양한 부재들을 사용하여 달성할 수 있다. 이에, 전기 검사 장치(100)는 언급한 바와 같이 제1 기판(10)과 제2 기판(12)을 전기적으로 연결하는 전기-접촉부(14)를 더 구비할 수 있는 것이다. 여기서, 전기-접촉부(14)의 예로서는 인터포저(interposer), 포고-핀(pogo pin) 등을 들 수 있다.

뿐만 아니라, 실시예 1의 전기 검사 장치(100)는 전기-접촉부(14)를 생략할 수도 있다. 이와 같이, 전기-접촉부(14)를 생략할 경우 전기 검사 장치(100)는 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)과 제2 기판(12)의 제3 표면(12a) 각각에 서로 대응되게 패드들을 형성하고, 이를 연결시키는 것이다. 즉, 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)에 형성된 패드들과 이에 대응하게 제2 기판(12)의 제3 표면(12a)에 형성된 패드들을 연결하는 구조로써, 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)에 형성한 회로적 구성과 제2 기판(12)의 제3 표면(12b)에 형성한 회로적 구성을 직접적으로 연결하는 것이다. 이때, 패드들 각각의 연결은 패드들 각각이 충분한 연성을 가질 경우 후술하는 평탄부(200)를 사용한 제1 기판(10)의 움직임에도 그 전기적 연결을 충분하게 달성할 수 있다.

이와 같이, 전기-접촉부(14)는 제1 기판(10)과 제2 기판(12) 사이에 발생하는 움직임에도 전기적 연결이 끊어지지 않을 경우에는 그 생략이 가능할 뿐만 아니 라 언급한 예들 이외에도 다양하게 구비할 수 있다.

따라서, 실시예 1에서의 전기 검사 장치(100)는 제1 기판(10), 제2 기판(12)을 포함하고, 경우에 따라서 전기-접촉부(14)를 더 포함하여 피검사체의 전기적 검사를 수행한다.

그러나, 실시예 1의 전기 검사 장치(100)를 사용한 피검사체의 전기적 검사에서도 제1 기판(10)의 평탄 정도가 중요한 스펙으로 작용한다. 그러므로, 실시예 1에서의 전기 검사 장치(100)는 제1 기판(10)의 평탄 정도를 조절하기 위한 부재로써 언급한 평탄부(200)를 구비한다.

구체적으로, 평탄부(200)는 연결부(20)와 조절부(22)를 포함한다. 여기서, 연결부(20)는 제1 기판(10)과 제2 기판(12)을 서로 연결하고, 조절부(22)는 연결부(20)와 비탄성적으로 결합된다.

특히, 실시예 1의 전기 검사 장치(100)의 평탄부(200)는, 도 2에서와 같이, 제1 기판(10)에 형성되는 홈에 끼워지는 구조를 갖는다. 아울러, 조절부(22)는 제2 기판(12)에 형성된 홀을 관통하여 제1 기판(10)에 형성된 홈에 끼워진 연결부와 결합하는 구조를 갖는다. 이때, 조절부(22)는 그 움직임이 용이해야 하기 때문에 연결부(20)와 나사 결합하는 구조를 갖는 것이 바람직하다.

언급한 바와 같이, 실시예 1의 전기 검사 장치(100)는 제1 기판(10)의 홈에 끼워지는 연결부(20) 그리고 연결부(20)와 나사 결합 등과 같은 기계적으로 결합하는 조절부(22)를 사용하여 제1 기판(10)의 평탄 정도를 조절할 수 있다. 즉, 실시예 1의 전기 검사 장치(100)는 평탄부(200)가 비탄성적 결합을 갖고, 비탄성적 결 합을 조절함에 의해 제1 기판(10)의 평탄 정도를 조절할 수 있는 것이다. 다시 말해, 실시예 1의 전기 검사 장치(100)에서 평탄부(200)는 나사 결합을 갖는 조절부(22)의 나사 체결에 따른 높이 조절에 의해 제1 기판(10)의 평탄 정도를 조절하는 것이다.

또한, 평탄부(200)는 연결부(20)를 사용하여 제1 기판(10)과 제2 기판(12)을 연결시킬 때 연결부(20)를 제1 기판(10)에 충분하게 고정시키는 연결-고정부(24)와 조절부(22)를 사용하여 연결부(20)와 결합시킬 때 조절부(22)를 제2 기판(12)에 충분하게 고정시키는 조절-고정부(26)를 더 포함할 수 있다.

특히, 실시예 1의 전기 검사 장치(100)에서 연결-고정부(24)는 제1 기판(10)의 제1 표면(10a)으로부터 연결부(20)에 충분하게 끼워지는 핀(pin) 타입이 구조를 갖도록 구비시키고, 조절-고정부(26)는 제2 기판(12)에 형성된 홀에 의해 노출되는 조절부(22)에 충분하게 끼워지는 볼트 타입의 구조를 갖도록 구비시킨다.

이에, 실시예 1의 전기 검사 장치(100)는 연결부(20)와 조절부(22)를 사용하여 평탄 정도를 조절한 후, 연결-고정부(24)와 조절-고정부(26) 각각을 사용하여 연결부(20)와 조절부(22) 각각을 충분하게 고정시킬 수 있다.

아울러, 언급한 평탄부(200)는, 도 3a 내지 도 3c에 도시된 바와 같이, 서로 마주하는 제1 기판(10)과 제2 기판(12)을 비탄성적으로 결합시킬 때 제1 기판(10)과 제2 기판(12) 중에서 그 크기가 상대적으로 작은 기판의 중심을 제외한 영역에 위치하도록 설치한다. 이에, 실시예 1에서는 제1 기판(10)을 기준으로 그 중심을 제외한 영역에 위치하도록 평탄부(200)를 설치한다. 그 이유는, 일반적인 전기 검 사 장치의 구조에서 제1 기판(10)이 제2 기판(12)에 비해 그 크기가 작기 때문이다. 그리고, 평탄부(200)는 제1 기판(10)과 제2 기판(12) 모두에 연속적으로 설치되는 구조를 갖기 때문에 그 크기가 상대적으로 작은 제1 기판(12)을 기준으로 설치 위치를 정한다. 또한, 제1 기판(10)과 제2 기판(12) 모두가 동일한 중심을 갖기 때문에 제1 기판(10)의 중심을 제외한 영역에 평탄부(200)가 위치하도록 설치하면 제2 기판(12)의 경우에도 중심을 제외한 영역에 위치한다.

그리고, 실시예 1에서의 평탄부(200)는 언급한 중심을 제외한 영역에 위치하도록 설치할 때 서로 마주보게 두 개 이상을 설치하는 조건을 만족할 경우에는 그 개수에 제한되지 않는다. 즉, 실시예 1에서의 전기 검사 장치(100)는 도 3a에서와 같이 언급한 중심을 기준으로 서로 마주하게 2 개의 평탄부(200)를 포함하거나, 도 3b에서와 같이 언급한 중심을 기준으로 서로 마주하게 3 개의 평탄부(200)를 포함하거나, 도 3c에서와 같이 언급한 중심을 기준으로 서로 마주하게 4 개의 평탄부(200)를 포함할 수 있다. 언급한 예들에서는 2 내지 4 개의 평탄부(200)를 포함하는 전기 검사 장치(100)에 대해서 설명하고 있지만, 실시예 1의 전기 검사 장치(100)가 5 개 이상의 평탄부(200)를 포함하여도 무방하다.

다만, 평탄부(200)의 설치 위치가 언급한 중심을 제외한 영역을 만족하여도 중심에 근접한 영역에 설치할 경우에는 전기 검사 장치(100)의 전기-접촉부(14) 등의 설치를 위한 구조가 다소 복잡해진다. 그러므로, 실시예 1에서는 도 3a에서와 같이 상대적으로 작은 기판 즉, 제1 기판(10)의 중심으로부터 가장 자리를 100(d1)으로 기준할 때 중심으로부터 70(d2) 이후의 외곽 영역에 평탄부(200)를 위치시키 는 것이 바람직하다.

또한, 실시예 1의 전기 검사 장치(100)에 대해서 제1 기판(10)과 제2 기판(12) 각각을 원형 타입을 한정하여 설명하고 있지만, 그 모양에 대해서는 한정되지 않는다. 예를 들어, 동일한 중심을 갖는 조건을 만족할 경우에는 제1 기판(10)이 사각형 타입을 갖고, 제2 기판(12)이 원형 타입을 가져도 무방하고, 제1 기판(10)의 원형 타입을 갖고, 제2 기판(12)이 사각형 타입을 가져도 무방하고, 제1 기판(10)과 제2 기판(12) 모두가 사각형 타입을 가져도 무방하다.

언급한 바와 같이, 실시예 1의 전기 검사 장치(100)는 비탄성적 결합을 갖고, 그 설치 개수와 설치 위치가 한정되는 평탄부(200)를 포함한다. 그러므로, 실시예 1의 전기 검사 장치(100)는 평탄부(200)를 사용하여 적절하게 높이 조절을 함으로써 제1 기판(10)의 평탄 정도를 용이하게 조절할 수 있다.

이에, 실시예 1의 전기 검사 장치(100)를 사용하면 종래와 달이 스프링 등과 같은 부재의 가압에 의해 제1 기판(10)이 휘어지는 상황을 충분하게 감소시킬 수 있다. 아울러, 실시예 1의 전기 검사 장치(100)는 스프링 등과 같은 부재를 생략할 수 있기 때문에 그 구조의 단순화를 도모할 수 있다.

언급한 실시예 1의 전기 검사 장치(100)에서 평탄부(200)는 제1 기판(10)의 홈에 끼워지는 연결부(20) 그리고 연결부(20)와 비탄성적으로 결합되는 조절부(22)를 포함한다. 그러나, 평탄부(200)는 언급한 구조 이외에도 다양한 구조를 가질 수 있고, 이하에서는 그 실시예들에 대해서는 후술하기로 한다.

실시예 2

그리고, 실시예 2에서의 평탄도 조절 어셈블리는 언급한 실시예 1의 전기 검사 장치의 평탄부를 대체할 수 있다. 그러므로, 이하에서는 실시예 1의 전기 검사 장치를 근거하여 평탄도 조절 어셈블리에 대하여 설명하기로 한다. 아울러, 실시예 2의 평탄도 조절 어셈블리를 평탄부로 표현하기로 한다.

도 4를 참조하면, 실시예 2의 평탄부는 실시예 1의 평탄부와 마찬가지로 연결부와 조절부를 포함한다.

구체적으로, 실시예 2에의 평탄부(300)에서 연결부(30)는 제2 기판(12)을 관통하는 홀로부터 제1 기판(10)에 형성된 홈에 연속적으로 끼워지는 구조를 갖는다. 그리고, 조절부(32)는 제2 기판(12)이 홀에 의해 노출된 연결부(30)와 나사 결합하는 구조를 갖는다.

아울러, 실시예 2에서의 평탄부(300) 또한 연결부(30)를 사용하여 제1 기판(10)과 제2 기판(12)을 연결시킬 때 연결부(30)를 제1 기판(10)에 충분하게 고정시키는 연결-고정부(34)와 조절부(32)를 사용하여 연결부(30)와 결합시킬 때 조절부(32)를 제2 기판(12)에 충분하게 고정시키는 조절-고정부(36)를 더 포함할 수 있다. 특히, 실시예 1에서와 마찬가지로, 연결-고정부(34)는 제1 기판(10)의 제1 표면(10a)으로부터 연결부(30)에 충분하게 끼워지는 핀 타입이 구조를 갖도록 구비시키고, 조절-고정부(36)는 제2 기판(12)에 형성된 홀에 의해 노출되는 조절부(32)에 충분하게 끼워지는 볼트 타입의 구조를 갖도록 구비시킨다.

이에, 실시예 2의 평탄부(300)를 포함하는 전기 검사 장치의 경우에도 연결부(30)와 조절부(32)를 사용하여 평탄 정도를 조절한 후, 연결-고정부(34)와 조절-고정부(36) 각각을 사용하여 연결부(30)와 조절부(32) 각각을 충분하게 고정시킬 수 있다.

또한, 실시예 2의 평탄부(300)의 경우에도 언급한 실시예 1의 평탄부(200)의 설치 위치, 설치 개수 등이 동일하기 때문에 그 구체적인 설명은 생략하기로 한다.

이에, 실시예 2의 평탄부(300)를 포함하는 전기 검사 장치를 사용하여도 종래와 달이 스프링 등과 같은 부재의 가압에 의해 제1 기판(10)이 휘어지는 상황을 충분하게 감소시킬 수 있다. 아울러, 실시예 2의 전기 검사 장치 또한 스프링 등과 같은 부재를 생략할 수 있기 때문에 그 구조의 단순화를 도모할 수 있다.

그리고, 도시하지는 않았지만, 또 다른 예로서는 제1 기판을 관통하는 홀로부터 제2 기판에 형성된 홈에 연속적으로 끼워지는 구조를 갖는 연결부와 제1 기판의 홀에 의해 노출된 연결부와 나사 결합하는 구조를 갖는 조절부를 포함하는 평탄부, 제2 기판에 형성되는 홈에 끼워지는 구조를 갖는 연결부와 제1 기판에 형성된 홀을 관통하여 제2 기판에 형성된 홈에 끼워진 연결부와 나사 결합하는 구조를 갖는 조절부를 포함하는 평탄부 등을 들 수 있다. 아울러, 언급한 경우에도 연결부를 고정시키는 연결-고정부와 조절부를 고정시키는 조절-고정부를 더 포함할 수도 있다.

이와 같이, 언급한 평탄부는 비탄성적 결합의 구조를 가질 경우에는 그 구조 에 대해서는 한정적이지 않다.

실시예 3

그리고, 실시예 3의 전기 검사 장치(500)는 그 구조가 실시예 1의 전기 검사 장치(100)와 거의 유사하기 때문에 동일 부재에 대해서는 동일 부호를 사용하고, 그 구체적인 설명은 생략하기로 한다.

도 5를 참조하면, 실시예 3의 전기 검사 장치(500)는 실시예 1의 전기 검사 장치(100)와 동일한 제1 기판(10)과 제2 기판(12)을 포함한다. 더불어, 실시예 3의 전기 검사 장치(500) 또한 제1 기판(10)과 제2 기판(12)을 전기적으로 연결하는 전기-접촉부(14)를 더 포함할 수도 있다.

그리고, 실시예 3의 전기 검사 장치(500)는 제1 기판(10)의 가장 자리를 파지하는 파지부(50)를 포함한다. 구체적으로, 파지부(50)는 제1 기판(10)의 제1 표면(10a) 가장 자리, 제2 표면(10b) 가장 자리 및 제1 기판(10)의 측면을 연속적으로 파지하는 구조를 갖는다. 즉, 파지부(50)는 그 측면을 억지 끼움 형태의 구조를 갖도록 구비하고, 그 측면에 제1 기판(10)을 끼워 넣는 것이다. 또한, 파지부(50)가 제1 기판(10)의 가장 자리를 파지하기 때문에 파지부(50)와 제2 기판(12)의 제3 표면(12a)이 서로 마주하는 구조를 갖는다.

그러나, 실시예 3에서의 전기 검사 장치(500)에 구비되는 평탄부(600)의 경 우에는 파지부(50)를 제1 기판(10)의 연장으로 판단할 경우 언급한 실시예 1에서의 평탄부(200)가 설치되는 위치, 설치되는 개수 등은 거의 유사하기 때문에 그 구체적인 설명은 생략하기로 한다.

이에, 실시예 3의 전기 검사 장치(500)에서 평탄부(600)는 서로 마주하는 파지부(50)와 제2 기판(12)을 비탄성적으로 결합하고, 언급한 비탄성적 결합을 조절함에 의해 파지부(50)에 파지된 제1 기판(10)의 평탄 정도를 조절하는 구성을 갖는다.

여기서, 언급한 평탄부(600)는 제2 기판(12)과 파지부(50)를 서로 연결하는 연결부(60) 그리고 연결부(60)와 비탄성적으로 결합되는 조절부(62)를 포함한다. 특히, 연결부(60)는 파지부(50)에 형성된 홈에 끼워지는 구조를 갖고, 조절부(62)는 제2 기판(12)에 형성된 홀을 관통하여 파지부(50)에 형성된 홈에 끼워진 연결부(60)와 나사 결합하는 구조를 갖는다.

또한, 언급한 평탄부(600)의 경우에도 실시예 1의 전기 검사 장치(100)와 마찬가지로 연결부(60)를 고정시키기 위한 연결-고정부(64)와 조절부(62)를 고정시키기 위한 조절-고정부(66)를 더 포함할 수도 있다. 다만, 연결-고정부(64)의 경우에는 실시예 1의 구조와는 달리 파지부(50)의 표면으로부터 연결부(60)에 연결되는 구조를 갖는다.

그러므로, 실시예 3의 전기 검사 장치(500) 또한 연결부(60)에 결합된 조절부(62)를 적절하게 조절함으로써 비탄성적으로 제1 기판(10)의 평탄 정도를 용이하게 조절할 수 있다.

그리고, 실시예 3의 전기 검사 장치(500)는 제2 기판(12)의 제4 표면과 면접하게 위치하여 제2 기판(12)의 구조를 보강하는 제1 보강부(52)와 제2 기판(12)의 제3 표면을 부분적으로 면접하게 위치하면서 그 측면 일부는 파지부(50)의 측면 일부와 면접하게 위치하여 제2 기판(12)의 구조와 함께 제1 기판(10)의 구조를 보강하는 제2 보강부(54) 등을 더 포함할 수도 있다. 아울러, 언급한 제1 보강부(52)와 제2 보강부(54) 이외에도 실시예 3의 전기 검사 장치(500)는 전기 검사 장치(500)의 구조를 보강하기 위한 보강 부재를 적절하게 구비할 수 있다.

이에, 실시예 3의 전기 검사 장치(500)를 사용할 경우에도 종래와 달이 스프링 등과 같은 부재의 가압에 의해 제1 기판(10)이 휘어지는 상황을 충분하게 감소시킬 수 있다. 아울러, 실시예 3의 전기 검사 장치(500)는 스프링 등과 같은 부재를 생략할 수 있기 때문에 그 구조의 단순화를 도모할 수 있다.

언급한 실시예 3에서의 전기 검사 장치(500)는 파지부(50)에 형성된 홈에 끼워지는 구조를 갖는 연결부(60)와 제2 기판(12)에 형성된 홀을 관통하여 파지부(50)에 형성된 홈에 끼워진 연결부(60)와 나사 결합하는 구조를 갖는 조절부(62)를 포함하는 평탄부(600)에 대해서 설명하고 있지만, 비탄성적 결합에 의해 제1 기판(10)의 평탄 정도를 용이하게 조절할 경우에는 다양한 형태로 구비할 수도 있다. 일 예로, 도시하지는 않았지만, 제2 기판을 관통하는 홀로부터 파지부에 형성된 홈에 연속적으로 끼워지는 구조를 갖는 연결부와, 제2 기판의 홀에 의해 노출된 연결부와 나사 결합하는 구조를 갖는 조절부를 포함하는 평탄부 등을 들 수 있다.

실시예 4

그리고, 실시예 4의 전기 검사 장치는 파지부를 제외하고는 그 구조가 실시예 3의 전기 검사 장치와 거의 유사하기 때문에 동일 부재에 대해서는 동일 부호를 사용하고, 그 구체적인 설명은 생략하기로 한다.

도 6을 참조하면, 실시예 4의 전기 검사 장치(800) 또한 제1 기판(10), 제2 기판(12), 전기-접촉부(14), 평탄부(600) 등을 포함한다.

다만, 실시예 4의 전기 검사 장치(800)에서 파지부(700)는 실시예 3에서의 파지부(50)가 갖는 억지 끼움 형태의 구조가 아니라 나사 체결 등에 의하여 제1 기판(10)을 파지하는 형태의 구조를 갖는다. 즉, 언급한 파지부(700)는 나사 체결로 제1 기판(10)의 제1 표면(10a)과, 제2 표면(10b) 및 그 측면을 연속적으로 파지할 수 있는 구조를 갖는 것이다. 그러므로, 파지부(700)는 제1 파지부(70), 제2 파지부(72) 및 파지-결합부(74)를 포함한다. 이에, 제1 파지부(70)를 사용하여 제1 기판(10)의 제1 표면(10a) 가장 자리를 면접시키고, 제2 파지부(72)를 사용하여 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)과 그 측면을 면접시키고, 이어서 파지-결합부(74)를 사용하여 제1 파지부(70)와 제2 파지부(72)를 결합시킴으로써 제1 기판(10)의 제1 표면(10a)과, 제2 표면(10b) 및 그 측면을 연속적으로 파지하는 것이다.

그리고, 언급하고 있는 실시예 4에서의 파지부(700)는 제1 기판(10)의 제2 표면(10b)에서 나사 결합하는 구조를 갖지만, 이와 달이 제1 기판(10)의 제1 표 면(10a)에서 나사 결합하는 구조로도 구비할 수 있다.

이와 같이, 실시예 4에서의 전기 검사 장치(800) 또한 평탄부(600)가 실시예 3에서와 동일한 구조를 갖기 때문에 연결부(60)에 결합된 조절부(62)를 적절하게 조절함으로써 비탄성적으로 제1 기판(10)의 평탄 정도를 용이하게 조절할 수 있다.

이에, 실시예 4의 전기 검사 장치(800)를 사용할 경우에도 종래와 달이 스프링 등과 같은 부재의 가압에 의해 제1 기판(10)이 휘어지는 상황을 충분하게 감소시킬 수 있다. 아울러, 실시예 4의 전기 검사 장치(800)는 스프링 등과 같은 부재를 생략할 수 있기 때문에 그 구조의 단순화를 도모할 수 있다.

평탄도 조절 방법

이하에서는 언급한 도 4의 전기 검사 장치용 평탄도 조절 어셈블리를 사용한 제1 기판의 평탄 정도를 조절하는 방법에 대하여 설명하기로 한다.

도 7를 참조하면, 제2 기판(12)을 관통하는 홀에 연결부(30)를 끼워 넣고, 언급한 홀에 의해 노출되는 연결부(30)에 비탄성적 결합을 갖는 조절부(32)를 결합시킨다. 이때, 조절부(32)는 비탄성적 결합을 달성하기 위한 일환으로써 연결부(30)와 나사 결합되는 구조를 갖는다.

도 7b를 참조하면, 언급한 바와 같이 연결부(30)와 조절부(32)를 결합시킨 후, 연결부(30)를 제1 기판(10)에 형성된 홈에 끼워 넣는다. 그리고, 연결-고정 부(34)를 사용하여 연결부(30)를 제1 기판(10)에 충분하게 고정시킨다.

이어서, 도 7c 및 도 7d를 참조하면, 언급한 조절부(32)를 사용한 미세한 조절을 수행하여 제1 기판(10)의 평탄 정도를 조절하고, 제1 기판(10)의 평탄 정도가 오차 범위를 만족하면 조절-고정부(36)를 사용하여 조절부(32)를 충분하게 고정시킨다.

언급한 바와 같이, 본 발명의 평탄도 조절 어셈블리 즉, 평탄부(300)를 사용할 경우에는 비탄성적으로 제1 기판(10)의 평탄 정도를 용이하게 조절할 수 있다.

또한, 언급한 평탄도 조절 어셈블리를 사용한 제1 기판(10)의 평탄 정도의 조절에 대한 방법은 일 예에 불과한 것으로써 그 순서에 상관없이 조절부(32)와 연결부(30)와의 결합을 적절하게 조절함에 의해 비탄성적으로 제1 기판(10)의 평탄 정도를 조절할 수도 있다.

즉, 언급한 전기 검사 장치를 사용하여 피검사체의 전기 검사를 수행할 때 제1 기판(10)의 평탄 정도를 확인하고, 이에 제1 기판(10)의 평탄 정도가 오차 범위를 벗어날 경우, 평탄부(300)를 이용한 비탄성적 결합을 조절하여 제1 기판(10)의 평탄 정도를 오차 범위 이내로 조절하는 것이다.

언급한 바와 같이, 본 발명의 전기 검사 장치는 비탄성적 결합을 갖는 평탄부를 포함하여 비탄성적 결합을 조절함에 의해 피검사체와 접촉하는 기판의 평탄 정도를 용이하게 조절할 수 있다.

이에, 본 발명의 전기 검사 장치는 피검사체와 접촉하는 기판의 평탄 정도를 조절하기 위하여 스프링 등과 같은 부재를 생략할 수 있다. 그러므로, 본 발명의 전기 검사 장치는 스프링 등과 같은 부재의 가압에 의해 피검사체와 접촉하는 기판이 휘어지는 상황을 충분하게 감소시킬 수 있고, 또한 그 구조의 단순화를 도모할 수 있다.

따라서, 본 발명의 전기 검사 장치는 전기적 검사에 따른 신뢰성의 향상을 기대할 수 있을 뿐만 아니라 구조의 단순화를 통하여 원가 절감, 유지 보수 등의 향상도 충분하게 기대할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims

피검사체와 접촉 가능한 제1 표면을 갖는 제1 기판과 상기 제1 표면과 대향하는 제1 기판의 제2 표면과 마주하게 위치하는 제2 기판을 서로 연결하는 연결부;

상기 연결부와 비탄성적으로 결합되고, 상기 비탄성적 결합을 조절함에 의해 상기 제1 기판의 평탄 정도를 조절하는 조절부;

상기 연결부를 사용하여 제1 기판과 제2 기판을 연결시킬 때 상기 연결부를 고정시키는 연결-고정부; 및

상기 조절부를 사용하여 연결부와 결합시킬 때 상기 조절부를 고정시키는 조절-고정부를 포함하는 전기 검사 장치용 평탄도 조절 어셈블리.
제1 항에 있어서, 상기 연결부는 상기 제2 기판을 관통하는 홀로부터 상기 제1 기판에 형성된 홈에 연속적으로 끼워지는 구조를 갖고, 상기 조절부는 상기 제2 기판의 홀에 의해 노출된 연결부와 나사 결합하는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치용 평탄도 조절 어셈블리.
제1 항에 있어서, 상기 연결부는 상기 제1 기판을 관통하는 홀로부터 상기 제2 기판에 형성된 홈에 연속적으로 끼워지는 구조를 갖고, 상기 조절부는 상기 제1 기판의 홀에 의해 노출된 연결부와 나사 결합하는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치용 평탄도 조절 어셈블리.
제1 항에 있어서, 상기 연결부는 상기 제1 기판에 형성되는 홈에 끼워지는 구조를 갖고, 상기 조절부는 상기 제2 기판에 형성된 홀을 관통하여 상기 제1 기판에 형성된 홈에 끼워진 연결부와 나사 결합하는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치용 평탄도 조절 어셈블리.
제1 항에 있어서, 상기 연결부는 상기 제2 기판에 형성되는 홈에 끼워지는 구조를 갖고, 상기 조절부는 상기 제1 기판에 형성된 홀을 관통하여 상기 제2 기판에 형성된 홈에 끼워진 연결부와 나사 결합하는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치용 평탄도 조절 어셈블리.
삭제
피검사체와 접촉 가능한 제1 표면 그리고 상기 제1 표면과 대향하는 제2 표면을 갖는 제1 기판;

상기 제1 기판의 제2 표면과 마주하게 위치하는 제2 기판; 및

서로 마주하는 상기 제1 기판과 제2 기판을 비탄성적으로 결합하고, 상기 비탄성적 결합을 조절함에 의해 상기 제1 기판의 평탄 정도를 조절하는 평탄부로써, 상기 평탄부는 상기 제1 기판과 제2 기판을 서로 연결하는 연결부, 및 상기 연결부와 비탄성적으로 결합되고, 상기 비탄성적 결합을 조절함에 의해 상기 제1 기판의 평탄 정도를 조절하는 조절부를 포함하고,

상기 연결부를 사용하여 제1 기판과 제2 기판을 연결시킬 때 상기 연결부를 고정시키는 연결-고정부; 및

상기 조절부를 사용하여 연결부와 결합시킬 때 상기 조절부를 고정시키는 조절-고정부를 포함하는 전기 검사 장치.
삭제
제7 항에 있어서, 상기 평탄부는 서로 마주하는 상기 제1 기판과 제2 기판을 비탄성적으로 결합할 때 상기 제1 기판과 제2 기판 중에서 그 크기가 상대적으로 작은 기판의 중심을 제외한 영역에 위치하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
제9 항에 있어서, 상기 평탄부는 상기 제1 기판과 제2 기판 중에서 그 크기가 상대적으로 작은 기판의 중심으로부터 가장자리를 100으로 기준할 때 상기 중심으로부터 70 이후의 외곽 영역에 적어도 두 개가 상기 중심을 기준으로 양쪽에 위치하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
삭제
제7 항에 있어서, 상기 제1 기판과 제2 기판은 전기적으로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
제1 표면에는 피검사체와 전기적으로 접촉하는 프로브 팁들을 갖고, 상기 제1 표면에 대향하는 제2 표면에는 프로브 팁들과 전기적으로 연결되는 패드들을 갖는 제1 기판;

상기 제1 기판의 제2 표면과 마주하게 위치하는 제2 기판;

서로 마주하는 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 개재되고, 상기 제1 기판의 제2 표면에 형성된 패드들과 접촉하여 상기 제1 기판과 제2 기판을 전기적으로 연결하는 전기-접촉부; 및

서로 마주하는 상기 제1 기판과 제2 기판을 비탄성적으로 결합하고, 상기 비탄성적 결합을 조절함에 의해 상기 제1 기판의 평탄 정도를 조절하는 평탄부로써, 상기 평탄부는 상기 제1 기판과 제2 기판을 서로 연결하는 연결부, 및 상기 연결부와 비탄성적으로 결합되고, 상기 비탄성적 결합을 조절함에 의해 상기 제1 기판의 평탄 정도를 조절하는 조절부를 포함하고,

상기 연결부를 사용하여 제1 기판과 제2 기판을 연결시킬 때 상기 연결부를 고정시키는 연결-고정부; 및

상기 조절부를 사용하여 연결부와 결합시킬 때 상기 조절부를 고정시키는 조절-고정부를 포함하는 전기 검사 장치.
삭제
제13 항에 있어서, 상기 평탄부는 서로 마주하는 상기 제1 기판과 제2 기판을 비탄성적으로 결합할 때 상기 제1 기판과 제2 기판 중에서 그 크기가 상대적으로 작은 기판의 중심을 제외한 영역에 위치하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
제15 항에 있어서, 상기 평탄부는 상기 제1 기판과 제2 기판 중에서 그 크기가 상대적으로 작은 기판의 중심으로부터 가장자리를 100으로 기준할 때 상기 중심으로부터 70 이후의 외곽 영역에 적어도 두 개가 상기 중심을 기준으로 양쪽에 위치하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
삭제
제1 표면에는 피검사체와 전기적으로 접촉하는 프로브 팁들을 갖고, 상기 제1 표면에 대향하는 제2 표면에는 프로브 팁들과 전기적으로 연결되는 패드들을 갖는 제1 기판;

상기 제1 기판의 가장자리를 파지하는 파지부;

상기 제1 기판의 제1 표면과 마주하는 제3 표면을 갖고, 상기 제3 표면의 가장자리를 포함하는 외곽 부위는 상기 파지부와 마주하게 위치하는 제2 기판;

서로 마주하는 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 개재되고, 상기 제1 기판의 제2 표면에 형성된 패드들과 접촉하여 상기 제1 기판과 제2 기판을 전기적으로 연결하는 전기-접촉부; 및

서로 마주하는 상기 제2 기판과 파지부를 비탄성적으로 결합하고, 상기 비탄성적 결합을 조절함에 의해 상기 파지부에 파지된 제1 기판의 평탄 정도를 조절하는 평탄부를 포함하는 전기 검사 장치.
제18 항에 있어서, 상기 평탄부는,

상기 제2 기판과 파지부를 서로 연결하는 연결부; 및

상기 연결부와 비탄성적으로 결합되고, 상기 비탄성적 결합을 조절함에 의해 상기 파지부에 파지된 제1 기판의 평탄 정도를 조절하는 조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
제18 항에 있어서, 상기 연결부는 상기 제2 기판을 관통하는 홀로부터 상기 파지부에 형성된 홈에 연속적으로 끼워지는 구조를 갖고, 상기 조절부는 상기 제2 기판의 홀에 의해 노출된 연결부와 나사 결합하는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
제18 항에 있어서, 상기 연결부는 상기 파지부에 형성되는 홈에 끼워지는 구조를 갖고, 상기 조절부는 상기 제2 기판에 형성된 홀을 관통하여 상기 파지부에 형성된 홈에 끼워진 연결부와 나사 결합하는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
제18 항에 있어서, 상기 연결부를 사용하여 제1 기판과 파지부를 연결시킬 때 상기 홈에 끼워진 연결부와 결합하여 상기 연결부를 고정시키는 연결-고정부; 및

상기 조절부를 사용하여 연결부와 결합시킬 때 상기 홀에 노출된 조절부와 결합하여 상기 조절부를 고정시키는 조절-고정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
제18 항에 있어서, 상기 제3 표면과 대향하는 상기 제2 기판의 제4 표면과 면접하게 위치하여 상기 제2 기판의 구조를 보강하는 제1 보강부; 및

상기 제2 기판의 제3 표면 일부에 면접하게 위치하면서 그 측면 일부는 상기 파지부의 측면 일부와 면접하게 위치하여 상기 제2 기판의 구조와 함께 상기 제1 기판의 구조를 보강하는 제2 보강부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
제18 항에 있어서, 상기 평탄부는 서로 마주하는 상기 제1 기판과 제2 기판을 비탄성적으로 결합할 때 상기 제1 기판과 제2 기판 중에서 그 크기가 상대적으로 작은 기판의 중심을 제외한 영역에 위치하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
제24 항에 있어서, 상기 평탄부는 상기 제1 기판과 제2 기판 중에서 그 크기가 상대적으로 작은 기판의 중심으로부터 가장자리를 100으로 기준할 때 상기 중심으로부터 70 이후의 외곽 영역에 적어도 두 개가 상기 중심을 기준으로 양쪽에 위치하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.
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