JP2008542745A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブカードは、プローブ針160が形成された装着部材100と、その上部に配置される印刷回路基板200を有する。印刷回路基板の上部には補強板300が固定され、印刷回路基板と補強板との間には接触部材400が配置される。接触部材と装着部材は印刷回路基板に形成された挿し込み穴244を通じて挿入される連結部材500によって固定され、装着部材の水平度を調節する調節ボルト600は下から上の方に装着部材100、印刷回路基板200、補強板300に形成された調節穴146、246、324に順に挿入される。接触部材400は上の方に向けて膨らんでいる弧形の上面を有し、水平度調節のとき装着部材及び接触部材が傾けられていても補強板と接触を維持する。
【選択図】図5
Description
Claims (8)
- 下面に被検査体と電気的に接続されるプローブ針が形成された装着部材と、
上面及び下面に電気的に接続されるパッドが形成された印刷回路基板と、
前記装着部材と前記印刷回路基板との間に介されて前記印刷回路基板の下面に形成されたパッドと前記プローブ針を電気的に接続する相互接続部材と、
前記印刷回路基板との間に空間が形成される様に前記印刷回路基板の上部に結合する補強板と、
前記空間の内に形成されて上面の一部が前記補強板に接触される接触部材と、
前記印刷回路基板に形成された挿し込み穴を通じて挿入され、前記接触部材及び前記装着部材を結合する連結部材と、
前記装着部材の水平度を調節し、前記装着部材を前記印刷回路基板に固定するために、前記装着部材、前記印刷回路基板、前記補強板に各々形成された調節穴に挿入されると共に挿入深さの微細調節ができる複数の調節部材を含むことを特徴とするプローブカード。 - 前記調節部材はボルトであり、前記補強板に形成された調節穴にはねじ山が形成され、
前記ボルトは、下から上の方に前記装着部材、前記印刷回路基板、前記補強板に形成された調節穴に順に挿入されることを特徴とする請求項1に記載のプローブカード。 - 前記接触部材の上面は、上の方に向けて弧形を有することを特徴とする請求項2に記載のプローブカード。
- 前記空間を形成するために前記補強板の下面は、平面になっていることを特徴とする請求項3に記載のプローブカード。
- 前記印刷回路基板に形成された挿し込み穴の中から前記連結部材が傾けられる様に前記挿し込み穴の横断面は、前記連結部材の横断面より広く形成されることを特徴とする請求項1から4の中で何れか一つに記載のプローブカード。
- 前記装着部材は、
前記プローブ針が設置された位置調節部材と、
前記位置調節部材を取り囲むと共に前記位置調節部材を保持し、前記連結部材と結合し、前記調節部材が挿入される様に前記調節穴が形成された保持板を含むことを特徴とする請求項5に記載のプローブカード。 - 前記調節部材は、3個乃至5個であることを特徴とする請求項5に記載のプローブカード。
- 下面に被検査体と電気的に接続されるプローブ針が形成された装着部材と、
上面及び下面に電気的に接続されるパッドが形成された印刷回路基板と、
前記装着部材と前記印刷回路基板との間に介されて前記印刷回路基板の下面に形成されたパッドと前記プローブ針を電気的に接続する相互接続部材と、
前記印刷回路基板の上部に位置する様に前記印刷回路基板に結合される補強板と、前記プローブ針の水平度を調節し、前記装着部材を前記補強板に固定するために、前記印刷回路基板に形成された調節穴を貫通して前記補強板のねじ山が形成された調節穴に挿入され、挿入深さの微細調節ができる様に下から上の方に挿入される複数の調節ボルトを含むことを特徴とするプローブカード。
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