JP2010133787A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブ装置1に設けられたプローブカード2は、接触体10を支持する支持板11と、支持板11の上面側に設けられた回路基板12とを有している。回路基板12の上面には連結部材14が設けられ、連結体15により連結部材14と支持板11が連結されている。連結部材14の上面には、接触体10とウェハWの電極パットUとの接触荷重を一定に維持する複数のバネ部材20が設けられている。連結部材14の外周部には、支持板11の水平方向の位置を固定する複数の板バネ24が設けられている。回路基板12と支持板11の間には、当該回路基板12と支持板11を弾力的且つ電気的に接続する複数の中間部材30が設けられている。
【選択図】図1
Description
2 プローブカード
3 載置台
10 接触体
11 支持板
12 回路基板
13 補強部材
14 連結部材
15 連結体
20 バネ部材
21 バネ
22 支持部
23 荷重測定器
24 板バネ
30 中間部材
40 中間基板
41 上面弾性シート
42 下面弾性シート
50 導電部
60 導電部
100 制御部
110 アクチュエータ
120 荷重測定器
130 空気供給源
200 プローブ
201 支持板
203 中間部材
210 支持部
211 梁部
212 接触子
250 案内部材
U 電極パット
W ウェハ
Claims (9)
- 被検査体の電気的特性を検査するためのプローブカードであって、
検査時に被検査体に接触する接触体を支持する支持板と、
前記支持板の上面側に設けられ、前記接触体に検査用の電気信号を送る回路基板と、
前記回路基板の上面に設けられ、前記支持板に連結される連結部材と、
前記連結部材の上面に設けられ、前記接触体と被検査体との接触荷重を一定に維持する複数の荷重調整部材と、
前記連結部材の外周部に設けられ、前記支持板の水平方向の位置を固定する複数の弾性部材と、を有することを特徴とする、プローブカード。 - 前記回路基板と前記支持板の間に設けられ、当該回路基板と支持板を弾力的且つ電気的に接続する中間部材を有することを特徴とする、請求項1に記載のプローブカード。
- 前記複数の荷重調整部材にかかる荷重を測定する荷重測定器と、
前記荷重測定器の測定結果に基づいて、前記複数の荷重調整部材にかかる荷重が均等に所定の値になるように制御する制御部と、を有することを特徴とする、請求項1又は2に記載のプローブカード。 - 前記支持板と前記連結部材は連結体により連結され、
前記連結体の外周部には、前記支持板の鉛直方向の移動のみを案内する案内部材が設けられていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載のプローブカード。 - 前記弾性部材は、一端が前記連結部材の外周部に固定され、他端が前記回路基板を補強する補強部材に固定された板バネであることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記荷重調整部材は、バネ部材であることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記荷重調整部材は、推力を一定に維持することができるアクチュエータであることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記接触体は、平板状の中間体と、当該中間体の上下の両面に取り付けられた弾性シートを備えた3層構造を有し、
前記下面側の弾性シートは、検査時に被検査体に接触する導電部を有することを特徴とする、請求項1〜7のいずれかに記載のプローブカード。 - 前記接触体は、前記支持板に片持ち支持される梁部と、前記梁部の自由端部から被検査体側に延伸し、検査時に被検査体に接触する接触子と、を有することを特徴とする、請求項1〜7のいずれかに記載のプローブカード。
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140408 |