CN116223864A - 探针固定模组及测试装置 - Google Patents

Abstract

一种探针固定模组及测试装置，探针固定模组包括：固定座，包括沿水平方向延伸的第一连接主体部；探针固定组件，包括用于固定探针的固定件，固定件包括沿水平方向延伸且与第一连接主体部的底面相对设置的第二连接主体部；直线伸缩机构，位于第一连接主体部和第二连接主体部之间，直线伸缩机构用于在纵向上实现第一连接主体部和第二连接主体部的弹性连接。将探针安装于探针固定组件上，则当探针与待测器件之间具有间隙时，直线伸缩机构能够相应释放弹性压力，使得探针能够通过弹性压力的释放产生竖直方向的位移，自动弥补间隙，使得探针与待测器件保持稳定接触的状态，降低探针与待测器件接触不良的概率，从而有利于提高测试的成功率和准确率。

Description

探针固定模组及测试装置

技术领域

本发明实施例涉及半导体制造领域，尤其涉及一种探针固定模组及测试装置。

背景技术

半导体器件的整个制造流程可以分为晶圆制造、晶圆测试、晶圆封装及最后测试等步骤。所述晶圆制造指的是在晶圆上制造半导体器件的过程，在完成半导体器件的制造之后，需要对所述晶圆进行电性测试，以确保在封装之前，晶圆是合格的产品，因此晶圆测试是提高半导体器件良率的关键步骤之一。

对晶圆进行测试的设备通常通过探针与测试点相互接触，才能完成电性测试。晶圆的电性检测的准确性攸关产品的良率，因此，需要减少测试结果的误差，确保晶圆测试结果的真实率和准确率。

发明内容

本发明实施例解决的问题是提供一种探针固定模组及成测试装置，提高晶圆测试的成功率和准确率。

为解决上述问题，本发明实施例提供了一种探针固定模组，包括：固定座，包括沿水平方向延伸的第一连接主体部；探针固定组件，包括用于固定探针的固定件，所述固定件包括沿所述水平方向延伸且与所述第一连接主体部的底面相对设置的第二连接主体部；直线伸缩机构，位于所述第一连接主体部和所述第二连接主体部之间，所述直线伸缩机构用于在纵向上实现所述第一连接主体部和第二连接主体部的弹性连接。

本发明实施例还提供了一种测试装置，包括本发明实施例提供的探针固定模组。

与现有技术相比，本发明实施例的技术方案具有以下优点：

本发明实施例提供的探针固定模组中，探针固定组件包括用于固定探针的固定件，所述固定件包括沿所述水平方向延伸且与所述第一连接主体部的底面相对设置的第二连接主体部，直线伸缩机构，位于所述第一连接主体部和所述第二连接主体部之间，所述直线伸缩机构用于在纵向上实现所述第一连接主体部和第二连接主体部的弹性连接，则在测试过程中，将探针安装于探针固定组件上，当所述探针与待测器件之间具有间隙时，所述直线伸缩机构能够相应释放弹性压力，使得所述探针能够通过弹性压力的释放产生竖直方向的位移，自动弥补所述间隙，使得所述探针与待测器件保持稳定接触的状态，降低所述探针与待测器件接触不良的概率，从而有利于提高测试的成功率和准确率，而且，相比于通过人为操作调整探针的位置使所述探针与待测器件保持稳定接触的方案，本发明实施例避免了因人为操作不精准而产生探针位置误差的情况，同时避免了因人为操作失误而导致探针损伤的情况，综上所述皆有利于提高测试的成功率和准确率。

附图说明

图1是一种测试装置的结构示意图；

图2是本发明探针固定模组一实施例的结构示意图；

图3是本发明测试装置一实施例的结构示意图；

图4是图3中探针的放大示意图。

具体实施方式

目前测试的成功率和准确率有待提高。现结合一种测试装置分析测试的成功率和准确率有待提高的原因。

图1是一种测试装置的结构示意图。

参考图1，所述测试装置包括底座10、以及固定于所述底座10上的探针固定模组20，所述探针固定模组20包括探针21。

为了便于理解，图1中示出了待测器件30(例如，器件晶圆)，在测试过程中，探针21与待测器件30的测试点(例如，焊垫)相接触。

通常，所述测试装置通过所述探针21对所述待测器件30的测试点施加信号、以及测量反馈的信号，然而，在测试过程中，由于各种因素，所述探针21与待测器件30的测试点之间容易产生间隙，而且，所述探针21固定于所述底座10上，因此，当所述探针21与待测器件30之间容易产生间隙时，所述间隙难以弥补，从而容易导致所述探针21与待测器件30接触不良，进而影响测试的成功率和准确率。

同时，当所述探针21与待测器件30之间产生间隙时，如果通过人为操作调整所述探针21的位置，使得所述探针21与待测器件30保持稳定接触，因人为操作不精准，而容易导致探针21产生位置误差，而且，还容易因人为操作失误而导致探针21损伤，进而也影响测试的成功率和准确率。

尤其，在金属离子污染测试中，包括了对测试环境的的升温和降温过程，而在降温过程中，所述探针21和待测器件30的膨胀系数不同，导致所述探针21与待测器件30的收缩情况不一致，从而容易在所述探针21与待测器件30之间产生间隙，导致所述探针21与待测器件30接触不良，影响了所述金属离子污染测试的成功率和准确率。

为了解决所述技术问题，本发明实施例提供一种探针固定模组，包括：固定座，包括沿水平方向延伸的第一连接主体部；探针固定组件，包括用于固定探针的固定件，所述固定件包括沿所述水平方向延伸且与所述第一连接主体部的底面相对设置的第二连接主体部；直线伸缩机构，位于所述第一连接主体部和所述第二连接主体部之间，所述直线伸缩机构用于在纵向上实现所述第一连接主体部和第二连接主体部的弹性连接。

本发明实施例提供的探针固定模组中，探针固定组件包括用于固定探针的固定件，所述固定件包括沿所述水平方向延伸且与所述第一连接主体部的底面相对设置的第二连接主体部，直线伸缩机构，位于所述第一连接主体部和所述第二连接主体部之间，所述直线伸缩机构用于在纵向上实现所述第一连接主体部和第二连接主体部的弹性连接，则在测试过程中，将探针安装于探针探组件上，当所述探针与待测器件之间具有间隙时，所述直线伸缩机构能够相应释放弹性压力，使得所述探针能够通过弹性压力的释放产生竖直方向的位移，自动弥补所述间隙，使得所述探针与待测器件保持稳定接触的状态，降低所述探针与待测器件接触不良的概率，从而有利于提高测试的成功率和准确率，而且，相比于通过人为操作调整探针的位置使所述探针与待测器件保持稳定接触的方案，本发明实施例避免了因人为操作不精准而产生探针位置误差的情况，同时避免了因人为操作失误而导致探针损伤的情况，综上所述皆有利于提高测试的成功率和准确率。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。

图2是本发明探针固定模组一实施例的结构示意图。

其中，为了便于理解，图2中示出了探针350。

所述探针固定模组包括：固定座100，包括沿水平方向(如图2中X方向所示)延伸的第一连接主体部110；探针固定组件600，包括用于固定探针350的固定件300，所述固定件300包括沿所述水平方向延伸且与所述第一连接主体部110的底面相对设置的第二连接主体部310；直线伸缩机构200，位于所述第一连接主体部110和所述第二连接主体部310之间，所述直线伸缩机构200用于在纵向(如图2中Y方向所示)上实现所述第一连接主体部110和第二连接主体部310的弹性连接。

在测试过程中，将探针350安装于探针固定组件600上，通过所述探针350向待测器件施加信号、以及测量反馈的信号。例如，待测器件为晶圆，通过使探针350与晶圆的焊垫相接触，从而实现测试。

在测试过程中，当所述探针350与待测器件之间具有间隙时，所述直线伸缩机构200能够相应释放弹性压力，使得所述探针350能够通过弹性压力的释放产生竖直方向(也即所述纵向)的位移，自动弥补所述间隙，使得所述探针350与待测器件保持稳定接触的状态，降低所述探针350与待测器件接触不良的概率，从而有利于提高测试的成功率和准确率，而且，相比于通过人为操作调整探针的位置使所述探针与待测器件保持稳定接触的方案，本实施例避免了因人为操作不精准而产生探针350位置误差的情况，同时避免了因人为操作失误而导致探针350损伤的情况，综上所述皆有利于提高测试的成功率和准确率。

所述固定座100用于固定所述探针固定组件600。

具体地，通过将所述固定座100安装至测试装置的底座中，从而将探针固定模组集成于实测试装置中。

本实施例中，所述固定座100的材料包括不锈钢。

所述不锈钢的硬度较大且不易生锈，在不同的测试中，需要更换探针固定组件600，则所述固定座100的使用较为频繁，采用不锈钢的材料有利于增加所述固定座100的寿命。

所述第一连接主体部110沿所述水平方向延伸，用于与所述直线伸缩机构200相连接，从而通过直线伸缩机构200与第二连接主体部310实现弹性连接。

本实施例中，所述第一连接主体部110上开设有第二定位通孔140。

所述第二定位通孔140用于限定所述探针固定组件600在水平方向的位置，也即防止所述探针固定组件600在水平方向发生移动，从而确保所述探针固定组件600仅在纵向上实现移动。

本实施例中，所述固定座100的形状为L型，包括凸立于所述第一连接主体部110的底面且沿纵向延伸的第一限位部120。

所述第一限位部120用于限定所述探针固定组件600的位置，使得所述探针固定组件600不会因转动而错位。

本实施例中，所述固定座100的形状为L型，且所述第一连接主体部110沿水平方向延伸，所述第一限位部120沿纵向延伸，则所述固定座100能够同时包括用于连接探针固定组件600的所述第一连接主体部110、以及用于限定位置的第一限位部120。

本实施例中，所述第一连接主体部110和第一限位部120为一体结构，则所述第一连接主体部110和第一限位部120的连接更为紧固，也使得所述探针固定模组更简单、易安装。

所述探针固定组件600用于在测试过程中，向待测器件施加信号、以及测量反馈的信号。

所述探针固定组件600通过所述固定件300与所述固定座100相连接。

所述第一连接主体部110与所述第二连接主体部310相对设置，所述第二连接主体部310与所述第一连接主体部110之间通过所述直线伸缩结构200实现弹性连接，从而使得所述探针固定组件600能够在纵向上实现移动。

本实施例中，所述第一连接主体部110和第二连接主体部310相平行，从而易于在所述第一连接主体部110与所述第二连接主体部310之间设置直线伸缩结构200，并且使得所述直线伸缩机构200的伸缩运动较为均匀，相应提高所述探针固定组件600的稳定性。

本实施例中，所述固定件300的形状为L型，包括凸立于所述第二连接主体部310的顶面且沿所述纵向延伸的第二限位部320，所述第二连接主体部310远离所述第二限位部320的端面与所述第一限位部120的端面相接触，所述第二限位部320与所述第一连接主体部110的端面相接触。

所述第二限位部320用于与第一限位部120一同限定所述探针固定组件600的位置，进一步使得所述探针固定组件600不会因转动而错位。

本实施例中，所述固定件300的形状为L型，且所述第二连接主体部310沿水平方向延伸，所述第二限位部320沿纵向延伸，则所述固定件300能够同时包括用于连接固定座100的所述第二连接主体部310、以及用于限定位置的第二限位部320。

本实施例中，所述固定座100的形状为L型，所述固定件300的形状也为L型，且所述第二连接主体部310远离所述第二限位部320的端面与所述第一限位部120的端面相接触，所述第二限位部320与所述第一连接主体部110的端面相接触，则所述固定座100与固定件300能够恰好相互卡住，使得所述固定座100与固定件300能够通过所述直线伸缩机构200相连接的同时，在水平旋转方向相互限位，从而确保所述探针固定组件600仅在纵向上实现移动。

需要说明的是，本实施例中，所述第二连接主体部310远离所述第二限位部320的端面与所述第一限位部120的端面均经过抛光处理，因此，所述第二连接主体部310远离所述第二限位部320的端面与所述第一限位部120的端面之间的接触摩擦力较小，使得所述固定座100与固定件300相互卡住的同时，确保所述探针固定组件600在纵向上实现移动。

本实施例中，所述第二连接主体部310和第二限位部320为一体结构，则所述第二连接主体部310和第二限位部320的连接更为紧固，也使得所述探针固定模组更简单、易安装。

本实施例中，所述第二连接主体部310上开设有第一定位通孔150。

所述第一定位通孔150用于限定所述探针固定组件600的水平方向的位置，也即防止所述探针固定组件600在水平方向发生移动，从而确保所述探针固定组件600仅在纵向上实现移动。

继续参考图2，本实施例中，所述探针固定组件600还包括：探针安装件340，固定于所述固定件300上，用于安装探针350。

所述探针安装件340用于将探针350安装于固定件300上。

具体地，本实施例中，所述探针安装件340中开设有第一安装孔(图未示)，用于将所述探针350安装于所述第一安装孔内。

需要说明的是，所述探针为标准件，可以根据生产手册制造获得，也可以通过购买获得。

所述直线伸缩机构200用于实现所述第一连接主体部110和第二连接主体部310的弹性连接，使得所述第一连接主体部110和第二连接主体部310在纵向上能够实现相对运动，从而使得探针固定组件600能够相对于所述固定座100产生竖直方向的位移。

本实施例中，所述直线伸缩机构200包括：与所述第一定位通孔150相匹配的第一定位轴130，固定于所述第一连接主体部110上，且凸出于所述第一连接主体部110的底面，所述第一定位轴130通过所述第一定位通孔150与所述第二连接主体部310实现滑动连接。

所述第一定位轴130与所述第一定位通孔150相配，从而限定所述探针固定组件600在水平方向的位置，所述第一定位轴130与所述第二连接主体部310滑动连接，使得所述探针固定组件600能够相对于所述固定座100产生竖直方向的位移。

本实施例中，所述第一定位轴130包括贯穿所述第一连接主体部110的螺栓。

采用螺栓固定，结构简单，且操作灵活，且螺栓从所述第一连接主体部110的顶面拧入，便于操作人员操作。其中，所述第一连接主体部110的顶面指的是：与所述第一连接主体部110底面相对的面。

本实施例中，所述直线伸缩机构200还包括：压力弹簧210，位于所述第一连接主体部110和第二连接主体部310之间，所述压力弹簧210的一端与所述第一连接主体部110固定连接，另一端与所述第二连接主体部310固定连接。

在测试过程中，将所述压力弹簧210压紧，当所述探针350与待测器件之间具有间隙时，所述压力弹簧210能够相应释放弹性压力，使得所述探针350能够通过弹性压力的释放产生竖直方向的位移，自动弥补所述间隙，使得所述探针350与待测器件保持稳定接触的状态，降低所述探针350与待测器件接触不良的概率，从而有利于提高测试的成功率和准确率。

而且，所述压力弹簧210的一端与所述第一连接主体部110固定连接，另一端与所述第二连接主体部310固定连接，使得所述第一连接主体部110和第二连接主体部310不会发生脱落。

本实施例中，所述压力弹簧210避开所述第一定位轴130设置。

所述压力弹簧210避开所述第一定位轴130设置，则所述第一定位轴130仅需作为限定所述探针固定组件600的限位轴，无需起到对压力弹簧210的限位作用，减轻所述第一定位轴130在探针固定模组中的工作负担，有利于增加所述第一定位轴130的使用寿命。

本实施例中，所述压力弹簧210分布于所述第一定位轴130的两侧，且位于所述第一定位轴130两侧的压力弹簧210数量相同，从而能够使得所述第一定位轴130两侧的弹性压力较为一致，使得所述探针350沿纵向的运动较为稳定和顺滑。

本实施例中，所述压力弹簧210的数量为两个，则能够在保障所述探针350沿纵向稳定运动的同时，尽量使用较少的压力弹簧210，简化探针固定模组的组装，并且节约成本。

本实施例中，所述直线伸缩机构200还包括：第二定位轴220，固定于所述第二连接主体部310上，且凸出于所述第二连接主体部310的顶面，所述第二定位轴220与所述第二定位通孔140一一对应并相匹配，所述第二定位轴220穿过所述第二定位通孔140与所述第一连接主体部110实现滑动连接。

所述第二定位轴220与所述第二定位通孔140相配，从而与第一定位轴130一同限定所述探针固定组件600在水平方向的位置，所述第二定位轴220与所述第一连接主体部110滑动连接，使得所述探针固定组件600能够相对于所述固定座100产生竖直方向的位移。

所述第二定位轴220从所述第一连接主体部110顶面拧入，便于操作人员操作。

本实施例中，所述压力弹簧210与所述第二定位轴220一一对应，并套设于相对应的所述第二定位轴220上，从而使所述第二定位轴220还可以稳固所述压力弹簧210的位置，也就是说，使得压力弹簧210仅能在纵向上实现伸缩。

并且，所述压力弹簧210套设于相对应的所述第二定位轴220上，能够节约所述直线伸缩机构200在所述第一连接主体部110和第二连接主体部310相对表面占用的面积。

在另一些实施例中，所述直线伸缩机构也可以不包括第二定位轴，相应的，所述第一连接主体部也可以不包括第二限位孔。

在其他实施例中，所述压力弹簧还可以套设于所述第一定位轴上，则所述第一定位轴还可以起到对所述压力弹簧的限位作用，无需再采用其他定位轴将所述压力弹簧限位，简化了探针固定模组的结构，而且，所述压力弹簧套设于所述第一定位轴上，则可以仅采用一个压力弹簧，简化了探针固定模组的结构，节约了成本。

图3是本发明测试装置一实施例的结构示意图，图4是图3中探针的放大示意图。

参考图3，所述测试装置包括前述实施例中的探针固定模组(如图3中虚线框所示)，为了便于理解，图3中试出了待测器件500。

本实施例中，在所述测试装置中，所述探针固定模组中的固定座固定于底座700上，从而将所述探针固定模组集成于所述测试装置中。

本实施例提供的测试装置中，探针固定组件包括用于固定探针的固定件，所述固定件包括沿所述水平方向延伸且与所述第一连接主体部的底面相对设置的第二连接主体部，直线伸缩机构，位于所述第一连接主体部和所述第二连接主体部之间，所述直线伸缩机构用于在纵向上实现所述第一连接主体部和第二连接主体部的弹性连接，则在测试过程中，将探针安装于所述探针固定组件上，当所述探针固定组件与待测器件之间具有间隙时，所述直线伸缩机构能够相应释放弹性压力，使得所述探针能够通过弹性压力的释放产生竖直方向的位移，自动弥补所述间隙，使得所述探针与待测器件保持稳定接触的状态，降低所述探针与待测器件接触不良的概率，从而有利于提高测试的成功率和准确率，而且，相比于通过人为操作调整探针的位置使所述探针与待测器件保持稳定接触的方案，本发明实施例避免了因人为操作不精准而产生探针位置误差的情况，同时避免了因人为操作失误而导致探针损伤的情况，综上所述皆有利于提高测试的成功率和准确率。

本实施例中，所述测试装置还包括：探针350，固定于所述固定件上。

所述探针350用于在测试过程中与待测器件相接触，向待测器件施加信号、以及测量反馈的信号。

结合参考图4，所述探针350包括：针管360，固定于所述固定件上，所述针管360远离所述固定件的一端设有第二安装孔(图未示)；针头370，安装于所述第二安装孔内。

通过所述针管360将针头370安装于所述固定件上，所述针头370与所述待测器件直接接触。

所述针管360直径较大，且硬度较大，针头370的直径较小，相比于直接将针头安装于固定件上的方案，本实施例通过针管360将针头370安装于所述固定件300上，有利于减小测试过程中，针头370弯折损伤的概率。而且，便于根据针头370的使用寿命，更换针头370。

本实施例中，所述针头370的材料包括钨。

钨具有较好的导电性能，在测试过程中，能够较好地向待测器件施加信号、以及测量反馈的信号，而且，钨不易对待测器件产生金属污染，从而保障测试的准确性。

本实施例中，所述探针固定组件还包括：探针安装件，固定于所述固定件上；所述探针安装于所述探针安装件上。

本实施例中，所述探针安装件中开设有第一安装孔；所述探针安装于所述第一安装孔内。

需要说明的是，由前述实施例可知，所述固定座的形状为L型，所述探针固定模组中的固定座固定于底座700上，则所述固定座的一个完整端面与所述底座700相接触，有利于在纵向上实现所述探针固定模组与底座700的相对滑动，并通过使得所述探针固定模组在纵向上的位移调整所述探针固定模组的位置。

本实施例中，所述测试装置用于进行金属离子检测。

所述金属离子检测通过金属离子的电迁移现象对电场的影响，检测所述待测器件500在同样外界条件下的电压电流情况。

电迁移现象是指在电场作用下金属离子发生迁移的现象。当半导体器件工作时，金属互连结构内有一定的电流通过。当金属互连线内电流密度较大时，电子在静电场的驱动下由阴极向阳极高速运动，形成电子风(Electron Wind)，金属离子在电子风的驱动下从阴极向阳极定向扩散，从而发生电迁移。

而金属离子容易在较高温度的环境下产生电迁移现象，因此需要将待测器件500先升温一段时间，再降温至原始温度，再检测所述待测器件500前后两次在原始温度下的电压或电流情况，并且，为了保持测试过程中的电场情况，需要通过所述探针施加恒定的电压，但是，在降温过程中，所述测试装置和待测器件500的膨胀系数不同，导致所述探针与待测器件500的收缩情况不一致，从而容易在所述探针与待测器件500之间产生间隙(如图3中虚线圈所示位置)，而所述直线伸缩机构能够相应释放弹性压力，使得所述探针能够通过弹性压力的释放产生竖直方向的位移，自动弥补所述间隙，使得所述探针与待测器件500保持稳定接触的状态，仍然保持对所述待测器件500施加恒定的电压，从而有利于提高测试的成功率和准确率。

对本实施例所述测试装置中探针固定模组的具体描述，可结合参考前述实施例中的相应描述，在此不再赘述。

虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (20)

1.一种探针固定模组，其特征在于，包括：

固定座，包括沿水平方向延伸的第一连接主体部；

探针固定组件，包括用于固定探针的固定件，所述固定件包括沿所述水平方向延伸且与所述第一连接主体部的底面相对设置的第二连接主体部；

直线伸缩机构，位于所述第一连接主体部和所述第二连接主体部之间，所述直线伸缩机构用于在纵向上实现所述第一连接主体部和第二连接主体部的弹性连接。

2.如权利要求1所述的探针固定模组，其特征在于，所述第一连接主体部和第二连接主体部相平行。

3.如权利要求1或2所述的探针固定模组，其特征在于，所述固定座的形状为L型，包括凸立于所述第一连接主体部的底面且沿纵向延伸的第一限位部；

所述固定件的形状为L型，包括凸立于所述第二连接主体部的顶面且沿所述纵向延伸的第二限位部，所述第二连接主体部远离所述第二限位部的端面与所述第一限位部接触，所述第二限位部与所述第一连接主体部的端面相接触。

4.如权利要求3所述的探针固定模组，其特征在于，所述第一连接主体部和第一限位部为一体结构，所述第二连接主体部与所述第二限位部为一体结构。

5.如权利要求1所述的探针固定模组，其特征在于，所述第二连接主体部上开设有第一定位通孔；

所述直线伸缩机构包括：与所述第一定位通孔相匹配的第一定位轴，固定于所述第一连接主体部上，且凸出于所述第一连接主体部的底面，所述第一定位轴通过所述第一定位通孔与所述第二连接主体部实现滑动连接；压力弹簧，位于所述第一连接主体部和第二连接主体部之间，所述压力弹簧的一端与所述第一连接主体部固定连接，另一端与所述第二连接主体部固定连接。

6.如权利要求5所述的探针固定模组，其特征在于，所述第一定位轴包括贯穿所述第一连接主体部的螺栓。

7.如权利要求5所述的探针固定模组，其特征在于，所述压力弹簧避开所述第一定位轴设置。

8.如权利要求7所述的探针固定模组，其特征在于，所述压力弹簧分布于所述第一定位轴的两侧，且位于所述第一定位轴两侧的压力弹簧数量相同。

9.如权利要求8所述的探针固定模组，其特征在于，所述压力弹簧的数量为两个。

10.如权利要求7所述的探针固定模组，其特征在于，所述第一连接主体部上开设有第二定位通孔；

所述直线伸缩机构还包括：第二定位轴，固定于所述第二连接主体部上，且凸出于所述第二连接主体部的顶面，所述第二定位轴与所述第二定位通孔一一对应并相匹配，所述第二定位轴穿过所述第二定位通孔与所述第一连接主体部实现滑动连接；

所述压力弹簧与所述第二定位轴一一对应，并套设于相对应的所述第二定位轴上。

11.如权利要求5所述的探针固定模组，其特征在于，所述压力弹簧套设于所述第一定位轴上。

12.如权利要求1所述的探针固定模组，其特征在于，所述探针固定组件还包括：探针安装件，固定于所述固定件上，用于安装探针。

13.如权利要求12所述的探针固定模组，其特征在于，所述探针安装件中开设有第一安装孔，用于将所述探针安装于所述第一安装孔内。

14.一种测试装置，其特征在于，包括如权利要求1至13任一项权利要求所述的探针固定模组。

15.如权利要求14所述的测试装置，其特征在于，所述测试装置还包括：探针，固定于所述固定件上。

16.如权利要求15所述的测试装置，其特征在于，所述探针固定组件还包括：探针安装件，固定于所述固定件上；

所述探针安装于所述探针安装件上。

17.如权利要求16所述的测试装置，其特征在于，所述探针安装件中开设有第一安装孔；

所述探针安装于所述第一安装孔内。

18.如权利要求15所述的测试装置，其特征在于，所述探针包括：针管，固定于所述固定件上，所述针管远离所述固定件的一端设有第二安装孔；针头，安装于所述第二安装孔内。

19.如权利要求18所述的测试装置，其特征在于，所述针头的材料包括钨。

20.如权利要求14所述的测试装置，其特征在于，所述测试装置用于进行金属离子检测。

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