CN217425653U - 一种霍尔效应测量用带探针的样品台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种霍尔效应测量用带探针的样品台，包括主台板、转接板和弹性探针压紧组件，所述转接板通过螺栓连接在所述主台板的一端，所述主台板的顶面上开设有用于装卡测试样品的样品槽，多个所述弹性探针压紧组件排布在所述样品槽外围；所述弹性探针压紧组件包括调整结构和探针，所述探针的根部固定连接在所述调整结构的摆动梁端头，所述探针探出端向下弯曲且能够弹性压紧到所述测试样品表面上。本实用新型霍尔效应测量用带探针的样品台，对测试样品弹性压紧接触，能够适应不同温度调节下的测试。

Description

一种霍尔效应测量用带探针的样品台

技术领域

本实用新型涉及物性测量用环境设备技术领域，尤其涉及一种霍尔效应测量用带探针的样品台。

背景技术

霍尔效应是电磁效应的一种，特征是当电流垂直于外磁场通过导体时，垂直于电流和磁场的方向会产生一附加电场，从而在导体的两端产生电势差。而霍尔效应测试仪就是利用这一原理，实现了对半导体的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要参数的测量。霍尔效应测试仪包括两个相对设置的磁铁、外加电场、霍尔元件等部分组成，其中磁铁是主要组成部分，测试过程中，将待测导体或半导体放置在两块磁铁中间，使其完全处于磁铁的磁场中间，以便保证测试数据的准确性。

为了测试样品在较高温度范围的参数，需要霍尔效应测试仪提供相应的测试温度。将半导体测试样品放置到真空加热炉中进行测试，能够得到不同温度条件下测试样品的性能参数。然而，现有的测试样品安装台座，受热后变形较大，容易出现接触不良的故障，不能很好的适应温度场变化。

因此，需要针对上述缺陷开发一种霍尔效应测量用带探针的样品台。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种霍尔效应测量用带探针的样品台，对测试样品弹性压紧接触，能够适应不同温度调节下的测试。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

本实用新型一种霍尔效应测量用带探针的样品台，包括主台板、转接板和弹性探针压紧组件，所述转接板通过螺栓连接在所述主台板的一端，所述主台板的顶面上开设有用于装卡测试样品的样品槽，多个所述弹性探针压紧组件排布在所述样品槽外围；所述弹性探针压紧组件包括调整结构和探针，所述探针的根部固定连接在所述调整结构的摆动梁端头，所述探针探出端向下弯曲且能够弹性压紧到所述测试样品表面上。

进一步的，所述调整结构还包括支撑柱、压簧和调整螺钉，所述支撑柱固定连接在所述主台板的顶面上，所述支撑柱顶部通过销轴铰接所述摆动梁，所述摆动梁沿着长度方向开设有腰型孔，所述调整螺钉穿过所述腰型孔螺纹连接到所述主台板上的螺纹孔中；所述压簧套接在所述调整螺钉外，所述压簧两端压紧在所述主台板顶面和所述摆动梁底面之间。

进一步的，所述调整结构还包括顶丝，所述摆动梁的端面设置有安装所述探针根部的插装孔，所述顶丝螺纹连接在所述摆动梁前端的螺纹孔中，所述顶丝的内端头压紧所述探针根部；所述探针采用钨钢材料制作。

进一步的，所述调整螺钉和顶丝均为耐高温内六角螺钉，所述调整螺钉为圆头内六角螺钉。

进一步的，所述样品槽为矩形槽，所述矩形槽两侧对称设置6套所述弹性探针压紧组件。

进一步的，所述主台板的顶面上还设置有热电偶固定孔，两个所述热电偶固定孔对称设置在所述样品槽上下两侧。

与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果：

本实用新型一种霍尔效应测量用带探针的样品台，通过探针探出端弹性压紧在所述测试样品表面上，所述测试样品装卡在样品槽内被探针弹性压紧，探针不仅起到传递电信号的作用同时配合样品槽对所述测试样品进行固定装卡。通过探针根部安装在所述调整结构的摆动梁端头，能够对探针的压装强度进行调整，适应不同厚度的所述测试样品测试。本实用新型霍尔效应测量用带探针的样品台，对测试样品弹性压紧接触，能够适应不同温度调节下的测试。

此外，通过支撑柱、摆动梁、压簧和调整螺钉组成的所述调整结构，旋动调整螺钉能够调整摆动梁的上限位位置，进而调整摆动梁悬臂端的角度，改变了探针的压紧强度。通过顶丝压紧压紧探针根部的安装方式，便于拆卸更换。通过采用圆头内六角螺钉的调整螺钉，调整螺钉螺帽下沿与摆动梁的接触面积大，避免了旋动调整螺钉对摆动梁的磨损。通过靠近样品槽的热电偶固定孔设置，便于安装柔性热电偶到所述测试样品，提高了测温的精准性。

附图说明

下面结合附图说明对本实用新型作进一步说明。

图1为本实用新型霍尔效应测量用带探针的样品台立体结构示意图；

图2为本实用新型霍尔效应测量用带探针的样品台主视结构示意图；

图3为本实用新型霍尔效应测量用带探针的样品台俯视结构示意图。

附图标记说明：1、主台板；101、样品槽；102、热电偶固定孔；2、转接板；3、支撑柱；4、摆动梁；401、腰型孔；5、压簧；6、调整螺钉；7、顶丝；8、探针。

具体实施方式

本实用新型的核心是提供一种霍尔效应测量用带探针的样品台，对测试样品弹性压紧接触，能够适应不同温度调节下的测试。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

参考附图，图1为本实用新型霍尔效应测量用带探针的样品台立体结构示意图；图2为本实用新型霍尔效应测量用带探针的样品台主视结构示意图；图3为本实用新型霍尔效应测量用带探针的样品台俯视结构示意图。

在一具体实施方式中，如图1～3所示，一种霍尔效应测量用带探针的样品台，包括主台板1、转接板2和弹性探针压紧组件。转接板2通过螺栓连接在主台板1的一端，转接板2中部设置有连接支撑杆的螺纹孔。主台板1的顶面上开设有用于装卡测试样品的样品槽101，多个所述弹性探针压紧组件排布在样品槽101外围。所述弹性探针压紧组件包括调整结构和探针8，探针8的根部固定连接在所述调整结构的摆动梁4端头，探针8探出端向下弯曲且能够弹性压紧到所述测试样品表面上。

通过探针8探出端弹性压紧在所述测试样品表面上，所述测试样品装卡在样品槽101内被探针8弹性压紧，探针8不仅起到传递电信号的作用同时配合样品槽101对所述测试样品进行固定装卡。通过探针8根部安装在所述调整结构的摆动梁4端头，能够对探针8的压装强度进行调整，适应不同厚度的所述测试样品测试。本实用新型霍尔效应测量用带探针的样品台，对测试样品弹性压紧接触，能够适应不同温度调节下的测试。

在本实用新型的一具体实施方式中，如图1～3所示，所述调整结构还包括支撑柱3、压簧5和调整螺钉6。支撑柱3通过螺钉连接在主台板1的顶面上，支撑柱3顶部凸头通过销轴铰接摆动梁4。摆动梁4的中部沿着长度方向开设有腰型孔401，调整螺钉6穿过腰型孔401并螺纹连接到主台板1上的螺纹孔中。压簧5套接在调整螺钉6外，压簧5两端压紧在主台板1顶面和摆动梁4底面之间。压簧5为耐高温弹簧钢材料制作，摆动梁4为陶瓷材料制作。

具体而言，如图1和图3所示，所述调整结构还包括顶丝7，摆动梁4的端面设置有安装探针8根部的插装孔，顶丝7螺纹连接在摆动梁4前端的螺纹孔中，顶丝7的内端头压紧探针8根部；探针8采用钨钢材料制作。

具体而言，如图1和图3所示，调整螺钉6和顶丝7均为耐高温内六角螺钉，调整螺钉6为圆头内六角螺钉。

通过支撑柱3、摆动梁4、压簧5和调整螺钉6组成的所述调整结构，旋动调整螺钉6能够调整摆动梁4的上限位位置，进而调整摆动梁4悬臂端的角度，改变了探针8的压紧强度。通过顶丝7压紧压紧探针8根部的安装方式，便于拆卸更换。通过采用圆头内六角螺钉的调整螺钉6，调整螺钉6螺帽下沿与摆动梁4的接触面积大，避免了旋动调整螺钉6对摆动梁4的磨损。

在本实用新型的一具体实施方式中，如图1和图3所示，样品槽101为矩形槽，所述矩形槽两侧对称设置6套弹性探针压紧组件。设置6套弹性探针压紧组件能够根据实验需要灵活选取需要测试的接线点。

具体而言，主台板1的顶面上还设置有热电偶固定孔102，两个热电偶固定孔102对称设置在样品槽101上下两侧。

通过靠近样品槽101的热电偶固定孔102设置，便于安装柔性热电偶到所述测试样品，提高了测温的精准性。

本实用新型霍尔效应测量用带探针的样品台装卡所述测试样品时，首先使用内六角扳手松弛调整螺钉6，降低探针8端部压紧力。将所述测试样品放置到样品槽101内，对角依次旋紧六套所述弹性探针压紧组件中的调整螺钉6，控制后探针8的压紧力。将柔性热电偶穿过热电偶固定孔102后安装到所述测试样品的上表面上。

本实用新型霍尔效应测量用带探针的样品台，通过探针8探出端弹性压紧在所述测试样品表面上，所述测试样品装卡在样品槽101内被探针8弹性压紧，探针8不仅起到传递电信号的作用同时配合样品槽101对所述测试样品进行固定装卡。通过探针8根部安装在所述调整结构的摆动梁4端头，能够对探针8的压装强度进行调整，适应不同厚度的所述测试样品测试。本实用新型霍尔效应测量用带探针的样品台，对测试样品弹性压紧接触，能够适应不同温度调节下的测试。此外，通过支撑柱3、摆动梁4、压簧5和调整螺钉6组成的所述调整结构，旋动调整螺钉6能够调整摆动梁4的上限位位置，进而调整摆动梁4悬臂端的角度，改变了探针8的压紧强度。通过顶丝7压紧压紧探针8根部的安装方式，便于拆卸更换。通过采用圆头内六角螺钉的调整螺钉6，调整螺钉6螺帽下沿与摆动梁4的接触面积大，避免了旋动调整螺钉6对摆动梁4的磨损。通过靠近样品槽101的热电偶固定孔102设置，便于安装柔性热电偶到所述测试样品，提高了测温的精准性。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。

以上所述的实施例仅是对本实用新型的优选方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本实用新型权利要求书确定的保护范围内。

Claims (6)

1.一种霍尔效应测量用带探针的样品台，其特征在于：包括主台板(1)、转接板(2)和弹性探针压紧组件，所述转接板(2)通过螺栓连接在所述主台板(1)的一端，所述主台板(1)的顶面上开设有用于装卡测试样品的样品槽(101)，多个所述弹性探针压紧组件排布在所述样品槽(101)外围；所述弹性探针压紧组件包括调整结构和探针(8)，所述探针(8)的根部固定连接在所述调整结构的摆动梁(4)端头，所述探针(8)探出端向下弯曲且能够弹性压紧到所述测试样品表面上。

2.根据权利要求1所述的霍尔效应测量用带探针的样品台，其特征在于：所述调整结构还包括支撑柱(3)、压簧(5)和调整螺钉(6)，所述支撑柱(3)固定连接在所述主台板(1)的顶面上，所述支撑柱(3)顶部通过销轴铰接所述摆动梁(4)，所述摆动梁(4)沿着长度方向开设有腰型孔(401)，所述调整螺钉(6)穿过所述腰型孔(401)螺纹连接到所述主台板(1)上的螺纹孔中；所述压簧(5)套接在所述调整螺钉(6)外，所述压簧(5)两端压紧在所述主台板(1)顶面和所述摆动梁(4)底面之间。

3.根据权利要求2所述的霍尔效应测量用带探针的样品台，其特征在于：所述调整结构还包括顶丝(7)，所述摆动梁(4)的端面设置有安装所述探针(8)根部的插装孔，所述顶丝(7)螺纹连接在所述摆动梁(4)前端的螺纹孔中，所述顶丝(7)的内端头压紧所述探针(8)根部；所述探针(8)采用钨钢材料制作。

4.根据权利要求3所述的霍尔效应测量用带探针的样品台，其特征在于：所述调整螺钉(6)和顶丝(7)均为耐高温内六角螺钉，所述调整螺钉(6)为圆头内六角螺钉。

5.根据权利要求1所述的霍尔效应测量用带探针的样品台，其特征在于：所述样品槽(101)为矩形槽，所述矩形槽两侧对称设置6套所述弹性探针压紧组件。

6.根据权利要求5所述的霍尔效应测量用带探针的样品台，其特征在于：所述主台板(1)的顶面上还设置有热电偶固定孔(102)，两个所述热电偶固定孔(102)对称设置在所述样品槽(101)上下两侧。

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