JP7138463B2 - プローバ - Google Patents
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Description
(1)導電性のウエハ保持面と、前記ウエハ保持面と電気的に導通する導電性のプローブコンタクト面とを上面側に備えるチャックステージ、
(2)支持導電部と、前記支持導電部と電気的に接続されるコンタクト部とをそれぞれ有し、前記チャックステージの前記上面上に配置される表面電極用プローブ及び裏面電極用プローブ、
(3)前記表面電極用プローブの前記コンタクト部と前記支持導電部との間、又は前記裏面電極用プローブの前記コンタクト部と前記支持導電部との間を接続する導電性のバーであって、前記チャックステージの上面と並行に配置されたインダクタンスキャンセルバー、
(4)前記チャックステージを前記表面電極用プローブ及び前記裏面電極用プローブに対して相対的に移動させる移動手段、
(5)底部導体と側部導体とを有し、前記底部導体と前記側部導体とで囲まれた空間内に前記チャックステージを収容することができる、上面が開口したチャックカバー導電体、
(6)前記インダクタンスキャンセルバーよりも上方に配置され、前記表面電極用プローブ及び前記裏面電極用プローブの前記支持導電部又はそれらと接続される電気的接続線が通過することができる貫通孔を有するとともに、検査時、前記移動手段によって、前記表面電極用プローブの前記コンタクト部が検査対象ウエハ内を相対的に移動するときにも、平面視において、前記チャックカバー導電体の少なくとも前記開口をカバーする大きさを有する上部カバー導電体、
(7)前記チャックカバー導電体と前記上部カバー導電体とを接触させ電気的に導通させる手段。
2 筐体
3 チャックステージ
4 チャックカバー導電体
5、10 絶縁体
8 XYZ-θステージ
9 上部カバー導電体
11 表面電極用プローブ
12 裏面電極用プローブ
13 測定装置
14、15 外部導体
16、17 電気的接続線
18 支持絶縁体
19 接続導体
20 リフトピン
W ウエハ
Wa ウエハ保持面
Ca プローブコンタクト面
Wp ウエハチャックプレート
Cp コンタクトプレート
Claims (10)
- 下記(1)~(9)を有するプローバ;
(1)導電性のウエハ保持面と、前記ウエハ保持面と電気的に導通する導電性のプローブコンタクト面とを上面側に備えるチャックステージ、
(2)支持導電部と、前記支持導電部と電気的に接続されるコンタクト部とをそれぞれ有し、前記チャックステージの前記上面上に配置される表面電極用プローブ及び裏面電極用プローブ、
(3)前記表面電極用プローブの前記コンタクト部と前記支持導電部との間、又は前記裏面電極用プローブの前記コンタクト部と前記支持導電部との間を接続する導電性のバーであって、前記チャックステージの上面と並行に配置されたインダクタンスキャンセルバー、
(4)前記チャックステージを前記表面電極用プローブ及び前記裏面電極用プローブに対して相対的に移動させる移動手段、
(5)底部導体と側部導体とを有し、前記底部導体と前記側部導体とで囲まれた空間内に前記チャックステージを収容することができる、上面が開口したチャックカバー導電体、
(6)前記インダクタンスキャンセルバーよりも上方に配置され、前記表面電極用プローブ及び前記裏面電極用プローブの前記支持導電部又はそれらと接続される電気的接続線が通過することができる貫通孔を有するとともに、検査時、前記移動手段によって、前記表面電極用プローブの前記コンタクト部が検査対象ウエハ内を相対的に移動するときにも、平面視において、前記チャックカバー導電体の少なくとも前記開口をカバーする大きさを有する上部カバー導電体、
(7)前記チャックカバー導電体と前記上部カバー導電体とを接触させ電気的に導通させる手段、
(8)前記裏面電極用プローブの前記支持導電部の周囲にあり、前記支持導電部を内部導体とする外部導体であって、前記上部カバー導電体と電気的に導通している外部導体、及び、
(9)前記裏面電極用プローブと前記外部導体とを同電位に保つ手段。 - 前記チャックカバー導電体と前記上部カバー導電体とを接触させ電気的に導通させる手段が前記移動手段であり、前記移動手段によって、前記チャックステージを前記表面電極用プローブ及び前記裏面電極用プローブに対して相対的に上下方向に移動させることにより、チャックカバー導電体を前記チャックステージとともに相対的に上下方向に移動させ、前記上部カバー導電体と接触させる手段である請求項1記載のプローバ。
- 前記チャックカバー導電体が、前記上部カバー導電体と接触する部分に、接触時、前記上部カバー導電体に向かって弾性的に付勢される接触子を有している請求項2記載のプローバ。
- 前記コンタクト部と前記支持導電部との間に前記インダクタンスキャンセルバーを有する前記表面電極用プローブ又は前記裏面電極用プローブのコンタクト部が、絶縁体を介して前記上部カバー導電体に支持されている請求項1~3のいずれかに記載のプローバ。
- 前記ウエハ保持面上でウエハを持ち上げる複数のリフトピンと、前記リフトピンを、前記チャックステージの前記ウエハ保持面よりも下方の位置と、前記チャックカバー導電体の側部導体の上端よりも上方の位置との間で上下動させるリフトピン駆動手段を有し、前記チャックステージが前記リフトピンが通過するリフトピン孔を有している請求項1~4のいずれかに記載のプローバ。
- 下記(1)~(7)及び(10)を有するプローバ;
(1)導電性のウエハ保持面と、前記ウエハ保持面と電気的に導通する導電性のプローブコンタクト面とを上面側に備えるチャックステージ、
(2)支持導電部と、前記支持導電部と電気的に接続されるコンタクト部とをそれぞれ有し、前記チャックステージの前記上面上に配置される表面電極用プローブ及び裏面電極用プローブ、
(3)前記表面電極用プローブの前記コンタクト部と前記支持導電部との間、又は前記裏面電極用プローブの前記コンタクト部と前記支持導電部との間を接続する導電性のバーであって、前記チャックステージの上面と並行に配置されたインダクタンスキャンセルバー、
(4)前記チャックステージを前記表面電極用プローブ及び前記裏面電極用プローブに対して相対的に移動させる移動手段、
(5)底部導体と側部導体とを有し、前記底部導体と前記側部導体とで囲まれた空間内に前記チャックステージを収容することができる、上面が開口したチャックカバー導電体、
(6)前記インダクタンスキャンセルバーよりも上方に配置され、前記表面電極用プローブ及び前記裏面電極用プローブの前記支持導電部又はそれらと接続される電気的接続線が通過することができる貫通孔を有するとともに、検査時、前記移動手段によって、前記表面電極用プローブの前記コンタクト部が検査対象ウエハ内を相対的に移動するときにも、平面視において、前記チャックカバー導電体の少なくとも前記開口をカバーする大きさを有する上部カバー導電体、
(7)前記チャックカバー導電体と前記上部カバー導電体とを接触させ電気的に導通させる手段、及び、
(10)前記コンタクト部と前記支持導電部との間に前記インダクタンスキャンセルバーを有する前記表面電極用プローブ又は前記裏面電極用プローブのコンタクト部を、絶縁体を介して前記上部カバー導電体に支持する手段。 - 前記裏面電極用プローブの前記支持導電部が、その周囲に、前記支持導電部を内部導体とする外部導体を有しており、前記外部導体が、前記上部カバー導電体と電気的に導通している請求項6記載のプローバ。
- 前記チャックカバー導電体と前記上部カバー導電体とを接触させ電気的に導通させる手段が前記移動手段であり、前記移動手段によって、前記チャックステージを前記表面電極用プローブ及び前記裏面電極用プローブに対して相対的に上下方向に移動させることにより、チャックカバー導電体を前記チャックステージとともに相対的に上下方向に移動させ、前記上部カバー導電体と接触させる手段である請求項6又は7記載のプローバ。
- 前記チャックカバー導電体が、前記上部カバー導電体と接触する部分に、接触時、前記上部カバー導電体に向かって弾性的に付勢される接触子を有している請求項8記載のプローバ。
- 前記ウエハ保持面上でウエハを持ち上げる複数のリフトピンと、前記リフトピンを、前記チャックステージの前記ウエハ保持面よりも下方の位置と、前記チャックカバー導電体の側部導体の上端よりも上方の位置との間で上下動させるリフトピン駆動手段を有し、前記チャックステージが前記リフトピンが通過するリフトピン孔を有している請求項6~9のいずれかに記載のプローバ。
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