JP2004309257A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブカードは、基板を上下方向に貫通した複数の同軸針と、基板の下面側を伸びる複数のグランド針とを用い、各同軸針の芯線の先端部を外被から突出させると共に、外被を基板の下面に設けられたグランドパターンに当接させ、各グランド針を、これの後端部においてグランドパターンに導電性接着剤により接合させると共に、先端部を同軸針の外皮の先端部に導電性接着剤により接合させている。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路のような被検査体の通電試験に用いるプローブカードに関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体デバイスの通電試験においては、ギガヘルツ(GHz)オーダーの高周波信号を用いて行われることが多い。
【0003】
そのような高周波信号を用いる通電試験用のプローブカードの1つとして、芯線及び該芯線の周りの外被を備えた信号用同軸針と、該同軸針の隣りを伸びるアース用グランド針とを備えたものがある(特許文献1)。
【0004】
このプローブカードにおいては、同軸針の芯線を外皮から突出させて信号用針とし、同軸針の外皮とグランド針の後端部とを固定用導体板に半田付けし、グランド針を同軸針の外皮の先端部に導体薄板により電気的に接続している。
【0005】
プローブカードの他の1つとして、アース用グランド針を信号用同軸針の外皮の先端から突出させたものがある(特許文献2)。このプローブカードにおいても、同軸針の芯線を外皮から突出させて信号用針とし、グランド針を同軸針の外皮に電気的に接続している。
【0006】
【特許文献1】
特開平2−23175号公報
【0007】
【特許文献2】
特開平5−152395号公報
【0008】
【解決しようとする課題】
しかし、前者では、導体薄板の電気的抵抗のために、2〜3ギガヘルツ(GHz)程度の高周波を用いる通電試験においては有効であるが、その2〜3倍の5GHzを超える高周波を用いる通電試験においては、十分なインピーダンス特性を得ることができない。したがって、2〜3GHz程度の周波数の信号を用いる通電試験を行うことができるにすぎない。
【0009】
後者では、複数の同軸針及びグランド針を基板に半径方向へ伸びる状態に配置したプローブカードの場合、外被からの同軸針の芯線及びグランド針の突出量が対をなす同軸針及びグランド針に対する半導体デバイスの電極の位置により、ある対においては同軸針がグランド針より大きく、他の対においてはその逆になり、しかも同軸針とグランド針との相対的位置が不安定になる。それらの結果、複数の針を基板に組み付ける針立て作業が複雑になり、したがって針立てに長時間を要し、高価になる。
【0010】
本発明の目的は、針立て作業を容易にすると共に、より高い周波数の信号を用いる通電試験を可能にすることにある。
【0011】
【解決手段、作用、効果】
本発明に係るプローブカードは、第1及び第2の主面を有する基板と、該基板の前記第2の面に配置されたシート状のグランドパターンと、芯線及び該芯線の周りの外被を備えた少なくとも1つの同軸針であって前記基板及び前記グランドパターンを前記基板の厚さ方向に貫通している同軸針と、該同軸針の隣りを伸びる状態に前記第2の面側に配置されたグランド針とを含む。
【0012】
前記同軸針は、前記第2の面側における前記芯線の先端部を前記外被から突出させていると共に、前記外被を前記グランドパターンに当接させている。前記グランド針は、これの後端部において前記グランドパターンに導電性接着剤により接合されていると共に、先端部を前記同軸針の外皮の先端部に導電性接着剤により接合されている。
【0013】
グランド針の先端部が同軸針の外皮の先端部に導電性接着剤により接合されていると、グランド針を同軸針の外皮の先端部に導体薄板により電気的に接続した場合に比べ、インピーダンス特性が著しく向上し、6GHzを超える高周波の信号を用いる通電試験を行うことができる。
【0014】
また、同軸針が基板を貫通し、グランド針がアース用のグランドパターンに接合されていると共に同軸針の外皮の先端部において相互に接着されていると、同軸針とグランド針との相対的位置が安定し、針立て作業が容易になる。
【0015】
前記同軸針は前記第2の面側を前記基板に対し斜めに伸びていてもよい。また、前記同軸針はこれの後端部にコネクタを備えていてもよい。さらに、前記グランド針は前記外被への接合箇所において変形されていてもよい。さらにまた、複数対の前記同軸針及び前記グランド針を含むことができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
図1及び図2を参照するに、プローブカード10は、集積回路のような半導体デバイス12の電気的特性の良否を検査する通電試験に用いられる。半導体デバイス12は、半導体ウエーハの未切断の集積回路チップ、切断された集積回路チップ等の平板状の形状を有しており、また信号用の複数の電極14とアース用の複数の電極16とを一方の面に有している。
【0017】
プローブカード10は、電気絶縁性の板材により製作された円形の基板20と、信号用プローブを備える複数の同軸針22と、アースに接続される複数のグランド針24とを含む。
【0018】
基板20は、これの厚さ方向に貫通する矩形の穴26を中央に有しており、またアースに接続される1以上のグランドパターン28を下面に有している。グランドパターン28は、印刷配線技術のような公知の手法でシート状に形成されている。
【0019】
各同軸針22は、半導体デバイスの信号用電極14に1対1の関係に対応されており、また基板20及びグランドパターン28を上下方向に貫通している。各同軸針22の下部領域は、基板20の下面側を基板20の中央に向けて伸びていると共に、基板20の中央側ほど基板20から離れるように、基板20に対し斜めに伸びている。
【0020】
各同軸針22は、芯線30と、芯線30の周りに配置された電気絶縁層(図示せず)と、電気絶縁層の周りに配置されたさや管のような外被32とを備える同軸ケーブルを用いて製作されている。
【0021】
芯線30の先端部は、電気的絶縁層及び外被32から突出していると共に、先端を下方に曲げられて、信号用プローブの針先とされている。外被32は、グランドパターン28に当接している。各同軸針22は、上端部(後端部)に組み付けられたコネクタ34を利用してテスターに接続される。
【0022】
各同軸針22は、穴26の周りを伸びるように基板20の下面に取り付けられた電気絶縁性の針押え36に電気絶縁性の接着剤38により接着されており、これにより基板20に支持されている。
【0023】
各グランド針24は、タングステンのような導電性金属細線により製作されており、また半導体デバイス12のアース用電極16に1対1の関係に対応されている。各グランド針24は、これの中央部を、隣りの同軸針22の下端部と同様に伸びるように、針押え36に接着剤38により接着されており、また先端部を下方に曲げられて針先とされている。
【0024】
各グランド針24は、後端部を半田のような導電性接着剤40によりグランドパターン28に接着されており、さらに先端側の箇所を半田のような他の導電性接着剤42により隣りの1つの同軸針22の外被32の最先端部に接着されて、その接合箇所において変形されている。
【0025】
図示の例では、同軸針22がグランド針24より多く備えられている。このため、グランド針24に対応されない同軸針22、すなわち外被32がグランド針24に接合されていない同軸針22が存在する。
【0026】
プローブカード10は、グランドパターン28がアースに接続され、同軸針22がテスターに接続された状態で、半導体デバイス12の通電試験に用いられる。この際、同軸針22は、信号供給用のグループと、信号取り出し用のグループとに分けて用いることができる。
【0027】
通電試験時、同軸針22及びグランド針24の針先がそれぞれ、半導体デバイス12の対応する電極14及び16に押圧され、信号供給用の複数の同軸針22に電気信号が供給され、半導体デバイス12からの出力信号が信号取り出し用の複数の同軸針22から取り出される。
【0028】
通電試験の間、各同軸針22の外被32はアース電位に維持され、それにより芯線30は外皮32から突出している先端部を除いて外乱から保護される。また、グランド針24に接合されている外被32は、その長さ方向全領域にわたって均一の電位となる。
【0029】
上記のように、グランド針24の先端部が同軸針22の外皮32の先端部に導電性接着剤42により接合されていると、グランド針24を同軸針22の外皮32の先端部に導体薄板により電気的に接続した場合に比べ、インピーダンス特性が著しく向上し、6GHzを超える高周波の信号を用いる通電試験を行うことができる。
【0030】
また、同軸針22が基板20を貫通し、グランド針24が後端部においてアース用のグランドパターン28に接合されていると共に、先端部において同軸針22の外皮32の先端部に相互に接着されていると、同軸針22とグランド針24との相対的位置が安定し、同軸針22及びグランド針24を接着剤38により針押え36に取り付ける、いわゆる針立て作業が容易になる。
【0031】
各同軸針22にコネクタ34を取り付ける代わりに、基板20として、テスターに接続される複数のテスターランドとテスターランドに個々に接続された複数の配線を有する配線基板を用い、各同軸針22を配線基板の配線に接続するようにしてもよい。
【0032】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るプローブカードの一実施例の一部を示す底面図である。
【図2】図1における2−2線に沿って得た断面図である。
【符号の説明】
10 プローブカード
12 半導体デバイス
14,16 電極
20 基板
22 同軸針
24 グランド針
26 基板の穴
28 グランドパターン
30 同軸針の芯線
32 同軸針の外被
34 コネクタ
36 針押え
38 接着剤
40,42 導電性接着剤
Claims (3)
- 第1及び第2の主面を有する基板と、該基板の前記第2の面に配置されたシート状のグランドパターンと、芯線及び該芯線の周りの外被を備えた少なくとも1つの同軸針であって前記基板及び前記グランドパターンを前記基板の厚さ方向に貫通している同軸針と、該同軸針の隣りを伸びる状態に前記第2の面側に配置されたグランド針とを含み、
前記同軸針は、前記第2の面側における前記芯線の先端部を前記外被から突出させていると共に、前記外被を前記グランドパターンに当接させており、
前記グランド針は、これの後端部において前記グランドパターンに導電性接着剤により接合されていると共に、先端部を前記同軸針の外皮の先端部に導電性接着剤により接合されている、プローブカード。 - 前記同軸針はこれの後端部にコネクタを備えている、請求項1に記載のプローブカード。
- 複数対の前記同軸針及び前記グランド針を含む、請求項1又は2に記載のプローブカード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003101683A JP2004309257A (ja) | 2003-04-04 | 2003-04-04 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003101683A JP2004309257A (ja) | 2003-04-04 | 2003-04-04 | プローブカード |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004309257A true JP2004309257A (ja) | 2004-11-04 |
Family
ID=33465397
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003101683A Pending JP2004309257A (ja) | 2003-04-04 | 2003-04-04 | プローブカード |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004309257A (ja) |
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A621 | Written request for application examination |
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