JPH09218222A - プローブカード - Google Patents
プローブカードInfo
- Publication number
- JPH09218222A JPH09218222A JP2246396A JP2246396A JPH09218222A JP H09218222 A JPH09218222 A JP H09218222A JP 2246396 A JP2246396 A JP 2246396A JP 2246396 A JP2246396 A JP 2246396A JP H09218222 A JPH09218222 A JP H09218222A
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- Japan
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- probe
- probes
- holding
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- printed wiring
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高周波における伝送特性を改善する。
【解決手段】 プローブカードは探針３ａ〜３ｄとプリ
ント配線板２とリング状の保持台４で構成される。保持
台４の探針を保持する側のリング状の面は、内周に近付
くほどプリント配線板２より離れるテーパ面とされ、そ
のテーパ面４ａの内周縁の近傍に、一段突出したリング
状の絶縁性突起４ｂが形成され、その突起により探針が
支持される。テーパ面４ａにアース板１２が形成され
る。高周波信号用の探針３ａは同軸型構造とされ、その
外部導体１５は導電性接着剤１６によりアース板１２に
接続される。電源用の探針３ｃはμチップコンデンサ２
１を通じてまたグランド用の探針３ｄは導電性接着剤１
６によりそれぞれアース板１２に接地される。探針３
ｃ，３ｄはそれぞれアース板１２に接地されるので、実
効的な長さが短くなってそのインダクタンス分が小さく
なると共にマイクロストリップ線路構造が形成される。
ント配線板２とリング状の保持台４で構成される。保持
台４の探針を保持する側のリング状の面は、内周に近付
くほどプリント配線板２より離れるテーパ面とされ、そ
のテーパ面４ａの内周縁の近傍に、一段突出したリング
状の絶縁性突起４ｂが形成され、その突起により探針が
支持される。テーパ面４ａにアース板１２が形成され
る。高周波信号用の探針３ａは同軸型構造とされ、その
外部導体１５は導電性接着剤１６によりアース板１２に
接続される。電源用の探針３ｃはμチップコンデンサ２
１を通じてまたグランド用の探針３ｄは導電性接着剤１
６によりそれぞれアース板１２に接地される。探針３
ｃ，３ｄはそれぞれアース板１２に接地されるので、実
効的な長さが短くなってそのインダクタンス分が小さく
なると共にマイクロストリップ線路構造が形成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はプローブカードに
関し、特に探針部の高周波の伝送特性の向上に関する。
関し、特に探針部の高周波の伝送特性の向上に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣテスタやＬＣＤチェッカでは、半導
体ウエハにマトリクス状に形成されたＩＣチップを１個
ずつ検査する際に、複数の探針を備えたプローブカード
が用いられる。図４は従来のプローブカードの断面図で
ある。図において、２はリング状のプリント配線板であ
り、それぞれの探針３に接続された配線パターン７を有
する。４は探針を保持するリング状の保持台で、プリン
ト配線板２の中心孔２ａに係合して同心状に取付けられ
る。
体ウエハにマトリクス状に形成されたＩＣチップを１個
ずつ検査する際に、複数の探針を備えたプローブカード
が用いられる。図４は従来のプローブカードの断面図で
ある。図において、２はリング状のプリント配線板であ
り、それぞれの探針３に接続された配線パターン７を有
する。４は探針を保持するリング状の保持台で、プリン
ト配線板２の中心孔２ａに係合して同心状に取付けられ
る。
【０００３】探針３の基部はプリント配線板２の裏面に
半田付され、中間部が保持台４の下面（テーパ面）４ａ
に、例えばエポキシ系の接着剤５で固定される。プリン
ト配線板２は多層基板で、そのスルーホール６ａにテス
タより試験信号Ｓが入力され、基板内部の配線パターン
７及びスルーホール６ｂを順次通って探針３に供給され
たり、試料（ＤＵＴ）から探針がピックアップした試験
信号Ｒがスルーホール６ｂ，配線パターン７及びスルー
ホール６ａを順次通ってテスタに供給される。
半田付され、中間部が保持台４の下面（テーパ面）４ａ
に、例えばエポキシ系の接着剤５で固定される。プリン
ト配線板２は多層基板で、そのスルーホール６ａにテス
タより試験信号Ｓが入力され、基板内部の配線パターン
７及びスルーホール６ｂを順次通って探針３に供給され
たり、試料（ＤＵＴ）から探針がピックアップした試験
信号Ｒがスルーホール６ｂ，配線パターン７及びスルー
ホール６ａを順次通ってテスタに供給される。
【０００４】図４では左右一対の探針しか現れていない
が、更に多くの探針が中心線Ｌを中心として概ね放射方
向に配列される。探針３は配線パターン７に接続され、
この例では放射方向に延長される。プリント配線板２の
表面及び裏面にはアースパターン８，９が配線パターン
７と重なるように形成される。このように信号用の配線
パターン７の上、下に誘電体（この場合は基板の材料）
を介してアース板（地板）を設けた構造はストリップ線
路構造と呼ばれ、高周波に対して良好な伝送特性を有す
る。
が、更に多くの探針が中心線Ｌを中心として概ね放射方
向に配列される。探針３は配線パターン７に接続され、
この例では放射方向に延長される。プリント配線板２の
表面及び裏面にはアースパターン８，９が配線パターン
７と重なるように形成される。このように信号用の配線
パターン７の上、下に誘電体（この場合は基板の材料）
を介してアース板（地板）を設けた構造はストリップ線
路構造と呼ばれ、高周波に対して良好な伝送特性を有す
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来のプローブカード
は、高周波では探針がインダクタンスとなって伝送特性
が悪化し、高速動作のＤＵＴを正確に測定できない欠点
があった。この発明はこの欠点を解決して、高周波にお
いても良好な伝送特性を有するプローブカードを提供し
ようとするものである。
は、高周波では探針がインダクタンスとなって伝送特性
が悪化し、高速動作のＤＵＴを正確に測定できない欠点
があった。この発明はこの欠点を解決して、高周波にお
いても良好な伝送特性を有するプローブカードを提供し
ようとするものである。
【０００６】
（１）請求項１のプローブカードは、複数の探針と、そ
れらの探針にそれぞれ接続された配線パターンを有する
プリント配線板と、そのプリント配線板に取付けられ、
探針を保持するリング状の保持台とを具備するプローブ
カードに関する。
れらの探針にそれぞれ接続された配線パターンを有する
プリント配線板と、そのプリント配線板に取付けられ、
探針を保持するリング状の保持台とを具備するプローブ
カードに関する。
【０００７】この発明では、保持台の探針を保持する側
のリング状の面は、内周に近付くほどプリント配線板よ
り離れるテーパ面とされ、そのテーパ面の内周縁の近傍
に、一段突出したリング状の絶縁性突起が形成され、そ
の突起により探針が支持される。また保持台のテーパ面
に、突起を除いて、アース板が形成され、探針の内、特
に高周波信号用の探針は、同軸型構造とされ、その外部
導体がアース板に接続されている。
のリング状の面は、内周に近付くほどプリント配線板よ
り離れるテーパ面とされ、そのテーパ面の内周縁の近傍
に、一段突出したリング状の絶縁性突起が形成され、そ
の突起により探針が支持される。また保持台のテーパ面
に、突起を除いて、アース板が形成され、探針の内、特
に高周波信号用の探針は、同軸型構造とされ、その外部
導体がアース板に接続されている。
【０００８】（２）請求項２の発明では、前記（１）に
おいて、保持台のアース板上にチップコンデンサの一方
の電極が接続され、その他方の電極に探針の内の電源用
の探針が接続される。 （３）請求項３の発明では、前記（１）において、探針
の内のグランド用（共通電位用）の探針は導電性接着剤
で保持台のアース板に接続される。
おいて、保持台のアース板上にチップコンデンサの一方
の電極が接続され、その他方の電極に探針の内の電源用
の探針が接続される。 （３）請求項３の発明では、前記（１）において、探針
の内のグランド用（共通電位用）の探針は導電性接着剤
で保持台のアース板に接続される。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１の実施例を参照して発明の実
施の形態を説明する。図１には図４と対応する部分に同
じ符号を付してある。保持台４はプリント配線板２に取
付けられ、探針を保持する側のリング状の面は、内周に
近付くほどプリント配線板より離れるテーパ面４ａとさ
れ、そのテーパ面４ａの内周縁の近傍に、一段突出した
リング状の絶縁性突起４ｂが形成される。その突起４ｂ
により探針が支持される。
施の形態を説明する。図１には図４と対応する部分に同
じ符号を付してある。保持台４はプリント配線板２に取
付けられ、探針を保持する側のリング状の面は、内周に
近付くほどプリント配線板より離れるテーパ面４ａとさ
れ、そのテーパ面４ａの内周縁の近傍に、一段突出した
リング状の絶縁性突起４ｂが形成される。その突起４ｂ
により探針が支持される。
【００１０】保持台のテーパ面４ａ上に、突起４ｂを除
いて、リング状のアース板１２が形成される。保持台４
が絶縁材で形成されている場合には、アース板１２は金
属をメッキするか或いはスパッタリグなどにより形成す
る。また保持台４が金属製であればそのままでよい。ア
ース板１２は必要に応じ１乃至複数箇所においてアース
線２０でプリント配線板２のアースパターン９に接続さ
れる（図３参照）。保持台４にアース板１２を設けたこ
とによって探針の近傍に広いアース面積が得られ、接地
抵抗分を極めて小さくすることができる。これにより探
針間のクロストークが小さくなったり、後述するように
探針３ｃ，３ｄの実効的な長さが短くなってインダクタ
ンス分が小さくなったり、探針と共にマイクロストリッ
プ線路構造を形成し、高周波の伝送特性を改善する等の
効果をもたらす。
いて、リング状のアース板１２が形成される。保持台４
が絶縁材で形成されている場合には、アース板１２は金
属をメッキするか或いはスパッタリグなどにより形成す
る。また保持台４が金属製であればそのままでよい。ア
ース板１２は必要に応じ１乃至複数箇所においてアース
線２０でプリント配線板２のアースパターン９に接続さ
れる（図３参照）。保持台４にアース板１２を設けたこ
とによって探針の近傍に広いアース面積が得られ、接地
抵抗分を極めて小さくすることができる。これにより探
針間のクロストークが小さくなったり、後述するように
探針３ｃ，３ｄの実効的な長さが短くなってインダクタ
ンス分が小さくなったり、探針と共にマイクロストリッ
プ線路構造を形成し、高周波の伝送特性を改善する等の
効果をもたらす。
【００１１】探針の内、特に高周波信号用の探針３ａは
図１Ａの右側に示すように同軸型構造とされ、その外部
導体１５がアース板１２に導電性接着剤１６で取付けら
れる（請求項１）。探針を同軸型構造にすることによっ
て高周波においても良好な伝送特性が得られる。図１Ａ
の例では探針３ａは、探針の先端側になるにつれて外径
及び内径が細くなるポリイミド製の内チューブ１３ａと
外チューブ１３ｂとを嵌合させ、その内チューブ１３ａ
の中心孔にタングステン製の針が嵌合固定されている。
外チューブ１３ｂの外周面に外部導体１５となる金属膜
が形成されている。針のチューブで覆われる部分の径が
ほぼ一定の場合には図２Ａに示すように、内チューブ１
３ａ及び外チューブ１３ｂとも外径及び内径の一定のチ
ューブを用いることができる。図２Ａの変形例を図２Ｂ
に示す。この場合は、ポリイミド製のチューブ１３の外
周面にその両端近傍を除いて、外部導体１５となる金属
膜を形成し、一方の端部をつぶして外径を次第に細く
し、そのつぶした側に探針の尖端側がくるように、針を
チューブに差し込んでいる。
図１Ａの右側に示すように同軸型構造とされ、その外部
導体１５がアース板１２に導電性接着剤１６で取付けら
れる（請求項１）。探針を同軸型構造にすることによっ
て高周波においても良好な伝送特性が得られる。図１Ａ
の例では探針３ａは、探針の先端側になるにつれて外径
及び内径が細くなるポリイミド製の内チューブ１３ａと
外チューブ１３ｂとを嵌合させ、その内チューブ１３ａ
の中心孔にタングステン製の針が嵌合固定されている。
外チューブ１３ｂの外周面に外部導体１５となる金属膜
が形成されている。針のチューブで覆われる部分の径が
ほぼ一定の場合には図２Ａに示すように、内チューブ１
３ａ及び外チューブ１３ｂとも外径及び内径の一定のチ
ューブを用いることができる。図２Ａの変形例を図２Ｂ
に示す。この場合は、ポリイミド製のチューブ１３の外
周面にその両端近傍を除いて、外部導体１５となる金属
膜を形成し、一方の端部をつぶして外径を次第に細く
し、そのつぶした側に探針の尖端側がくるように、針を
チューブに差し込んでいる。
【００１２】図１Ａの左側は一般信号用の探針３ｂで、
特に同軸構造ではない。探針の内電源供給用の探針３ｃ
を図１Ｂの左側に示す。電源用の探針は電源インピーダ
ンスが極力低い方が雑音が乗り難く、またＤＵＴに与え
る影響も少なくて望ましい。そこで探針３ｃはμチップ
コンデンサ２１を通してアース板１２に接続される。即
ち、アース板１２上にμチップコンデンサ２１の一方の
電極が接続され、その他方の電極に探針３ｃが導電性接
着剤１６で接続される（請求項２）。
特に同軸構造ではない。探針の内電源供給用の探針３ｃ
を図１Ｂの左側に示す。電源用の探針は電源インピーダ
ンスが極力低い方が雑音が乗り難く、またＤＵＴに与え
る影響も少なくて望ましい。そこで探針３ｃはμチップ
コンデンサ２１を通してアース板１２に接続される。即
ち、アース板１２上にμチップコンデンサ２１の一方の
電極が接続され、その他方の電極に探針３ｃが導電性接
着剤１６で接続される（請求項２）。
【００１３】探針３ｃはμチップコンデンサ２１で交流
的に接地されるので、探針３ｃの接地箇所より先端側
は、その長さが短くなってインダクタンス分が小さくな
ると共に、アース板１２とでマイクロストリップ線路構
造を形成する。これにより高周波においても良好な伝送
特性が得られ、電源インピーダンスを格段に小さくでき
る。
的に接地されるので、探針３ｃの接地箇所より先端側
は、その長さが短くなってインダクタンス分が小さくな
ると共に、アース板１２とでマイクロストリップ線路構
造を形成する。これにより高周波においても良好な伝送
特性が得られ、電源インピーダンスを格段に小さくでき
る。
【００１４】ＤＵＴに共通電位（接地電位）を与えるグ
ランド用の探針３ｄのインピーダンスも探針間のクロス
トークを低減する上で極力低くするのが望ましいので、
図１Ｂの右側に示すように探針３ｄを導電性接着剤１６
でアース板１２に接続している。探針３ｄの導電性接着
剤１６より先端側は、その長さが短くなってインダクタ
ンス分が小さくなると共にアース板１２とでマイクロス
トリップ線路構造を形成する。これにより高周波におい
ても良好な伝送特性が得られ、接地インピーダンスを小
さくできる。
ランド用の探針３ｄのインピーダンスも探針間のクロス
トークを低減する上で極力低くするのが望ましいので、
図１Ｂの右側に示すように探針３ｄを導電性接着剤１６
でアース板１２に接続している。探針３ｄの導電性接着
剤１６より先端側は、その長さが短くなってインダクタ
ンス分が小さくなると共にアース板１２とでマイクロス
トリップ線路構造を形成する。これにより高周波におい
ても良好な伝送特性が得られ、接地インピーダンスを小
さくできる。
【００１５】なお、探針３ａ〜３ｄは突起４ｂに支持さ
れ、最終的には絶縁性の接着剤５によりテーパ面４ａ上
に固定される。この発明の他の実施例を図３に示す。し
かし、探針を接着剤５で固定する前の状態を示してい
る。この例では保持台４はその外周が方形状に形成さ
れ、探針３はその一辺側にのみ導出されている。しか
し、必要に応じ各辺側に導出させてもよい。この例では
探針３ｂ，３ｃに絶縁チューブ２３を被せることによっ
て、その絶縁と保持とを容易にしている。
れ、最終的には絶縁性の接着剤５によりテーパ面４ａ上
に固定される。この発明の他の実施例を図３に示す。し
かし、探針を接着剤５で固定する前の状態を示してい
る。この例では保持台４はその外周が方形状に形成さ
れ、探針３はその一辺側にのみ導出されている。しか
し、必要に応じ各辺側に導出させてもよい。この例では
探針３ｂ，３ｃに絶縁チューブ２３を被せることによっ
て、その絶縁と保持とを容易にしている。
【００１６】
【発明の効果】 以上説明したように、この発明では高周波信号用の
探針３ａを同軸構造としたので、高周波の伝送特性が改
善される。 この発明では保持台４のテーパ面上にアース板１２
を設け、そのアース板に電源用の探針３ｃ及びグランド
用探針３ｄをコンデンサを介して或いは導電性接着剤１
６を介してそれぞれ接地したので、探針３ｃ，３ｄの実
効的な長さが短くなってインダクタンス分が小さくなる
と共に、アース板と探針とでマイクロストリップ線路構
造が形成され、これにより高周波の伝送特性が改善さ
れ、電源インピーダンスや接地インピーダンスを格段に
小さくできる。
探針３ａを同軸構造としたので、高周波の伝送特性が改
善される。 この発明では保持台４のテーパ面上にアース板１２
を設け、そのアース板に電源用の探針３ｃ及びグランド
用探針３ｄをコンデンサを介して或いは導電性接着剤１
６を介してそれぞれ接地したので、探針３ｃ，３ｄの実
効的な長さが短くなってインダクタンス分が小さくなる
と共に、アース板と探針とでマイクロストリップ線路構
造が形成され、これにより高周波の伝送特性が改善さ
れ、電源インピーダンスや接地インピーダンスを格段に
小さくできる。
【００１７】 保持台４のテーパ面上にリング状のア
ース板１２を形成したので、探針の近傍に広いアース面
積が得られ、接地抵抗分が極めて小さくなり、探針間の
クロストークを極めて小さくできる効果もある。 保持台４のテーパ面の内周縁側に絶縁性の突起４ｂ
を設けたので、その突起で探針を支持すると共に、その
突起より一段凹んだスペースに、同軸構造の探針３ａ
や、電源用探針３ｃを接地するためのμチップコンデン
サ２１や、グランド用探針３ｄを接地するための導電性
接着剤１６をそれぞれコンパクトに保持することができ
る。
ース板１２を形成したので、探針の近傍に広いアース面
積が得られ、接地抵抗分が極めて小さくなり、探針間の
クロストークを極めて小さくできる効果もある。 保持台４のテーパ面の内周縁側に絶縁性の突起４ｂ
を設けたので、その突起で探針を支持すると共に、その
突起より一段凹んだスペースに、同軸構造の探針３ａ
や、電源用探針３ｃを接地するためのμチップコンデン
サ２１や、グランド用探針３ｄを接地するための導電性
接着剤１６をそれぞれコンパクトに保持することができ
る。
【図１】この発明の実施例を示す断面図。
【図２】図１の高周波信号用の探針３ａの他の実施例を
示す斜視図。
示す斜視図。
【図３】この発明の他の実施例を示す平面図。
【図４】従来のプローブカードの断面図。
Claims (3)
- 【請求項１】 複数の探針と、 それらの探針にそれぞれ接続された配線パターンを有す
るプリント配線板と、 そのプリント配線板に取付けられ、前記探針を保持する
リング状の保持台とを具備するプローブカードにおい
て、 前記保持台の前記探針を保持する側のリング状の面は、
内周に近付くほど前記プリント配線板より離れるテーパ
面とされ、そのテーパ面の内周縁の近傍に、一段突出し
たリング状の絶縁性突起が形成され、その突起により前
記探針が支持され、 前記保持台の前記テーパ面に、前記突起を除いて、アー
ス板が形成され、 前記探針の内、特に高周波信号用の探針は、同軸型構造
とされ、その外部導体が前記アース板に接続されている
ことを特徴とするプローブカード。 - 【請求項２】 請求項１において、前記保持台の前記ア
ース板上にチップコンデンサの一方の電極が接続され、
その他方の電極に前記探針の内の電源用の探針が接続さ
れていることを特徴とするプローブカード。 - 【請求項３】 請求項１において、前記探針の内のグラ
ンド用（共通電位用）の探針は導電性接着剤で前記保持
台の前記アース板に接続されていることを特徴とするプ
ローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2246396A JPH09218222A (ja) | 1996-02-08 | 1996-02-08 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2246396A JPH09218222A (ja) | 1996-02-08 | 1996-02-08 | プローブカード |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09218222A true JPH09218222A (ja) | 1997-08-19 |
Family
ID=12083406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2246396A Withdrawn JPH09218222A (ja) | 1996-02-08 | 1996-02-08 | プローブカード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09218222A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001291748A (ja) * | 2000-04-05 | 2001-10-19 | Ns:Kk | プロ−ブカ−ド |
| JP2004309257A (ja) * | 2003-04-04 | 2004-11-04 | Micronics Japan Co Ltd | プローブカード |
| JP2005043281A (ja) * | 2003-07-24 | 2005-02-17 | Fujitsu Ltd | プローブカード |
| JP2008032533A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-02-14 | Mjc Probe Inc | 高周波プローブカード |
| JP2008045950A (ja) * | 2006-08-11 | 2008-02-28 | Japan Electronic Materials Corp | プローブカード |
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| US7683645B2 (en) | 2006-07-06 | 2010-03-23 | Mpi Corporation | High-frequency probe card and transmission line for high-frequency probe card |
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| JP2017194454A (ja) * | 2016-04-22 | 2017-10-26 | 新特系統股▲フン▼有限公司Ｓｙｎｃ−Ｔｅｃｈ Ｓｙｓｔｅｍ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | プローブカード |
-
1996
- 1996-02-08 JP JP2246396A patent/JPH09218222A/ja not_active Withdrawn
Cited By (11)
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