JP2010071718A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】信号用プローブ2とGND用プローブが設けられたプローブ基板と、上記プローブ基板と固定され、外部から信号が入力されるメイン基板4を備え、上記各プローブは、電極に接合される接合部6と、上記接合部から延在するアーム部7と、上記アーム部の先端に設けられた先端部8とから構成されるプローブカードであって、上記プローブ基板に設けられた支持体によって上記アーム部が保持され、上記信号用プローブは、上記アーム部に、上記接合部から上記支持体に保持される部分までを取り囲む外部絶縁層10が設けられ、上記アーム部と上記外部絶縁層の間には空気層が設けられ、さらに、上記外部絶縁層は薄膜導体で覆われ、GND導体が上記外部絶縁層を覆う薄膜導体の先端と後端の2箇所に接合され、先端に接合されたGND導体と後端に接合されたGND導体がGND電極に接続されている。
【選択図】図2
Description
2、2’、2’’、2’’’ 信号用プローブ
3 プローブ基板
4 メイン基板
5 支持体
6 接合部
7 アーム部
8 先端部
9 針絶縁層
10 外部絶縁層
11 薄膜導体
12 空気層
13 発泡樹脂層
14 GND電極
15 GND導体
16 GND導体
17 はんだ
18 絶縁外皮
19 端子
20 GND用プローブ
21 外部端子
22 切り込み
23 信号電極
24 微小開口
Claims (7)
- 信号用プローブとGND用プローブが設けられたプローブ基板と、上記プローブ基板と固定され、外部から信号が入力されるメイン基板を備え、
上記各プローブは、電極に接合される接合部と、上記接合部から延在するアーム部と、上記アーム部の先端に設けられた先端部とから構成され、上記プローブ基板に設けられた支持体によって上記アーム部が保持され、
上記信号用プローブは、上記アーム部に、上記接合部から上記支持体に保持される部分までを取り囲む外部絶縁層が設けられ、上記アーム部と上記外部絶縁層の間には空気層が設けられ、さらに、上記外部絶縁層は薄膜導体で覆われ、GND導体が上記外部絶縁層を覆う上記薄膜導体の先端と後端の2箇所に接合され、先端に接合されたGND導体が上記信号用プローブに隣接して設けられた上記GND用プローブと接続され、後端に接合されたGND導体がGND電極に接続されていることを特徴とするプローブカード。 - 信号用プローブとGND用プローブが設けられたプローブ基板と、上記プローブ基板と固定され、外部から信号が入力されるメイン基板を備え、
上記各プローブは、電極に接合される接合部と、上記接合部から延在するアーム部と、上記アーム部の先端に設けられた先端部とから構成され、上記プローブ基板に設けられた支持体によって上記アーム部が保持され、
上記信号用プローブは、上記アーム部に、上記接合部から上記支持体に保持される部分までを取り囲む外部絶縁層が設けられ、上記アーム部と上記外部絶縁層の間には空気層が設けられ、さらに、上記外部絶縁層は薄膜導体で覆われ、GND導体が上記外部絶縁層の長手方向に沿って配置され、上記GND導体と上記薄膜導体が絶縁外皮で覆われて上記GND導体が上記薄膜導体と導通されており、上記GND導体の両端が、GND電極と、上記信号用プローブに隣接して設けられた上記GND用プローブにそれぞれ接続されていることを特徴とするプローブカード。 - 信号用プローブとGND用プローブが設けられたプローブ基板と、上記プローブ基板と固定され、外部から信号が入力されるメイン基板を備え、
上記各プローブは、電極に接合される接合部と、上記接合部から延在するアーム部と、上記アーム部の先端に設けられた先端部とから構成され、上記プローブ基板に設けられた支持体によって上記アーム部が保持され、
上記信号用プローブは、上記アーム部に、上記接合部から上記支持体に保持される部分までを取り囲む外部絶縁層が設けられ、上記アーム部と上記外部絶縁層の間には空気層が設けられ、さらに、上記外部絶縁層は薄膜導体で覆われ、GND用プローブのアーム部が上記外部絶縁層の長手方向に沿って配置され、上記GND用プローブのアーム部と上記薄膜導体が絶縁外皮で覆われて上記GND用プローブが上記薄膜導体と導通されていることを特徴とするプローブカード。 - 上記信号用プローブの表面を針絶縁層で覆っていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のプローブカード。
- 上記薄膜導体の表面に格子状に配列した微小開口を設けたことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のプローブカード。
- 上記外部絶縁層あるいは上記信号用プローブのアーム部が曲げ形状に形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のプローブカード。
- 上記薄膜導体の厚さは、0.1〜0.01μmの範囲にあることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のプローブカード。
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6317540A (ja) * | 1986-07-09 | 1988-01-25 | Fujitsu Ltd | プロ−ブカ−ド |
JPH08240598A (ja) * | 1995-03-02 | 1996-09-17 | Nikon Corp | 導電性プローブ |
JPH09218222A (ja) * | 1996-02-08 | 1997-08-19 | Advantest Corp | プローブカード |
JPH10160760A (ja) * | 1996-12-04 | 1998-06-19 | Micronics Japan Co Ltd | プローブユニットおよびこれを用いる検査用ヘッド |
JP2003232806A (ja) * | 2002-02-08 | 2003-08-22 | Sony Corp | プローブ針およびプローブ針を用いた測定装置 |
JP2004170189A (ja) * | 2002-11-19 | 2004-06-17 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ及びこれを用いた電気的接続装置 |
JP2004309257A (ja) * | 2003-04-04 | 2004-11-04 | Micronics Japan Co Ltd | プローブカード |
JP2008045950A (ja) * | 2006-08-11 | 2008-02-28 | Japan Electronic Materials Corp | プローブカード |
-
2008
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6317540A (ja) * | 1986-07-09 | 1988-01-25 | Fujitsu Ltd | プロ−ブカ−ド |
JPH08240598A (ja) * | 1995-03-02 | 1996-09-17 | Nikon Corp | 導電性プローブ |
JPH09218222A (ja) * | 1996-02-08 | 1997-08-19 | Advantest Corp | プローブカード |
JPH10160760A (ja) * | 1996-12-04 | 1998-06-19 | Micronics Japan Co Ltd | プローブユニットおよびこれを用いる検査用ヘッド |
JP2003232806A (ja) * | 2002-02-08 | 2003-08-22 | Sony Corp | プローブ針およびプローブ針を用いた測定装置 |
JP2004170189A (ja) * | 2002-11-19 | 2004-06-17 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ及びこれを用いた電気的接続装置 |
JP2004309257A (ja) * | 2003-04-04 | 2004-11-04 | Micronics Japan Co Ltd | プローブカード |
JP2008045950A (ja) * | 2006-08-11 | 2008-02-28 | Japan Electronic Materials Corp | プローブカード |
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