JP2004170189A - プローブ及びこれを用いた電気的接続装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブは、針先部及び該針先部から伸びる針主体部を備えるニードルと、前記針主体部の少なくとも後部側の領域を覆う導電性被膜と、該導電性皮膜をこれの後端部が露出した状態に覆う電気絶縁被膜とを含む。前記針主体部の少なくとも後端部又は先端部に対応する箇所は着色されている。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、プローブ及びこれを用いる電気的接続装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
プローブカード、プローブユニット、プローブブロック等の電気的接続装置は、集積回路や表示用基板の通電試験に用いられている。この種の電気的接続装置は、また、ニードルタイプ又はブレードタイプの複数のプローブを被検査体の電極に押圧される接触子として用いている。
【0003】
この種の電気的接続装置に用いられているプローブの1つとして、タングステン製又はタングステン合金製の金属細線から製作されたニードルを用い、またニードルをその針主体部の一部において、配線基板のような支持体に取り付けられた針押えのような装着具に接着剤により取り付けられるものがある。
【0004】
しかし、タングステン及びその合金は半田の付着性が低いため、ニードル自体を配線のような接続部材に半田付けしても、接続部材に対するプローブの付着力が低く、わずかな力がプローブに作用するだけで、プローブが接続部材から剥がれてしまう。
【0005】
また、タングステン及びその合金は電気絶縁性接着剤による接着力が低いから、そのようなプローブを電気絶縁性接着剤により装着具に接着すると、電気絶縁性接着剤によるプローブの把持力が弱く、したがってわずかな力がプローブに作用するだけで、プローブが電気絶縁性接着剤ひいては装着具に対して移動して、プローブの針先が被検査体の電極に対して変位し、極端な場合プローブが装着具から剥がれることがある。
【0006】
半田の付着性が高いプローブとするため、上記のニードルのうち、装着具に装着する領域及びその後方の領域に、半田の付着性が高いニッケルメッキ層を形成したプローブが提案されている。
【0007】
しかし、ニッケルは電気絶縁性接着剤による接着力が低いから、そのようなプローブをニッケルメッキ層において電気絶縁性接着剤により装着具に接着すると、電気絶縁性接着剤によるプローブの把持力が弱く、したがってわずかな力がプローブに作用するだけで、プローブが装着具に対して移動して、プローブの針先が被検査体の電極に対して変位し、極端な場合プローブが装着具から剥がれることがある。
【0008】
装着具に対するプローブの付着力を高めるために、エナメルやテフロン(登録商標)のような電気絶縁材料のコーティング層を上記のようなニードルに形成し、このコーティング層において装着具に半田により取り付けるプローブが提案されている(特許文献1)。
【0009】
【特許文献1】
実開昭61−15736号公報
【0010】
【解決しようとする課題】
しかし、そのようなプローブでは、導電性接着剤を用いるから、隣り合うプローブの電気絶縁性に問題がある。また、タングステン、その合金、ニッケル等に対するコーティング層の付着性が低いから、オーバードライブをプローブに作用させる装置に適用すると、ニードルがオーバードライブによりコーティング層ひいては装着具に対して移動することを避けることができず、したがってそのようなコーティング層を有しない前記したプローブと同様の問題を生じる。
【0011】
特に、プローブの配置密度を高めるために直径寸法が小さいプローブの場合、タングステン、その合金、ニッケル等に対するコーティング材の付着性が著しく低くなり、タングステン、その合金、ニッケル等のニードルに対するコーティング層の把持力が低くなる。
【0012】
また、上記いずれのプローブも、主体部又は針先部の長さ寸法のように種類が異なるプローブを用いたり、装着具へのプローブの装着位置がプローブ毎に決定されている場合、プローブを装着具に組み付けるとき、プローブの種類を確認しなければならず、組み付け作業が面倒である。
【0013】
本発明の目的は、プローブへの半田の付着性を低下させることなく、装着具にへのプローブの付着性を高めると共に、装着具へのプローブの組み付け作業を容易にすることにある。
【0014】
【解決手段、作用、効果】
本発明に係るプローブは、針先部及び該針先部から伸びる針主体部を備えるニードルと、該ニードルをこれの後端部が露出した状態に覆う電気絶縁被膜とを含み、前記針主体部の少なくとも後端部又は先端部に対応する箇所は着色されている。
【0015】
ベリリウムのような導電性材料は、半田のような導電性接着剤の付着力が高い。そのような導電性材料製のニードルに対する付着性が高いポリイミド樹脂のような材料を電気絶縁被膜として用いることにより、ニードルへの電気絶縁性接着剤の付着性を高くして、導電性被膜の把持力を大きくすることができるし、電気絶縁性接着剤による装着具へのプローブの付着力を高くすることができる。
【0016】
実質的に針主体部が電気絶縁被膜により覆われていると、隣り合うプローブの電気的短絡が電気絶縁被膜により防止される。
【0017】
プローブの後端部が着色されているから、プローブの種類毎に異なる色彩にすると、プローブの種類をプローブの色彩により容易に確認することができ、その結果、複数のプローブを配線基板のような支持体に正しく容易に取り付けることができる。
【0018】
上記の結果、本発明のプローブによれば、プローブへの半田の付着性を低下させることなく、装着具へのプローブの付着性を高めることができると共に、装着具へのプローブの組み付け作業を容易にすることができる。
【0019】
ニードルがタングステン及びその合金のように、半田の付着力が低い導電性材料性の場合、ニードルの針主体部の少なくとも後部側の領域を導電性被膜で多い、該導電性皮膜をこれの後端部が露出した状態に前記電気絶縁被膜で覆うことが望ましい。
【0020】
上記のようにすれば、ニッケルのように、ニードルに対する把持力が大きい材料を導電性被膜として用いることにより、導電性被膜への半田の付着性を高くすることができるし、半田による装着具へのプローブの接着力を高くすることができる。
【0021】
また、タングステン及びその合金並びに導電性被膜に対する付着性が高いポリイミド樹脂のような材料を電気絶縁被膜として用いることにより、導電性被膜への電気絶縁性接着剤の付着性を高くして、導電性被膜の把持力を大きくすることができるし、電気絶縁性接着剤による装着具へのプローブの付着力を高くすることができる。
【0022】
プローブは、さらに、前記針主体部の先端部及び後端部に対応する各箇所が着色されていてもよいし、前記針主体部に対応する箇所の長さ方向全体にわたって着色されていてもよい。着色されている部材は電気絶縁被膜としてもよい。
【0023】
前記電気絶縁被膜は電気絶縁性樹脂の溶液を付着させて、固化させることにより形成することができ、前記導電性被膜はメッキにより形成することができる。そのようにすれば、ニードルと導電性皮膜とが密着すると共に、導電性皮膜と電気絶縁被膜とが密着するから、洗浄液、半田カス、塵埃等の異物がそれらに入り込むことを防止することができる。
【0024】
プローブは、 さらに、前記導電性被膜をこれの長さ方向全体にわたって覆う第2の導電性被膜を有することができる。そのようにすれば、第2の導電性被膜を同軸ケーブルの網線のような外皮として用いることができる。
【0025】
本発明に係る電気的接続装置は、支持部及び複数の接続部材を有する支持体と、前記支持部に取り付けられた装着具と、上記したような複数のプローブであって前記絶縁性層被膜の一部において前記装着具に取り付けられたプローブとを含む。隣り合うプローブの着色箇所は異なる色彩を有しており、各プローブはその後端部において導電性接着剤により前記接続ランドに接着されている。
【0026】
本発明の電気的接続装置も、本発明に係るプローブの上記した作用効果を得ることができる。
【0027】
前記支持体は、さらに、1以上の第2の接続ランドを有しており、各プローブは、前記針主体部に対応する箇所の長さ方向全体にわたって着色されていると共に、前記導電性被膜の後端部において導電性接着剤により前記第2の接続ランドに接着されていてもよい。そのようにすれば、各プローブを同軸構造のプローブとして用いることができる。
【0028】
【発明の実施の形態】
図1及び図2を参照するに、電気的接続装置10は、円板状の配線基板12と、配線基板12の下面に取り付けられた針押え14と、針押え14の下面に装着されたニードルタイプの複数のプローブ16とを含むプローブカードに構成されている。プローブ16は、配線基板12の中心軸線の周りに角度的間隔をおいた状態に、電気絶縁性接着剤18により針押え14に接着されている。
【0029】
配線基板12は、検査すべき集積回路より大きい開口20を中央に有しており、プローブ16に個々に対応された複数の接続ランド22を下面に開口20の周りに角度的間隔をおいて有しており、さらにテスターに電気的に接続される複数のテスターランド24を外周部の上面に有している。
【0030】
各テスターランド24は、プローブ16に対応されており、また対応するプローブ16の接続ランド22に内部配線(図示せず)により接続されている。
【0031】
針押え14は、開口20の周りを伸びるように電気絶縁材料で製作されており、また開口20の周りに形成された配線基板12の凹所に下方へ突出する状態に配置されて配線基板12に接着されている。
【0032】
図示の例では、配線基板12はプローブ16を支持するための支持体として作用し、針押え14はプローブ16を配線基板12に装着するための装着具として作用し、接続ランド22はプローブ16を半田のような導電性接着剤26により電気的に接続する接続部材として作用する。
【0033】
各プローブ16は、タングステン、タングステン合金、ベリリウム等の導電性金属細線を用いて製作されたニードル30を含む。ニードル30は、先端を集積回路の平坦な電極に押圧される針先部32と、針先部32から伸びる針主体部34とを備えており、針先部32を針主体部34に対して一方向に所定の角度曲げることによりへ字状の形状を有している。
【0034】
各プローブ16は、また、針主体部34のうち針押え14への装着箇所から後方の領域を覆う導電性被膜36と、針主体部34のうち針押え14よりも前方の領域(導電性被膜36に覆われていない領域)と導電性被膜36とを覆う電気絶縁被膜38とを含む。プローブ16の後端部は、電気絶縁被膜38を形成することなく、導電性被膜36の後端部を露出させている。
【0035】
導電性被膜36は、タングステンやその合金のようなニードル30の素材の把持力(付着性)が高いニッケルを電気メッキ技術によりニードル30に付着することにより、形成することができる。
【0036】
電気絶縁被膜38は、ニードル30及び導電性被膜36の所定の領域をポリイミド樹脂のような電気絶縁性の樹脂溶液に浸して付着させ、その付着物を固化させることにより、形成することができる。電気絶縁被膜38は、その全体を適宜な色彩に着色されている。
【0037】
導電性被膜36及び電気絶縁被膜38を上記のように形成したプローブ10は、ニードル30と導電性皮膜36とが密着すると共に、導電性皮膜36と電気絶縁被膜38とが密着するから、洗浄液、半田カス、塵埃等の異物がそれらに入り込むことを防止される。
【0038】
プローブ16は、針先部32が配線基板12の開口20の位置となり、針主体部34が半径方向外方へ伸びる状態に針押え14に接着剤18により装着されていると共に、ニードル30及び導電性被膜36の後端部において接続ランド22に接着剤26により接着されている。
【0039】
プローブ16は、隣り合うプローブ16の色彩が異なるように、図示の例では、配線基板12の中心の周りに等角度間隔をおいている。
【0040】
ニッケルを用いた導電性被膜36は、ニードル30を把持するいわゆる把持力力が大きく、またタングステン及びその合金に比べ、半田のような導電性接着剤26の付着性が高いから、プローブ16の接着剤26による接続ランド22への接着力が高い。
【0041】
ポリイミド樹脂を用いた電気絶縁被膜38は、エナメルやテフロン(登録商標)に比べ、タングステン及びその合金製のニードル30並びに導電性被膜36に対する付着性が高いと共に、接着剤18の付着性が高いから、導電性被膜36の把持力が大きく、接着剤18による針押え14へのプローブ16の付着力が高い。
【0042】
そのように、ニードル30、導電性被膜36及び電気絶縁被膜38相互の付着力が高いと、プローブ16の配置密度を高めるためにプローブ16の直径寸法を小さくしても、ニードル30及び導電性被膜36に対する電気絶縁被膜38の把持力が大きい。
【0043】
電気的接続装置10は、従来のプローブカードと同様に、各プローブ16の針先を集積回路の電極に押圧する。このとき、各プローブ16には、半径方向外方への後退力がオーバードライブに起因して作用する。
【0044】
しかし、各プローブ16が上記のように構成されて、接着剤18により針押え14に接着されていると共に、接着剤26により接続ランド22に接着されているから、各プローブ16は、上記のような後退力を、接着剤18を介して針押え14に確実に伝達し、後退を防止される。
【0045】
また、各プローブ16がニッケル被膜36において接着剤26により接続ランド22に接着されているから、各プローブ16は、上記のようなオーバードライブ及び後退力により、接続ランド22から剥がされるおそれがない。
【0046】
さらに、プローブ16のうち、隣り合うプローブ16相互の電気的絶縁、特に針押え14における隣り合うプローブ16相互の電気的絶縁が電気絶縁被膜38により維持されるから、プローブ16の配置密度を高めることができる。
【0047】
上記のように着色された複数のプローブ30を、隣り合うプローブ16の色彩が異なるように、又はプローブ16の種類毎に異なる色彩となるように、配線基板12に配置すると、プローブ16の種類を容易に確認して、プローブ16を針押え14ひいては配線基板12の正しい位置に容易に取り付けることができる。
【0048】
図3を参照するに、電気的接続装置50は、環状の接続ランド52を下面に備えた配線基板12を用いていると共に、電気絶縁被膜38を覆う導電性被膜54を備えたプローブ16を用い、導電性被膜54を接続ランド52に半田のような導電性接着剤56により電気的に接続している。
【0049】
接続ランド52は、接続ランド22の配置領域よりも内側にあって配線基板12の中心の周りを伸びる状態に配線基板12に配置されている。これに対し、導電性被膜54は、電気絶縁性被膜38の先端部を露出させている。図示の例では、接続ランド52は第2の接続部材として作用し、導電性被膜54は、第2の導電性被膜として作用する。
【0050】
導電性被膜54は、Ni、Ni合金、Co、Co合金、錫、Cu、Cr、銀、金、Pd、Pd合金、白金等の導電材料を用いて、導電性被膜36と同様にメッキ技術により形成することができる。
【0051】
電気的接続装置50によれば、各プローブ16の第2の導電性被膜54を第2の接続ランド52に電気的に接続しているから、接続ランド52をアース電位に接続することにより、各プローブ16のニードル30を導電性被膜54により周囲の雑音から遮断することができ、各プローブ30を同軸構造のプローブとして用いることができる。
【0052】
ニードル30、導電性被膜36,54及び電気絶縁被膜38の素材及びそれらの製造方法は上記実施例に限定されない。また、プローブ16の着色箇所を、針主体部34全体とする代わりに、針主体部の先端部又は後端部としてもよい。さらに、ニードルをベリリウムのように、半田のような導電性接着剤の付着力が高い材料で構成している場合には、導電性被膜をニードルに形成することなく、電気絶縁被膜をニードルに形成してもよい。
【0053】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る電気的接続装置の一実施例を示す底面図である。
【図2】本発明に係るプローブの一実施例を示す図であって図1に示す電気的接続装置におけるプローブ近傍の拡大断面図である。
【図3】本発明に係るプローブの他の実施例を示す図であって図1に示す電気的接続装置におけるプローブ近傍の拡大断面図である。
【符号の説明】
10,50 電気的接続装置
12 配線基板(支持体)
14 針押え(装着具)
16 プローブ
18 接着剤
22,52 接続ランド(接続部材)
26,56 導電性接着剤
30 ニードル
32 針先部
34 針主体部
36,54 導電性被膜
38 電気絶縁被膜
Claims (9)
- 針先部及び該針先部から伸びる針主体部を備えるニードルと、該ニードルをこれの後端部が露出した状態に覆う電気絶縁被膜とを含み、前記針主体部の少なくとも後端部又は先端部に対応する箇所は着色されている、プローブ。
- 針先部及び該針先部から伸びる針主体部を備えるニードルと、前記針主体部の少なくとも後部側の領域を覆う導電性被膜と、該導電性皮膜をこれの後端部が露出した状態に覆う電気絶縁被膜とを含み、前記針主体部の少なくとも後端部又は先端部に対応する箇所は着色されている、プローブ。
- 前記針主体部の先端部及び後端部に対応する各箇所も着色されている、請求項1又は2に記載のプローブ。
- 前記針主体部に対応する箇所の長さ方向全体にわたって着色されている、請求項1,2又は3に記載のプローブ。
- 着色されている部材は前記電気絶縁被膜を含む、請求項1から4のいずれか1項に記載のプローブ。
- 前記電気絶縁被膜は電気絶縁性樹脂の溶液を付着させて、固化させることにより形成され、前記導電性被膜はメッキにより形成されている、請求項1から5のいずれか1項に記載のプローブ。
- さらに、前記電気絶縁性被膜をこれの先端部が露出した状態に覆う第2の導電性被膜を有する、請求項1から6のいずれか1項に記載のプローブ。
- 支持部及び複数の接続部材を有する支持体と、前記支持部に取り付けられた装着具と、請求項1から6のいずれか1項に記載の複数のプローブであって前記絶縁性層被膜又は前記第2の導電性被膜の一部において前記装着具に取り付けられたプローブとを含み、隣り合うプローブの着色箇所は異なる色彩を有しており、各プローブはその後端部において導電性接着剤により前記接続ランドに接着されている、電気的接続装置。
- 前記支持体は、さらに、1以上の第2の接続ランドを有しており、各プローブは請求項3に記載されたプローブを含むと共に、前記導電性被膜の後端部において導電性接着剤により前記第2の接続部材に接着されている、請求項7に記載の電気的接続装置。
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- 2002-11-19 JP JP2002335149A patent/JP2004170189A/ja active Pending
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