JPH10185955A - 検査用ヘッド - Google Patents
検査用ヘッドInfo
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- JPH10185955A JPH10185955A JP35472196A JP35472196A JPH10185955A JP H10185955 A JPH10185955 A JP H10185955A JP 35472196 A JP35472196 A JP 35472196A JP 35472196 A JP35472196 A JP 35472196A JP H10185955 A JPH10185955 A JP H10185955A
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- probe
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 針先が一列に整列された多層構造のプロ
ーブの配置密度を大きくすることにある。 【解決手段】 検査用ヘッドは、主体部に対して曲げら
れた針先部を備える複数のプローブを、それらの針先が
共通の仮想線上に位置するように多層の構造に配置して
いる。各針先部は針押えへのプローブの取付け高さに応
じた長さ寸法を有し、針主体部に対する針先部の曲げ角
度はプローブ層間で異なり、各プローブの針主体部の基
板に対する角度は隣りの層のプローブのそれと等しい。
これにより、針主体部に伸長方向における曲げ部の位置
と曲げ部の高さ位置とがプローブ層間で異なるから、隣
り合うプローブの間隔を小さくすることができる。
ーブの配置密度を大きくすることにある。 【解決手段】 検査用ヘッドは、主体部に対して曲げら
れた針先部を備える複数のプローブを、それらの針先が
共通の仮想線上に位置するように多層の構造に配置して
いる。各針先部は針押えへのプローブの取付け高さに応
じた長さ寸法を有し、針主体部に対する針先部の曲げ角
度はプローブ層間で異なり、各プローブの針主体部の基
板に対する角度は隣りの層のプローブのそれと等しい。
これにより、針主体部に伸長方向における曲げ部の位置
と曲げ部の高さ位置とがプローブ層間で異なるから、隣
り合うプローブの間隔を小さくすることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路のような
平板状被検査体の電気的特性試験に用いる検査用ヘッド
に関する。
平板状被検査体の電気的特性試験に用いる検査用ヘッド
に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエーハ上の集積回路、半導体ウ
エーハからチップに分離された集積回路（ＩＣチッ
プ）、および、チップの実装が終了した集積回路は、回
路が仕様書通りに動作するか否かの通電試験（電気的特
性試験）をされる。この種の試験すなわち検査は、一般
に、プローブカード、プローブボート等と称されている
試験用ヘッドすなわち検査用ヘッドを用いて行われる。
エーハからチップに分離された集積回路（ＩＣチッ
プ）、および、チップの実装が終了した集積回路は、回
路が仕様書通りに動作するか否かの通電試験（電気的特
性試験）をされる。この種の試験すなわち検査は、一般
に、プローブカード、プローブボート等と称されている
試験用ヘッドすなわち検査用ヘッドを用いて行われる。
【０００３】この種の検査用ヘッドにおいては、一般
に、集積回路の電気的な端子部すなわち電極パッドに通
電可能の状態に接続される複数のプローブを針押えに片
持ち梁状に支持させている。また、半導体ウエーハ上の
集積回路や、ＩＣチップでは、多数の電極パッドを矩形
の各辺に対応する部位に一列に配置していることから、
プローブの先端すなわち針先を矩形の辺に対応するプロ
ーブの群毎に共通の仮想的直線上に位置させている。
に、集積回路の電気的な端子部すなわち電極パッドに通
電可能の状態に接続される複数のプローブを針押えに片
持ち梁状に支持させている。また、半導体ウエーハ上の
集積回路や、ＩＣチップでは、多数の電極パッドを矩形
の各辺に対応する部位に一列に配置していることから、
プローブの先端すなわち針先を矩形の辺に対応するプロ
ーブの群毎に共通の仮想的直線上に位置させている。
【０００４】このような検査用ヘッドにおいては、集積
回路の電極パッドの配置密度が高くなるにしたがい、プ
ローブの配置密度が高くなる。このため、従来の検査用
ヘッドにおいては、隣り合うプローブの接触を避けるべ
く針押えへのプローブの取付け高さを隣り合うプローブ
で変えたいわゆる多層にプローブを配置している。
回路の電極パッドの配置密度が高くなるにしたがい、プ
ローブの配置密度が高くなる。このため、従来の検査用
ヘッドにおいては、隣り合うプローブの接触を避けるべ
く針押えへのプローブの取付け高さを隣り合うプローブ
で変えたいわゆる多層にプローブを配置している。
【０００５】この種の検査用ヘッドの１つとして、針押
えに支持されかつほぼ同じ断面積を有する針主体部と、
この針主体部の先端側に続きかつ針主体部に対し針押え
への取付け高さに比例した長さ寸法に同じ角度に曲げら
れた針先部とを有するプローブが提案されている（実公
昭５９−７６２号公報）。この従来の検査用ヘッドにお
いて、プローブは、針主体部の先端側の部位から先端側
の部分を針先ほど小径となるテーパとされており、また
針主体部が針押えを装着する基板に対して同じ角度で伸
びるように針押えに装着されている。
えに支持されかつほぼ同じ断面積を有する針主体部と、
この針主体部の先端側に続きかつ針主体部に対し針押え
への取付け高さに比例した長さ寸法に同じ角度に曲げら
れた針先部とを有するプローブが提案されている（実公
昭５９−７６２号公報）。この従来の検査用ヘッドにお
いて、プローブは、針主体部の先端側の部位から先端側
の部分を針先ほど小径となるテーパとされており、また
針主体部が針押えを装着する基板に対して同じ角度で伸
びるように針押えに装着されている。
【０００６】しかし、針先部を針主体部に対して曲げる
と、曲げた部位すなわち曲げ部が側方へ膨出し、曲げ部
が他部に比べて太くなることを避けることができない。
このため、上記従来の検査用ヘッドでは、針先が一列に
整列しているにもかかわらず、針先部を針主体部に対し
て同じ角度で曲げているにすぎないから、針先部が平行
に伸び、したがって隣り合うプローブの曲げ部の高さ位
置が異なっても、曲げ部において隣りのプローブに接触
するおそれがあり、プローブを高密度に配置することに
限度がある。
と、曲げた部位すなわち曲げ部が側方へ膨出し、曲げ部
が他部に比べて太くなることを避けることができない。
このため、上記従来の検査用ヘッドでは、針先が一列に
整列しているにもかかわらず、針先部を針主体部に対し
て同じ角度で曲げているにすぎないから、針先部が平行
に伸び、したがって隣り合うプローブの曲げ部の高さ位
置が異なっても、曲げ部において隣りのプローブに接触
するおそれがあり、プローブを高密度に配置することに
限度がある。
【０００７】
【解決しようとする課題】本発明の目的は、針先が一列
に整列された多層構造のプローブの配置密度を大きくす
ることにある。
に整列された多層構造のプローブの配置密度を大きくす
ることにある。
【０００８】
【解決手段、作用、効果】本発明の検査用ヘッドは、基
板と、該基板に装着された針押えと、針先が共通の仮想
線上に位置する複数のプローブであって前記針押えに多
層に配置された複数のプローブとを含む。各プローブ
は、針押えに支持された針主体部と、該主体部に対して
曲げられた針先部とを備える。各針先部は前記針押えへ
のプローブの取付け高さに応じた長さ寸法を有し、前記
針主体部に対する前記針先部の曲げ角度は層間で異な
り、各プローブの針主体部の基板に対する角度は隣りの
層のプローブの針主体部の基板に対する角度と等しい。
板と、該基板に装着された針押えと、針先が共通の仮想
線上に位置する複数のプローブであって前記針押えに多
層に配置された複数のプローブとを含む。各プローブ
は、針押えに支持された針主体部と、該主体部に対して
曲げられた針先部とを備える。各針先部は前記針押えへ
のプローブの取付け高さに応じた長さ寸法を有し、前記
針主体部に対する前記針先部の曲げ角度は層間で異な
り、各プローブの針主体部の基板に対する角度は隣りの
層のプローブの針主体部の基板に対する角度と等しい。
【０００９】各プローブの針主体部の基板に対する角度
が隣りの層のプローブの針主体部の基板に対する角度と
等しい場合、各針先部の長さ寸法（高さ寸法）が針押え
へのプローブの取付け高さに応じて異なると、曲げ部の
高さ位置が隣り合うプローブ層間で異なり、また針主体
部に対する針先部の曲げ角度がプローブ層間で異なる
と、針主体部に伸長方向における曲げ部の位置がプロー
ブ層間で異なる。このように、針主体部に伸長方向にお
ける曲げ部の位置と曲げ部の高さ位置とがプローブ層間
で異なることにより、隣り合うプローブが接触するおそ
れが少なく、したがってプローブを高密度に配置するこ
とができる。
が隣りの層のプローブの針主体部の基板に対する角度と
等しい場合、各針先部の長さ寸法（高さ寸法）が針押え
へのプローブの取付け高さに応じて異なると、曲げ部の
高さ位置が隣り合うプローブ層間で異なり、また針主体
部に対する針先部の曲げ角度がプローブ層間で異なる
と、針主体部に伸長方向における曲げ部の位置がプロー
ブ層間で異なる。このように、針主体部に伸長方向にお
ける曲げ部の位置と曲げ部の高さ位置とがプローブ層間
で異なることにより、隣り合うプローブが接触するおそ
れが少なく、したがってプローブを高密度に配置するこ
とができる。
【００１０】本発明によれば、各針先部の高さ寸法が針
押えへのプローブの取付け高さに応じてに異なり、針主
体部に対する針先部の曲げ角度がプローブ層間で異なる
ようにしたから、針先が一列に整列されているにもかか
わらず、針主体部に伸長方向における曲げ部の位置と曲
げ部の高さ位置とがプローブ層間で異なり、その結果隣
り合うプローブの間隔を小さくして、プローブを高密度
に配置することができる。
押えへのプローブの取付け高さに応じてに異なり、針主
体部に対する針先部の曲げ角度がプローブ層間で異なる
ようにしたから、針先が一列に整列されているにもかか
わらず、針主体部に伸長方向における曲げ部の位置と曲
げ部の高さ位置とがプローブ層間で異なり、その結果隣
り合うプローブの間隔を小さくして、プローブを高密度
に配置することができる。
【００１１】前記曲げ角度を９０度以上とすることがで
きる。曲げ角度が９０度以上であると、プローブが被検
査体にわずかに過剰に押圧されたとき、曲げ角度がさら
に大きくなるように針先部が針主体部に対して曲げら
れ、しかもそのときの針先の変位の方向と針主体部が弧
状に反るときの針先の変位の方向とが同じであるから、
針先と電極パッドとの間の相対的な滑りが確実に生じ
る。このように、針先と電極パッドとの間の相対的な滑
りが生じると、電極パッド表面の絶縁性酸化膜が確実に
剥離され、針先と電極パッドとが電気的に確実に接続さ
れる。
きる。曲げ角度が９０度以上であると、プローブが被検
査体にわずかに過剰に押圧されたとき、曲げ角度がさら
に大きくなるように針先部が針主体部に対して曲げら
れ、しかもそのときの針先の変位の方向と針主体部が弧
状に反るときの針先の変位の方向とが同じであるから、
針先と電極パッドとの間の相対的な滑りが確実に生じ
る。このように、針先と電極パッドとの間の相対的な滑
りが生じると、電極パッド表面の絶縁性酸化膜が確実に
剥離され、針先と電極パッドとが電気的に確実に接続さ
れる。
【００１２】前記曲げ角度を前記基板に近い層のプロー
ブほど小さくすることができる。このようにすれば、プ
ローブが被検査体にわずかに過剰に押圧されたときの針
先部と電極パッドとの間の相対的な滑り量は、針主体部
に対する針先部の曲げ角度が小さいほど小さいのに対
し、針先部の高さ寸法が大きいほど大きくなり、その結
果針先と電極パッドとの間の相対的な滑り量がほぼ同じ
になる。
ブほど小さくすることができる。このようにすれば、プ
ローブが被検査体にわずかに過剰に押圧されたときの針
先部と電極パッドとの間の相対的な滑り量は、針主体部
に対する針先部の曲げ角度が小さいほど小さいのに対
し、針先部の高さ寸法が大きいほど大きくなり、その結
果針先と電極パッドとの間の相対的な滑り量がほぼ同じ
になる。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１〜図３を参照するに、検査用
ヘッド１０は、プローブカード、プローブボート等と称
されている検査用ヘッドであり、集積回路のような平板
状の被検査体の電気的特性試験に用いられる。被検査体
は、半導体ウエーハに形成された集積回路、切断された
集積回路チップおよび実装を終了した集積回路のいずれ
であってもよいし、また液晶表示パネルであってもよ
い。しかし、検査用ヘッド１０は、電極部すなわち電極
パッドが高密度に配置された被検査体の検査に用いて好
適である。
ヘッド１０は、プローブカード、プローブボート等と称
されている検査用ヘッドであり、集積回路のような平板
状の被検査体の電気的特性試験に用いられる。被検査体
は、半導体ウエーハに形成された集積回路、切断された
集積回路チップおよび実装を終了した集積回路のいずれ
であってもよいし、また液晶表示パネルであってもよ
い。しかし、検査用ヘッド１０は、電極部すなわち電極
パッドが高密度に配置された被検査体の検査に用いて好
適である。
【００１４】検査用ヘッド１０は、円板状の基板１２
と、基板１２に組み付けられた針押え１４と、基板１２
の半径方向へ伸びるように針押え１４に片持ち梁状に支
持された複数のプローブ１６とを含む。針押え１４を基
板１２に直接的に組み付ける代わりに、針押え１４を基
板１２に支持板のような適宜な手段を介して間接的に組
み付けてもよい。
と、基板１２に組み付けられた針押え１４と、基板１２
の半径方向へ伸びるように針押え１４に片持ち梁状に支
持された複数のプローブ１６とを含む。針押え１４を基
板１２に直接的に組み付ける代わりに、針押え１４を基
板１２に支持板のような適宜な手段を介して間接的に組
み付けてもよい。
【００１５】基板１２は、セラミック、合成樹脂のよう
な電気的絶縁材料で製作することができる。基板１２
は、被検査体を目視可能の開口１８を中心部に有すると
ともに、針押え１４を受け入れる下向きの段部すなわち
切欠部２０を開口１８の周りに有する。開口１８および
切欠部２０は、被検査体の平面形状に類似した形状を有
しており、図示の例ではほぼ四角形の形状を有する。開
口１８は、基板１２を厚さ方向に貫通する貫通穴であ
る。切欠部２０は、下面と開口１８を形成する内側面に
形成されており、また針押え１４とほぼ同じ大きさを有
する。
な電気的絶縁材料で製作することができる。基板１２
は、被検査体を目視可能の開口１８を中心部に有すると
ともに、針押え１４を受け入れる下向きの段部すなわち
切欠部２０を開口１８の周りに有する。開口１８および
切欠部２０は、被検査体の平面形状に類似した形状を有
しており、図示の例ではほぼ四角形の形状を有する。開
口１８は、基板１２を厚さ方向に貫通する貫通穴であ
る。切欠部２０は、下面と開口１８を形成する内側面に
形成されており、また針押え１４とほぼ同じ大きさを有
する。
【００１６】基板１２は、周方向に間隔をおいて切欠部
２０の周りを半径方向へ伸びる複数の配線（図示せず）
を上下の両面に有する配線基板である。配線は、印刷配
線技術により基板１２に形成された配線パターンの一部
である。基板１２は、通電用および信号処理用の電気回
路に接続される複数の端子部すなわちランド（図示せ
ず）を上面の周縁部に有する。上面の配線はランドに電
気的に接続されており、上下の配線は互いに電気的に接
続されている。
２０の周りを半径方向へ伸びる複数の配線（図示せず）
を上下の両面に有する配線基板である。配線は、印刷配
線技術により基板１２に形成された配線パターンの一部
である。基板１２は、通電用および信号処理用の電気回
路に接続される複数の端子部すなわちランド（図示せ
ず）を上面の周縁部に有する。上面の配線はランドに電
気的に接続されており、上下の配線は互いに電気的に接
続されている。
【００１７】基板１２は、電気絶縁性のフィルム状の板
材に配線技術により形成された１または２以上の配線パ
ターンを厚さ方向の中間部に有する多層構造のものであ
ってもよい。また、配線パターンを形成したフィルム状
の部材を基板の上下の両面に配置することにより、配線
を基板１２に形成してもよい。
材に配線技術により形成された１または２以上の配線パ
ターンを厚さ方向の中間部に有する多層構造のものであ
ってもよい。また、配線パターンを形成したフィルム状
の部材を基板の上下の両面に配置することにより、配線
を基板１２に形成してもよい。
【００１８】針押え１４は、セラミックのような電気的
な絶縁材料で四角形の枠の形に製作されており、また複
数のプローブ１６を四角形の各辺に対応する部位に支持
している。針押え１４の内側の開口１８は、基板１２の
開口１８とほぼ同じ大きさのほぼ四角形である。針押え
１４の下端部は、基板１２の下面より下方へ突出してい
る。
な絶縁材料で四角形の枠の形に製作されており、また複
数のプローブ１６を四角形の各辺に対応する部位に支持
している。針押え１４の内側の開口１８は、基板１２の
開口１８とほぼ同じ大きさのほぼ四角形である。針押え
１４の下端部は、基板１２の下面より下方へ突出してい
る。
【００１９】針押え１４は、図示の例では、基板１２の
切欠部２０に接着剤により装着されている。しかし、針
押え１４を複数のねじ部材により基板１２に取り外し可
能に取り付けてもよい。また、針押え１４を基板１２に
直接的に組み付ける代わりに、針押え１４を基板１２
に、補強板、取り付け板等の適宜な手段を介して、間接
的に組み付けてもよい。さらに、基板１２の一部を針押
え１４として用いてもよい。
切欠部２０に接着剤により装着されている。しかし、針
押え１４を複数のねじ部材により基板１２に取り外し可
能に取り付けてもよい。また、針押え１４を基板１２に
直接的に組み付ける代わりに、針押え１４を基板１２
に、補強板、取り付け板等の適宜な手段を介して、間接
的に組み付けてもよい。さらに、基板１２の一部を針押
え１４として用いてもよい。
【００２０】各プローブ１６は、円形断面の導電性金属
細線から形成されており、また、針押え１４に支持され
た針主体部２２と、この針主体部２２の先端側に続きか
つ針主体部２２に対し基板と反対の側（下方）へ曲げら
れた針先部２４と、針主体部２２の後端側に続く針後部
２６とを有する。針先部２４は、曲げ部２８において針
主体部２２に対して曲げられている。針主体部２２の先
端側の部位から針先までは、先端ほど細くなるテーパ部
とされている。全てのプローブ１６のテーパ部の長さ寸
法は、図示の例ではほぼ同じであるが、異なっていても
よい。
細線から形成されており、また、針押え１４に支持され
た針主体部２２と、この針主体部２２の先端側に続きか
つ針主体部２２に対し基板と反対の側（下方）へ曲げら
れた針先部２４と、針主体部２２の後端側に続く針後部
２６とを有する。針先部２４は、曲げ部２８において針
主体部２２に対して曲げられている。針主体部２２の先
端側の部位から針先までは、先端ほど細くなるテーパ部
とされている。全てのプローブ１６のテーパ部の長さ寸
法は、図示の例ではほぼ同じであるが、異なっていても
よい。
【００２１】プローブ１６は、針押え１４および開口１
８により形成される四角形の辺に対応する部位を対応す
る辺に沿う方向へ間隔をおいて針押え１４の幅方向へ伸
びており、また針主体部２２の同じ直径寸法の部位にお
いて電気絶縁性の接着剤のような適宜な装着手段３０に
より針押え１４の下側に取り付けられている。隣り合う
プローブ１６は、基板１２に対する高さ位置を変えて多
層（図示の例では、３層）の構造とされている。各プロ
ーブ１６は、針後部２６において、基板１２の下面に形
成された配線に半田付けされている。
８により形成される四角形の辺に対応する部位を対応す
る辺に沿う方向へ間隔をおいて針押え１４の幅方向へ伸
びており、また針主体部２２の同じ直径寸法の部位にお
いて電気絶縁性の接着剤のような適宜な装着手段３０に
より針押え１４の下側に取り付けられている。隣り合う
プローブ１６は、基板１２に対する高さ位置を変えて多
層（図示の例では、３層）の構造とされている。各プロ
ーブ１６は、針後部２６において、基板１２の下面に形
成された配線に半田付けされている。
【００２２】検査用ヘッド１０は、針押え１４の所定の
箇所に所定数のプローブ１６を所定の治具を用いて所定
の状態に取り付けることにより針押え１４と複数のプロ
ーブ１６とからなるプローブ組立体を作成し、次いで針
押え１４を基板１２に取り付け、各プローブ１６を基板
１２に形成された配線に半田付することにより、製作す
ることができる。
箇所に所定数のプローブ１６を所定の治具を用いて所定
の状態に取り付けることにより針押え１４と複数のプロ
ーブ１６とからなるプローブ組立体を作成し、次いで針
押え１４を基板１２に取り付け、各プローブ１６を基板
１２に形成された配線に半田付することにより、製作す
ることができる。
【００２３】プローブ１６は、全てのプローブ１６を適
宜な治具により所定の配置パターンにおよび所定の状態
に維持した状態で、適宜な装着手段３０により針押え１
４に取り付けることができる。針押え１４は、これを基
板１２の切欠部２０に下側から嵌め込み、接着剤（また
は、ねじ部材）により基板１２に取り付けることができ
る。
宜な治具により所定の配置パターンにおよび所定の状態
に維持した状態で、適宜な装着手段３０により針押え１
４に取り付けることができる。針押え１４は、これを基
板１２の切欠部２０に下側から嵌め込み、接着剤（また
は、ねじ部材）により基板１２に取り付けることができ
る。
【００２４】検査用ヘッド１０は、プローブ１６の針先
が被検査体の側となるように、検査装置に組み付けられ
る。このため、検査用ヘッド１０は、これを組み付ける
検査装置の種類により、プローブ１６が、下側、上側、
横側、前側および後側のいずれかの側となるとともに、
基板１２が、水平、垂直および斜めのいずれかの状態と
なるように検査装置に組み付けられる。
が被検査体の側となるように、検査装置に組み付けられ
る。このため、検査用ヘッド１０は、これを組み付ける
検査装置の種類により、プローブ１６が、下側、上側、
横側、前側および後側のいずれかの側となるとともに、
基板１２が、水平、垂直および斜めのいずれかの状態と
なるように検査装置に組み付けられる。
【００２５】検査時、プローブ１６の針先は、ヘッド１
０と被検査体とが両者を相対的に移動されることによ
り、わずかに過剰に被検査体の電極パッドに押圧され
る。これにより、各プローブ１６はオーバードライブ作
用により弓状に反る。その結果、プローブ１６の針先と
被検査体の電極との間に、所定の針圧が作用するととも
に、所定量の滑りが生じる。
０と被検査体とが両者を相対的に移動されることによ
り、わずかに過剰に被検査体の電極パッドに押圧され
る。これにより、各プローブ１６はオーバードライブ作
用により弓状に反る。その結果、プローブ１６の針先と
被検査体の電極との間に、所定の針圧が作用するととも
に、所定量の滑りが生じる。
【００２６】検査用ヘッド１０では、針主体部２２の基
板１２に対する角度は隣りの層のプローブ１６の針主体
部２２の基板１２に対する角度と等しく、針先部２４は
針押えへ１４のプローブ１６の取付け高さに応じた長さ
寸法を有し、同じ辺に対応する部位に配置された全ての
プローブ１６の針先は共通の仮想線上に一列に位置され
ている。しかし、針主体部２２に対する針先部の曲げ角
度θ1 ，θ2 ，θ3 は、プローブ層間で相違する。
板１２に対する角度は隣りの層のプローブ１６の針主体
部２２の基板１２に対する角度と等しく、針先部２４は
針押えへ１４のプローブ１６の取付け高さに応じた長さ
寸法を有し、同じ辺に対応する部位に配置された全ての
プローブ１６の針先は共通の仮想線上に一列に位置され
ている。しかし、針主体部２２に対する針先部の曲げ角
度θ1 ，θ2 ，θ3 は、プローブ層間で相違する。
【００２７】このため、針先が一列に整列されているに
もかかわらず、曲げ部２８の高さ位置は隣り合うプロー
ブ層間で相互に異なり、針主体部２２に伸長方向におけ
る曲げ部２８の位置がプローブ層間で相互に異なる。こ
のように、針主体部２２の長手方向における曲げ部２８
の位置と、曲げ部２８の高さ位置との両者がプローブ層
間で相互に異なると、曲げ部２８が隣りのプローブ１６
の側（図３において左右方向）に膨出していても、隣り
合うプローブ１６が接触するおそれが少なく、したがっ
て隣り合うプローブの間隔を小さくして、プローブを高
密度に配置することができる。
もかかわらず、曲げ部２８の高さ位置は隣り合うプロー
ブ層間で相互に異なり、針主体部２２に伸長方向におけ
る曲げ部２８の位置がプローブ層間で相互に異なる。こ
のように、針主体部２２の長手方向における曲げ部２８
の位置と、曲げ部２８の高さ位置との両者がプローブ層
間で相互に異なると、曲げ部２８が隣りのプローブ１６
の側（図３において左右方向）に膨出していても、隣り
合うプローブ１６が接触するおそれが少なく、したがっ
て隣り合うプローブの間隔を小さくして、プローブを高
密度に配置することができる。
【００２８】検査用ヘッド１０では、また、曲げ角度θ
1 ，θ2 ，θ3 は９０度以上である。このため、プロー
ブ１６が被検査体にわずかに過剰に押圧されたとき、曲
げ角度θ1 ，θ2 ，θ3 がさらに大きくなるように針先
部２４が針主体部２２に対して曲げられ、しかもそのと
きの針先の変位の方向と針主体部２２が弧状に反るとき
の針先の変位の方向とが同じであるから、プローブ１６
の針先と被検査体の電極パッドとの間の相対的な滑りが
確実に生じる。針先と電極パッドとの間の相対的な滑り
が生じると、電極パッド表面の電気絶縁性酸化膜が確実
に剥離され、針先と電極パッドとが電気的に確実に接続
される。
1 ，θ2 ，θ3 は９０度以上である。このため、プロー
ブ１６が被検査体にわずかに過剰に押圧されたとき、曲
げ角度θ1 ，θ2 ，θ3 がさらに大きくなるように針先
部２４が針主体部２２に対して曲げられ、しかもそのと
きの針先の変位の方向と針主体部２２が弧状に反るとき
の針先の変位の方向とが同じであるから、プローブ１６
の針先と被検査体の電極パッドとの間の相対的な滑りが
確実に生じる。針先と電極パッドとの間の相対的な滑り
が生じると、電極パッド表面の電気絶縁性酸化膜が確実
に剥離され、針先と電極パッドとが電気的に確実に接続
される。
【００２９】これに対し、曲げ角度θ1 ，θ2 ，θ3 が
９０度未満であると、プローブ１６が被検査体にわずか
に過剰に押圧されたとき、曲げ角度がさらに小さくなる
ように針先部２４が針主体部２２に対して曲げられ、し
かもそのときの針先の変位の方向と針主体部が弧状に反
るときの針先の変位の方向とが逆であるから、針先と電
極パッドとの間の相対的な滑りが生じにくい。針先と電
極パッドとの間の相対的な滑りが生じないと、電極パッ
ド表面の電気絶縁性酸化膜が剥離されず、針先と電極パ
ッドとが電気的に接続されない。
９０度未満であると、プローブ１６が被検査体にわずか
に過剰に押圧されたとき、曲げ角度がさらに小さくなる
ように針先部２４が針主体部２２に対して曲げられ、し
かもそのときの針先の変位の方向と針主体部が弧状に反
るときの針先の変位の方向とが逆であるから、針先と電
極パッドとの間の相対的な滑りが生じにくい。針先と電
極パッドとの間の相対的な滑りが生じないと、電極パッ
ド表面の電気絶縁性酸化膜が剥離されず、針先と電極パ
ッドとが電気的に接続されない。
【００３０】検査用ヘッド１０では、さらに、曲げ角度
θ1 ，θ2 ，θ3 は、基板１２に近い層のプローブ１６
ほど小さい。すなわち、曲げ角度は、θ1 ＜θ2 ＜θ3
の関係を有する。このため、プローブ１６が被検査体に
わずかに過剰に押圧されたときの針先と電極パッドとの
間の相対的な滑り量は、針主体部２２に対する針先部２
４の曲げ角度が小さいほど小さいのに対し、針先部２４
の高さ寸法が大きいほど大きいから、針先と電極パッド
との間の相対的な滑り量がほぼ同じになる。
θ1 ，θ2 ，θ3 は、基板１２に近い層のプローブ１６
ほど小さい。すなわち、曲げ角度は、θ1 ＜θ2 ＜θ3
の関係を有する。このため、プローブ１６が被検査体に
わずかに過剰に押圧されたときの針先と電極パッドとの
間の相対的な滑り量は、針主体部２２に対する針先部２
４の曲げ角度が小さいほど小さいのに対し、針先部２４
の高さ寸法が大きいほど大きいから、針先と電極パッド
との間の相対的な滑り量がほぼ同じになる。
【００３１】上記の検査用ヘッド１０は、針先を一列に
配置された一組のプローブを備えるのみであるが、本発
明は、複数列に配置された複数組の一組のプローブを備
える検査用ヘッドにも適用することができ、この場合プ
ローブをその組毎に本発明のように配置すればよい。
配置された一組のプローブを備えるのみであるが、本発
明は、複数列に配置された複数組の一組のプローブを備
える検査用ヘッドにも適用することができ、この場合プ
ローブをその組毎に本発明のように配置すればよい。
【００３２】本発明は、上記実施例に限定されない。た
とえば、被検査体の電極パッドの配置パターンに応じた
１つの針押えを用いる代わりに、針押えを複数の針押え
部材に分割し、それらの針押え部材を共通の取付け枠に
ねじ部材のような適宜な止め手段により取り付けてもよ
い。また、プローブの断面形状を、円形以外の他の形
状、たとえば四角形にしてもよい。
とえば、被検査体の電極パッドの配置パターンに応じた
１つの針押えを用いる代わりに、針押えを複数の針押え
部材に分割し、それらの針押え部材を共通の取付け枠に
ねじ部材のような適宜な止め手段により取り付けてもよ
い。また、プローブの断面形状を、円形以外の他の形
状、たとえば四角形にしてもよい。
【図１】本発明の検査用ヘッドの一実施例を示す縦断面
図である。
図である。
【図２】図１に示す検査用ヘッドにおけるプローブの形
状および寸法を説明するための拡大断面図である。
状および寸法を説明するための拡大断面図である。
【図３】図２の左側面図である。
１０ 検査用ヘッド １２ 基板 １４ 針押え １６ プローブ １８ 基板の開口 ２０ 基板の切欠部 ２２ 針主体部 ２４ 針先部 ２６ 針後部 ２８ プローブの曲げ部 ３０ プローブ用の装着手段
Claims (3)
- 【請求項１】 平板状被検査体の電気的特性試験に用い
る検査用ヘッドであって、基板と、該基板に装着された
針押えと、針先が共通の仮想線上に位置する複数のプロ
ーブであって前記針押えに多層に配置された複数のプロ
ーブとを含み、各プローブは、針押えに支持された針主
体部と、該主体部に対して曲げられた針先部とを備え、
各針先部は前記針押えへのプローブの取付け高さに応じ
た長さ寸法を有し、前記針主体部に対する前記針先部の
曲げ角度は隣り合う層間で異なり、各プローブの針主体
部の基板に対する角度は隣りの層のプローブの針主体部
の基板に対する角度と等しい、検査用ヘッド。 - 【請求項２】 前記曲げ角度は９０度以上である、請求
項１記載の検査用ヘッド。 - 【請求項３】 前記曲げ角度は前記基板に近い層のプロ
ーブほど小さい、請求項１または２に記載の検査用ヘッ
ド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35472196A JPH10185955A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 検査用ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35472196A JPH10185955A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 検査用ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10185955A true JPH10185955A (ja) | 1998-07-14 |
Family
ID=18439461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35472196A Pending JPH10185955A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 検査用ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10185955A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001291748A (ja) * | 2000-04-05 | 2001-10-19 | Ns:Kk | プロ−ブカ−ド |
| JP2008224266A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Japan Electronic Materials Corp | プローブ及びプローブカード |
| KR101535905B1 (ko) * | 2013-01-21 | 2015-07-10 | 엠피아이 코포레이션 | 프로브 모듈 |
-
1996
- 1996-12-20 JP JP35472196A patent/JPH10185955A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001291748A (ja) * | 2000-04-05 | 2001-10-19 | Ns:Kk | プロ−ブカ−ド |
| JP2008224266A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Japan Electronic Materials Corp | プローブ及びプローブカード |
| KR101535905B1 (ko) * | 2013-01-21 | 2015-07-10 | 엠피아이 코포레이션 | 프로브 모듈 |
| US9354253B2 (en) | 2013-01-21 | 2016-05-31 | Mpi Corporation | Probe module |
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Effective date: 20080401 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |