JPS6221007Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はベースプリント基板等にプローブカー
ド本体が着脱自在に取付けられる構成のプローブ
カードに関する。

半導体ウエハ中に形成された複数の集積回路の
うちの単位集積回路の検査等に使用されるプロー
ブカードは、集積回路の複雑化に伴い探針の数が
増加し、プローブカードの構造等が複雑化してき
たことにより、製作上の便宜及び使用上の便宜等
の観点から、プリント配線が施され、電気回路を
備えたベースプリント基板等と、探針が配設され
たプローブカード本体とが着脱自在となる分割構
成を取る趨勢にある。

而して斯かる構成の従来のプローブカード（以
下従来品という）におけるベースプリント基板と
プローブカード本体との接続方法は、例えばベー
スプリント基板の下部に螺着又は貼着固定されて
いる絶縁性を有した中間絶縁物の複数個所に開設
された挿通孔にスプリングコンタクトピンを内装
し、このコンタクトピンを介してプローブカード
本体の所定の接続端子とプローブカード本体の上
面に配された所定電極とを接続させるようにする
方法と、所謂ターミナルピンとピンジヤツクとを
嵌合させて上述と同様の接続を行う方法とがあ
る。而して、前者の方法による場合には、コンタ
クトピンが金属製の外枠部材を備えた構造のもの
である為に高価であり、従つて製造コストが高く
なる欠点を有してこり、後者の場合には着脱の際
の作業自体が煩わしく、また困難なこともあると
いう難点を有していた。

本考案は斯かる事情に鑑みてなされたものであ
つて、プローブカード本体の着脱操作が容易であ
り、ベースプリント基板及びプローブカード本体
の各所定電極間の接続が確実になされ、しかも安
価に実施し得るプローブカードを提供することを
目的とし、以下に本考案をその実施例を示す図面
に基き詳述する。

第１図は本考案に係るプローブカード（以下本
案品という）の外観を略示する斜視図、第２図は
本案品の構成を略示する側断面図である。図にお
いて、１はベースプリント基板であつて、ガラス
布及びエポキシ樹脂等よりなる平板状の基板本体
１１の上側面、所定個所にて厚味方向に開設され
たスルーホール１２の内側面、及び基板本体１１
の下側面のスルーホール１２の下端開口部の周囲
等の所謂ランド部分には略均一な厚味寸法で銅箔
１３が被着されていて、基板本体１１の上側面に
おいては所要のパターンでプリント配線が構成さ
れている。また、基板本体１１の中央部には所要
寸法の内径の丸穴１４が開設されている。２はベ
ースプリント基板１の下部に接着剤、ネジ止等に
より固着された中間絶縁体であつて、前記基板本
体１１の厚味寸法より充分大きい厚味寸法を有し
ており、輪郭は平面視で適宜寸法の直径を有した
円形に形成されていて、前記丸穴１４とは軸心を
一致させてある。この中間絶縁体２は二層構造と
してあつて、その中央部に、前記丸穴１４と同様
の内径寸法を有した丸穴２１がその内側面が丸穴
１４の内側面と面一となるようにして開設されて
おり、また周側部近傍には、下端面に開口させた
ネジ穴２２が４等配でその厚味方向に開設されて
いる。また丸穴２１とネジ穴２２との中間部に
は、スルーホール２２の内径寸法より充分大きい
内径寸法を有し、ネジ穴２２の内径寸法より稍々
大きい内径寸法を有した挿通孔２３がスルーホー
ル１２と軸心を一致させて、厚味方向に開設され
ており、挿通孔２３の下端開口部は該挿通孔２３
の中間部の内径よりも小口径で開口させてある。
また、この挿通孔２３の内部には上端部がスルー
ホール１２の上端開口部の銅箔１３よりなるラン
ド部分に半田付等により固着されたスプリング２
４が挿通孔２３内での伸縮自在に内装されてお
り、該スプリング２４の下端部には金属栓２５が
半田付等により固着されている。この金属栓２５
は上端部の頭部２５１と該頭部２５１の下面中央
部に一体的に下方へ丸棒状に延出形成された栓体
２５２とからなつており、頭部２５１は挿通孔２
３の内径寸法より稍々短い外径寸法を有した円盤
状に形成されており、また栓体２５２の直径寸法
は挿通孔２３の下端開口部の小口径部分の内径寸
法より稍々短い寸法としてあり、該栓体２５２の
長手寸法は、前記小口径部分の、中間絶縁体２の
厚味方向の寸法より若干長い寸法としてあつて、
金属栓２５がスプリング２４の弾性により下方へ
押圧された状態にあり、栓体２５２の下端部が自
由端とされている場合には、栓体２５２の下端部
が、挿通孔２３の下端開口部より下方へ若干突出
することとなる。なお、スプリング２４及び金属
栓２５の表面には電気的な接続を良好にすべく金
メツキ等を施しておくのが望ましい。

斯かる中間絶縁体２の下端部に取付けられるプ
ローブカード本体３はそれ自体公知のものであつ
て中央部に開口窓３１１が開設された硬質合成樹
脂等よりなる平板状のプローブ基板３１と、該プ
ローブ基板３１の前記開口窓３１１の開口下端部
に嵌着された硬質合成樹脂等よりなり開口窓３１
１同様の開口部３２１が開設されたベース部材３
２と、該ベース部材３２の下端部にてその長手方
向の中央部を適宜に固定され、基端部がプローブ
基板３１の下面に配された所定電極に半田付等に
より固着されていて、先端末が下方へ屈曲された
先端部が前記開口部３２１の若干下方にて円弧状
等の状態に配列するようにして、取付けられた複
数の探針３３とを備えている。そして該プローブ
カード本体３は、前記ネジ穴２２に対応させて開
設したネジ挿通穴３４に挿通したネジ４を、ネジ
穴２２に螺着させて、ネジ４を締上げていくと、
前記プローブ基板３１の上側面の、前記金属栓２
５に対応する所定電極が栓体２５２の下端面に当
接し、ネジ４をスプリング２４の弾性に抗して更
に締上げるとスプリング２４の弾性により栓体２
５２の下端面がプローブ基板３１の上側面の前述
の如き所定の電極に押圧されることとなり、従つ
て前記銅箔１３と探針３３とがスプリング２４及
び金属栓２５を介して電気的に接続されることと
なる。而して、プローブカード本体３をその点
検、取替等の為に中間絶縁体２から取外す場合に
は、取付けの場合の逆の手順、即ちネジ４を緩め
てこれを取除くことにより容易に行える。

以上詳述した如く本考案に係るプローブカード
は、平板状をなすベースプリント基板の下部にプ
ローブカード本体が着脱自在に取付けられる構成
のプローブカードにおいて、前記ベースプリント
基板の下部には中間絶縁物が取付けられており、
該中間絶縁物には前記プローブカード本体の少く
とも下面に配された所定電極に対応させて、少く
ともその下端開口部を小口径に絞つた挿通孔が、
該中間絶縁物の厚味方向に開設されており、該挿
通孔内にはその上端部が前記ベースプリント基板
の前記所定電極に電気的に接続されたスプリング
の下端部に電気的に接続させた金属栓が前記スプ
リングに付勢されて下端部が前記挿通孔の下端開
口部より突出すべく内装され、該金属栓は前記中
間絶縁物の下部に取付けられたプローブカード本
体の上面に配設された所定電極に押圧されて電気
的に接続し得るようにしたものであるので、ベー
スプリント基板とプローブカード本体との着脱が
容易になされ、ベースプリント基板及びプローブ
カード本体の各所定電極が確実に接続されて、し
かも安価に実施し得るなど本考案は優れた効果を
奏する。

なお、上述の実施例では中間絶縁体２を２層構
造としたが、これに限ることなく一層構造として
もよいことは勿論である。また挿通孔２３の内側
面上に適宜の良導性の金属を薄膜状に装着した状
態、即ち前記金属により無電解メツキを施した状
態にしてもよいことは勿論であつて、斯かる金属
膜を装着したことにより本案品にて高周波用の集
積回路等を検査する場合における前記スプリング
２４のインダクタンスによる影響を回避し得る。
更に、中間絶縁体２には、近時普及しつつある所
謂金属ベース銅張板を用いることとしてもよいの
は勿論であつて斯かる場合には、挿通孔２３の内
側面上に絶縁層を形成する必要がある。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施例を示すものであつて、第
１図は本案品の外観を略示する斜視図、第２図は
本案品の構造を略示する側断面図である。 １……ベースプリント基板、１１……基板本
体、１２……スルーホール、１３……銅箔、１４
……丸穴、２……中間絶縁体、２１……丸穴、２
２……ネジ穴、２３……挿通孔、２４……スプリ
ング、２５……金属栓、３……プローブカード本
体、３１……プローブ基板、３３……探針、４…
…ネジ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 平板状をなすベースプリント基板の下部にプ
   ローブカード本体が着脱自在に取付けられる構
   成のプローブカードにおいて、前記ベースプリ
   ント基板の下部には中間絶縁物が取付けられて
   おり、該中間絶縁物には前記プローブカード本
   体の少くとも下面に配された所定電極に対応さ
   せて、少くともその下端開口部を小口径に絞つ
   た挿通孔が、該中間絶縁物の厚味方向に開設さ
   れており、該挿通孔内にはその上端部が前記ベ
   ースプリント基板の所定電極に電気的に接続さ
   れたスプリングの下端部に電気的に接続させた
   金属栓が前記スプリングに付勢されて下端部が
   前記挿通孔の下端開口部より突出すべく内装さ
   れ、該金属栓は前記中間絶縁物の下部に取付け
   られたプローブカード本体の上面に配設された
   所定電極に押圧されて電気的に接続し得るよう
   にしたことを特徴とするプローブカード。 (2) 前記中間絶縁物は、内部が二層構造である実
   用新案登録請求の範囲第１項記載のプローブカ
   ード。 (3) 前記中間絶縁物は、内部が一層構造である実
   用新案登録請求の範囲第１項記載のプローブカ
   ード。 (4) 前記挿通孔の内側面に金属膜が被着されてい
   る実用新案登録請求の範囲第１項記載のプロー
   ブカード。