JP2011145200A - 電気的試験用プローブ及びその製造方法、並びに電気的接続装置及びその製造方法 - Google Patents
電気的試験用プローブ及びその製造方法、並びに電気的接続装置及びその製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 通電試験用プローブは、基板に結合されるフット部と、該フット部の下端部から横へ延びるアーム部と、該アーム部の先端部から下方へ突出する針先部とを含み、また前記基板上における該プローブの位置を特定する記号を、前記フット部、前記アーム部及び前記針先部から選択される少なくとも1つの箇所に有する。
【選択図】図1
Description
12 リジッド配線基板
16 ブロック
18 フレキシブル配線基板
18a 導電路
48 プローブ
48a フット部
48b アーム部
48c 針先部
48d 針先
48e 記号
150 記号に対応する印
Claims (6)
- 基板に結合されるフット部と、該フット部の下端部から横へ延びるアーム部と、該アーム部の先端部から下方へ突出する針先部とを含み、また前記基板上における該プローブの位置を特定する記号を、前記フット部、前記アーム部及び前記針先部から選択される少なくとも1つの箇所に有する、電気的試験用プローブ。
- 前記アーム部は角柱状の形状を有しており、前記記号は前記アーム部に形成されている、請求項1に記載のプローブ。
- 基板に結合されるフット部と、該フット部の下端部から横へ延びるアーム部と、該アーム部の先端部から下方へ突出する針先部とを含む電気的試験用プローブを製造する方法であって、
基台上に下地層を形成し、前記基板上における前記プローブの位置を特定する記号に対応しかつ対応する記号と鏡像関係を有する印を前記下地層に形成し、前記下地層の前記印を含む領域に金属材料を堆積させて、前記針先部、前記アーム部及び前記フット部を形成することを含む、電気的試験用プローブの製造方法。 - 基板と、該基板の下側に配置された複数のプローブとを含み、
各プローブは、前記基板に上端部において結合されたフット部と、該フット部の下端部から横へ延びるアーム部と、該アーム部の先端部から下方へ突出する針先部とを含み、また前記基板上における該プローブの一を特定する記号を、前記フット部、前記アーム部及び前記針先部から選択される少なくとも1つの箇所に有する、電気的接続装置。 - 前記アーム部は角柱状の形状を有しており、前記記号は前記アーム部の下面に形成されている、請求項4に記載の電気的接続装置。
- 基板に結合されるフット部と、該フット部の下端部から横へ延びるアーム部と、該アーム部の先端部から下方へ突出する針先部とを含む複数のプローブを備える電気的接続装置を製造する方法であって、
基台上に下地層を形成し、
前記基板上における前記プローブの位置を特定する記号に対応しかつ対応する記号と鏡像関係を有する印を前記下地層に形成し、
前記下地層の前記印を含む領域に金属材料を堆積させて、前記針先部、前記アーム部及び前記フット部を形成し、
前記フット部の上端が続く配線部を有するシート状の前記基板を形成することを含む、電気的接続装置の製造方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021256133A1 (ja) * | 2020-06-17 | 2021-12-23 | 株式会社ヨコオ | プローブカード |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5847663B2 (ja) * | 2012-08-01 | 2016-01-27 | 日本電子材料株式会社 | プローブカード用ガイド板の製造方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03109168U (ja) * | 1990-02-22 | 1991-11-08 | ||
JPH11295343A (ja) * | 1998-04-09 | 1999-10-29 | Mitsubishi Materials Corp | コンタクトプローブおよびその製造方法 |
JP2000241506A (ja) * | 1999-02-19 | 2000-09-08 | Sony Corp | プリント基板の検査装置 |
JP2004170189A (ja) * | 2002-11-19 | 2004-06-17 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ及びこれを用いた電気的接続装置 |
JP2006010668A (ja) * | 2004-06-24 | 2006-01-12 | Sae Han Micro Tech Co Ltd | 半導体装置検査用プローブピン |
JP2007333680A (ja) * | 2006-06-19 | 2007-12-27 | Tokyo Electron Ltd | プローブカード |
JP2008051501A (ja) * | 2006-08-22 | 2008-03-06 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ組立体 |
JP2008151573A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Micronics Japan Co Ltd | 電気的接続装置およびその製造方法 |
JP2009281886A (ja) * | 2008-05-22 | 2009-12-03 | Toshiba Corp | プローブカード |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5160779A (en) * | 1989-11-30 | 1992-11-03 | Hoya Corporation | Microprobe provided circuit substrate and method for producing the same |
JP3103959B2 (ja) * | 1993-08-18 | 2000-10-30 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置 |
JP3838381B2 (ja) * | 1995-11-22 | 2006-10-25 | 株式会社アドバンテスト | プローブカード |
JP3123483B2 (ja) * | 1997-10-28 | 2001-01-09 | 日本電気株式会社 | プローブカード及びプローブカード形成方法 |
JP2003215161A (ja) * | 2002-01-22 | 2003-07-30 | Tokyo Electron Ltd | プローブ、プローブの製造方法、プローブの取付方法、プローブの取付装置及びプローブカード |
US7342402B2 (en) * | 2003-04-10 | 2008-03-11 | Formfactor, Inc. | Method of probing a device using captured image of probe structure in which probe tips comprise alignment features |
JP4187718B2 (ja) * | 2004-12-20 | 2008-11-26 | 松下電器産業株式会社 | プローブカード |
US7602200B2 (en) * | 2006-03-15 | 2009-10-13 | Kabushiki Kaisha Nihon Micronics | Probe for electrical test comprising a positioning mark and probe assembly |
JP5147227B2 (ja) * | 2006-12-19 | 2013-02-20 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接続装置の使用方法 |
JP2008203036A (ja) * | 2007-02-19 | 2008-09-04 | Micronics Japan Co Ltd | 電気的接続装置 |
-
2010
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-
2011
- 2011-01-04 US US12/984,585 patent/US20110175635A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03109168U (ja) * | 1990-02-22 | 1991-11-08 | ||
JPH11295343A (ja) * | 1998-04-09 | 1999-10-29 | Mitsubishi Materials Corp | コンタクトプローブおよびその製造方法 |
JP2000241506A (ja) * | 1999-02-19 | 2000-09-08 | Sony Corp | プリント基板の検査装置 |
JP2004170189A (ja) * | 2002-11-19 | 2004-06-17 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ及びこれを用いた電気的接続装置 |
JP2006010668A (ja) * | 2004-06-24 | 2006-01-12 | Sae Han Micro Tech Co Ltd | 半導体装置検査用プローブピン |
JP2007333680A (ja) * | 2006-06-19 | 2007-12-27 | Tokyo Electron Ltd | プローブカード |
JP2008051501A (ja) * | 2006-08-22 | 2008-03-06 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ組立体 |
JP2008151573A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Micronics Japan Co Ltd | 電気的接続装置およびその製造方法 |
JP2009281886A (ja) * | 2008-05-22 | 2009-12-03 | Toshiba Corp | プローブカード |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021256133A1 (ja) * | 2020-06-17 | 2021-12-23 | 株式会社ヨコオ | プローブカード |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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JP5530191B2 (ja) | 2014-06-25 |
US20110175635A1 (en) | 2011-07-21 |
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