JP5847663B2 - プローブカード用ガイド板の製造方法 - Google Patents
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Description
と同一又は近い熱膨張係数を有する金属で構成されている。よって、プローブカードが高温環境下で半導体ウエハ又は半導体デバイスの電気的諸特性の測定に使用されたとしても、プローブカード用ガイド板100a、100bが半導体ウエハ又は半導体デバイスと同じ又は同様に熱膨張する。よって、プローブカード用ガイド板100a、100bが半導体ウエハ又は半導体デバイスと大きく異なる熱膨張をすることにより、プローブカード用ガイド板100aの貫通孔111aにガイドされたプローブ200の第2端部220と、半導体ウエハ又は半導体デバイスの電極との位置が相違し、プローブ200と半導体ウエハ又は半導体デバイスの電極とが接触不良になるのを抑制することができる。また、金属ベース110’をグランド接続することにより、ノイズ除去が可能になる。
110、110a、110b・・・金属ベース
111、111a、111b・・貫通孔
120、120a、120b・・・第1絶縁層
130、130a、130b・・・金属層
100’・・・・・・・・・・・・・プローブカード用ガイド板
110’・・・・・・・・・・・・金属ベース
111’・・・・・・・・・・・貫通孔
120’・・・・・・・・・・・・第1絶縁層
130’・・・・・・・・・・・・第2絶縁層
200・・・・・・・・・・・・・・プローブ
210・・・・・・・・・・・・・第1端部
220・・・・・・・・・・・・・第2端部
230・・・・・・・・・・・・・弾性変形部
300・・・・・・・・・・・・・・スペーサ
400・・・・・・・・・・・・・・配線基板
500・・・・・・・・・・・・・・中間基板
600・・・・・・・・・・・・・・スプリングプローブ
700・・・・・・・・・・・・・・メイン基板
800・・・・・・・・・・・・・・補強板
Claims (2)
- 複数の銅のポストの外面上に第1めっき層を各々形成し、
前記第1めっき層上に絶縁膜を各々形成し、
前記ポスト、前記第1めっき層及び前記絶縁膜が埋め込まれるように第2めっき層を形成し、
前記ポストを除去して前記第2めっき層の前記ポストが除去された部分に貫通孔を各々形成するプローブカード用ガイド板の製造方法。 - 請求項1記載のプローブカード用ガイド板の製造方法において、
前記ポストは銅の犠牲層上に設けられており、
前記第1めっき層の成形は、前記ポストに各々電気めっきを行い、前記ポストの外面上に前記第1めっき層を各々形成させることを含み、
前記絶縁膜の形成は、前記第1めっき層に各々負電圧を印加し、当該第1めっき層上に各々絶縁膜を電着させることを含み、
前記第2めっき層の形成は、前記犠牲層に電気めっきを行い、当該犠牲層上に第2めっき層を形成して、当該第2めっき層内に前記ポスト、前記第1めっき層及び前記絶縁膜を埋め込むことを含み、
前記ポストの除去と共に、前記犠牲層を除去するプローブカード用ガイド板の製造方法。
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