JPH0363932U - - Google Patents

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JPH0363932U
JPH0363932U JP15626287U JP15626287U JPH0363932U JP H0363932 U JPH0363932 U JP H0363932U JP 15626287 U JP15626287 U JP 15626287U JP 15626287 U JP15626287 U JP 15626287U JP H0363932 U JPH0363932 U JP H0363932U
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coaxial cable
coated
grounding metal
flexible coaxial
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【図面の簡単な説明】
第１図ａ乃至ｄは本考案の実施例１の構造説明
図、第２図は本考案のプローブ基板により超高速
集積回路を測定した結果、第３図は本考案の実施
例２の構造図、第４図は従来の高周波プローブ基
板を用いたＬＳＩウエハプロービング装置の構成
概要図である。 １……金属ニードル、２……誘電体部品、３…
…金属パイプ、４……可撓性同軸ケーブル、５…
…接地用金属、６……半田、７……コネクタ、８
……穴、９……基板、１０……接着材、１１……
電極パツド、１２……ＬＳＩウエハ、１３……ウ
エハ乗せ台、１４……高周波プローブ基板、１５
……素子、１６……配線、１７……中心導体、１
８……外導体、１９……ケーブル外被、１００…
…同軸ケーブル、２００……基板、３００……コ
ネクタ、４００……ケーブル固定部、５００……
ＬＳＩウエハ、６００……ウエハ乗せ台、７００
……高周波プローブ基板。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 一方の端部の中心導体１７を金属ニードル
    １の一端に接続し、他方の端部の中心導体１７お
    よび外導体１８をコネクタ７に接続した単数また
    は複数の可撓性同軸ケーブル４と、 接地用金属５を一方の面にコーテイングし、前
    記接地用金属５をコーテイングした一方の面の端
    部に前記金属ニードル１を誘電体部品２により固
    定した基板９と を備え、 前記金属ニードル１の解放端は、前記基板９か
    ら離間する方向に屈曲し、 前記可撓性同軸ケーブル４の外導体の一部は、
    前記基板９にコーテイングした接地用金属５に電
    気的かつ機械的に接続固定し、かつ 前記可撓性同軸ケーブル４は、前記基板９の接
    地用金属５をコーテイングした一方の面および接
    地用金属５をコーテイングしない他方の面の両側
    に存在する位置に配置するとともに、 前記可撓性同軸ケーブル４に接続した前記コネ
    クタ７は前記基板９の接地用金属５をコーテイン
    グしない他方の面側に存在する構造を有してなる ことを特徴とする超高速プローブ基板。 (2) 前記可撓性同軸ケーブル４は、前記基板９
    に設けた前記可撓性同軸ケーブル４の外径より大
    なる径の穴８を通して前記基板９の接地用金属５
    をコーテイングした一方の面および接地用金属５
    をコーテイングしない他方の面の両側に存在する
    位置に配置してなることを特徴とする実用新案登
    録請求の範囲第１項記載の超高速プローブ基板。 (3) 前記可撓性同軸ケーブル４は、前記基板９
    の端部壁面に沿い湾曲して前記基板９の接地用金
    属５をコーテイングした一方の面および接地用金
    属５をコーテイングしない他方の面の両側に存在
    する位置に配置してなることを特徴とする実用新
    案登録請求の範囲第１項記載の超高速プローブ基
    板。
JP1987156262U 1987-10-13 1987-10-13 超高速プローブ基板 Expired - Lifetime JPH0739231Y2 (ja)

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JPH0363932U true JPH0363932U (ja) 1991-06-21
JPH0739231Y2 JPH0739231Y2 (ja) 1995-09-06

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JP2004309257A (ja) * 2003-04-04 2004-11-04 Micronics Japan Co Ltd プローブカード
JP2007222229A (ja) * 2006-02-21 2007-09-06 Kazuo Kajiwara マッサージ器
JP2015087203A (ja) * 2013-10-30 2015-05-07 日本電子材料株式会社 同軸プローブおよびこれを備えたプローブカード

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JP2008045950A (ja) * 2006-08-11 2008-02-28 Japan Electronic Materials Corp プローブカード

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JPS60139276U (ja) * 1984-02-24 1985-09-14 日本電子材料株式会社 プロ−ブカ−ド

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