JPH0743657Y2 - 測定器用プローブ - Google Patents
測定器用プローブInfo
- Publication number
- JPH0743657Y2 JPH0743657Y2 JP1991011984U JP1198491U JPH0743657Y2 JP H0743657 Y2 JPH0743657 Y2 JP H0743657Y2 JP 1991011984 U JP1991011984 U JP 1991011984U JP 1198491 U JP1198491 U JP 1198491U JP H0743657 Y2 JPH0743657 Y2 JP H0743657Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- cord
- terminal
- measuring instrument
- coaxial cable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は測定器用プローブに関す
るものである。より詳細には超高周波用トランジスタ
（ＥＣＬ）等を用いた電気回路の電気的特性を測定する
測定器用プローブに関するものである。
るものである。より詳細には超高周波用トランジスタ
（ＥＣＬ）等を用いた電気回路の電気的特性を測定する
測定器用プローブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】通常、被測定物の電気的測定は、プロー
ブコードの先に取り付けられたプローブを用いて行われ
る。プローブには、その先端に抵抗およびコンデンサを
取り付けた抵抗減衰型プローブまたはプローブの本体中
にトランジスタを組み込んだカソードフォロワ型プロー
ブが用いられている。図３は従来の超高周波測定に用い
られるカソードフォロワ型プローブの一例である。図３
において１は測定器とプローブとを接続するための接続
端子、２はプローブへの電源供給を行うための結合部、
３は測定器とプローブとを接続するプローブコード、４
はインピーダンス変換を行うプローブ本体、５はアース
コードを引き出す接合部、６はプローブ端子８を取り付
ける支持部、７は被測定系への接地を行うアースコー
ド、８は被測定物から信号を取り出すプローブ端子、９
はアースコードを接地するためのアースクリップであ
る。超高周波トランジスタ、超高周波半導体ＩＣ等にお
いては回路インピーダンスは通常５０Ωが用いられるた
めに、カソードフォロワ型プローブにおいてはプローブ
本体４中で電圧比を１／１０に変換すると共にＦＥＴト
ランジスタ等を用いたカソードフォロワでインピーダン
スをプローブコード３のインピーダンスである５０Ωに
整合させている。このようにプローブ本体４中にＦＥＴ
トランジスタを組み込むためにプローブ本体４が大型に
なりプローブ端子８、アースコード７等を短くすること
ができない。
ブコードの先に取り付けられたプローブを用いて行われ
る。プローブには、その先端に抵抗およびコンデンサを
取り付けた抵抗減衰型プローブまたはプローブの本体中
にトランジスタを組み込んだカソードフォロワ型プロー
ブが用いられている。図３は従来の超高周波測定に用い
られるカソードフォロワ型プローブの一例である。図３
において１は測定器とプローブとを接続するための接続
端子、２はプローブへの電源供給を行うための結合部、
３は測定器とプローブとを接続するプローブコード、４
はインピーダンス変換を行うプローブ本体、５はアース
コードを引き出す接合部、６はプローブ端子８を取り付
ける支持部、７は被測定系への接地を行うアースコー
ド、８は被測定物から信号を取り出すプローブ端子、９
はアースコードを接地するためのアースクリップであ
る。超高周波トランジスタ、超高周波半導体ＩＣ等にお
いては回路インピーダンスは通常５０Ωが用いられるた
めに、カソードフォロワ型プローブにおいてはプローブ
本体４中で電圧比を１／１０に変換すると共にＦＥＴト
ランジスタ等を用いたカソードフォロワでインピーダン
スをプローブコード３のインピーダンスである５０Ωに
整合させている。このようにプローブ本体４中にＦＥＴ
トランジスタを組み込むためにプローブ本体４が大型に
なりプローブ端子８、アースコード７等を短くすること
ができない。
【０００３】図４は図３に示す従来の超高周波用プロー
ブを用いて基板に取り付けられた超高周波半導体ＩＣを
測定している状況を示す図である。基板２０上に取り付
けられた半導体ＩＣ２１の端子２２にプローブ端子８を
接触させ、アースコード７は基板２０の端部をアースク
リップ９でつかみ、半導体ＩＣ２１の電気的特性を測定
する。図においてプローブ本体４のプローブ端子８を端
子２２に押圧し、基板２０をアースクリップ９ではさみ
被測定物である半導体ＩＣ２１から電気信号を取り出
す。この電気信号はプローブコード３、このプローブコ
ード３の終端に取り付けられた結合部２および接続端子
１を経由して測定器２３に送出される。
ブを用いて基板に取り付けられた超高周波半導体ＩＣを
測定している状況を示す図である。基板２０上に取り付
けられた半導体ＩＣ２１の端子２２にプローブ端子８を
接触させ、アースコード７は基板２０の端部をアースク
リップ９でつかみ、半導体ＩＣ２１の電気的特性を測定
する。図においてプローブ本体４のプローブ端子８を端
子２２に押圧し、基板２０をアースクリップ９ではさみ
被測定物である半導体ＩＣ２１から電気信号を取り出
す。この電気信号はプローブコード３、このプローブコ
ード３の終端に取り付けられた結合部２および接続端子
１を経由して測定器２３に送出される。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
超高周波用プローブにおいてはプローブ本体の支持部、
プローブ端子の形状が大きなものであったため必然的に
アースコードの長さが長くなり、このために測定系のイ
ンダクタンスが大きくなりプローブコードおよびアース
コードを動かすと同軸コードの反射波によるリンギング
によって測定波形が変わる欠点があった。また、従来の
超高周波用プローブにおいてはプローブ本体中にＦＥＴ
トランジスタ等を設けインピーダンス変換をしていたた
めにプローブ本体の形状が必然的に大きなものになって
た。さらに、従来の超高周波用プローブにおいてはプロ
ーブ本体中のＦＥＴトランジスタに測定器から電源を供
給する必要があったために、プローブコード中に電源供
給用の電線が必要であった。最近の超高周波半導体ＩＣ
は非常に小型になっており、従来型のプローブの先端を
半導体ＩＣの複数の端子中の１端子のみに接触させるた
めにはプローブ全体を小型にする必要がある。従来の超
高周波用プローブには超小型のものがなかったため、非
常に小さい半導体ＩＣの任意の１端子にプローブの先端
を接触させることは困難であった。本考案は超小型の電
気回路にプローブの先端およびプローブのアースを接触
させまたは直接ハンダ付けし固定することにより、測定
系のインダクタンスを非常に小さくでき、被測定物の波
形を変形させることなく正確に測定できる小型軽量の測
定器用プローブを提供する。
超高周波用プローブにおいてはプローブ本体の支持部、
プローブ端子の形状が大きなものであったため必然的に
アースコードの長さが長くなり、このために測定系のイ
ンダクタンスが大きくなりプローブコードおよびアース
コードを動かすと同軸コードの反射波によるリンギング
によって測定波形が変わる欠点があった。また、従来の
超高周波用プローブにおいてはプローブ本体中にＦＥＴ
トランジスタ等を設けインピーダンス変換をしていたた
めにプローブ本体の形状が必然的に大きなものになって
た。さらに、従来の超高周波用プローブにおいてはプロ
ーブ本体中のＦＥＴトランジスタに測定器から電源を供
給する必要があったために、プローブコード中に電源供
給用の電線が必要であった。最近の超高周波半導体ＩＣ
は非常に小型になっており、従来型のプローブの先端を
半導体ＩＣの複数の端子中の１端子のみに接触させるた
めにはプローブ全体を小型にする必要がある。従来の超
高周波用プローブには超小型のものがなかったため、非
常に小さい半導体ＩＣの任意の１端子にプローブの先端
を接触させることは困難であった。本考案は超小型の電
気回路にプローブの先端およびプローブのアースを接触
させまたは直接ハンダ付けし固定することにより、測定
系のインダクタンスを非常に小さくでき、被測定物の波
形を変形させることなく正確に測定できる小型軽量の測
定器用プローブを提供する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本考案の測定器用プロー
ブは、同軸ケーブルの中心導体に一端が接続された抵抗
と、前記抵抗の他端に設けられたプローブ端子と、同軸
ケーブルの外周導体に設けられたアースコードと、前記
抵抗と前記アースコードの一部を覆う被覆とから構成さ
れる。
ブは、同軸ケーブルの中心導体に一端が接続された抵抗
と、前記抵抗の他端に設けられたプローブ端子と、同軸
ケーブルの外周導体に設けられたアースコードと、前記
抵抗と前記アースコードの一部を覆う被覆とから構成さ
れる。
【０００６】
【作用】本考案においては、プローブのアースコードを
基板にハンダ付けし、プローブ端子を半導体ＩＣの端子
に接触またはハンダ付けすることによって被測定物の波
形を正確に測定できる。
基板にハンダ付けし、プローブ端子を半導体ＩＣの端子
に接触またはハンダ付けすることによって被測定物の波
形を正確に測定できる。
【０００７】
【実施例】図１は本考案の一実施例のプローブを示す図
である。図１（Ａ）はプローブの先端に抵抗を取り付け
た抵抗減衰型プローブ、接続端子１およびプローブコー
ド３を含む全体形状を示す。本考案の測定器用プローブ
は従来のプローブと異なり電源を供給する必要がないた
め、プローブからプローブコードを経由してＳＭＡのよ
うな小型の接続端子１を用いて直接測定器２３と接続す
ることができる。このため従来用いていた電源供給用の
結合部２は不要となる。図１（Ａ）において、１０は本
考案のプローブを示し、非常に小型で軽量しかも測定系
のインダクタンスを小さくできるため、被測定物の電気
的波形を正確に測定することができるものである。７は
被測定系への接地を行うアースコード、８は被測定物か
ら信号を取り出すプローブ端子である。
である。図１（Ａ）はプローブの先端に抵抗を取り付け
た抵抗減衰型プローブ、接続端子１およびプローブコー
ド３を含む全体形状を示す。本考案の測定器用プローブ
は従来のプローブと異なり電源を供給する必要がないた
め、プローブからプローブコードを経由してＳＭＡのよ
うな小型の接続端子１を用いて直接測定器２３と接続す
ることができる。このため従来用いていた電源供給用の
結合部２は不要となる。図１（Ａ）において、１０は本
考案のプローブを示し、非常に小型で軽量しかも測定系
のインダクタンスを小さくできるため、被測定物の電気
的波形を正確に測定することができるものである。７は
被測定系への接地を行うアースコード、８は被測定物か
ら信号を取り出すプローブ端子である。
【０００８】図１（Ｂ）は図１中のプローブ１０の詳細
な構造を示す図である。図１（Ｂ）において、１１は同
軸ケーブル心線、１２は同軸ケーブル絶縁部、１３は同
軸ケーブル外周導体、１４は同軸ケーブル外被、１５は
金属皮膜抵抗等の超高周波用の抵抗、１６はプローブ被
覆である。同軸ケーブル心線１１の先端に抵抗１５の一
端の線をハンダ付けまたは溶接等で接続し、この抵抗１
５の他端の線をプローブ端子８とする。もちろん抵抗１
５の他端の線に他の線を接続してプローブ端子８として
もよい。プローブコード３および測定器のインピーダン
スは５０Ωであるから、プローブの電圧比を１／１０に
するためには抵抗１５の抵抗値は４５０Ωとする。もち
ろん、抵抗１５の抵抗値は４５０Ωに限定されるわけで
はなく、４５０Ω以外の抵抗値を選択してもよい。その
場合は電圧比は１／１０にならないことはもちろんであ
る。なお１００ＭＨｚ程度以上の超高周波では抵抗１５
の抵抗値は５００Ω前後で使用するのが一般的である。
測定系のインピーダンスが５０Ωであるので抵抗１５の
値が余り小さいと測定系の影響が被測定物に及び、この
値が余り大きいと電圧比が大きくなり測定器に入力する
信号の大きさが小さくなり測定が困難になるからであ
る。
な構造を示す図である。図１（Ｂ）において、１１は同
軸ケーブル心線、１２は同軸ケーブル絶縁部、１３は同
軸ケーブル外周導体、１４は同軸ケーブル外被、１５は
金属皮膜抵抗等の超高周波用の抵抗、１６はプローブ被
覆である。同軸ケーブル心線１１の先端に抵抗１５の一
端の線をハンダ付けまたは溶接等で接続し、この抵抗１
５の他端の線をプローブ端子８とする。もちろん抵抗１
５の他端の線に他の線を接続してプローブ端子８として
もよい。プローブコード３および測定器のインピーダン
スは５０Ωであるから、プローブの電圧比を１／１０に
するためには抵抗１５の抵抗値は４５０Ωとする。もち
ろん、抵抗１５の抵抗値は４５０Ωに限定されるわけで
はなく、４５０Ω以外の抵抗値を選択してもよい。その
場合は電圧比は１／１０にならないことはもちろんであ
る。なお１００ＭＨｚ程度以上の超高周波では抵抗１５
の抵抗値は５００Ω前後で使用するのが一般的である。
測定系のインピーダンスが５０Ωであるので抵抗１５の
値が余り小さいと測定系の影響が被測定物に及び、この
値が余り大きいと電圧比が大きくなり測定器に入力する
信号の大きさが小さくなり測定が困難になるからであ
る。
【０００９】アースコード７は、同軸ケーブル外周導体
１３を延長して先端を曲げて用いる。この場合、同軸ケ
ーブル外周導体１３に他の線を接続してアースコード７
としてもよい。プローブ被覆１６は抵抗１５とアースコ
ード７とを固定しプローブ１０の機械的強度を強くする
とともに測定系のインダクタンスが変化するのを防止す
る。プローブ被覆１６はビニールチューブを用いて同軸
ケーブル外被１４、抵抗１５およびアースコード７全体
を覆って構成される。また、プローブ被覆１６は同軸ケ
ーブル外被１４、抵抗１５およびアースコード７全体を
レジン等の硬化材で覆って固定するように構成すること
もできる。このような構造によって、プローブ１０はプ
ローブ端子８とアースコード７がプローブ被覆１６から
１ｃｍ程度突出するように構成される。上記のように構
成することによって、本考案のプローブ１０はプローブ
端子８、アースコード７を非常に短くすることができ、
かつプローブ端子８を超高周波半導体ＩＣの１端子のみ
に接触させまたはハンダ付けすることができるようにな
った。
１３を延長して先端を曲げて用いる。この場合、同軸ケ
ーブル外周導体１３に他の線を接続してアースコード７
としてもよい。プローブ被覆１６は抵抗１５とアースコ
ード７とを固定しプローブ１０の機械的強度を強くする
とともに測定系のインダクタンスが変化するのを防止す
る。プローブ被覆１６はビニールチューブを用いて同軸
ケーブル外被１４、抵抗１５およびアースコード７全体
を覆って構成される。また、プローブ被覆１６は同軸ケ
ーブル外被１４、抵抗１５およびアースコード７全体を
レジン等の硬化材で覆って固定するように構成すること
もできる。このような構造によって、プローブ１０はプ
ローブ端子８とアースコード７がプローブ被覆１６から
１ｃｍ程度突出するように構成される。上記のように構
成することによって、本考案のプローブ１０はプローブ
端子８、アースコード７を非常に短くすることができ、
かつプローブ端子８を超高周波半導体ＩＣの１端子のみ
に接触させまたはハンダ付けすることができるようにな
った。
【００１０】図２は本考案の一実施例である図１のプロ
ーブを用いて基板に実装されたＩＣ素子の電気的特性を
測定する状況を示す図である。プローブ端子８をＥＣＬ
等の超高周波半導体ＩＣの１端子のみに押圧またはハン
ダ付けして接触させ、アースコード７は半導体ＩＣ２１
の近辺の基板２０にハンダ付けする。本考案にかかるプ
ローブを図２のように用いることによってプローブ端子
８とアースコード７のインダクタンスが非常に小さくで
きるようになった。さらに、プローブ端子８とアースコ
ード７とをハンダ付けすれば測定系が固定されプローブ
コード３を動かしても測定波形のゆらぎがなくなる。
ーブを用いて基板に実装されたＩＣ素子の電気的特性を
測定する状況を示す図である。プローブ端子８をＥＣＬ
等の超高周波半導体ＩＣの１端子のみに押圧またはハン
ダ付けして接触させ、アースコード７は半導体ＩＣ２１
の近辺の基板２０にハンダ付けする。本考案にかかるプ
ローブを図２のように用いることによってプローブ端子
８とアースコード７のインダクタンスが非常に小さくで
きるようになった。さらに、プローブ端子８とアースコ
ード７とをハンダ付けすれば測定系が固定されプローブ
コード３を動かしても測定波形のゆらぎがなくなる。
【００１１】
【考案の効果】以上説明したように、本考案によれば、
プローブ端子とアースコードのインダクタンスが非常に
小さくなったために、超高周波における測定波形を変形
なく正確に測定できる効果がある。また、プローブが小
型軽量になったために、超小型の半導体を容易に測定で
きるようになった。
プローブ端子とアースコードのインダクタンスが非常に
小さくなったために、超高周波における測定波形を変形
なく正確に測定できる効果がある。また、プローブが小
型軽量になったために、超小型の半導体を容易に測定で
きるようになった。
【図１】本考案の一実施例を示す図である。（Ａ）はプ
ローブ、プローブコード、接続端子を含む全体を示す図
である。（Ｂ）は本考案の一実施例であるプローブの詳
細構造を示す図である。
ローブ、プローブコード、接続端子を含む全体を示す図
である。（Ｂ）は本考案の一実施例であるプローブの詳
細構造を示す図である。
【図２】本考案の一実施例である図１のプローブを用い
て、基板に実装された半導体ＩＣ素子の電気的特性を測
定している状況を示す図である。
て、基板に実装された半導体ＩＣ素子の電気的特性を測
定している状況を示す図である。
【図３】従来の超高周波測定用プローブの一例である。
【図４】図３に示す従来の超高周波測定用プローブを用
いて、基板に実装された半導体ＩＣ素子の電気的特性を
測定している状況を示す図である。
いて、基板に実装された半導体ＩＣ素子の電気的特性を
測定している状況を示す図である。
７ アースコード ８ プローブ端子 １０ プローブ １１ 同軸ケーブル心線 １２ 同軸ケーブル絶縁部 １３ 同軸ケーブル外周導体 １４ 同軸ケーブル外覆 １５ 抵抗 １６ プローブ被覆
Claims (1)
- 【請求項１】 同軸ケーブルの中心導体に一端が接続さ
れ、被測定点のインピーダンスよりも抵抗値が５倍以上
２０倍以下である抵抗と、 前記抵抗の他端に設けられたプローブ端子と、 同軸ケーブルの外周導体に設けられ、被測定点近傍のア
ース点にハンダ付けによってアースされるアースコード
と、 前記抵抗と前記アースコードの一部を覆う被覆と、 からなることを特徴とする測定器用プローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991011984U JPH0743657Y2 (ja) | 1991-02-13 | 1991-02-13 | 測定器用プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991011984U JPH0743657Y2 (ja) | 1991-02-13 | 1991-02-13 | 測定器用プローブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0687876U JPH0687876U (ja) | 1994-12-22 |
| JPH0743657Y2 true JPH0743657Y2 (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=11792864
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991011984U Expired - Lifetime JPH0743657Y2 (ja) | 1991-02-13 | 1991-02-13 | 測定器用プローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0743657Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001255339A (ja) * | 2000-03-14 | 2001-09-21 | Hioki Ee Corp | 測定用プローブおよび測定装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5486269A (en) * | 1977-12-22 | 1979-07-09 | Fujitsu Ltd | Semiconductor device |
| JPH02109262U (ja) * | 1989-02-16 | 1990-08-31 |
-
1991
- 1991-02-13 JP JP1991011984U patent/JPH0743657Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0687876U (ja) | 1994-12-22 |
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