JP6120479B2 - プローブカード及び検査装置 - Google Patents
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Description
上述のような問題に鑑みて、検査に必要な光を容易に被検査体に照射させる手段の構成を簡素化させることができるプローブカード及び検査装置が望まれている。
以下、本発明によるプローブカード及び検査装置の第1の実施形態を、図面を参照しながら詳述する。
図1は、第1の実施形態に係る検査装置1の概略断面図である。
第1の実施形態によれば、以下のような効果を奏することができる。
以下、本発明によるプローブカード及び検査装置の第2の実施形態を、図面を参照しながら詳述する。
第1の実施形態のプローブカード10のプローブヘッド30では、1つの半導体装置W1と接続するための構成(以下、「プローブモジュール」と呼ぶ)を備えていた。例えば、第1の実施形態のプローブヘッド30では、1つの照明部32と、20本のプローブピン11を用いて、1つの半導体装置W1と接続することができる。すなわち、第1の実施形態のプローブカード10(プローブヘッド30)では、1つの照明部32と、20本のプローブピン11を用いて、1つの半導体装置W1と接続する構成により、1つのプローブモジュールを構成していることになる。
第2の実施形態によれば、以下のような効果を奏することができる。
以下、本発明によるプローブカード及び検査装置の第3の実施形態を、図面を参照しながら詳述する。
本発明は、上記の各実施形態に限定されるものではなく、以下に例示するような変形実施形態も挙げることができる。
Claims (6)
- 受光部と電極を備える被検査体と電気的に接続するプローブカードにおいて、
上記被検査体と電気的に接続した際に上記被検査体に押圧され縮む、垂直型の接触子と、
上記接触子と電気的に接続する基板と、
上記基板で、上記接触子と同じ板面上に配置された、上記被検査体に向けて光を照射することが可能な光源を備える照明部と、
上記接触子が縮む分を考慮して、上記照明部から発光された光を上記被検査体の受光面の所定の領域に所定の照度で当てるように調整された拡散板と
を有することを特徴とするプローブカード。 - 上記接触子及び照明部はプローブヘッドに搭載されており、
上記プローブヘッドが、上記基板の板面に付けられていること
を特徴とする請求項1に記載のプローブカード。 - 上記プローブヘッドは、上記照明部の上記光源の発光に伴って発生する熱を放熱する放熱部材を有することを特徴とする請求項2に記載のプローブカード。
- 上記接触子は、上記プローブヘッドのプローブヘッド本体に貫通しており、上記接触子は上記プローブヘッドから露出した一方の端で上記基板の板面に配置された電極と電気的に接続し、他方の端で上記被検査体と電気的に接続し、
上記プローブヘッド本体は、上記基板の板面との間には所定の間隔の隙間が形成される位置に配置されている
ことを特徴とする請求項3に記載のプローブカード。 - 上記拡散板は、上記照明部を収容する照明部収容孔の開口部に配置されており、
上記照明部収容孔の開口部の周囲に、上記被検査体に上記照明部から発光された光以外の光が当たらないように遮光する遮光カバーをさらに備える
ことを特徴とする請求項1に記載のプローブカード。 - 受光部と電極を備える被検査体とプローブカードを用いて電気的に接続して、上記被検査体に関する検査処理を行う検査装置において、
上記プローブカードとして請求項1〜5のいずれかに記載のプローブカードを適用したこと
を特徴とする検査装置。
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