JP2007150033A - 光デバイス検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブカードとレンズユニットを備える光デバイス用検査装置であって、上記プローブカードと上記レンズユニットは一体的に組み合わされ、上記プローブカードは垂直型プローブが設けられている。
【選択図】図3
Description
2 センサ領域
3 電極パッド
4 光デバイス用検査装置
5 プローブカード
6 レンズユニット
7 プローブ
8 メイン基板
9 リングブッシュ
10 サブ基板
11 補強板
12 ガイド板
13 ウエハ
14 光源装置
15 カンチレバー型プローブ
16 プローブカード
17 光学装置
18 検査装置
19 レンズユニット
20 ガイド板により遮られた光の領域
21 照射領域
Claims (3)
- プローブカードとレンズユニットを備える光デバイス用検査装置であって、上記プローブカードと上記レンズユニットは一体的に組み合わされ、上記プローブカードは垂直型プローブが設けられていることを特徴とする光デバイス用検査装置。
- 上記プローブカードが、メイン基板、リングブッシュによりメイン基板に固定されるサブ基板、メイン基板を補強する補強板、および上記プローブが挿入されているガイド板からなり、メイン基板および補強板に設けられた開口部に上記レンズユニットが一体的に組み合わされていることを特徴とする請求項1に記載の光デバイス検査装置。
- レンズユニットによって形成される照射領域が、上記ガイド板によって制限されることを特徴とする請求項2に記載の光デバイス検査装置。
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