JP4400184B2 - 照明補助装置 - Google Patents
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Description
L1=L …(4)
φ1=L/A …(5)
ところで、一般にこの光応答特性検査は、製造される固体撮像素子すべてについて実施される全数検査であるが、検査のスループット向上のため、1シークエンスで複数のチップを同時に検査を実施する場合がある。すなわち前述の拡散板11と開口絞り12による疑似光源を複数個ならべて配置し、複数チップを一度に照明し、同時に電荷蓄積させることで複数チップ同時検査を実施し、全体の照射時間および搬送時間などの処理に必要な時間を短縮している。
後に、発明を実施するための最良の形態の欄において図を用いて説明するように、このような条件の場合、所定の照明領域を照明するための光は、固定絞りによって蹴られることなく当該照明領域を照明することができ、かつ、当該照明領域に隣接する照明領域を照明するための光は、完全に固定絞りによって遮蔽される。よって、当該照明領域は、確実に所定の口径比と定められた瞳距離で照明される。
φ2>0.17L2+3 …(7)
φ2<0.68L2−3 …(8)
φ2<−1.02L2+22.6 …(9)
となり、例えばφ2=6.4[mm]の開口を有する固定絞りを、L2=15[mm]の位置に配置することで、本発明の目的を満たす照明を実現することが可能となる。
φ2>0.05L2+5 …(11)
φ2<1.13L2−5 …(12)
φ2>−1.23L2+18.6 …(13)
となり、例えばφ2=5.9[mm]、L2=10[mm]となる固定絞りを配置することで、本発明の目的を満たす照明を実現することが可能となる。このように斜めの位置関係にある2チップの同時検査についても、横並び同様に、本発明の目的を満たす照明を実現することが可能である。なお、第3の実施例においては、斜め2チップの同時検査について説明しているが、3チップ以上の同時検査を行う場合についても、第2の実施の形態で説明したものと同様に、2チップ隣から光束に対しての遮光対策を施すことで、同様に、隣り合わないチップを照明する照明光の影響をなくすことが可能である。
Claims (3)
- 照明装置と、当該照明装置から射出する光が照射する被検査試料との間の光路中に設置され、前記照明装置からの射出光を拡散する拡散板と、
前記光路中の前記拡散板の近傍に配置され、前記被検査試料上の複数の照明領域に対しそれぞれ所定の口径比となる光束にて照射する有効径を有する複数の開口からなる開口絞りと、
前記照明領域に入射する、当該照明領域に隣接する照明領域を照明する光を遮光する固定絞りとを備え、
前記開口絞りの開口が円形であると共に、前記固定絞りは、前記開口絞りと光軸を同じくする複数の円形の開口を有し、これら円形の開口の直径φ2が、以下の条件式(1)、(2)、(3)を同時に満たすとともに前記複数の開口からの拡散光は屈折作用を受けることなく前記複数の照明領域まで到達することを特徴とする照明補助装置。
- 前記照明領域に入射する、前記照明領域に隣接しない照明領域を照明する光を遮光する遮光手段を、さらに有することを特徴とする請求項1記載の照明補助装置。
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