JP5521005B2 - 検査装置 - Google Patents
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- 複数の方向から被検査対象に向け斜めに照射される光束の光源と、
前記光束の照射により前記被検査対象から反射する反射散乱光を導く光学系と、
導かれた前記反射散乱光を電気の検出信号に換える複数の光電セルが配列されている光電イメージセンサと、
前記光電イメージセンサを分割した複数の領域ごとに、それぞれに対応する信号補正部、A/D変換器および画像生成部から構成されるチャンネルをもつ検出信号伝送部と、
前記検出信号伝送部が出力する部分的な画像を合成して被検査対象表面の画像を作成する画像合成部とを備え、
前記合成された画像を処理することで被検査対象表面の欠陥あるいは異物の検査を行なう検査装置において、
前記検出信号伝送部は、前記複数の照射方向毎に設定された補正係数を使用して、前記光電セルからの検出信号を各チャンネル毎に定めた基準検出信号強度の基準目標値に近づけるように補正できる検出信号補正機能を有し、この検出信号補正機能は、前記検出信号の出力強度を前記複数の光電セルの配列方向に対し中央が最大で、両端が最小値になる二次曲線状の分布となるように補正することを特徴とする検査装置。 - 請求項1記載の検査装置において、
前記基準検出信号強度の基準目標値を外部より入手する外部入力手段を備えることを特徴とする検査装置。 - 請求項2記載の検査装置において、
前記光電イメージセンサは、座標上で一次元的または二次元的に前記光電セルが配列されていることを特徴とする検査装置。 - 請求項2記載の検査装置において、
基準検査対象検査より得る検出信号の強度と前記基準検出信号強度とを比べての前記基準目標値に近づける補正するための補正係数を算出する補正係数算出部と、
前記補正係数を格納する補正係数格納部と、を備え、
上記補正係数格納部の補正係数が前記検出信号補正機能に提供されることを特徴とする検査装置。 - 請求項4記載の検査装置において、
前記補正係数算出部は前記各チャンネル毎に前記補正係数を算出し、
前記各チャンネル毎の補正係数が補正係数格納部を格納されることを特徴とする検査装置。
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