JP2009222611A - 検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
検査対象からの散乱光を検出するような検査装置、例えば、斜方より照明し、上方で検出する検査装置においては、検出器で検出する検出光の強度分布が照明の照度分布や検出レンズの収差などの光学系のシェーディングの影響で均一ではなく、また正反射光ではなく散乱光を検出するため、検出光量を段階的に変化させたセンサ出力を取得することが困難であるため、イメージセンサ単体の出力(感度)ばらつきを補正することが困難である課題があった。
【解決手段】
検査装置とは別のシステムでイメージセンサに均一な光量分布の照明光を段階的に照明光量を変化させて入射し、データを取得することにより、検査装置上では生成できないイメージセンサ単体の感度ばらつき補正データが生成でき、イメージセンサの視野内での感度を均一に保つことができるものである。
【選択図】図1
Description
2,23 ビームエキスパンダー
3 対物レンズ
4 ステージ
5 試料
6 結像レンズ
7 イメージセンサ
8 センサ出力補正部
9 画像処理部
10 制御CPU
11 入力部
12 表示部
21 光源
22 NDフィルター
24 イメージセンサ
25 画像入力部
26−a,26−b 照明光
Claims (17)
- 一次元もしくは二次元のイメージセンサと、検査対象を照明する照明部を有し、検査対象を搭載したステージを走査するかもしくは前記イメージセンサを走査することにより、光学系を介して、検査対象からの散乱光を前記イメージセンサで検出して、画像信号を取得し、画像処理等により検査対象の欠陥等を検査する検査装置において、
前記イメージセンサ単体の出力ばらつきを補正する第1の補正部を有することを特徴とする検査装置。 - 一次元もしくは二次元のイメージセンサと、検査対象を照明する照明部を有し、検査対象を搭載したステージを走査するかもしくは前記イメージセンサを走査することにより、光学系を介して、前記イメージセンサにて画像信号を取得し、画像処理等により検査対象の欠陥等を検査する検査装置において、
前記光電イメージセンサ単体の出力ばらつきを補正する第1の補正部と、
前記光学系のシェーディングを補正する第2の補正部とを有することを特徴とする検査装置。 - 請求項1又は2において、
前記第1の補正部として、該検査装置とは別の補正データ取得システムにより前記イメージセンサの有効範囲全体に均一な照明を照射するか、もしくは、該イメージセンサの一部に均一な照明を照射し、該イメージセンサを移動させることで、分割して該イメージセンサの有効範囲全体を照射し、照明する照明光量を段階的に変化させて取得した複数の前記イメージセンサの出力値から補正データを生成することを特徴とする検査装置。 - 請求項3において、
前記検査装置で前記イメージセンサを動作させる電荷蓄積時間(ラインレート)で該イメージセンサを動作させて取得した該イメージセンサの出力値から補正データを生成することを特徴とする検査装置。 - 請求項2において、
前記第2の補正部として、前記イメージセンサのゲイン、もしくは、前記第1の補正部で生成した補正データのゲインを変更することで、任意の感度分布に光学系のシェーディングを補正することを特徴とする検査装置。 - 請求項1又は2において、
光学系のシェーディング形状から、照明光学系及び検出光学系の位置ずれ量を検知し、光学系の位置合わせを行うことを特徴とする検査装置。 - 請求項1乃至6のいずれかにおいて、
前記イメージセンサは時間遅延積分型(TDI)イメージセンサであることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1乃至6記載のいずれかにおいて、
前記イメージセンサは一次元のCCDラインセンサであることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1乃至6のいずれかにおいて、
前記イメージセンサは二次元のCCDエリアセンサであることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1乃至6のいずれかにおいて、
前記イメージセンサはイメージセンサの前段もしくは後段で電子増倍を行う電子増倍型センサであることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項7乃至10のいずれかにおいて、
前記イメージセンサはアンチブルーミング機能を有することを特徴とする欠陥検査装置。 - 検査対象を照明し、光学系を介して、検査対象からの散乱光をイメージセンサで検出して、検出信号を取得し、検査対象を検査する検査方法において、
前記イメージセンサ単体の出力ばらつきを補正する第1の補正ステップを有することを特徴とする検査方法。 - 検査対象を照明し、光学系を介して、イメージセンサにて検出信号を取得し、検査対象を検査する検査方法において、
前記イメージセンサ単体の出力ばらつきを補正する第1の補正ステップと、
前記光学系のシェーディングを補正する第2の補正ステップと、を有することを特徴とする検査方法。 - 請求項12又は13において、
前記第1の補正ステップとして、前記イメージセンサの有効範囲全体に均一な照明を照射するか、もしくは、該イメージセンサの一部に均一な照明を照射し、該イメージセンサを移動させることで、分割して該イメージセンサの有効範囲全体を照射し、照明する照明光量を段階的に変化させて取得した複数の前記イメージセンサの出力値から補正データを生成することを特徴とする検査方法。 - 請求項14において、
前記イメージセンサを動作させる電荷蓄積時間(ラインレート)で該イメージセンサを動作させて取得した該イメージセンサの出力値から補正データを生成することを特徴とする検査方法。 - 請求項13において、
前記第2の補正ステップとして、前記イメージセンサのゲイン、もしくは、前記第1の
補正ステップで生成した補正データのゲインを変更することで、任意の感度分布に光学系のシェーディングを補正することを特徴とする検査方法。 - 請求項13において、
さらに、光学系のシェーディング形状から、光学系の位置ずれ量を検知し、光学系の位置合わせを行うことを特徴とする検査方法。
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JP2008068662A JP2009222611A (ja) | 2008-03-18 | 2008-03-18 | 検査装置及び検査方法 |
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