JP2007040909A - 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 - Google Patents
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Abstract
暗視野照明・反射散乱光検出を備えた欠陥検査装置において、検出器の変更のみで検査装置の感度を向上させる方法を提供すること。
【解決手段】
一次元もしくは二次元の光電変換イメージセンサの前段もしくは後段に電子増倍手段を有する検出器を有し、照明光を検査対象の斜方より照明する照明手段と検査対象からの反射散乱光を斜方もしくは上方に配した検出器で受光する検出手段を有し、検査対象を搭載したステージを走査するかもしくは検出器を走査することにより光学的に画像を取得し、画像処理等により検査対象の欠陥等を検査する。
【選択図】図1
Description
TDIイメージセンサを使用することで、光電変換の量子効率を向上させ検出光量を増加させる方法などが提案されている。
105状態とし、イメージセンサである裏面照射型CCD(Charge Coupled Device)104を収納する。検出器12に入射する光子101は光電面102で電子103に変換される。電子103には電圧を印加することで加速し、裏面照射型CCDに打ち込む。このとき、二次電子が発生し、電荷が増幅される。増幅後の電荷は電圧に変換され、出力ピン107より出力される。ここで、イメージセンサは表面照射型CCDでも表面照射型TDIでも裏面照射型TDIでも良く、また、アンチブルーミング機能を有していても良く、更に、マルチタップ型であっても良い。同図(a)に示すセンサ構造は一般的にEBCCD
(Electron Bombarded Charge Coupled Device)と呼ばれるイメージセンサの構造であり、イメージセンサの前段に電子増倍手段を有する。EBCCDのゲイン特性は同図(b)に示すように印加電圧と電子増倍ゲインとの間には比例関係がある。図3は、本発明の欠陥検査装置での検出器の構成の他の一実施例を示す図である。同図(a)に示すように複数のセンサ画素402から成るセンサアレイ401で受光した光子を電荷に変換し、電荷の蓄積時間の周期で開閉するシフトゲート403が閉じている間は電荷を蓄積し、開くと各センサ画素402に対応したシフトレジスタ404に電荷を転送する。シフトレジスタ
404に転送された電荷はシフトゲート403が閉じている間に順次シフトレジスタ404間で転送され、電子増倍レジスタ405に送られる。電子増倍レジスタ405は複数あり、各電子増倍レジスタ405内での電荷転送時に電子増倍レジスタ制御部406で電圧を印加し、電子増倍レジスタ405内部で二次電子を発生させることで電子増倍を行い、電子増倍した電荷を次の電子増倍レジスタ405に転送する電子増倍を電子増倍レジスタ
405の数だけ繰返した後に、出力アンプ407に電荷を送る。ここで、イメージセンサは裏面照射型CCDでも表面照射型CCDでも表面照射型TDIでも裏面照射型TDIでも良く、また、アンチブルーミング機能を有していても良く、更に、マルチタップ型であっても良い。同図(a)に示すセンサ構造は一般的にEMCCD(Electron Multiplying Charge Coupled Device)と呼ばれるイメージセンサの構造であり、イメージセンサの後段に電子増倍手段を有する。EMCCDのゲイン特性は同図(b)に示すように印加電圧と電子増倍ゲインの対数値との間はほぼ比例関係がある。上述の如き、電子増倍手段を有する検出器12を用いることにより、光源を含む照明光学系や検出光学系を変更することなく、欠陥検出感度を向上させることができるため、低コストで開発リスクが少なく、かつ、高い検出感度を有する良好な検出結果を得ることが可能な検査装置を提供することができる。
(S)とノイズ(N)を弁別して欠陥のみを検出するには、S>Nである必要があり、これは(数6)式に示すような条件が必要であることを示す。
EBCCDの前段の光電変換面の暗電流(ND )を300e、CCDセンサの飽和電子数を100000eとした。ここで、明視野照明・反射光検出でのSN比は、(数1)〜
(数5)式により算出したCCD及びEBCCDの出力信号(S)とノイズ(N)から、SN比(S/N)を算出し、暗視野照明・反射散乱光検出でのSN比の出力信号(S)は(数2)及び(数4)式により算出し、ノイズ(N)は暗レベルでの光ショットノイズは無視できるため、CCDセンサの読み出しノイズと同一とし、SN比を算出した。同図より明視野照明・反射光検出では、検出器にCCDを用いた場合(CCD(S/N))と
EBCCDを用いた場合(EBCCD(S/N))ではSN比に大差がないため、格段の感度向上を図ることはできない。一方、暗視野照明・反射散乱光検出では、検出器にCCDを用いた場合(CCD (S/NR))では明視野照明・反射光検出でのSN比と大差はないが、EBCCDを用いた場合(EBCCD (S/NR)))では入射フォトン数が少なくてもSN比が高く、SN比が格段に向上する。このため、入射フォトン数が少ない微小な欠陥や異物を検出可能となり、高感度な欠陥検査装置を提供することができる。
CPU14によって図示しない方法によりX,Y,Z,θ方向の制御が可能である。光源1からの照明光は光量を制限するNDフィルタ2により、検査に必要な光量に制御する。NDフィルタ2は図示しない方法によりNDフィルタ制御回路3の指令により駆動可能である。ビームエキスパンダ4により光源1からの光束を拡大し、拡大された光束は、照明光学系5によりステージ6に搭載された試料7上の照明範囲を設定し、試料7に対して斜方より照射し、暗視野照明を施すように構成している。試料7からの反射散乱光は対物レンズ8,空間フィルタ9,結像レンズ11等を介して、電子増倍手段をイメージセンサの前段もしくは後段に有する電子増倍型のイメージセンサから成る検出器12にて検出し、画像処理部13にて2値化処理などを行い、欠陥を検出する。空間フィルタ9は図示しない方法により空間フィルタ制御回路10の指令により駆動可能であり、試料7上の繰り返しパターンからの回折光を遮光可能である。また、画像処理結果等は表示部16に表示し、入力部15にて入力した情報や画像処理部13,検出器12,ステージ6のデータや情報を制御する制御CPU14を有する。検出器12の電子増倍ゲインを決定する印加電圧を所望の値に設定する際には、SN比算出部17にて所望の欠陥を検出するためのSN比を算出し、制御CPU14を介して電子増倍ゲイン制御部18に算出したSN比を送り、電子増倍ゲイン制御部18にてSN比から必要な印加電圧を算出し、印加電圧を制御する。ここで、印加電圧算出機能は制御CPU14にて行い、制御CPU14で直接、検出器
12の印加電圧を制御しても良く、SN比の算出も制御CPU14で直接行っても良い。また、SN比算出時の欠陥出力信号(S)とノイズ(N)は、図8に示すように、入射フォトン数から算出しても良いし、本装置での実測値を使用しても良い。更に、上述した何れかの方法でSN比と必要電子増倍ゲインもしくは印加電圧を欠陥サイズ毎に算出した結果を予め、制御CPU14内部のメモリなどに格納しておいても良い。なお、SN比の算出や必要電子増倍ゲイン、印加電圧の算出に必要な欠陥サイズなどのパラメータは入力部15を介して入力すれば良い。また、検出器12に使用するイメージセンサは裏面照射型CCDでも表面照射型CCDでも表面照射型TDIでも裏面照射型TDIでも良く、また、アンチブルーミング機能を有していても良く、更に、マルチタップ型であっても良い。以上の構成により、本発明の欠陥検査装置においては所望の欠陥サイズもしくは入射フォトン数の欠陥を検出可能な検出感度を得ることができ、また、イメージセンサがマルチタップ型の検出器を用いることで、検出器の動作速度を向上することができるため、高速な検査が可能な欠陥検査装置を提供することができる。
405…電子増倍レジスタ、406…電子増倍レジスタ制御部、407…出力アンプ。
Claims (9)
- 電子増倍手段を有する光電変換イメージセンサを備えた検出器と、
照明光を検査対象の斜方より照明する照明手段と、
前記検査対象からの反射散乱光を斜方もしくは上方に配した前記検出器で受光する検出手段と、
前記検査対象を走査することにより前記検出器で光学的に画像を取得する走査手段と、
を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1記載の欠陥検査装置において、
前記光電変換イメージセンサの前段に光電変換部を有し、前記光電変換イメージセンサと前記光電変換部との間を真空状態に維持する構造を有し、前記光電変換部にて変換した電子に電圧を印加する電圧印加部を有する検出器を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1記載の欠陥検査装置において、
前記光電変換イメージセンサの電荷転送部と読み出しレジスタの間に直列に配した複数の電子増倍レジスタと、該電子増倍レジスタに電圧を印加する電圧印加部とを有する検出器を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項2または3記載の欠陥検査装置において、
前記電圧印加部の印加電圧を制御する印加電圧制御部を有し、前記検出器に入射する光子数と前記印加電圧により制御可能な電子増倍ゲインから前記検出器の出力信号,ノイズ,前記出力信号と前記ノイズの比率を算出するSN比算出部を有し、外部入力手段により入力した出力信号とノイズの比率の目標値とを比較し、前記目標値以上の出力信号とノイズの比率となるように前記印加電圧制御部を制御して該電子増倍ゲインを調整する電子増倍ゲイン制御部を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項2または3記載の欠陥検査装置において、
前記電圧印加部の印加電圧を制御する印加電圧制御部を有し、検査対象に付着させた標準粒子等の大きさの判明している粒子を前記検出器で検出した際の出力信号とこの時のノイズから出力信号とノイズの比率を算出するSN比算出部を有し、外部入力手段により入力した出力信号とノイズの比率の目標値とを比較し、前記目標値以上の出力信号とノイズの比率となるように前記印加電圧制御部を制御して該電子増倍ゲインを調整する電子増倍ゲイン制御部を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1〜5のいずれかに記載の欠陥検査装置において、
前記光電変換イメージセンサは時間遅延積分型(TDI)イメージセンサであることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項6記載の時間遅延積分型(TDI)イメージセンサは、アンチブルーミングTDIイメージセンサであることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項6または7記載の時間遅延積分型(TDI)イメージセンサは裏面照射型TDIイメージセンサであることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項6〜8のいずれかに記載のイメージセンサは画素方向で複数に分割され、分割した数画素の単位(タップ)毎に並列に読み出し可能なマルチタップ型イメージセンサであることを特徴とする欠陥検査装置。
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