JP2020056638A - 検査方法および検査装置 - Google Patents
検査方法および検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020056638A JP2020056638A JP2018186348A JP2018186348A JP2020056638A JP 2020056638 A JP2020056638 A JP 2020056638A JP 2018186348 A JP2018186348 A JP 2018186348A JP 2018186348 A JP2018186348 A JP 2018186348A JP 2020056638 A JP2020056638 A JP 2020056638A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coefficient
- light
- inspection
- light amount
- calibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
Description
撮像センサから出力される階調値と光量センサから出力される光量信号との関係を示す第1係数を用いて、階調値の所定範囲に対応する光量信号の第1範囲を算出し、光量センサからの光量信号が第1範囲に入るように光源からの光の光量に対して第1校正を行い、第1校正後、撮像センサで第1検査対象を撮像して第1光学画像を取得し、第1光学画像の取得時において撮像センサから出力される階調値と光量センサから出力される光量信号とを用いて、該階調値と該光量信号との関係を示す第2係数を算出し、第2係数を用いて階調値の所定範囲に対応する光量信号の第2範囲を算出し、光量センサからの光量信号が第2範囲に入るように光源からの光の光量に対して第2校正を行い、第2校正後、撮像センサで第1検査対象または該第1検査対象に続く第2検査対象を撮像して第2光学画像を取得し、第2光学画像を用いて第1または第2検査対象の検査を行う、ことを具備する。
制御演算部は、第1校正後に撮像された第1検査対象の第1光学画像の階調値と光量センサから出力された光量信号とを用いて該階調値と該光量信号との関係を示す第2係数を算出し、第2係数を用いて調節部に対して第2校正を行い、第2校正後に撮像された第1検査対象または該第1検査対象に続く第2検査対象の第2光学画像を用いて第1または第2検査対象の検査を行う。
図1は、第1実施形態による検査装置1の概略図である。検査装置1は、光源2と、撮像センサの一例である第1TDIセンサ5Aおよび第2TDIセンサ5Bとを備える。光源2は、第1検査対象としてのマスク3に向けてレーザ光を出射する。
第1TDIセンサ5Aおよび第2TDIセンサ5Bは、光源2の光で照明されたマスク3を撮像することで、マスク3に応じた階調値を出力する。
TDIセンサ5A、5Bについて更に詳述する。図2は、本実施形態の検査装置の第1TDIセンサ5Aを示す概略図である。なお、図示はしないが、第2TDIセンサ5Bも、第1TDIセンサ5Aと同じ構成を有する。図2に示すように、第1TDIセンサ5Aは、第2方向の一例であるX方向と、第1方向の一例であるY方向とに並んだ複数の撮像素子51すなわちCCD(Charge Coupled Device)を有する。撮像素子51は、マスク3を照明した光を受光して電荷に変換することでマスク3を撮像する。
第2校正を行った後に、ステップS80において、TDIセンサ5A、5Bがマスク3の光学画像(第2光学画像)を撮像する。
図7は、第1実施形態の変形例1による検査方法の一例を示すフロー図である。
第1実施形態では、ステップS120において、制御計算機45は、第1係数を第2係数で更新している。従って、記憶装置46において、第1係数は第2係数へ書き換えられ、第1係数が残らない。これに対し、変形例1では、制御計算機45は、第1係数を基準係数として補正係数で補正して第2係数を算出する。この場合 、記憶装置46には、基準係数としての第1係数および補正係数が格納され、補正係数が書き換えられる。尚、本変形例1による検査装置1の構成は第1実施形態の構成と同様でよい。
図8は、第2実施形態による検査方法の一例を示すフロー図である。
第1実施形態では、ステップS100において第1係数を第2係数で更新する場合、検査装置1は、第1係数を第2係数に更新してからマスク3を再度撮像し直している。この場合、TDIセンサ5A、5Bは、同一マスク3を2回撮像することになる。従って、第1係数の更新に伴う時間的な長期化は避けられない。
図9は、第2実施形態の変形例2による検査方法の一例を示すフロー図である。第2実施形態によれば、検査装置1は、ステップS100の判定を行うことなく、次のマスクの撮像時に係数を更新している。
図10は、第3実施形態による検査方法の一例を示すフロー図である。第3実施形態は、第1実施形態と第2実施形態との組み合わせた実施形態である。
Claims (5)
- 光源からの光で第1検査対象を照明する照明光学系と、前記第1検査対象を照明した光を受光する撮像センサと、前記撮像センサで受光される光の光量を検出する光量センサと、前記光源からの光の光量を調節する調節部と、前記調節部を制御する制御演算部とを備えた検査装置を用いた検査方法であって、
前記撮像センサから出力される階調値と前記光量センサから出力される光量信号との関係を示す第1係数を用いて、前記階調値の所定範囲に対応する前記光量信号の第1範囲を算出し、
前記光量センサからの光量信号が前記第1範囲に入るように前記光源からの光の光量に対して第1校正を行い、
前記第1校正後、前記撮像センサで前記第1検査対象を撮像して第1光学画像を取得し、
前記第1光学画像の取得時において前記撮像センサから出力される階調値と前記光量センサから出力される光量信号とを用いて、該階調値と該光量信号との関係を示す第2係数を算出し、
前記第2係数を用いて前記階調値の所定範囲に対応する前記光量信号の第2範囲を算出し、
前記光量センサからの光量信号が前記第2範囲に入るように前記光源からの光の光量に対して第2校正を行い、
前記第2校正後、前記撮像センサで前記第1検査対象または該第1検査対象に続く第2検査対象を撮像して第2光学画像を取得し、
前記第2光学画像を用いて前記第1または第2検査対象の検査を行う、ことを具備する検査方法。 - 前記第2係数の算出後、前記第1係数と前記第2係数との差に基づいて前記第1係数を前記第2係数に更新するか否かを判断することをさらに具備し、
前記第1係数を前記第2係数で更新する場合、前記第2校正を行った後に、前記第2光学画像を用いて前記第1または第2検査対象の検査を行い、
前記第1係数を更新しない場合、前記第2校正を行うことなく、前記第1光学画像を用いて前記第1または第2検査対象の検査を行う、請求項1に記載の検査方法。 - 前記第1および第2係数は、前記撮像センサからの階調値に対する前記光量センサからの光量信号の比率である、請求項1または請求項2に記載の検査方法。
- 前記第1係数と前記第2係数との差を用いた演算値が第1閾値以上である場合、前記第1係数を前記第2係数で更新し、
前記第1係数と前記第2係数との差を用いた演算値が第1閾値未満である場合、前記第1係数を更新しない、請求項2または請求項3に記載の検査方法。 - 前記検査装置は、前記第1係数と前記第2係数とを用いて算出された補正係数と前記第1係数とを格納する記憶部をさらに備え、
前記制御演算部は、前記第1係数および前記補正係数を用いて前記第1係数を補正して前記第2係数を算出する、請求項1に記載の検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018186348A JP6999531B2 (ja) | 2018-10-01 | 2018-10-01 | 検査方法および検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018186348A JP6999531B2 (ja) | 2018-10-01 | 2018-10-01 | 検査方法および検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020056638A true JP2020056638A (ja) | 2020-04-09 |
JP6999531B2 JP6999531B2 (ja) | 2022-01-18 |
Family
ID=70106999
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018186348A Active JP6999531B2 (ja) | 2018-10-01 | 2018-10-01 | 検査方法および検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6999531B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007093317A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン欠陥検査装置 |
JP2009222611A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Hitachi High-Technologies Corp | 検査装置及び検査方法 |
US20100060890A1 (en) * | 2008-09-11 | 2010-03-11 | Nuflare Technology, Inc. | Apparatus and method for pattern inspection |
JP2012002680A (ja) * | 2010-06-17 | 2012-01-05 | Nec Corp | センサ出力データの補正装置及びセンサ出力データの補正方法 |
JP2015206817A (ja) * | 2014-04-17 | 2015-11-19 | レーザーテック株式会社 | 照明装置、及び検査装置 |
US20170230596A1 (en) * | 2015-10-21 | 2017-08-10 | Curtis B. Colonero | Methods and apparatus for true high dynamic range (thdr) time-delay-and-integrate (tdi) imaging |
-
2018
- 2018-10-01 JP JP2018186348A patent/JP6999531B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007093317A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン欠陥検査装置 |
JP2009222611A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Hitachi High-Technologies Corp | 検査装置及び検査方法 |
US20100060890A1 (en) * | 2008-09-11 | 2010-03-11 | Nuflare Technology, Inc. | Apparatus and method for pattern inspection |
JP2012002680A (ja) * | 2010-06-17 | 2012-01-05 | Nec Corp | センサ出力データの補正装置及びセンサ出力データの補正方法 |
JP2015206817A (ja) * | 2014-04-17 | 2015-11-19 | レーザーテック株式会社 | 照明装置、及び検査装置 |
US20170230596A1 (en) * | 2015-10-21 | 2017-08-10 | Curtis B. Colonero | Methods and apparatus for true high dynamic range (thdr) time-delay-and-integrate (tdi) imaging |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6999531B2 (ja) | 2022-01-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101782336B1 (ko) | 검사 장치 및 검사 방법 | |
TWI587082B (zh) | Mask inspection device, mask evaluation method and mask evaluation system | |
WO2014004564A1 (en) | Scanning in angle-resolved reflectometry and algorithmically eliminating diffraction from optical metrology | |
JP2015145922A (ja) | マスク検査装置及びマスク検査方法 | |
JP6502230B2 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
US8502880B2 (en) | Image processing apparatus, image processing method, and program | |
JP2016156746A (ja) | 線幅誤差取得方法、線幅誤差取得装置および検査システム | |
TWI813018B (zh) | 用於特徵化微影光罩的方法與設備 | |
KR20180126071A (ko) | 검사 장치 및 검사 방법 | |
JP4234703B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
US7388647B2 (en) | Method and system for real time uniformity feedback | |
JP2007205828A (ja) | 光学画像取得装置、パターン検査装置、光学画像取得方法、及び、パターン検査方法 | |
JP2020056638A (ja) | 検査方法および検査装置 | |
US20130100320A1 (en) | Imaging apparatus and imaging method | |
JP5075946B2 (ja) | パターン検査装置およびパターン検査方法 | |
CN114688964B (zh) | 关键尺寸测量校正方法、系统及计算机可读存储介质 | |
JP2004144610A (ja) | ウェハ欠陥検査装置 | |
JP2004271444A (ja) | 検査方法、検査装置およびマスク欠陥検査方法 | |
US6825939B2 (en) | Method and measuring arrangement for detecting an object | |
JP2006275780A (ja) | パターン検査方法 | |
JP7445575B2 (ja) | パターン検査方法およびパターン検査装置 | |
JP4594772B2 (ja) | 検査装置 | |
JP5684628B2 (ja) | パターン検査装置及びパターン検査方法 | |
JP7215886B2 (ja) | 検査装置 | |
WO2015040894A1 (ja) | 欠陥観察装置およびその方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210121 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211013 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211022 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211203 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211222 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6999531 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |