JP2004266250A - 固体撮像素子の試験装置、中継装置および光学モジュール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源からの光をピンホールを通じて固体撮像素子の受光面に照射する光学モジュール35と、固体撮像素子のパッドと接触する接触針を有するプローブカード20と、試験すべき固体撮像素子のパッドに接触針21が接触した状態にあるプローブカード20のもつ開口20hを通じて、光学モジュール35を検査すべき固体撮像素子に対して所定の位置に移動させるモータ30,保持アーム31を有する。
【選択図】図1
Description
前工程試験では、たとえば、プローブカードを用いてテストヘッドと固体撮像素子とを電気的に接続した状態で、固体撮像素子の受光面にピンホールをもつ所定の光学系を通じて試験用光を照射する。
後工程試験では、たとえば、ハンドラによりパッケージされた固体撮像素子をソケットボードに装着することにより、テストヘッドと固体撮像素子とを電気的に接続し、この状態で固体撮像素子の受光面にピンホールをもつ所定の光学系を通じて試験用光を照射する。
上記の光学系は、F値が所定の値(あるいは、射出瞳距離が所定の距離)になるように設定されている。なお、F値はピンホールの直径と射出瞳距離の比で決まる。
しかしながら、光学系と固体撮像素子との間には、プローブカードやソケットボードが介在するため、これらの存在により光学系と固体撮像素子との位置関係の自由度は制約を受ける。このため、試験効率を向上させることが難しい。
第1の実施形態
図1は、本発明の一実施形態に係る固体撮像素子の試験装置の構成図である。 図1において、試験装置1は、光照射部2と、ウェーハテーブル50と、測定部70とを有する。
光学モジュール35は本発明の光学モジュールの一実施態様であり、モータ30と保持アーム31とは本発明のモジュール移動手段の一実施態様を構成している。
コンデンスレンズ4は、光源2からの光束をメカニカルスリット5の方向に集中させる。
メカニカルスリット5は、図1に示すように、2枚の可動板5A,5Bから構成され、可動板5A,5Bの移動調整により、これらの間に形成される開口5Cの面積が調整される。開口5Cの面積を調整することにより、コンデンスレンズ4で集光された光の光量を調整する。
なお、コンデンスレンズ4、メカニカルスリット5、NDフィルタータレット6、カラーフィルタータレット7、ホモゲナイザー9、反射ミラー10、ホモゲナイザー11等から構成される光学系は、光源3からの光束の光量、照度、照度分布、波長等を調整する機能を有する。
保持アーム31は、一端がモータ30の駆動軸に接続され、他端部に光学モジュール35を保持している。
保持アーム31が矢印A2の向きに旋回され、所定の位置に位置決めされると、光学モジュール35が光照射部2の光学系の光路に挿入され、ウェーハWに対して位置決めされる。すなわち、光学モジュール35は光照射部2の光学系の光路に挿抜可能に配置されている。
光学モジュール35は、ホモゲナイザー11から出力された光線Lが入射され、この光線LをウェーハWにピンホールを通じて照射する。なお、光学モジュール35の具体的な構成については、後述する。
ウェーハテーブル50は、搭載面50aに搭載されたウェーハWを光照射部2の光学系の光路に垂直なウェーハ平面内で位置決めする。
光照射部2の光学系の光路の方向をz方向、z方向に垂直な平面内の互いに直交する方向をx,y方向、ウェーハテーブル50を回転する方向をθ方向とすると、搭載面50aは、x,y,zおよびθ方向に位置決め可能となっている。
また、プローブカード20は、ポゴタワー22を介してマザーボード23に保持されている。
接触針21を固体撮像素子のパッドに接触させることにより、マザーボード23はウェーハWに形成された固体撮像素子と電気的に接続される。
光学モジュール35は、図2に示すように、レンズ36と、拡散板37と、筒部材38と、ピンホール板39と、押えリング40とを備えている。
拡散板37は、照度分布の制御を最適化するために3次元曲面を備えている。この拡散板37は、ボールエンドミルによって切削加工したり、あるいは、樹脂を射出成形することによって得られる。切削加工あるいは射出成形により所定の形状が得られたのち、サンドブラストにより表面を粗面化することにより、拡散板として機能する。
筒部材38は、ポリカーボネート等の樹脂、あるいは、アルミニウム合金等の金属で形成されており、光を遮断する。すなわち、筒部材38は、外側から入射する光を遮断する。
h/H = L2/L1
の関係がほぼ成立するように設計される。
L2,hおよびHが既定されているとすると、拡散板37の下面での光の分布が受光面60の全面に投影され、光の強度分布が、たとえば、均一となるようにL1と拡散板37の3次元曲面形状とが決定される。
まず、プローブカード20の接触針21を対応する固体撮像素子のパッドPdに接触させる。プローブカード20の接触針21を固体撮像素子のパッドPdに接触させるには、ウェーハステージ50の位置制御を行う。
図3に示すように、光学モジュール35は、プローブカード20に形成された開口部20hを通じて試験すべき固体撮像素子の受光面60に位置決めされる。
これにより、光照射部2の光源3からの光Lは、光学モジュール35を通じて、受光面60に照射される。
又、特性の異なる光学モジュール35を複数用意しておき、必要に応じて交換すれば種々の試験が可能となる。
図4は、本発明の他の実施形態に係る中継装置としてのプローブカードの構成を示す図である。なお、図4において、第1の実施形態と同一の構成部分については同一の符号を使用している。
図4において、本実施形態に係るプローブカード20Aは、開口部20h上に第1の実施形態と同一の構成の光学モジュール35が固定されている。
光学モジュール35は、固定部材70によって固定されている。
光学モジュール35の受光面60に対する位置は、試験する固体撮像素子に応じて適宜調整される。
プローブカード20Aは、上記したポゴタワー22を介してマザーボード23に保持される。
図5は、本発明の他の実施形態に係る中継装置としてのプローブカードの構成を示す図であり、図6は図5のA−A線方向の断面図である。
図5に示すプローブカード200は、カード本体201と、光学モジュール300とを有する。
プローブカード200のカード本体201は、上述した実施形態に係るプローブカードと基本的な機能は同じであるが、複数(4個)の固体撮像素子の試験を同時にできる点で異なる。
プローブカード200は、上記したポゴタワー22を介してマザーボード23に保持される。
図6に示すように、光学モジュール300は、保持部材301、光学レンズ302、拡散板303、ピンホール304、カバー部材305を備えている。
保持部材301の穴301hの内周には、光学レンズ302および拡散板303が保持されている。光学レンズ302は、穴301hの上端側に保持され、拡散板303はこの光学レンズ302に隣接して保持され、ピンホール304からは離隔している。
保持部材301は、光を透過しない材料で形成されている。保持部材301は本発明の遮光部の一実施態様である。
また、光学レンズ302、拡散板303、ピンホール304等は、上述した実施形態の光学モジュール35のものと同様の機能を有する。
カード本体200は、接触針205を複数の固体撮像素子に対応して備えている。
図7に示すように、カード本体200は、搭載部202の内側に矩形状の開口部203を備えている。
搭載部202には、光学モジュール300を搭載部202に固定するためのボルト310が螺合する螺子穴202hが形成されている。
また、搭載部202には、2か所に円柱状の位置決めピン202p1,202p2が設けられている。
位置決めピン202p1,202p2と位置決め用穴302p1,302p2とが嵌合することにより、光学モジュール300はカード本体200の所定位置に正確に位置決めされる。
なお、位置決めピン202p1,202p2を光学モジュール300側に設け、位置決め用穴302p1,302p2を搭載部202に形成してもよい。
このとき、各拡散板303は、光学レンズ302寄りに配置され、ピンホール304からは離隔しているため、各ピンホール304から照射される光が側方へ拡がらず、隣合う試験用光が干渉しない。
すなわち、拡散板303をピンホール304側に近づけるほど、拡散板303の作用により試験用光が拡がり、隣合うピンホール304からの試験用光が相互に干渉しやすいが、拡散板303を光学レンズ302寄りに配置し、ピンホール304から離隔させることで試験用光の拡がりを抑えることができる。
図10は、本発明のさらに他の実施形態に係る中継装置としてのプローブカードの構成を示す図である。
図10に示すプローブカード200Aは、基本的な構成は、第3の実施形態で説明したプローブカード200と同様であるが、遮光板350を備えている点で異なる。遮光板350は本発明の遮光手段の一実施態様である。
遮光板350は、光学モジュール300Aの保持部材301の下面に設けられており、隣り合うピンホール304から照射される試験用光が相互に干渉するのを防ぐために設けられている。
なお、遮光板350は、保持部材301に一体に形成してもよい。
図11は、本発明のさらに他の実施形態に係る中継装置としてのプローブカードの構成を示す図である。
図11に示すプローブカード200Bは、基本的な構成は、第3の実施形態で説明したプローブカード200と同様であるが、共通拡散板360を備えている点で異なる。遮光板350は本発明の遮光手段の一実施態様である。
たとえば、図11に示すように、光源400を光学モジュール300B上に配置して光を照射すると、各光学レンズ302の位置によって光の入射角度が変わる。このため、各ピンホール304から出射される試験用光の強度分布にむらが発生しやすくなり、試験用光の条件にばらつきが発生しやすくなる。
この結果、複数の固体撮像素子を同時に同じ条件の試験用光で試験することが可能となる。
第1の実施形態では、本発明の移動位置決め手段として、モータと保持アームを使用した場合について説明したが、プローブカード20と干渉せずに移動、位置決めできる手段であればこれに限定されない。このような構成とすることにより、さらに試験効率を高めることができる。
たとえば、ソケットボード等のパッケージングされた固体撮像素子を検査する際に用いられるものや、プローブカードやソケットボードと接続されるマザーボードも中継手段および中継装置に含まれる。また、プローブカードやソケットボードとマザーボードとを接続した状態のものを中継手段および中継装置とすることができる。これらのボード類に開口部を形成するとともに、本発明の光学モジュールを設ければよい。また、光学モジュールの設置場所もボード以外に、ソケット等とすることも可能である。
Claims (14)
- 固体撮像素子の光電変換特性を試験する際に、固体撮像素子の受光面に対向配置され、前記受光面へ向けて試験用光を照射するのに用いられる光学モジュールであって、
光学レンズと、
前記光学レンズを通過した光の強度分布を調整する拡散板と、
前記拡散板からの光を通過させるピンホールと、
前記光学レンズから前記ピンホールへ至る光路へ外部から光が入射するのを防ぐ遮光部と
を有する光学モジュール。 - 前記光学レンズ、前記拡散板および前記ピンホールの対を複数有する
請求項1に記載の光学モジュール。 - 隣り合う前記ピンホールから出射される光が相互干渉するのを防止するための遮光手段をさらに有する
請求項2に記載の光学モジュール。 - 前記拡散板は、光の強度分布を調整するための三次元曲面を備える
請求項1に記載の光学モジュール。 - 複数の前記光学レンズに入射する光の入射角を均一化するための共通の拡散板をさらに有する
請求項2に記載の光学モジュール。 - 前記拡散板は、前記光学レンズ寄りに配置され、前記ピンホールから離隔している
請求項2に記載の光学モジュール。 - 固体撮像素子の光電変換特性を試験する際に、測定すべき固体撮像素子と電気的に接続されることによって、前記固体撮像素子の光電変換特性の測定に必要な信号を伝達する中継装置であって、
固体撮像素子の光電変換特性を試験する際に、固体撮像素子の受光面に対向配置され、前記受光面へ向けて試験用光を照射するのに用いられる光学モジュールを備える
中継装置。 - 前記光学モジュールが搭載される搭載部と、
前記搭載部と前記光学モジュールとを位置決めする位置決め手段と
を有する請求項7に記載の中継装置。 - 前記位置決め手段は、前記光学モジュール側に設けられた、位置決めピンとこれが嵌合挿入される位置決め穴を有する
請求項8に記載の中継装置。 - 前記搭載部は、前記光学モジュールを通じて出射され、固体撮像素子の受光面へ向かう光を通過させる開口を有する
請求項8に記載の中継装置。 - 前記光学モジュールは、光学レンズと、
前記光学レンズを通過した光の強度分布を調整する拡散板と、
前記拡散板からの光を通過させるピンホールと、
前記光学レンズから前記ピンホールへ至る光路へ外部から光が入射するのを防ぐ遮光部と
を有する請求項7に記載の中継装置。 - 固体撮像素子に光を照射し、当該固体撮像素子の光電変換特性を試験する試験装置であって、
入射された光をピンホールを通じて試験用光として出射する光学モジュールと、
前記固体撮像素子と電気的に接続されることによって当該固体撮像素子の光電変換特性の測定に必要な信号を伝達する中継手段と、
前記光学モジュールを前記中継手段が前記固体撮像素子と電気的に接続された状態において、前記固体撮像素子に対して光を出射可能な位置に移動させる移動位置決め手段と
を有する試験装置。 - 前記中継手段は、前記光学モジュールを前記固体撮像素子の受光面と対向させるための開口部を有し、
前記位置決め手段は、前記光学モジュールを前記開口部を通じて前記固体撮像素子の受光面に照射可能な位置に位置決めする
請求項12に記載の試験装置。 - 前記光学モジュールは、光学レンズと、
前記光学レンズを通過した光の強度分布を調整する拡散板と、
前記拡散板からの光を通過させるピンホールと、
前記光学レンズから前記ピンホールへ至る光路へ外部から光が入射するのを防ぐ遮光部と
を有する請求項12に記載の試験装置。
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