JP2022164665A - 瞳モジュール及び検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(検査装置)
図1は、第1実施形態に係る検査装置1の要部の構成を示す模式的な断面図である。なお、検査装置1は、いずれの方向が上方とされてもよい。ただし、以下の説明では、便宜上、図1の上方が実際の上方であることを前提とした表現をすることがある。
図2は、図1に示された4つの瞳モジュール7を模式的に示す斜視図である。
図3は、瞳モジュール7の断面図である。
筒部材13は、その名称のとおり、筒状の部材である。筒部材13は、軸回りの筒本体13aと、筒本体13aの第2端8B側を塞ぐ端面部13bとを有している。筒本体13aの第1端8A側は開放されており、開口19が形成されている。端面部13bには、ピンホール21が開口している。光源装置5からの光は、開口19に入射してピンホール21から出射される。
調光フィルタ15は、例えば、ガラス基板を含んでおり、AR(anti-reflection)コートの有無等によって透過光量を調整する。1つのプローブカード9に対して複数の瞳モジュール7が設けられる態様においては、この透過光量の調整によって、瞳モジュール7同士の光量差が低減されてよい。調光フィルタ15の大きさ及び位置は、例えば、ライトパイプ17に入射する全ての光が調光フィルタ15を通過した光となるように設定されてよい。図示の例では、調光フィルタ15は、開口19を塞ぐように設けられている。
ライトパイプ17は、例えば、透光性の材料からなる。また、ライトパイプ17は、例えば、中実なロッド状の部材である。換言すれば、ライトパイプは、光軸LAの軸回りに広がる筒状の面である周面17aと、周面17aの両側にて光軸LAに交差する端面である入射面17b及び出射面17cとを有している。入射面17bは、開口19側の面であり、出射面17cは、ピンホール21側の面である。
図4は、変形例に係るライトパイプ23を示す断面図である。
図5は、第2実施形態に係る瞳モジュール207の構成を示す断面図であり、第1実施形態の図3に対応している。
図6は、第3実施形態に係る瞳モジュール307の構成を示す断面図であり、第1実施形態の図3に対応している。
図7は、第4実施形態に係る瞳モジュール407の構成を示す断面図であり、第1実施形態の図3に対応している。
筒部材413は、図4を参照して説明した変形例に係るライトパイプ23の更に変形例として捉えることができる。従って、ライトパイプ23の説明は、適宜に筒部材413に援用されてよい。例えば、筒部材413は、光軸LAを囲む周面413aを有している。この周面413aは、ライトパイプ23の周面23aと同様に、入射角に関わらずに光を実質的に透過させずに光を反射する反射面(例えば鏡)として機能してよい。周面23aの説明で例示した反射率は、周面413aに適用されてよい。
集光レンズ29の焦点は適宜な位置に設定されてよい。例えば、焦点は、ピンホール21内又はその前後に設定されてよい。この場合、例えば、開口19に入射するテレセントリックな光がピンホール21又はその前後に集光される。周面413aは、集光レンズ29が設けられない態様(既述の実施形態からも理解されるように、当該態様も本開示に係る技術に含まれる。)に比較して、集光及び拡散の作用を積極的に奏さず、集光されなかった光(従来は筒部材の内面に吸収された光)の有効利用に寄与する。
図8は、変形例に係るピンホール21Aを示す断面図であり、図7のピンホール21及びその周辺の拡大図に相当する。
図9は、第5実施形態に係る瞳モジュール507の構成を示す断面図であり、第1実施形態の図3に対応している。
図10は、第6実施形態に係る瞳モジュール607の構成を示す断面図であり、第1実施形態の図3に対応している。
図11は、変形例に係るピンホール21Bを示す断面図であり、図9のピンホール21及びその周辺の拡大図に相当する。
Claims (12)
- 光源装置からの検査用の光を固体撮像素子へ向けて通過させる瞳モジュールであって、
光軸を軸回りに囲んでおり、光を反射可能な周面と、
前記光軸に沿う方向において前記周面の出射側に位置しているピンホールと、
前記光が入射する開口を一端に有しており、前記開口よりも径が小さい前記ピンホールを他端に有している筒部材と、
を有しており、
前記周面は、前記筒部材の内面を構成している反射膜によって構成されている
瞳モジュール。 - 前記反射膜は金属膜を含んでいる
請求項1に記載の瞳モジュール。 - 前記周面は、直柱状である
請求項1又は2に記載の瞳モジュール。 - 前記周面は、前記ピンホール側ほど径が小さくなっている
請求項1又は2に記載の瞳モジュール。 - 前記周面は、前記光軸に平行な長さが径よりも大きい
請求項1~4のいずれか1項に記載の瞳モジュール。 - 前記周面の出射側に拡散板を有している
請求項1~5のいずれか1項に記載に瞳モジュール。 - 前記周面の入射側に拡散板を有している
請求項1~6のいずれか1項に記載に瞳モジュール。 - 前記周面の出射側及び入射側の双方に拡散板が位置していない
請求項1~5のいずれか1項に記載の瞳モジュール。 - 前記周面の入射側に、前記光を前記ピンホール側に集光する集光レンズを更に有している
請求項1~6及び8のいずれか1項に記載の瞳モジュール。 - 前記ピンホールの出射側にレンズを有している
請求項1~9のいずれか1項に記載の瞳モジュール。 - 前記ピンホールは、出射側ほど又は入射側ほど、径が小さくなる部位を有している
請求項1~10のいずれか1項に記載の瞳モジュール。 - 請求項1~11のいずれか1項に記載の瞳モジュールと、
前記瞳モジュールが搭載されているプローブカードと、
前記光源装置と、
を有している検査装置。
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