JP2007005490A - 半導体デバイスの検査用プローブ装置、半導体デバイスの検査装置および半導体デバイスの検査方法 - Google Patents
半導体デバイスの検査用プローブ装置、半導体デバイスの検査装置および半導体デバイスの検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007005490A JP2007005490A JP2005182477A JP2005182477A JP2007005490A JP 2007005490 A JP2007005490 A JP 2007005490A JP 2005182477 A JP2005182477 A JP 2005182477A JP 2005182477 A JP2005182477 A JP 2005182477A JP 2007005490 A JP2007005490 A JP 2007005490A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- probe
- inspection
- semiconductor
- semiconductor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
【課題】 被検査デバイスの測定用端子とプローブカードの触針との接触回数を低減させて、接触時の異物発生を低減させる。
【解決手段】 被検査デバイスの各測定用端子41に接続可能とする各第1触針21aおよび、検査用電気信号を伝達するための第1接続端子21bが設けられた第1プローブカード21と、各第1接続端子21bに接続可能とする各第2触針22aおよび、外部から検査用電気信号を伝達するための各第2接続端子22bが設けられた第2プローブカード22とを上下に用いている。半導体ウエハ4上の全被検査デバイスの各測定用端子41と第1プローブカード21の各第1触針21aとを接触させた状態で、任意の設定順序で第1プローブカード21と一体化された半導体ウエハ4を第2プローブカード22に対して移動させながら、一または複数の半導体デバイス毎の検査を行う。
【選択図】 図1
【解決手段】 被検査デバイスの各測定用端子41に接続可能とする各第1触針21aおよび、検査用電気信号を伝達するための第1接続端子21bが設けられた第1プローブカード21と、各第1接続端子21bに接続可能とする各第2触針22aおよび、外部から検査用電気信号を伝達するための各第2接続端子22bが設けられた第2プローブカード22とを上下に用いている。半導体ウエハ4上の全被検査デバイスの各測定用端子41と第1プローブカード21の各第1触針21aとを接触させた状態で、任意の設定順序で第1プローブカード21と一体化された半導体ウエハ4を第2プローブカード22に対して移動させながら、一または複数の半導体デバイス毎の検査を行う。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体デバイス(半導体チップ)の測定用端子にプローブカードの触針を電気的に接続させて、これに検査用電気信号を供給することにより半導体デバイスの検査を行う半導体デバイスの検査装置、これに用いる半導体デバイスの検査用プローブ装置および、この半導体デバイスの検査装置を用いる半導体デバイスの検査方法に関する。
従来、半導体ウエハ上に多数構成された半導体デバイス(半導体チップ)の検査は、検査用プローブカードに設けられた複数の触針(プローブ)を各半導体デバイスの各接続端子(パッド部;測定用端子)に押し当てて接触させることにより両者を電気的に接続させ、この検査用プローブカードを半導体検査装置に電気的に接続させて、半導体検査装置から検査用プローブカードを介して検査用電気信号を半導体デバイスに供給することにより行われる。このことが特許文献1に開示されている。
図3は、特許文献1に開示されている従来の検査用プローブカードの配置例を示す上面図である。
図3においては、CMOSセンサからなるセンサ部11と論理回路部12を備えた複合素子からなる被測定半導体デバイス(半導体チップ)13が縦方向に2つ並んで配置され、各半導体チップAおよびBの各接続端子の入出力パッド14に対してそれぞれ各検査用プローブ15(触針)がそれぞれ割り当てられている。
半導体チップAについては、センサ部11の受光面に対して光を照射可能なように、各検査用プローブ15(プローブA)がセンサ部11上の鉛直方向上側の領域にかからないように配置されている。また、半導体チップBについては、各検査用プローブ15(プローブB)、そのような制限事項を設けずに配置されている。
この検査用プローブカードを用いて、半導体ウエハ上に設けられた2個の半導体チップAおよびBに各検査用プローブ15(プローブAおよびB)を同時にプロービングして、それぞれの検査を行う。
検査終了後は、次の被検査半導体デバイス13(DUT、Device Undewr Test)の各入出力パッド14が各検査用プローブ15(触針)とそれぞれ接続されるように、半導体ウエハを移動させて検査を行う。このようにして、半導体ウエハ上の複数の半導体デバイス13を全てプロービングして検査を行い、良品と不良品の選別や性能評価を実施することができる。
特開2002−217253号公報
しかしながら、上記従来技術では、各触針である検査用プローブ15を各半導体デバイス13の各接続端子の入出力パッド14(パッド部)に接続させる度に、パッド部を構成する金属やパッド部上の異物が触針に付着し、半導体ウエハを移動させる際に被検査半導体デバイス13上に落下して付着するため、以下のような問題が生じる。
例えば、被検査半導体デバイス13がイメージセンサ(固体撮像装置)である場合には、異物が半導体デバイス13の受光面上に付着すると、この半導体デバイス13による撮像画像が異物が存在する画像となってしまう。また、光電変換機能を備えないメモリデバイスや液晶駆動用デバイスなどであっても、配線間に金属異物が跨った状態になると、配線間に寄生容量が構成され、動作特性を損なってしまう。
本発明は、上記従来の問題を解決するもので、半導体デバイス(半導体チップ)の測定用端子(接続端子)とプローブカードの触針との接触回数を低減して、その接触時の異物発生を低減できる半導体デバイスの検査用プローブ装置、これを用いた半導体デバイスの検査装置およびこれを用いた半導体デバイスの検査方法を提供することを目的とする。
本発明の半導体デバイスの検査用プローブ装置は、各被検査半導体デバイスの複数の測定用端子に接続可能とされる複数の第1触針および、検査用電気信号を伝達するための複数の第1接続端子が設けられた第1プローブカードと、
外部から該検査用電気信号が伝達され、該複数の第1接続端子のうちの複数の第1接続端子に接続可能とされる複数の第2触針が設けられた第2プローブカードとを有し、そのことにより上記目的が達成される。
外部から該検査用電気信号が伝達され、該複数の第1接続端子のうちの複数の第1接続端子に接続可能とされる複数の第2触針が設けられた第2プローブカードとを有し、そのことにより上記目的が達成される。
また、好ましくは、本発明の半導体デバイスの検査用プローブ装置における第2プローブカードは、前記第1プローブカードの上方に配置されている。
さらに、好ましくは、本発明の半導体デバイスの検査用プローブ装置における第1プローブカードは、前記複数の測定用端子に対応する数の複数の第1接続端子と前記複数の第1触針との各対を備えている。
さらに、好ましくは、本発明の半導体デバイスの検査用プローブ装置における第1プローブカードは、半導体ウエハに設けられた全被検査半導体デバイスの複数の測定用端子に対応する数の複数の第1接続端子と前記複数の第1触針との各対を、該被検査半導体デバイスの複数の測定用端子に対応する位置にそれぞれ備えている。
さらに、好ましくは、本発明の半導体デバイスの検査用プローブ装置における第2プローブカードは、前記第1プローブカードに設けられた複数の第1接続端子と前記複数の第1触針との各対の数よりも少ない数の前記複数の第2触針と複数の第2接続端子との各対を備えている。
さらに、好ましくは、本発明の半導体デバイスの検査用プローブ装置における第1プローブカードは、N(Nは2以上の整数)個の被検査半導体デバイスに対応して設けられ、前記第2プローブカードは、M(Mは2以上の整数)個の被検査半導体デバイスに対応して設けられ、NはMの整数倍である。
さらに、好ましくは、本発明の半導体デバイスの検査用プローブ装置において、前記第1プローブカードおよび前記第2プローブカードの各基板のうち少なくとも前記第1プローブカードの基板が透光性部材で構成されている。
本発明の半導体デバイスの検査装置は、本発明の上記半導体デバイスの検査用プローブ装置と、該半導体デバイスの検査用プローブ装置の前記第1プローブカードおよび、前記複数の被検査半導体デバイスが設けられた半導体ウエハが別々に載置されて、該第1プローブカードの複数の第1触針と前記被検査半導体デバイスの複数の測定用端子とを位置合わせして互いに接続するべく、該第1プローブカードと該半導体ウエハの少なくともいずれかを移動可能とする第1駆動手段と、該複数の第1触針と該複数の測定用端子とを接続して一体化した状態で、該第1プローブカードの複数の第1接続端子と前記第2プローブカードの複数の第2触針とを位置合わせして互いに接続するべく、該第1プローブカードと該第2プローブカードの少なくともいずれかを移動可能とする第2駆動手段とを備えており、そのことにより上記目的が達成される。
また、好ましくは、本発明の半導体デバイスの検査装置における第1駆動手段は、前記複数の被検査半導体デバイスが設けられた半導体ウエハが搭載されるチャック部と、前記第1プローブカードが載置されて、該第1プローブカードを、互いに直交する3次元座標軸(X、Y、Z)のうちのZ軸方向に駆動可能とする第1プローブカードZ方向駆動部と、 該チャック部を該半導体ウエハと共にX軸方向またはY軸方向に駆動可能とするチャック部XY駆動部とを備えている。
さらに、好ましくは、本発明の半導体デバイスの検査装置における第2駆動手段は、 前記半導体ウエハおよび前記第1プローブカードとが載置され、該半導体ウエハと該第1プローブカードとを一体的に、互いに直交する3次元座標軸(X、Y、Z)のうちのZ軸方向に駆動可能とする半導体ウエハ・第1プローブカード一体部Z方向駆動部と、該半導体ウエハと該第1プローブカードとを一体的にX軸方向またはY軸方向に駆動可能とする半導体ウエハ・第1プローブカード一体部XY方向駆動部とを備えている。
さらに、好ましくは、本発明の半導体デバイスの検査装置において、検査時に前記半導体ウエハの面に垂直方向から任意の光を照射可能とする光学装置をさらに備えている。
本発明の半導体デバイスの検査方法は、本発明の上記半導体デバイスの検査用プローブ装置または本発明の上記半導体デバイスの検査装置を用いて、前記半導体ウエハ上の複数または全被検査デバイスの複数の測定用端子と前記第1プローブカードの複数の第1触針とを電気的に接続して、この状態を保持しながら、所望の被検査デバイスに対応する該第1プローブカードの複数の第1接続端子と前記第2プローブカードの複数の第2触針とを電気的に接続して、外部から複数の第2接続端子に検査用電気信号を供給することにより、該第1プローブカードを介して一または複数の半導体デバイスの検査を行い、その後、該第2プローブカードに対して該第1プローブカードと一体化した半導体ウエハを移動させながら複数回測定を繰り返すことにより、該第1プローブカードに接続された複数または全被検査デバイスの検査を行うものであり、そのことにより上記目的が達成される。
また、好ましくは、本発明の半導体デバイスの検査装置における。
上記構成により、以下に、本発明の作用について説明する。
本発明にあっては、まず、半導体ウエハに構成された複数または全被検査デバイス(DUT)の測定用端子と、第1プローブカードの第1触針を接触させて電気的に接続させる。この状態で、第1プローブカードの第1接続端子と第2プローブカードの第2触針とを接触させて電気的に接続させて、一または複数の半導体デバイスの検査を行う。その後、第2プローブカードに対して第1プローブカードと一体化された半導体ウエハを移動させながら順番に測定を繰り返すことにより、第1プローブカードに接続された複数または全被検査デバイス(DUT)の測定をする。
第1プローブカードに接続された複数または全被検査デバイス(DUT)の測定が完了するまで、第1プローブカードと半導体ウエハは接続されたままであり、被検査デバイス(DUT)の測定用端子と第1触針との物理的接触回数を減らすことが可能となる。これにより、被検査デバイス(DUT)の測定用端子部を構成するアルミニウムなどの金属が削られて発生する金属屑や端子部上に付着した異物が飛散することを抑制し、例えばイメージセンサデバイス(固体撮像装置)などにおける不良発生を低減することが可能となる。また、被検査デバイス(DUT)の測定用端子と触針との物理的接触が軽減されることにより、触針先端に酸化膜が生成されることを抑制し、接触抵抗の上昇による不良を低減することが可能となる。
以上により、本発明によれば、複数の被検査デバイスが設けられ、第1プローブカードと一体化された半導体ウエハを移動させながら、その上の第2プローブカードの各触針をその下の第1プローブカードの第1接続端子に接触させることを順番に繰り返して測定するように構成したため、半導体ウエハ上の被検査デバイスの各測定用端子とプローブカードの各触針との物理的接触回数を減らすことができる。よって、測定用端子と触針との接触による異物の発生を軽減できて、不良発生を抑制することができる。さらに、例えばイメージセンサデバイスなどにおいて、物理的接触を繰り返す第2プローブカード上で異物が発生した場合でも、光学的にフォーカスが合い難くなるため、これを検知できて不良が発生し難くなり、歩留まり低下を抑制することができる。
以下に、本発明の半導体デバイスの検査用プローブ装置、これを用いた半導体デバイスの検査装置および、これを用いた半導体デバイスの検査方法の実施形態を、イメージセンサ(固体撮像装置)の検査処理に適用した場合について、図面を参照しながら詳細に説明する。
図1は、本発明の実施形態に係る半導体デバイスの検査装置の要部構成例を示す縦断面図であり、図2はその第1プローブカードの構成例を示す上面図である。
図1において、本実施形態の半導体デバイスの検査装置10は、光学装置1と、第1プローブカード21およびその上の第2プローブカード22からなる検査用プローブ装置2と、第1プローブカード21と半導体ウエハ4とを位置合わせして互いに接続するべく移動可能とすると共に、第1プローブカード21と半導体ウエハ4とを一体化した状態で第1プローブカード21と第2プローブカード22とを位置合わせして互いに接続するべく移動可能とする検査装置本体部3とを備えている。
光学装置1は、半導体デバイス(半導体チップ)の検査時に、任意の光を照射するためのものであり、複数の半導体デバイスが設けられた半導体ウエハ4に対して垂直方向から光が照射されるように設置されている。
検査用プローブ装置2は、複数の被検査デバイスが設けられ、第1プローブカード21と一体化された半導体ウエハ4を移動させながら、その上の第2プローブカード22の各触針(後述する第2触針22a)をその下の第1プローブカード21の接続端子(後述する第1接続端子21b)に接触させることを順番に繰り返して検査測定するように構成されている。
第1プローブカード21は、半導体ウエハ4上の被検査デバイスの各測定用端子41と第2プローブカード22とを間接的に接続させるためのプローブカードであって、第2プローブカード22と半導体ウエハ4との間に配置されている。この第1プローブカード21は、半導体ウエハ4上の被検査デバイスの各測定用端子41にそれぞれ接続可能とされる第1触針21aと、検査用電気信号を伝達するための第1接続端子21bとを備えている。図2に示すように、第1接続端子21bと第1触針21aは、半導体ウエハ4に設けられた複数または全被検査デバイスの測定用端子41に対応する数の対(第1接続端子21bと第1触針21aは一体または連結されている)が、各被検査デバイスに対応する位置にそれぞれ配置されている。
第2プローブカード22は、第1プローブカード21の第1接続端子21bに接続可能とされる第2触針22aと、外部または内部から検査用電気信号を伝達するための第2接続端子22bとを備えている。この第2プローブカード22は、その上の測定回路基板5と接続されており、第2触針22aと第1接続端子21bとの接触により、第1プローブカード21を介して半導体ウエハ4上の被検査デバイスの各測定用端子41に接続して、その被検査デバイスの電気的検査測定が行われる。第2接続端子22bと第2触針22aの対の数は、第1接続端子21bと第1触針21aの対の数よりも大幅に少なく、被検査デバイス毎の各測定用端子41の数に対応する対が設けられている。なお、ここでは、第2接続端子22bは測定回路基板5からの配線につながっている。
検査装置本体部3は、複数の半導体デバイスが構成された半導体ウエハ4が着脱自在に搭載されるチャック部31と、第1プローブカード21が搭載されて第1プローブカード21をZ方向(図1の上下方向)に駆動可能とする第1プローブカードZ方向駆動部32と、このウエハ固定用のチャック部31をXY方向(図1の左右方向と図の奥から手前方向)に駆動するチャック部XY駆動部33と、半導体ウエハ4と第1プローブカード21とを一体的にZ方向に駆動させる半導体ウエハ・第1プローブカード一体部Z方向駆動部34と、半導体ウエハ4と第1プローブカード21とを一体的にXY方向に駆動させる半導体ウエハ・第1プローブカード一体部XY方向駆動部35とを備えている。
これらの第1プローブカードZ方向駆動部32とチャック部XY駆動部33とにより、第1プローブカード21と半導体ウエハ4とを位置合わせして接続するべく移動可能とする。また、半導体ウエハ・第1プローブカード一体部Z方向駆動部34と半導体ウエハ・第1プローブカード一体部XY方向駆動部35とにより、第1プローブカード21と半導体ウエハ4とを一体化した状態で、第1プローブカード21と第2プローブカード22とを位置合わせして互いに接続するべく移動可能とする。
上記構成により、以下に、その動作について説明する。
半導体ウエハ4上の複数の半導体デバイスの検査時には、まず、第1プローブカード21の第1触針21aが、半導体ウエハ4上の複数または全被検査デバイスの各測定用端子41とそれぞれ接触されて電気的に接続される。半導体ウエハ4の検査開始から終了まで、第1プローブカード21と半導体ウエア4は一体化して固定されて、その状態が維持される。
ここで、被検査デバイス(DUT)の各測定用端子41と第1プローブカード21の各第1触針21aとの位置合わせは、カメラを使用した画像認識とパターンマッチング処理とにより行われる。この各第1触針21aの位置は下方から上方へ向けて撮影することにより検出され、被検査デバイス(DUT)の各測定用端子41の位置は上方から下方へ向けて撮影することにより検出される。第1プローブカード21の各第1触針21aと半導体デバイスの各測定用端子41との位置合わせ(XY方向)は、チャック部XY方向駆動部33によりチャック部31をXY方向に移動させることにより行われる。また、第1プローブカード21の各第1触針21aと半導体デバイスの各測定用端子41との接触は、第1プローブカードZ方向駆動部32を駆動して第1プローブカード21を下降させることにより行われる。第1プローブカード21の各第1触針21aと半導体デバイスの各測定用端子41との接触後は、その一体化状態が保持されて固定され、その半導体ウエハ4の測定が終わるまで維持継続される。その検査測定完了後、第1プローブカードZ方向駆動部32を駆動して第1プローブカード21を上昇させることにより、その各測定用端子41と第1プローブカード21の各第1触針21aとの一体化状態が解除される。
次に、任意に設定された順序で、第2プローブカード22の各第2触針22aと被検査デバイス(DUT)の一または複数に対応する第1プローブカード21の各第1接続端子21bとが接触されて電気的に接続され、外部から各第2接続端子22bに検査用電気信号が供給されることにより、その接続された半導体デバイスの検査が行われる。その後、次の被検査半導体デバイス(DUT)の一または複数に対応する第1プローブカード21の各第1接続端子21bへ各第2触針22aがそれぞれ接触されて電気的に接続されるように、順番に、各測定用端子41と第1プローブカード21とが一体的に移動しながら、半導体ウエハ4上の被検査半導体デバイスの各測定用端子41と第2プローブカード22とが第1プローブカード21を介して接続されて複数回測定が繰り返される。
ここで、第1プローブカード21の各第1接続端子21bと第2プローブカード22の各第2触針22aとの位置合わせについても、カメラを使用した画像認識とパターンマッチングとにより行われる。第2プローブカード22の各第2触針22aと第1プローブカード21の各第1接続端子21bとの位置合わせ(XY方向)は、半導体ウエハ・第1プローブカード一体部XY方向駆動部35により半導体ウエハ4と第1プローブカード21とを第2プローブカード22に対して一体的に移動させることにより行われる。また、第2プローブカード22の各第2触針22aと第1プローブカード21の各第1接続端子21bとの接触は、半導体ウエハ・第1プローブカード一体部Z方向駆動部34により半導体ウエハ4と第1プローブカード21とを一体的に上昇させることにより行われる。
最後に、半導体ウエハ4上に構成された全被検査デバイスの測定が終了すると、上記第1プローブカード21と半導体ウエハ4との固定状態が解除され、次の半導体ウエハ4が搬送されてきて、第1プローブカード21の各第1触針21aと被検査デバイスの各測定用端子41との接触から、上記検査処理が繰り返される。
以上により、本実施形態によれば、被検査デバイスの各測定用端子41に接続可能とする各第1触針21aおよび、検査用電気信号を伝達するための第1接続端子21bが設けられた第1プローブカード21と、各第1接続端子21bに接続可能とする各第2触針22aおよび、外部から検査用電気信号を伝達するための各第2接続端子22bが設けられた第2プローブカード22とを上下に用いている。半導体ウエハ4上の全被検査デバイスの各測定用端子41と第1プローブカード21の各第1触針21aとを接触させた一体化状態で、任意の設定順序で第1プローブカード21と一体化された半導体ウエハ4を第2プローブカード22に対して移動させながら、第1プローブカード21の各第1接続端子21bと第2プローブカード22の各第2触針22aとを接触させて、一または複数の半導体デバイス毎の検査を行う。これによって、半導体ウエハ4上の一または複数の被検査半導体デバイスの各測定用端子41とプローブカードの各触針との物理的接触回数を低減させて、各測定用端子41と各触針との接触時の異物発生を低減させることができて、不良発生を抑制することができる。
また、イメージセンサデバイス(固体撮像装置)などにおいて、物理的接触を繰り返す第2プローブカード22上で異物が発生した場合でも、半導体ウエハ4上の一または複数の被検査半導体デバイス上が第1プローブカード21で覆われ、かつ、光学的にフォーカスが合い難くなるため、異物が発生しても画素欠陥との判別が容易となり誤判定し難くなることから、歩留まり低下を抑制することができる。
さらに、第1プローブカード21として、ガラスなどの光を透過する材質を使用した場合、光学装置1を用いてイメージセンサデバイス(固体撮像装置)などを測定する際に、光が第1プローブカード21を透過して被検査デバイス表面へ照射され、光学的な測定を容易に行うことができる。また、上方から第1プローブカード21を通して半導体デバイス(半導体チップ)の配置パターンを容易に検出することができて、半導体デバイスの各測定用端子41の位置と第2プローブカード22の各第2触針22aとの位置合わせ精度を向上させることもできる。
なお、上記実施形態では、第1プローブカード21に半導体ウエハ4上に構成された全被検査デバイスの各測定用端子41に接続される各第1触針21aを備えた場合について説明したが、これらの各第1触針21aは、全被検査デバイスに対応する数でなくてもよく、複数の被検査デバイスに対応する数であれば、異物の発生を軽減させる効果が得られる。
また、上記実施形態では、被検査半導体デバイスがイメージセンサデバイス(固体撮像装置)である場合について説明したが、被検査半導体デバイスが、光電変換機能を備えないメモリデバイスや液晶駆動用デバイスの場合についても、被検査半導体デバイスの各測定用端子41に対する第1プローブカード21の各第1触針21aの接触回数が従来に比べて低減できるため、異物の発生を軽減させる効果が得られる。
さらに、第1プローブカード21は、接続される被検査半導体デバイス(DUT)の数が多い場合や、その各測定用端子41のパッドピッチが小さい場合には、狭いピッチの第1触針21aを多数構成することが容易なメンブレンタイプのものを用いることが好ましい。
さらに、本発明の半導体デバイスの検査用プローブ装置2において、第1プローブカード21にN(Nは2以上の整数)個の被検査半導体デバイス(DUT)に対応する各第1触針21aが設けられ、第2プローブカード22にM(Mは2以上の整数)個の被検査デバイス(DUT)に対応する各第2触針22aが設けられていてもよい。これにより、実質的に複数個の被検査デバイスを同時に検査することが可能となり、検査効率を向上させることができる。この場合には、NはMの整数倍の関係に設定される。
以上のように、本発明の好ましい実施形態を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許、特許出願および文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。
本発明は、半導体デバイス(半導体チップ)の測定用端子にプローブカードの触針を電気的に接続させて、これに検査用電気信号を供給することにより半導体デバイスの検査を行う半導体デバイスの検査装置、これに用いる半導体デバイスの検査用プローブ装置および、この半導体デバイスの検査装置を用いる半導体デバイスの検査方法の分野において、複数の被検査デバイスが設けられ、第1プローブカードと一体化された半導体ウエハを移動させながら、その上の第2プローブカードの各触針をその下の第1プローブカードの第1接続端子に接触させることを順番に繰り返して測定するように構成したため、半導体ウエハ上の被検査デバイスの各測定用端子とプローブカードの各触針との物理的接触回数を減らすことができる。よって、測定用端子と触針との接触による異物の発生を軽減できて、不良発生を抑制することができる。さらに、例えばイメージセンサデバイスなどにおいて、物理的接触を繰り返す第2プローブカード上で異物が発生した場合でも、光学的にフォーカスが合い難くなるため、これを検知できて不良が発生し難くなり、歩留まり低下を抑制することができる。
1 光学装置
2 検査用プローブ装置
21 第1プローブカード
21a 第1触針
21b 第1接続端子
22 第2プローブカード
22a 第2触針
22b 第2接続端子
3 検査装置本体部
31 チャック部
32 第1プローブカードZ方向駆動部
33 チャック部XY駆動部
34 半導体ウエハ・第1プローブカード一体部Z方向駆動部
35 半導体ウエハ・第1プローブカード一体部XY方向駆動部
4 半導体ウエハ
41 測定用端子
5 測定回路基板
10 半導体デバイスの検査装置
2 検査用プローブ装置
21 第1プローブカード
21a 第1触針
21b 第1接続端子
22 第2プローブカード
22a 第2触針
22b 第2接続端子
3 検査装置本体部
31 チャック部
32 第1プローブカードZ方向駆動部
33 チャック部XY駆動部
34 半導体ウエハ・第1プローブカード一体部Z方向駆動部
35 半導体ウエハ・第1プローブカード一体部XY方向駆動部
4 半導体ウエハ
41 測定用端子
5 測定回路基板
10 半導体デバイスの検査装置
Claims (12)
- 各被検査半導体デバイスの複数の測定用端子に接続可能とされる複数の第1触針および、検査用電気信号を伝達するための複数の第1接続端子が設けられた第1プローブカードと、
外部から該検査用電気信号が伝達され、該複数の第1接続端子のうちの複数の第1接続端子に接続可能とされる複数の第2触針が設けられた第2プローブカードとを有する半導体デバイスの検査用プローブ装置。 - 前記第2プローブカードは、前記第1プローブカードの上方に配置されている請求項1に記載の半導体デバイスの検査用プローブ装置。
- 前記第1プローブカードは、前記複数の測定用端子に対応する数の複数の第1接続端子と前記複数の第1触針との各対を備えている請求項1または2に記載の半導体デバイスの検査用プローブ装置。
- 前記第1プローブカードは、半導体ウエハに設けられた全被検査半導体デバイスの複数の測定用端子に対応する数の複数の第1接続端子と前記複数の第1触針との各対を、該被検査半導体デバイスの複数の測定用端子に対応する位置にそれぞれ備えている請求項1または2に記載の半導体デバイスの検査用プローブ装置。
- 前記第2プローブカードは、前記第1プローブカードに設けられた複数の第1接続端子と前記複数の第1触針との各対の数よりも少ない数の前記複数の第2触針と複数の第2接続端子との各対を備えている請求項1または2に記載の半導体デバイスの検査用プローブ装置。
- 前記第1プローブカードは、N(Nは2以上の整数)個の被検査半導体デバイスに対応して設けられ、前記第2プローブカードは、M(Mは2以上の整数)個の被検査半導体デバイスに対応して設けられ、NはMの整数倍である請求項1または2に記載の半導体デバイスの検査用プローブ装置。
- 前記第1プローブカードおよび前記第2プローブカードの各基板のうち少なくとも前記第1プローブカードの基板が透光性部材で構成されている請求項1または2に記載の半導体デバイスの検査用プローブ装置。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の半導体デバイスの検査用プローブ装置と、
該半導体デバイスの検査用プローブ装置の前記第1プローブカードおよび、前記複数の被検査半導体デバイスが設けられた半導体ウエハが別々に載置されて、該第1プローブカードの複数の第1触針と前記被検査半導体デバイスの複数の測定用端子とを位置合わせして互いに接続するべく、該第1プローブカードと該半導体ウエハの少なくともいずれかを移動可能とする第1駆動手段と、
該複数の第1触針と該複数の測定用端子とを接続して一体化した状態で、該第1プローブカードの複数の第1接続端子と前記第2プローブカードの複数の第2触針とを位置合わせして互いに接続するべく、該第1プローブカードと該第2プローブカードの少なくともいずれかを移動可能とする第2駆動手段とを備えた半導体デバイスの検査装置。 - 前記第1駆動手段は、
前記複数の被検査半導体デバイスが設けられた半導体ウエハが搭載されるチャック部と、
前記第1プローブカードが載置されて、該第1プローブカードを、互いに直交する3次元座標軸(X、Y、Z)のうちのZ軸方向に駆動可能とする第1プローブカードZ方向駆動部と、
該チャック部を該半導体ウエハと共にX軸方向またはY軸方向に駆動可能とするチャック部XY駆動部とを備えた請求項8に記載の半導体デバイスの検査装置。 - 前記第2駆動手段は、
前記半導体ウエハおよび前記第1プローブカードとが載置され、該半導体ウエハと該第1プローブカードとを一体的に、互いに直交する3次元座標軸(X、Y、Z)のうちのZ軸方向に駆動可能とする半導体ウエハ・第1プローブカード一体部Z方向駆動部と、
該半導体ウエハと該第1プローブカードとを一体的にX軸方向またはY軸方向に駆動可能とする半導体ウエハ・第1プローブカード一体部XY方向駆動部とを備えた請求項8または9に記載の半導体デバイスの検査装置。 - 検査時に前記半導体ウエハの面に垂直方向から任意の光を照射可能とする光学装置をさらに備えた請求項8〜10のいずれかに記載の半導体デバイスの検査装置。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の半導体デバイスの検査用プローブ装置または、請求項8〜11のいずれかに記載の半導体デバイスの検査装置を用いて、
前記半導体ウエハ上の複数または全被検査デバイスの複数の測定用端子と前記第1プローブカードの複数の第1触針とを電気的に接続して、この状態を保持しながら、
所望の被検査デバイスに対応する該第1プローブカードの複数の第1接続端子と前記第2プローブカードの複数の第2触針とを電気的に接続して、外部から複数の第2接続端子に検査用電気信号を供給することにより、該第1プローブカードを介して一または複数の半導体デバイスの検査を行い、その後、該第2プローブカードに対して該第1プローブカードと一体化した半導体ウエハを移動させながら複数回測定を繰り返すことにより、該第1プローブカードに接続された複数または全被検査デバイスの検査を行う半導体デバイスの検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005182477A JP2007005490A (ja) | 2005-06-22 | 2005-06-22 | 半導体デバイスの検査用プローブ装置、半導体デバイスの検査装置および半導体デバイスの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005182477A JP2007005490A (ja) | 2005-06-22 | 2005-06-22 | 半導体デバイスの検査用プローブ装置、半導体デバイスの検査装置および半導体デバイスの検査方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007005490A true JP2007005490A (ja) | 2007-01-11 |
Family
ID=37690823
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005182477A Withdrawn JP2007005490A (ja) | 2005-06-22 | 2005-06-22 | 半導体デバイスの検査用プローブ装置、半導体デバイスの検査装置および半導体デバイスの検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007005490A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011220702A (ja) * | 2010-04-05 | 2011-11-04 | Micronics Japan Co Ltd | プローブカードの検査装置 |
KR101378392B1 (ko) * | 2007-07-24 | 2014-03-25 | 주식회사 코리아 인스트루먼트 | 이미지 소자 검사장치 |
CN110634840A (zh) * | 2019-09-24 | 2019-12-31 | 京东方科技集团股份有限公司 | 检测基板及其制备方法、检测装置和检测方法 |
CN116581051A (zh) * | 2023-07-12 | 2023-08-11 | 杭州朗迅科技股份有限公司 | 一种晶圆的测试方法及装置 |
-
2005
- 2005-06-22 JP JP2005182477A patent/JP2007005490A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101378392B1 (ko) * | 2007-07-24 | 2014-03-25 | 주식회사 코리아 인스트루먼트 | 이미지 소자 검사장치 |
JP2011220702A (ja) * | 2010-04-05 | 2011-11-04 | Micronics Japan Co Ltd | プローブカードの検査装置 |
CN110634840A (zh) * | 2019-09-24 | 2019-12-31 | 京东方科技集团股份有限公司 | 检测基板及其制备方法、检测装置和检测方法 |
US11398590B2 (en) | 2019-09-24 | 2022-07-26 | Boe Technology Group Co, Ltd. | Detection substrate, preparation method thereof, detection device and detection method |
CN116581051A (zh) * | 2023-07-12 | 2023-08-11 | 杭州朗迅科技股份有限公司 | 一种晶圆的测试方法及装置 |
CN116581051B (zh) * | 2023-07-12 | 2023-09-29 | 杭州朗迅科技股份有限公司 | 一种晶圆的测试方法及装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0567652A (ja) | プローブ装置 | |
TWI539166B (zh) | Check the wafer and test system | |
JP2007005490A (ja) | 半導体デバイスの検査用プローブ装置、半導体デバイスの検査装置および半導体デバイスの検査方法 | |
JP2004063877A (ja) | ウェハの位置決め修正方法 | |
KR100723002B1 (ko) | 세정장치 내장형 프로브 스테이션 | |
JPH04207047A (ja) | プローブ検査装置 | |
TWM628587U (zh) | 探針檢測系統 | |
JP2005315775A (ja) | 片面移動式プローブを用いた4端子検査方法及び4端子検査用治具 | |
KR20090075515A (ko) | 프로브 카드 및 이를 포함하는 테스트 장비 | |
KR20090030429A (ko) | 프로브 정렬방법 및 프로브 정렬장치 | |
KR100913490B1 (ko) | 이미지 센서의 전기 검사 장치 | |
JPH0348171A (ja) | 混成集積回路板の電気的特性検査を行う方法 | |
JP2767291B2 (ja) | 検査装置 | |
KR100553812B1 (ko) | 전/후면 겸용 불량 위치 검출 장치 및 방법 | |
JP2006261391A (ja) | 半導体装置およびその検査方法 | |
JP2005134204A (ja) | 特性検査装置、特性検査方法および特性検査プログラム | |
JP4726422B2 (ja) | 探針プローブカード及びそれを用いたウエハ検査方法 | |
JP2001028464A (ja) | フリップチップ接続アライメント精度評価方法 | |
JPWO2009147719A1 (ja) | 試験システム | |
JP2006003135A (ja) | 半導体集積回路の不良診断方法 | |
US20220349936A1 (en) | Inspection Device and Method | |
JP2017015482A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2007157955A (ja) | プローブカードおよびこれを用いた測定方法および検査装置 | |
KR100531957B1 (ko) | 전/후면 겸용 불량 위치 검출 장치 및 방법 | |
JP2017015481A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080902 |