JP4726422B2 - 探針プローブカード及びそれを用いたウエハ検査方法 - Google Patents
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Description
2 カード基板(回路基材)
3 開口部A
4 開口部B
5 開口部C
6,7,8,9,10,11 探針群
12 固体撮像素子チップA
13 固体撮像素子チップB
14 固体撮像素子チップC
15,16,17 受光部
18,19,20,21,22,23,31,32,33 チップパッド(検査パッド)群
34 スイッチA(スイッチ制御部)
35 スイッチB(スイッチ制御部)
36 スイッチC(スイッチ制御部)
37 制御回路部
38 データ格納装置
39 検査装置
41 ウエハ
42 有効チップ領域
43 検査対象外チップ
Claims (12)
- 矩形状でその一辺に対し直交する方向に細長くウエハ状態にある固体撮像素子チップの光学特性を複数チップ同時に検査する探針プローブカードであって、
回路基材の平面上において、前記固体撮像素子チップの前記一辺方向の寸法の整数倍になる離間距離で前記一辺に対応する方向に互いに等間隔に隔てて設けられた複数の開口部と、
前記開口部のそれぞれの周縁部に取り付けられた探針群と、を備え、
前記ウエハ表面に対向して配置した前記回路基材を接近させて、前記複数の開口部に取り付けられた探針それぞれの先端部と前記対向するウエハ表面の複数の固体撮像素子チップの検査パッドとを接触させるとき、前記探針が前記固体撮像素子の受光部の上部を横切らないようにしたことを特徴とする探針プローブカード。 - 前記複数チップの光学特性検査において前記複数の開口部上より検査光を照射するとき、前記固体撮像素子チップの各々の上へ投影された前記探針群の各々の影が前記固体撮像素子チップに設けられた受光部に投影されないようにしたことを特徴とする請求項1記載の探針プローブカード。
- 前記複数チップの光学特性検査において前記複数の開口部上より検査光を照射するとき、前記検査光が前記複数の開口部を通りそれぞれ対応するウエハ上の固体撮像素子チップの受光部を均一に照射するようにしたことを特徴とする請求項1又は2記載の探針プローブカード。
- 前記回路基材の平面上において、前記開口部の周縁部のうち前記固体撮像素子チップの一辺に対応する方向に直交する周縁辺のみに前記探針群が取り付けられていることを特徴とする請求項1、2又は3記載の探針プローブカード。
- 前記検査のための電気信号を前記複数の開口部の探針群と検査装置との間で授受する配線構造と、前記信号授受のスイッチ制御部とを前記回路基材に備えていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一に記載の探針プローブカード。
- 前記固体撮像素子チップの電気特性を前記光学特性と共に複数チップ同時に検査することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一に記載の探針プローブカード。
- 請求項1乃至6のいずれか一に記載の探針プローブカードを用いたウエハ検査方法であって、前記複数の固体撮像素子チップの光学特性の同時検査をウエハ上において前記一辺方向に順次に行うことを特徴とするウエハ検査方法。
- 前記複数の固体撮像素子チップの光学特性の同時検査において、前記複数の固体撮像素子チップの各々へ前記探針群の各々を介して各々独立に検査の信号を入力し、前記複数の固体撮像素子チップの各々からの出力信号を前記探針群の各々を介して各々独立に出力し、前記探針群の各々から各々独立に取り出した出力信号を、複数チャネル並列処理機能を有する検査装置を用いて同時並列に演算処理することを特徴とする請求項7記載のウエハ検査方法。
- 前記同時検査して得られた固体撮像素子チップの検査データをウエハ上でのチップ配列に従ったマップデータに並べ替えウエハマップデータとして格納することを特徴とする請求項7又は8記載のウエハ検査方法。
- 前記同時検査においてスイッチ制御部により所定の開口部の探針群と検査装置の間の信号授受を切断し、他の開口部の探針群のみで前記ウエハ上の固体撮像素子チップの検査を行うことを特徴とする請求項7,8又は9記載のウエハ検査方法。
- 検査不要のウエハ上チップとして前記同時検査の前に予め求めた固体撮像素子チップは、該固体撮像素子チップに対向する開口部の探針群と検査装置の間の信号授受をスイッチ制御部により切断し、前記同時検査しないことを特徴とする請求項7乃至10のいずれか一に記載のウエハ検査方法。
- 前記スイッチ制御部による前記開口部の探針群と前記検査装置の間の信号授受の切断は、前記検査装置に格納した前記ウエハ上の固体撮像素子チップのマップ情報に基づき行うことを特徴とする請求項10又は11記載のウエハ検査方法。
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