KR100913490B1 - 이미지 센서의 전기 검사 장치 - Google Patents

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Abstract

개시된 이미지 센서의 전기 검사 장치는 그 일부를 이미지 센서의 수광 영역으로 광의 제공이 가능하게 처리한 기판과, 상기 수광 영역의 소자들과 전기적으로 연결되는 상기 이미지 센서의 패드들 각각에 접촉이 가능하게 멤스 공정에 의해 수득하여 상기 기판에 연결하는 프로브들을 포함한다. 이에, 이미지 센서의 전기 검사에서는 기판의 일부를 통하여 이미지 센서의 수광 영역으로 광을 제공하면서 프로브들을 사용하여 이미지 센서의 패드들 각각에 접촉시킨다.

Description

이미지 센서의 전기 검사 장치{apparatus for inspecting electrical condition of image sensor}
도 1은 본 발명의 실시예 1에 따른 이미지 센서의 전기 검사 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 2는 이미지 센서의 단위 화소를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예 2에 따른 이미지 센서의 전기 검사 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ 선을 따라 자른 단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예 3에 따른 이미지 센서의 전기 검사 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 6은 본 발명의 실시예 4에 따른 이미지 센서의 전기 검사 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
본 발명은 이미지 센서의 전기 검사 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 포토 다이오드(photo diode) 등이 배치되는 수광 영역을 포함하는 이미지 센서의 전기 검사 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 이미지 센서는 광학 영상을 전기 신호로 변환시키는 소자로써, 전하 결합 소자(charge coupled device :CCD), 씨모스(CMOS) 이미지 센서 등을 그 예로 들 수 있다. 그리고, 이미지 센서는 단위 화소로써 주로 광을 감지하여 전기 신호로 변환하기 위한 수광 영역과 언급한 수광 영역과 전기적으로 연결되는 주변 영역을 포함하는 구조를 갖는다. 여기서, 수광 영역에는 광을 감지하는 포토 다이오드와 광을 전기 신호로 변환하는 로직 회로 등이 배치되고, 주변 영역에는 로직 회로 등과 전기적으로 연결되는 패드들 등이 배치된다.
그리고, 언급한 이미지 센서의 제조에 따른 전기 검사에서는 수광 영역으로 광을 제공하면서 주변 영역의 패드들 각각에 접촉하여 전기 신호를 전달한다. 아울러, 언급한 전기 검사에서는 주로 니들 타입의 구조를 갖는 프로브 카드를 사용하고 있다. 여기서, 니들 타입의 구조를 갖는 프로브 카드는 그 중심 부위에 개구를 갖는 인쇄회로기판 그리고 개구 주변의 인쇄회로기판에 형성하는 니들들을 포함하는 구조를 갖는다. 그러므로, 언급한 프로브 카드를 사용한 이미지 센서의 전기 검사에서는 인쇄회로기판의 개구를 통하여 이미지 센서의 수광 영역으로 광을 제공하면서 니들들을 사용하여 이미지 센서의 패드들 각각에 접촉하여 전기 신호를 전달한다.
그러나, 언급한 니들 타입의 구조를 갖는 프로브 카드는 이미지 센서가 미세 패턴을 가질 경우 그 대응에 다소 불리하다. 이는, 프로브 카드의 니들들 자체를 미세하게 형성하는 것이 용이하지 않기 때문이고, 아울러 니들들 각각을 수작업에 의해 프로브 카드에 연결하기 때문이다.
따라서, 최근 미세 패턴을 요구하는 이미지 센서는 그 전기 검사에 적절하게 대응할 수 있는 장치가 거의 부재인 상태이다.
본 발명의 목적은 미세 패턴을 요구하는 이미지 센서의 전기 검사를 용이하게 수행할 수 있는 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 일 양태에 따르면 이미지 센서의 전기 검사 장치를 제공한다. 언급한 이미지 센서의 전기 검사 장치는 그 일부를 이미지 센서의 수광 영역으로 광의 제공이 가능하게 처리한 기판과, 상기 수광 영역의 소자들과 전기적으로 연결되는 상기 이미지 센서의 패드들 각각에 접촉이 가능하게 멤스 공정에 의해 수득하여 상기 기판에 연결하는 프로브들을 포함한다.
본 발명의 몇몇 실시예들에서, 상기 기판이 세라믹 기판을 포함할 때, 상기 기판의 일부는 상기 기판에 직접 형성한 개구를 포함하고, 상기 프로브들은 상기 개구 주변의 기판에 연결할 수 있다.
본 발명의 다른 몇몇 실시예들에서, 상기 기판이 유리 기판을 포함할 때, 상기 기판의 일부는 상기 수광 영역으로 광의 제공이 가능하게 처리하고, 상기 기판의 나머지는 상기 광의 제공이 불가능하게 처리하고, 상기 프로브들은 상기 기판의 나머지에 연결할 수 있다.
본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에서, 상기 기판은 적어도 두 개가 일정 간격 을 가지게 배치됨에 의해 상기 수광 영역으로 상기 광의 제공이 가능한 창을 형성하는 조각 기판들과, 상기 조각 기판들을 지지하기 위한 지지판을 포함하고, 상기 프로브들은 상기 조각 기판들에 연결할 수 있다
본 발명의 다른 양태도 이미지 센서의 전기 검사 장치를 제공한다. 언급한 이미지 센서의 전기 검사 장치는 그 일부를 이미지 센서의 수광 영역으로 광의 제공이 가능하게 처리한 제1 기판과, 상기 수광 영역의 소자들과 전기적으로 연결되는 상기 이미지 센서의 패드들 각각에 접촉이 가능하게 멤스 공정에 의해 수득하여 상기 제1 기판에 연결하는 프로브들과, 상기 프로브들 각각으로부터 상기 제1 기판을 통하여 전기적으로 연결되는 연결부와, 상기 연결부와 전기적으로 연결되는 제2 기판 그리고 상기 제1 기판의 일부을 통하여 상기 수광 영역으로 광을 제공하는 광원을 포함한다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 제2 기판이 상기 제1 기판 상부에 위치할 때, 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에는 상기 수광 영역으로 광의 제공이 가능하게 상기 광원으로부터 조사되는 광을 상기 제1 기판의 일부로 유도하기 위한 광학계를 더 포함할 수 있다.
이와 같이, 본 발명에서는 이미지 센서의 패드들 각각에 접촉하는 프로브들을 멤스 공정에 의해 수득하고, 이를 기판에 연결한다. 이에, 본 발명에 따른 이미지 센서의 전기 검사 장치는 미세 패턴을 요구하는 최근의 이미지 센서의 전기 검사에 적극적으로 대응할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
이미지 센서의 전기 검사 장치 1
도 1은 본 발명의 실시예 1에 따른 이미지 센서의 전기 검사 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예 1에 따른 이미지 센서의 전기 검사 장치(100)는 기판(11) 그리고 프로브(13)들을 포함한다.
구체적으로, 기판(11)은 주로 세라믹 기판을 포함한다. 이와 같이, 세라믹 기판을 포함할 경우에는 세라믹 기판의 자체 특성으로 인하여 이미지 센서의 수광 영역으로 광의 제공이 가능하지 않다. 이에, 기판(11)의 일부를 이미지 센서의 수광 영역으로 광의 제공이 가능하게 처리한다. 여기서, 언급한 기판(11)의 일부에 대한 처리는 기판(11)에 직접 개구(11a)를 형성하는 것이다. 즉, 이미지 센서의 수광 영역으로 광의 제공이 가능하게 기판(11)의 일부에 개구(11a)를 형성하는 것이 다. 이때, 기판(11)에 형성하는 개구(11a)는 적어도 두 개를 형성할 수 있다. 아울러, 기판(11)에 형성하는 개구(11a)가 이미지 센서의 수광 영역보다 작을 경우에는 이미지 센서에 대한 전기 검사를 용이하게 수행할 수 없기 때문에 언급한 이미지 센서의 수광 영역보다 크게 개구(11a)를 형성하는 것이 바람직하다.
언급한 바와 같이, 본 발명의 실시예 1에서는 이미지 센서의 수광 영역으로 광의 제공이 가능하게 기판(11)의 일부에 개구(11a) 등을 형성한다.
그리고, 프로브(13)들은 이미지 센서의 패드들 각각에 접촉하는 부재이다. 여기서, 이미지 센서의 패드들은 이미지 센서의 수광 영역의 소자들과 전기적으로 연결되는 부재이다. 언급한 프로브(13)들은 주로 멤스 공정에 의해 수득한다. 이는, 언급한 기판이 세라믹 기판이기 때문에 가능하다. 즉, 기판(11)을 세라믹 기판으로 마련하기 때문에 멤스 공정에 의해 수득한 프로브(13)들을 사용할 수 있는 것이다. 그리고, 프로브(13)들 각각은 팁들이 수직한 형태를 갖는 수직 구조, 팁들이 빔에 연결되는 켄틸레버(cantilever) 구조 등으로 마련할 수 있다. 또한, 프로브(13)들은 이미지 센서의 패드들 각각에 접촉해야 하기 때문에 언급한 개구(11a) 주변의 기판에 연결하는 것이 바람직하다. 이때, 프로브(13)들과 연결되는 기판(11)은 그 내부에 전기 배선이 형성됨은 당업자라면 용이하게 이해할 수 있다.
언급한 바와 같이, 본 발명의 실시예 1에서는 멤스 공정에 의해 수득한 프로브(13)들 각각을 개구(11a) 주변의 기판(11)에 연결한다.
그리고, 도 2는 이미지 센서(20)의 단위 화소를 포함하는 칩을 나타내는 것으로써, 수광 영역(22)과 패드(24)들을 포함한다.
따라서, 본 발명의 실시예 1에 따른 개구(11a)를 갖는 기판(11)과 프로브(13)들을 포함하는 이미지 센서의 전기 검사 장치(100)를 사용한 이미지 센서의 전기 검사에서는 기판(11)의 일부를 통하여 도 2의 이미지 센서(20)의 수광 영역(22)으로 광을 제공하면서 프로브(13)들을 사용하여 도 2의 이미지 센서(20)의 패드(24)들 각각에 접촉시킨다.
특히, 본 발명의 실시예 1에서는 기판(11)을 세라믹 기판으로 마련하고, 프로브(13)들을 멤스 공정을 수행하여 수득한다. 그러므로, 본 발명의 실시예 1에 따른 전기 검사 장치(100)는 미세 패턴을 요구하는 최근의 이미지 센서의 전기 검사에 보다 적극적으로 대응할 수 있다. 이는, 멤스 공정에 의해 수득하는 프로브(13)들을 기판(11)에 연결시킬 수 있기 때문이다. 즉, 멤스 공정에 의해 수득하는 프로브(13)들은 미세 패턴을 가질 수 있기 때문이다.
이미지 센서의 전기 검사 장치 2
도 3은 본 발명의 실시예 2에 따른 이미지 센서의 전기 검사 장치를 나타내는 개략적인 구성도이고, 도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ 선을 따라 자른 단면도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예 2에 따른 이미지 센서의 전기 검사 장치(300)는 기판(31) 그리고 프로브(33)들을 포함한다.
구체적으로, 기판(31)은 주로 유리 기판을 포함한다. 이와 같이, 유리 기판을 포함할 경우에는 유리 기판 자체가 모든 영역에서 광의 투사가 가능하기 때문에 바람직하지 않다. 이에, 기판(31)의 일부에서만 이미지 센서의 수광 영역으로 광의 제공이 가능하게 처리한다. 그러므로, 기판(31)의 일부를 이미지 센서의 수광 영역으로 광의 제공이 가능하게 처리하고, 기판(31)의 나머지를 이미지 센서의 수광 영역의 광의 제공이 불가능하게 처리한다. 즉, 기판(31)의 일부를 이미지 센서의 수광 영역에 광의 제공이 가능한 광 투과 영역(31a)으로 형성하는 것이다.
여기서, 기판(31)의 나머지에 대한 처리는 주로 기판(31)의 나머지에 광의 투과가 불가능한 불투명 필름(35)을 도포한다. 특히, 기판(31)의 나머지에 대한 처리는 기판(31)의 일부가 서로 이격되게 적어도 두 군데를 포함하도록 한다.
언급한 바와 같이, 본 발명의 실시예 2에서는 기판(31)의 나머지에 광의 투과가 불가능한 불투명 필름(35) 등을 도포함으로써 기판(31)의 일부인 광 투과 영역(31a)을 통하여 이미지 센서의 수광 영역으로 광의 제공을 가능하게 한다.
또한, 본 발명의 실시예 2에서는 기판(31)의 나머지에 광의 투과가 불가능하게 처리함과 아울러 기판(31)의 일부에 본 발명의 실시예 1에서와 같이 개구를 형성하여도 무방하다. 즉, 언급한 기판의 광 투과 영역(31a) 자체를 개구로 형성하여도 무방한 것이다.
그리고, 프로브(33)들은 언급한 본 발명의 실시예 1과 마찬가지로 이미지 센서의 패드들 각각에 접촉하는 부재이다. 아울러, 언급한 프로브(33)들 또한 멤스 공정에 의해 수득한다. 이는, 언급한 기판(31)이 유리 기판이기 때문에 가능하다. 즉, 기판(31)을 유리 기판으로 마련하기 때문에 멤스 공정에 의해 수득한 프로브(33)들을 용이하게 사용할 수 있는 것이다. 마찬가지로, 프로브(33)들 각각은 팁들이 수직한 형태를 갖는 수직 구조, 팁들이 빔에 연결되는 켄틸레버 구조 등으로 마련할 수 있다. 또한, 프로브(33)들은 이미지 센서의 패드들 각각에 접촉해야 하기 때문에 언급한 기판(31)의 나머지에 연결하는 것이 바람직하다. 이때, 프로브(33)들과 연결되는 기판(31)은 그 내부에 전기 배선이 형성됨은 당업자라면 용이하게 이해할 수 있다.
언급한 바와 같이, 본 발명의 실시예 2에서는 멤스 공정에 의해 수득한 프로브(33)들 각각을 기판(31)의 나머지에 연결한다.
따라서, 본 발명의 실시예 2에 따른 기판(31)과 프로브(33)들을 포함하는 이미지 센서의 전기 검사 장치(300)를 사용한 이미지 센서의 전기 검사에서는 기판(31)의 일부를 통하여 도 2의 이미지 센서(20)의 수광 영역(22)으로 광을 제공하면서 프로브(13)들을 사용하여 도 2의 이미지 센서(20)의 패드(24)들 각각에 접촉시킨다.
특히, 본 발명의 실시예 2에서는 기판(31)을 유리 기판으로 마련하고, 프로브(33)들을 멤스 공정을 수행하여 수득한다. 그러므로, 본 발명의 실시예 2에 따른 전기 검사 장치(300)는 미세 패턴을 요구하는 최근의 이미지 센서의 전기 검사에 보다 적극적으로 대응할 수 있다. 이는, 멤스 공정에 의해 수득하는 프로브(33)들을 기판(31)에 연결시킬 수 있기 때문이다. 즉, 멤스 공정에 의해 수득하는 프로브(33)들은 미세 패턴을 가질 수 있기 때문이다.
이미지 센서의 전기 검사 장치 3
도 5는 본 발명의 실시예 3에 따른 이미지 센서의 전기 검사 장치를 나타내 는 개략적인 구성도이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예 3에 따른 이미지 센서의 전기 검사 장치(500)는 조각 기판(50a)들과 지지판(50b)을 구비하는 기판(50) 그리고 프로브(53)들을 포함한다.
구체적으로, 기판(50)은 적어도 두 개가 일정 간격을 가지게 배치됨에 의해 이미지 센서의 수광 영역으로 광의 제공이 가능한 창(51a)을 형성하는 조각 기판(50a)들 그리고 조각 기판(50a)들을 지지하기 위한 지지판(50b)을 포함한다. 이와 같이, 조각 기판(50a)들을 서로 일정 간격을 가지게 배치함으로써 형성되는 창(51a)을 통하여 이미지 센서의 수광 영역으로 광의 제공이 가능하게 하는 것이다. 여기서, 조각 기판(50a)들의 배치에 의해 형성되는 창(51a) 또한 이미지 센서의 수광 영역보다 작을 경우에는 이미지 센서에 대한 전기 검사를 용이하게 수행할 수 없기 때문에 언급한 이미지 센서의 수광 영역보다 크게 형성하는 것이 바람직하다. 아울러, 조각 기판(50a)들을 지지하기 위한 지지판(50b)는 조각 기판(50a)들과 나사 체결, 본딩 등에 의해 결합될 수 있다.
또한, 조각 기판(50a)들은 세라믹 조각 기판, 유리 조각 기판 등을 포함할 수 있다. 특히, 조각 기판(50a)들이 유리 조각 기판들을 포함할 경우에는 유리 조각 기판들 각각은 이미지 센서의 수광 영역으로 광의 제공이 불가능하게 처리해야 한다.
언급한 바와 같이, 본 발명의 실시예 3에서는 이미지 센서의 수광 영역으로 광의 제공이 가능하게 조각 기판(50a)들을 사용하여 기판(50)을 마련한다.
그리고, 프로브(53)들 또한 이미지 센서의 패드들 각각에 접촉하는 부재로써 주로 멤스 공정에 의해 수득한다. 이는, 언급한 기판(50)의 조각 기판(50a)들 각각이 세라믹 조각 기판, 유리 조각 기판 등을 포함하기 때문에 가능하다. 그리고, 프로브(53)들 각각은 팁들이 수직한 형태를 갖는 수직 구조, 팁들이 빔에 연결되는 켄틸레버 구조 등으로 마련할 수 있다.
언급한 바와 같이, 본 발명의 실시예 3에서는 멤스 공정에 의해 수득한 프로브(53)들 각각을 조각 기판(50a)들에 연결한다.
따라서, 본 발명의 실시예 3에 따른 조각 기판(50a)들을 구비하는 기판(50)과 프로브(53)들을 포함하는 이미지 센서의 전기 검사 장치(500)를 사용한 이미지 센서의 전기 검사에서는 기판(50)의 창(51a)을 통하여 도 2의 이미지 센서(20)의 수광 영역(22)으로 광을 제공하면서 프로브(53)들을 사용하여 도 2의 이미지 센서(20)의 패드(24)들 각각에 접촉시킨다.
특히, 본 발명의 실시예 3에서는 기판(50)을 세라믹 조각 기판, 유리 조각 기판 등으로 마련하고, 프로브(53)들을 멤스 공정을 수행하여 수득한다. 그러므로, 본 발명의 실시예 3에 따른 전기 검사 장치(500)는 미세 패턴을 요구하는 최근의 이미지 센서의 전기 검사에 보다 적극적으로 대응할 수 있다. 이는, 멤스 공정에 의해 수득하는 프로브(53)들을 기판(50)에 연결시킬 수 있기 때문이다. 즉, 멤스 공정에 의해 수득하는 프로브(53)들은 미세 패턴을 가질 수 있기 때문이다.
이미지 센서의 전기 검사 장치 4
도 6은 본 발명의 실시예 4에 따른 이미지 센서의 전기 검사 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다. 그리고, 본 발명의 실시예 4에서의 제1 기판과 프로브들은 언급한 본 발명의 실시예 1에서의 전기 검사 장치와 유사하기 때문에 중복되는 부재에 대해서는 동일 부호를 사용하고, 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 6을 참조하면, 언급한 이미지 센서의 전기 검사 장치(600)는 제1 기판(11), 프로브(13)들, 연결부(63), 제2 기판(61) 그리고 광원(65)을 포함한다.
본 발명의 실시예 4에 따른 제1 기판(11)과 프로브(13)들은 언급한 바와 같이 본 발명의 실시예 1의 기판(11)과 프로브(13)들과 동일한 구조를 갖는다. 이에, 제1 기판(11)은 이미지 센서의 수광 영역으로 광의 제공이 가능하게 처리된 개구(11a) 등을 갖는다. 아울러, 프로브(13)들 또한 멤스 공정에 의해 수득하고, 개구(11a) 주변의 제1 기판(11)에 연결한다.
여기서, 본 발명의 실시예 4에 따른 제1 기판(11)의 경우에는 통상의 전기 검사 장치인 프로브 카드의 마이크로 프로브 헤드(micro probe head : MPH), 스페이스 트랜스포머(space transformer) 등으로 통칭할 수 있다. 그리고, 본 발명의 실시예 4에는 제1 기판(11)을 본 발명의 실시예 1의 전기 검사 장치(100)의 기판(11)으로 한정하고 있지만, 다른 예들로서 본 발명의 실시예 2의 전기 검사 장치(300)의 기판(31), 본 발명의 실시예 3의 전기 검사 장치(500)의 기판(50) 등을 사용할 수도 있음은 자명하다.
그리고, 언급한 연결부(63)는 프로브(13)들 각각으로부터 제1 기판(11)을 통하여 전기적으로 연결되는 부재로써, 통상의 전기 검사 장치인 프로브 카드의 인터 포저(interposer) 등으로 통칭할 수 있다.
또한, 언급한 제2 기판(61)은 연결부(63)와 전기적으로 연결되는 부재로써, 통상의 전기 검사 장치인 프로브 카드의 인쇄회로기판으로 통칭할 수 있다.
이에, 본 발명의 실시예 4에 따른 이미지 센서의 전기 검사 장치(600)는 제1 기판(11)의 일부(개구 : 13a)를 통하여 이미지 센서의 수광 영역에 광을 제공하면서 프로브(13)들을 이미지 센서의 패드 각각에 접촉시킴으로써 프로브(13)들 각각으로부터 인가되는 전기 신호를 제1 기판(11)과 연결부(63) 그리고 제2 기판(61)을 통하여 테스터 콘트롤러(도시하지 않음)에 전달함에 의해 전기 검사를 수행하는 구조를 갖는다.
이와 같이, 본 발명의 실시예 4에 따른 이미지 센서의 전기 검사 장치(600)는 그 일면에 프로브(13)들이 연결되는 제1 기판(11)과 제2 기판(61) 그리고 연결부(63)를 포함하는 것으로써, 통상의 전기 검사 장치인 프로브 카드와 유사한 구조를 갖는다.
다만, 본 발명의 실시예 4에 따른 이미지 센서의 전기 검사 장치(600)는 제1 기판(11)의 일부를 이미지 센서의 수광 영역으로 광의 제공이 가능하게 처리한다. 이에, 본 발명의 실시예 4에 따른 이미지 센서의 전기 검사 장치(600)는 미세 패턴을 갖는 이미지 센서의 전기 검사에 적극적으로 대응할 수 있다. 이는, 프로브(13)들을 멤스 공정에 의해 수득하고, 제1 기판(11)에 연결할 수 있기 때문이다.
아울러, 본 발명의 실시예 4에 따른 이미지 센서의 전기 검사 장치(600)는 제1 기판(11)의 일부를 통하여 이미지 센서의 수광 영역으로 광을 제공하는 광 원(65)을 포함한다. 여기서, 언급한 광원(65)은 이미지 센서의 수광 영역에 제공되어 전기 신호로 변환이 가능할 경우 제한적이지 않다.
또한, 본 발명의 실시예 4에 따른 이미지 센서의 전기 검사 장치(600)에서 제2 기판(61)이 제1 기판(11)의 상부에 위치할 경우에는 제1 기판(11)과 제2 기판(61) 사이에 광학계(67)를 구비하는 것이 바람직하다. 이는, 제2 기판(61)을 통하여 제1 기판(11)의 일부로 광을 제공하지 못하기 때문으로 언급한 바와 같이 제1 기판(11)과 제2 기판(61) 사이에 광학계(67)를 구비함으로써 광학계(67)에 의해 광원으로부터 조사되는 광을 제1 기판(11)의 일부로 유도하기 위함이다. 여기서, 광학계(67)는 렌즈(lens), 밀러(mirror) 등을 포함할 수 있다.
이와 같이, 본 발명에 따른 전기 검사 장치는 멤스 공정에 의해 프로브들을 수득하고, 기판에 용이하게 연결할 수 있다. 그러므로, 미세 패턴을 요구하는 최근의 이미지 센서의 전기 검사에 보다 적극적으로 대응할 수 있다.
언급한 바와 같이, 본 발명의 전기 검사 장치를 사용하면 미세 패턴을 요구하는 최근의 이미지 센서의 전기 검사에 보다 적극적으로 대응할 수 있기 때문에 본 발명은 이미지 센서의 제조에 따른 신뢰성의 향상에 기여할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (11)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 그 일부를 이미지 센서의 수광 영역으로 광의 제공이 가능하게 처리한 기판; 및
    상기 기판에 연결되고, 상기 이미지 센서의 수광 영역에 형성된 소자들과 전기적으로 연결되는 상기 이미지 센서의 패드들 각각에 접촉이 가능하게 멤스 공정에 의해 수득하는 프로브들을 포함하고,
    상기 기판이 세라믹 기판을 포함할 때, 상기 기판의 일부는 상기 기판에 직접 형성한 개구를 포함하고, 상기 프로브들은 상기 개구 주변의 기판에 연결하고,
    상기 개구는 적어도 두 개를 포함하고, 상기 수광 영역보다 크게 형성하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 전기 검사 장치.
  4. 삭제
  5. 그 일부를 이미지 센서의 수광 영역으로 광의 제공이 가능하게 처리한 기판; 및
    상기 기판에 연결되고, 상기 이미지 센서의 수광 영역에 형성된 소자들과 전기적으로 연결되는 상기 이미지 센서의 패드들 각각에 접촉이 가능하게 멤스 공정에 의해 수득하는 프로브들을 포함하고,
    상기 기판이 유리 기판을 포함할 때, 상기 기판의 일부는 상기 수광 영역으로 광의 제공이 가능하게 처리하고, 상기 기판의 나머지는 상기 광의 제공이 불가능하게 처리하고, 상기 프로브들은 상기 기판의 나머지에 연결하고,
    상기 기판의 일부는 서로 이격되게 위치하는 적어도 두 군데를 포함하고, 상기 기판의 나머지는 상기 광의 투과가 불가능한 불투명 필름이 도포된 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 검사 장치.
  6. 그 일부를 이미지 센서의 수광 영역으로 광의 제공이 가능하게 처리한 기판; 및
    상기 기판에 연결되고, 상기 이미지 센서의 수광 영역에 형성된 소자들과 전기적으로 연결되는 상기 이미지 센서의 패드들 각각에 접촉이 가능하게 멤스 공정에 의해 수득하는 프로브들을 포함하고,
    상기 기판은 적어도 두 개가 일정 간격을 가지게 배치됨에 의해 상기 수광 영역으로 상기 광의 제공이 가능한 창을 형성하는 조각 기판들과, 상기 조각 기판들을 지지하기 위한 지지판을 포함하고, 상기 프로브들은 상기 조각 기판들에 연결하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 전기 검사 장치.
  7. 그 일부를 이미지 센서의 수광 영역으로 광의 제공이 가능하게 처리한 제1 기판;
    상기 수광 영역의 소자들과 전기적으로 연결되는 상기 이미지 센서의 패드들 각각에 접촉이 가능하게 멤스 공정에 의해 수득하여 상기 제1 기판에 연결하는 프로브들;
    상기 프로브들 각각으로부터 상기 제1 기판을 통하여 전기적으로 연결되는 연결부;
    상기 연결부와 전기적으로 연결되는 제2 기판; 및
    상기 제1 기판의 일부을 통하여 상기 수광 영역으로 광을 제공하는 광원을 포함하는 이미지 센서의 전기 검사 장치.
  8. 제7 항에 있어서, 상기 제1 기판이 세라믹 기판을 포함할 때, 상기 제1 기판의 일부는 상기 수광 영역보다 크게 상기 제1 기판에 직접 형성한 적어도 두 개의 개구를 포함하고, 상기 프로브들은 상기 개구 주변의 제1 기판에 연결하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 전기 검사 장치.
  9. 제7 항에 있어서, 상기 제1 기판이 유리 기판을 포함할 때, 상기 제1 기판의 일부는 서로 이격되게 위치하는 적어도 두 군데를 포함하면서 상기 수광 영역으로 광의 제공이 가능하게 처리하고, 상기 제1 기판의 나머지는 상기 광의 투과가 불가능한 불투명 필름이 도포되고, 상기 프로브들은 상기 제1 기판의 나머지에 연결하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 전기 검사 장치.
  10. 제7 항에 있어서, 상기 제1 기판은 적어도 두 개가 일정 간격을 가지게 배치됨에 의해 상기 수광 영역으로 상기 광의 제공이 가능한 창을 형성하는 조각 기판들과, 상기 조각 기판들을 지지하기 위한 지지판을 포함하고, 상기 프로브들은 상기 조각 기판들에 연결하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 전기 검사 장치.
  11. 제7 항에 있어서, 상기 제2 기판이 상기 제1 기판 상부에 위치할 때, 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에는 상기 수광 영역으로 광의 제공이 가능하게 상기 광원으로부터 조사되는 광을 상기 제1 기판의 일부로 유도하기 위한 광학계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 전기 검사 장치.
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