JPH06267315A - 線状照明装置及びラインイメージセンサ検査装置 - Google Patents
線状照明装置及びラインイメージセンサ検査装置Info
- Publication number
- JPH06267315A JPH06267315A JP5028093A JP5028093A JPH06267315A JP H06267315 A JPH06267315 A JP H06267315A JP 5028093 A JP5028093 A JP 5028093A JP 5028093 A JP5028093 A JP 5028093A JP H06267315 A JPH06267315 A JP H06267315A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- line image
- image sensor
- slit
- light
- image sensors
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ラインイメージセンサの検査において、測定対
象となる受光素子のみに、線状光を照射する。 【構成】ハロゲン球２の光を先端から受ける多数本を束
ねた光ファイバ３の末端を直線上に配列する。この末端
に拡散板５とスリット６を固定し、スリット６の下方に
ロッドレンズアレー７を配置した線状照明装置の下方
に、多数の同一のイメージセンサを配したワーク８を配
置し、ワーク８の端子列にイメージセンサの信号を取り
出すためのプローブ９をプロービングする。 【効果】ラインイメージセンサ以外の光電変換素子への
遮光用マスク処理が不要となるため、ワークの製造工程
が簡素化でき、隣接した測定しないラインイメージセン
サへの照射が無くなるので、センサの劣化の影響を解消
できる。
象となる受光素子のみに、線状光を照射する。 【構成】ハロゲン球２の光を先端から受ける多数本を束
ねた光ファイバ３の末端を直線上に配列する。この末端
に拡散板５とスリット６を固定し、スリット６の下方に
ロッドレンズアレー７を配置した線状照明装置の下方
に、多数の同一のイメージセンサを配したワーク８を配
置し、ワーク８の端子列にイメージセンサの信号を取り
出すためのプローブ９をプロービングする。 【効果】ラインイメージセンサ以外の光電変換素子への
遮光用マスク処理が不要となるため、ワークの製造工程
が簡素化でき、隣接した測定しないラインイメージセン
サへの照射が無くなるので、センサの劣化の影響を解消
できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は対象物を線状に照明する
線状照明装置に関し、さらにこのような線状照明装置で
ラインイメージセンサを照明してラインイメージセンサ
の特性を検査する装置に関する。
線状照明装置に関し、さらにこのような線状照明装置で
ラインイメージセンサを照明してラインイメージセンサ
の特性を検査する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ラインイメージセンサの製造工程での検
査工程にて、ラインイメージセンサに照明をあてたとき
のラインイメージセンサの信号出力をモニタし、予め設
定された合格レベル規格に達しているか判別する特性検
査作業がある。
査工程にて、ラインイメージセンサに照明をあてたとき
のラインイメージセンサの信号出力をモニタし、予め設
定された合格レベル規格に達しているか判別する特性検
査作業がある。
【０００３】このような特性検査を行う従来のラインイ
メージセンサ検査装置を図２に示す。
メージセンサ検査装置を図２に示す。
【０００４】図２に示すラインイメージセンサ検査装置
は、電源装置１７から電力を供給されてワーク８に設け
られたラインイメージセンサ１５を照明するハロゲン球
１４と、多数の同一のラインイメージセンサ１５を配し
たワーク８の端子列１３より信号を取り出すためのプロ
ーブ９と、ブローブ９に接続されたアイソレーション用
アンプ１０と、信号処理部１１と、コンピュータ１２
と、端子列１３の各ラインイメージセンサに対応する部
分にプローブ９を位置決めするための駆動系（図示せ
ず）により構成される。なおこの例では各ラインイメー
ジセンサ１５は個別のセンサであるフォトトランジスタ
が多数直線状に並べられたものである。
は、電源装置１７から電力を供給されてワーク８に設け
られたラインイメージセンサ１５を照明するハロゲン球
１４と、多数の同一のラインイメージセンサ１５を配し
たワーク８の端子列１３より信号を取り出すためのプロ
ーブ９と、ブローブ９に接続されたアイソレーション用
アンプ１０と、信号処理部１１と、コンピュータ１２
と、端子列１３の各ラインイメージセンサに対応する部
分にプローブ９を位置決めするための駆動系（図示せ
ず）により構成される。なおこの例では各ラインイメー
ジセンサ１５は個別のセンサであるフォトトランジスタ
が多数直線状に並べられたものである。
【０００５】イメージセンサの検査では、計測対象のラ
インイメージセンサ１５が接続された端子列１３にプロ
ーブ９を位置決めし、電源装置１７を作動させて、ハロ
ゲン球１４からの光１６をセンサ面に照射させる。そし
て、プローブ９を介して端子列１３よりラインイメージ
センサの各フォトトランジスタの出力信号を取り出し、
アイソレーション用アンプ１０によりノイズ混入を防ぎ
ながら、信号処理部１１にてＡ／Ｄ変換して所定の信号
データに変換した後にコンピュータ１２にて、各フォト
トランジスタの出力が予め設定された合格レベル規格に
達しているかを検査し、達していれば検査対象のライン
イメージセンサを合格と判別する。
インイメージセンサ１５が接続された端子列１３にプロ
ーブ９を位置決めし、電源装置１７を作動させて、ハロ
ゲン球１４からの光１６をセンサ面に照射させる。そし
て、プローブ９を介して端子列１３よりラインイメージ
センサの各フォトトランジスタの出力信号を取り出し、
アイソレーション用アンプ１０によりノイズ混入を防ぎ
ながら、信号処理部１１にてＡ／Ｄ変換して所定の信号
データに変換した後にコンピュータ１２にて、各フォト
トランジスタの出力が予め設定された合格レベル規格に
達しているかを検査し、達していれば検査対象のライン
イメージセンサを合格と判別する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この従来のラインイメ
ージセンサ検査装置では、ハロゲン球１４がラインイメ
ージセンサ１５の周辺も広く照明し、不要な部分まで照
明することとなり効率が悪い。また、同一のワーク８上
の測定していないラインイメージセンサにまで光を照射
してしまい、センサに劣化をさせるような影響を及ぼし
ていた。
ージセンサ検査装置では、ハロゲン球１４がラインイメ
ージセンサ１５の周辺も広く照明し、不要な部分まで照
明することとなり効率が悪い。また、同一のワーク８上
の測定していないラインイメージセンサにまで光を照射
してしまい、センサに劣化をさせるような影響を及ぼし
ていた。
【０００７】さらに、ワーク８にラインイメージセンサ
以外の回路に光電変換素子が設けられている場合に、こ
のような光電変換素子まで不要に光を照射してしまい、
ラインイメージセンサの検査ができなくなることもあっ
た。このような場合にはラインイメージセンサ以外の部
分の光電変換素子に遮光用のマスクを施す必要があるた
め、ラインイメージセンサの製造工程が複雑になり、か
つコスト増加を招いていた。
以外の回路に光電変換素子が設けられている場合に、こ
のような光電変換素子まで不要に光を照射してしまい、
ラインイメージセンサの検査ができなくなることもあっ
た。このような場合にはラインイメージセンサ以外の部
分の光電変換素子に遮光用のマスクを施す必要があるた
め、ラインイメージセンサの製造工程が複雑になり、か
つコスト増加を招いていた。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の線状照明装置
は、光源からの光を先端から取り入れて線状に並べられ
た末端から出射する束ねられた光ファイバと、前記束ね
られた光ファイバの末端に拡散板を介して接続されたス
リットと、前記スリットに沿って設けられ前記束ねられ
た光ファイバの末端から出射され前記拡散板及び前記ス
リットを通った光を線状に収束させるロッドレンズアレ
ーとを備えている。
は、光源からの光を先端から取り入れて線状に並べられ
た末端から出射する束ねられた光ファイバと、前記束ね
られた光ファイバの末端に拡散板を介して接続されたス
リットと、前記スリットに沿って設けられ前記束ねられ
た光ファイバの末端から出射され前記拡散板及び前記ス
リットを通った光を線状に収束させるロッドレンズアレ
ーとを備えている。
【０００９】本発明のラインイメージセンサ検査装置
は、ワーク上のラインイメージセンサを照明する線状照
明装置と、前記ワーク上の前記ラインイメージセンサを
構成する各センサの出力信号が伝えられる端子に接触す
るプローブと、前記プローブから信号を入力して前記各
センサの出力を計測する計測手段とを備えている。
は、ワーク上のラインイメージセンサを照明する線状照
明装置と、前記ワーク上の前記ラインイメージセンサを
構成する各センサの出力信号が伝えられる端子に接触す
るプローブと、前記プローブから信号を入力して前記各
センサの出力を計測する計測手段とを備えている。
【００１０】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１１】図１は、本発明の一実施例のラインイメー
ジセンサ検査装置を示す図で、図１（ａ）は線状照明装
置の縦断面及びラインイメージセンサの出力の計測回路
の構成ブロックを示す図、図１（ｂ）は線状照明装置の
側断面図である。
ジセンサ検査装置を示す図で、図１（ａ）は線状照明装
置の縦断面及びラインイメージセンサの出力の計測回路
の構成ブロックを示す図、図１（ｂ）は線状照明装置の
側断面図である。
【００１２】電源装置１とこれに接続されたハロゲン球
２とから成る光源からの光を多数本を束ねた光ファイバ
３で受光し、これらの光ファイバ３の末端は直線状に配
列してある。この光ファイバ３の末端に接続して拡散板
５とスリット６を固定し、スリット６の下方にロッドレ
ンズアレー７を配置し、これらをハウジング４にて一体
化したものが線状照明装置である。この線状照明装置の
下方には、多数の同一のラインイメージセンサ１５を配
したワーク８があり、プローブ９によりワーク８の端子
列１３がプロービングされ、このプロービングは図示し
ない駆動系及び制御系により実施される。プローブ９か
らの信号線はノイズ対策用アイソレーションアンプ１０
を介して信号処理部１１に接続され、さらにコンピュー
タに接続されている。
２とから成る光源からの光を多数本を束ねた光ファイバ
３で受光し、これらの光ファイバ３の末端は直線状に配
列してある。この光ファイバ３の末端に接続して拡散板
５とスリット６を固定し、スリット６の下方にロッドレ
ンズアレー７を配置し、これらをハウジング４にて一体
化したものが線状照明装置である。この線状照明装置の
下方には、多数の同一のラインイメージセンサ１５を配
したワーク８があり、プローブ９によりワーク８の端子
列１３がプロービングされ、このプロービングは図示し
ない駆動系及び制御系により実施される。プローブ９か
らの信号線はノイズ対策用アイソレーションアンプ１０
を介して信号処理部１１に接続され、さらにコンピュー
タに接続されている。
【００１３】次に、本実施例の動作について説明する。
まず、計測対象のラインイメージセンサ１５に接続され
た端子列１３にプローブ９を位置決めし、電源装置１を
作動させる。ハロゲン球２からの光は、光ファイバ３に
より線状光に変換されて光ファイバの末端から出射され
拡散板５を通過することにより、光ファイバ３の材質の
不均一性等によって生ずる光量のむらが解消され、平滑
化される。次にスリット６を通過した光はロッドレンズ
アレー７を通過した後にワーク８の被測定面のラインイ
メージセンサ１５上に結像される。このとき、スリット
６の下面からロッドレンズアレー７の上面までの距離
と、ロッドレンズアレー７の下面から７−７８までの距
離はともにロッドレンズアレー７の焦点距離に等しいの
で、被測定面に結像した線状スポットの巾Δはスリット
６の巾に等しい。
まず、計測対象のラインイメージセンサ１５に接続され
た端子列１３にプローブ９を位置決めし、電源装置１を
作動させる。ハロゲン球２からの光は、光ファイバ３に
より線状光に変換されて光ファイバの末端から出射され
拡散板５を通過することにより、光ファイバ３の材質の
不均一性等によって生ずる光量のむらが解消され、平滑
化される。次にスリット６を通過した光はロッドレンズ
アレー７を通過した後にワーク８の被測定面のラインイ
メージセンサ１５上に結像される。このとき、スリット
６の下面からロッドレンズアレー７の上面までの距離
と、ロッドレンズアレー７の下面から７−７８までの距
離はともにロッドレンズアレー７の焦点距離に等しいの
で、被測定面に結像した線状スポットの巾Δはスリット
６の巾に等しい。
【００１４】次に、プローブ９を介して、端子列１３よ
りラインイメージセンサ１５の各センサの出力信号を取
り出し、アイソレーション用アンプ１０によりノイズ混
入を防ぎながら、信号処理部１１にて、所定の信号デー
タに変換した後、コンピュータ１２にて各センサの出力
が予め設定された合格レベル規格に達しているかを判別
する。
りラインイメージセンサ１５の各センサの出力信号を取
り出し、アイソレーション用アンプ１０によりノイズ混
入を防ぎながら、信号処理部１１にて、所定の信号デー
タに変換した後、コンピュータ１２にて各センサの出力
が予め設定された合格レベル規格に達しているかを判別
する。
【００１５】なお、コンピュータ１２にて各センサの出
力が最大値及び最小値の間の所定の範囲内にある時にラ
インイメージセンサが良品であると判定することもでき
るし、各センサの出力値をそのまま出力することもでき
る。
力が最大値及び最小値の間の所定の範囲内にある時にラ
インイメージセンサが良品であると判定することもでき
るし、各センサの出力値をそのまま出力することもでき
る。
【００１６】また、線状照明装置は、ラインイメージ検
査装置以外でも利用でき、ファクシミリ装置で原稿をラ
インイメージセンサを用いて読み取る場合に原稿を照明
するため等にも用いることもできる。
査装置以外でも利用でき、ファクシミリ装置で原稿をラ
インイメージセンサを用いて読み取る場合に原稿を照明
するため等にも用いることもできる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明の線状照明装
置は、光源からの光を束ねられた光ファイバにより直線
上の光源に変換し、さらに拡散板、スリット及びロッド
レンズを通すことにより、均一に、正確な線状に、効率
よく対象物を照明できる。
置は、光源からの光を束ねられた光ファイバにより直線
上の光源に変換し、さらに拡散板、スリット及びロッド
レンズを通すことにより、均一に、正確な線状に、効率
よく対象物を照明できる。
【００１８】また、本発明のラインイメージセンサ検査
装置は、上述の線状照明装置を用いてラインイメージセ
ンサを照明することにより、検査対象になっているライ
ンイメージセンサのみに照明を限定することができ、隣
接した非検査時のラインイメージセンサへの光の照射が
無くなるので、長時間の光照射によるセンサの劣化を防
止できる。また、ラインイメージセンサが設けられたワ
ークにマスクを施す必要がなく、ワークの製造工程を簡
素化できる。
装置は、上述の線状照明装置を用いてラインイメージセ
ンサを照明することにより、検査対象になっているライ
ンイメージセンサのみに照明を限定することができ、隣
接した非検査時のラインイメージセンサへの光の照射が
無くなるので、長時間の光照射によるセンサの劣化を防
止できる。また、ラインイメージセンサが設けられたワ
ークにマスクを施す必要がなく、ワークの製造工程を簡
素化できる。
【図１】本発明の一実施例の構成を示す図である。
【図２】従来のラインイメージセンサ検査装置の構成を
示す図である。
示す図である。
１ 電源装置 ２ ハロゲン球 ３ 光ファイバ ４ ハウジング ５ 拡散板 ６ スリット板 ７ ロッドレンズアレー ８ ワーク ９ プローブ １０ アイソレーション用アンプ １１ 信号処理手段 １２ 計測手段 １３ 端子列 １４ ハロゲン球 １５ ラインイメージセンサ １６ 光 １７ 電源装置
Claims (3)
- 【請求項１】 光源からの光を先端から取り入れて線状
に並べられた末端から出射する束ねられた光ファイバ
と、前記束ねられた光ファイバの末端に拡散板を介して
接続されたスリットと、前記スリットに沿って設けられ
前記束ねられた光ファイバの末端から出射され前記拡散
板及び前記スリットを通った光を線状に収束させるロッ
ドレンズアレーとを含むことを特徴とする線状照明装
置。 - 【請求項２】 スリットとロッドレンズアレーの間隔が
前記ロッドレンズアレーの焦点距離に等しい請求項１記
載の線状照明装置。 - 【請求項３】 光源からの光を先端から取り入れて線状
に並べられた末端から出射する束ねられた光ファイバ
と、前記束ねられた光ファイバの末端に拡散板を介して
接続されたスリットと、前記スリットに沿って設けられ
前記束ねられた光ファイバの末端から出射され前記拡散
板および前記スリットを通った光をワーク状に設けられ
たラインイメージセンサに収束させるロッドレンズアレ
ーと、前記ワーク状の前記ラインイメージセンサを構成
する各センサの出力信号が伝えられる端子に接触するプ
ローブと、前記プローブから信号を入力して前記各セン
サの出力を計測する計測手段とを含むことを特徴とする
ラインイメージセンサ検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5028093A JPH0810565B2 (ja) | 1993-03-11 | 1993-03-11 | 線状照明装置及びラインイメージセンサ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5028093A JPH0810565B2 (ja) | 1993-03-11 | 1993-03-11 | 線状照明装置及びラインイメージセンサ検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06267315A true JPH06267315A (ja) | 1994-09-22 |
| JPH0810565B2 JPH0810565B2 (ja) | 1996-01-31 |
Family
ID=12854524
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5028093A Expired - Lifetime JPH0810565B2 (ja) | 1993-03-11 | 1993-03-11 | 線状照明装置及びラインイメージセンサ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0810565B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1568983A1 (en) * | 2002-12-06 | 2005-08-31 | Inter Action Corporation | Instrument for testing solid-state imaging device |
| KR100737366B1 (ko) * | 2004-07-13 | 2007-07-09 | 요코가와 덴키 가부시키가이샤 | 검사용 광원 장치 |
| KR100913490B1 (ko) * | 2007-06-14 | 2009-08-25 | 주식회사 파이컴 | 이미지 센서의 전기 검사 장치 |
-
1993
- 1993-03-11 JP JP5028093A patent/JPH0810565B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1568983A1 (en) * | 2002-12-06 | 2005-08-31 | Inter Action Corporation | Instrument for testing solid-state imaging device |
| EP1568983A4 (en) * | 2002-12-06 | 2008-06-25 | Inter Action Corp | TEST INSTRUMENT FOR TRANSISTORIZED IMAGING DEVICE |
| KR100737366B1 (ko) * | 2004-07-13 | 2007-07-09 | 요코가와 덴키 가부시키가이샤 | 검사용 광원 장치 |
| KR100749434B1 (ko) * | 2004-07-13 | 2007-08-14 | 요코가와 덴키 가부시키가이샤 | 검사용 광원 장치 |
| KR100913490B1 (ko) * | 2007-06-14 | 2009-08-25 | 주식회사 파이컴 | 이미지 센서의 전기 검사 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0810565B2 (ja) | 1996-01-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5185638A (en) | Computer controlled, multiple angle illumination system | |
| KR930010527A (ko) | 조사를 이용한 표면상태 검사방법 및 그 장치 | |
| DE59109171D1 (de) | Einrichtung für Oberflächeninspektionen | |
| JPH06267315A (ja) | 線状照明装置及びラインイメージセンサ検査装置 | |
| EP1356309B1 (en) | Method and apparatus for verifying a color of a led in a printed circuit board | |
| JPS63163150A (ja) | プリント基板検査装置 | |
| JP2818687B2 (ja) | ヒューズ配列検査装置 | |
| JPH11248643A (ja) | 透明フィルムの異物検査装置 | |
| US5706081A (en) | Apparatus for inspecting surface defects with regularly reflected light and peripherally scattered light | |
| JPH0227242A (ja) | ケーブルの表面欠陥検出装置 | |
| JP2003042971A (ja) | パターン検査装置および検査方法 | |
| JP3168029B2 (ja) | 光学ユニット検査装置 | |
| US5118926A (en) | Device for separating a beam of white light into a plurality of elementary beams of particular color | |
| JP7461796B2 (ja) | 検査ユニットおよび検体分析装置 | |
| JP4036712B2 (ja) | 非破壊検査装置 | |
| JP3241785B2 (ja) | 光拡散体の検査装置 | |
| JP3223609B2 (ja) | シャドウマスクの検査方法 | |
| JP2001513594A (ja) | 素子の端子の位置検出および／またはコプラナリティ検査および／または分離検査のための方法および装置 | |
| JP3873088B2 (ja) | 光学的検査装置 | |
| JPS61187672A (ja) | 密着型イメ−ジセンサの欠陥検査方法および欠陥検査装置 | |
| JPH023148Y2 (ja) | ||
| JP2009068944A (ja) | 受光ユニット検査装置 | |
| JPH0868826A (ja) | ベアチップのテスト方法およびテスト装置 | |
| JPH03118451A (ja) | 筒状物の内面検査装置 | |
| JPH11183151A (ja) | 透明シート検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960723 |