KR101307510B1 - 광센서 소자의 품질 검사장치 - Google Patents

광센서 소자의 품질 검사장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101307510B1
KR101307510B1 KR1020120052953A KR20120052953A KR101307510B1 KR 101307510 B1 KR101307510 B1 KR 101307510B1 KR 1020120052953 A KR1020120052953 A KR 1020120052953A KR 20120052953 A KR20120052953 A KR 20120052953A KR 101307510 B1 KR101307510 B1 KR 101307510B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
optical sensor
levers
sensor element
lever
inspection
Prior art date
Application number
KR1020120052953A
Other languages
English (en)
Inventor
성기복
최형영
김성진
양웅일
Original Assignee
사단법인 전북대학교자동차부품금형기술혁신센터
주식회사 오디텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 사단법인 전북대학교자동차부품금형기술혁신센터, 주식회사 오디텍 filed Critical 사단법인 전북대학교자동차부품금형기술혁신센터
Priority to KR1020120052953A priority Critical patent/KR101307510B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101307510B1 publication Critical patent/KR101307510B1/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/01Subjecting similar articles in turn to test, e.g. "go/no-go" tests in mass production; Testing objects at points as they pass through a testing station
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2601Apparatus or methods therefor

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 적외선 광센서 소자들을 경사레일을 매개로 순차적으로 이송 및 공급하고, 경사레일을 따라 순차적으로 이송되는 광센서 소자들 중 측정하고자 하는 광센서 소자를 분리 및 고정시켜 자동으로 측정할 수 있도록 함으로써, 광센서 소자들의 검사시간을 대폭 단축시킬 수 있으며 작업 효율을 향상시킬 수 있도록 한 것이다.
본 발명은 다수의 광센서 소자를 순차적으로 검사 케이스 내로 공급하도록 경사진 경사레일을 가지며, 경사레일의 상부에서 광센서 소자를 공급하는 공급피더를 갖는 공급수단과; 검사 케이스 내에 배치되고 상기 광센서 소자의 품질을 측정하는 측정기와 근접된 복수의 레버들을 캠축 구동방식으로 동작시켜 상기 공급수단으로부터 이송되는 광센서 소자들을 정렬, 분리, 고정시킴과 아울러, 상기 광센서 소자의 품질을 측정하는 측정기를 상기 캠축을 매개로 연동되게 조작하는 검사수단과; 상기 측정기에 의해 측정된 상기 광센서 소자의 불량 판단에 따라 배출 경로를 구분하여 배출시키기 위한 적재수단;으로 구성된다.

Description

광센서 소자의 품질 검사장치{QUALITY TESTER OF PHOTOSENSOR}
본 발명은 광센서 소자의 품질 검사장치에 관한 것으로, 특히 적외선 광센서 소자들을 경사레일을 따라 순차적으로 공급 이송시키는 과정에서 측정하고자 하는 광센서 소자를 분리 및 고정시킨 후에 자동으로 광센서 소자의 품질 검사가 이루어지도록 그 구조가 개선된 광센서 소자의 품질 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로, 광센서 모듈은 빛을 이용하여 대상물을 파악하고 검출하는 장치이다. 광센서 모듈은 외부로부터 수신되는 빛을 감지하여 대상을 파악하거나 빛을 주사하여 반사되어 오는 빛을 수신하여 대상을 파악한다.
또한, 광센서 모듈은 빛을 주사하는 발광부와 수광부를 각각 구비하고 발광부에서 주사하는 빛을 수광부가 빛의 유무를 파악하여 대상물을 파악 한다.
광센서 모듈은 실내 또는 옥외의 검출하고자 하는 대상 물체를 검출하는 목적으로 사용되고 있다.
기존 광센서 모듈은 일반 세탁기, 청소기 등의 가전제품과 프린터, 팩스 등의 사무 자동화 기기 또는 지폐계수기, ATM 등의 금융기기의 각종 전자 제품에 널리 사용된다.
또한, 기존 광센서 모듈은 산업용으로 로봇, 자동차 등과, PC, 통신 중계기 등의 IT 분야 등 산업 전반적인 곳에 사용되고 있다.
일 예로 차량 검출장치의 센서부로도 적용될 수 있다.
센서부는 발광부와 수광부로 구성되며, 서로 대응되게 배치된다. 상기 발광부는 다수의 발광센서를 구비하고 수광부는 다수의 수광센서로 이루어진다.
상기 발광센서는 흔히 LED라 지칭되며, 주요 특성으로는 광출력(Radiant intensity), 순방향 전압(Forward Voltage), 역방향 전압(Reverse Voltage), 누설전류(Leakage current), 최대발광파장(Peak Wavelength) 등이 있다.
또한, 수광센서는 Photo Diode, Photo Transitor를 채용할 수 있으며, 주요 특성은 빛의 세기를 감지하는 정도를 나타내는 광전류(Light current), 암전류(Dark current), 항복전압(Breakdown Voltage), 분광감도(Spectral Sensitivity) 등의 특성이 있다.
상기한 발광센서와 수광센서로 구성된 적외선 광센서 소자의 품질 검사는 상기한 항목들을 측정하여 일정 기준을 두고 기준치 이하일 때 양호 또는 불량상태를 판정하게 된다.
그런데, 기존 적외선 광센서 소자의 광특성 검사를 위해 암실 내에서 검사가 이루어져야 되며, 광센서 소자의 전기특성을 작업자의 수작업으로 진행해야 하므로, 검사 작업시간이 오래 소요되고 작업 인력의 낭비로 인해 작업 효율이 저하된는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 제반문제점을 감안하여 이를 해결하고자 창출된 것으로, 그 목적은 적외선 광센서 소자들이 순차적으로 공급되고 공급된 소자들의 품질 검사가 하나씩 자동으로 이루어지도록 그 구조가 개선된 적외선 광센서 소자의 검사장치를 제공하는 데 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 다수의 광센서 소자를 순차적으로 검사 케이스 내로 공급 이송하도록 경사레일을 갖는 공급수단과;
상기 검사 케이스 내에 배치되고 상기 광센서 소자의 품질을 측정하는 측정기와 근접된 복수의 레버들을 캠축 구동방식으로 동작시켜 상기 공급수단으로부터 이송되는 광센서 소자들을 정렬, 분리, 고정시킴과 아울러, 상기 광센서 소자의 품질을 측정하는 측정기를 상기 캠축을 매개로 연동되게 조작하는 검사수단과;
상기 측정기에 의해 측정된 상기 광센서 소자의 불량 판단에 따라 배출 경로를 달리하는 적재수단;을 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 검사수단은 상기 검사 케이스 내에 배치되고 외부 전원이 인가됨에 따라 구동 회전되는 모터축을 갖는 구동모터와,
상기 구동모터의 모터축과 벨트부재를 매개로 연동 회전되고 외주면에 복수의 제 1,2,3,4,5,6캠을 갖는 캠축과,
일단부가 상기 캠축의 제 1,2,3,4,5,6캠에 접촉되고 타단부가 서로 다른 길이를 갖도록 상기 경사레일측으로 배치되어 상기 캠축의 회전 구동시 회전 동작되어 상기 경사레일을 따라 이송되는 상기 광센서 소자들을 정렬, 분리, 고정시키는 제 1,2,3,4,5,6레버와,
상기 제 1,2,3,4,5,6레버에 관통되도록 결합되어 상기 제 1,2,3,4,5,6레버를 회전 가능하게 지지하는 레버축과,
상기 제 1,2,3,4,5,6레버의 타단부와 연결되어 상기 제 1,2,3,4,5,6레버의 회전이 완료된 후 복귀동작시키는 복원력을 제공하는 제 1,2,3,4,5,6스프링부재를 구비한다.
상기 검사 케이스의 내부에 상기 제 6레버에 고정되는 광센서 소자의 프레임부위를 절단하는 리드 컷장치를 더 구비한다.
본 발명은 경사레일 상에서 하향 이동되는 광센서 소자들을 각각의 레버들이 정렬, 분리, 고정시킴과 아울러, 측정기의 동작을 연동시켜 캠축 구동방식으로 각각의 레버 동작들이 연계되도록 이루어지게 되며, 이로 인해 광센서 소자들의 연속적인 측정 작업이 수작업이 아닌 자동으로 이루어지게 되므로, 작업시간을 대폭 단축시킬 수 있을 뿐만 아니라, 작업 인력을 줄일 수 있으며 품질 검사 작업의 효율을 대폭 향상시킬 수 있는 유용한 효과를 갖는다.
도 1은 본 발명에 따른 광센서 소자의 품질 검사장치를 나타낸 구성도.
도 2는 본 발명 측정기와 검사수단의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도.
도 3a와 도 3b는 본 발명 제 1레버와 제 1캠의 동작 전,후 상태를 보인 정면도.
도 4a와 도 4b는 본 발명 제 2,3,5레버와 제 2,3,5캠의 동작 전,후 상태를 보인 정면도.
도 5a와 도 5b는 본 발명 제 4레버와 제 4캠의 동작 전,후 상태를 보인 정면도.
도 6은 본 발명 제 6레버와 리드 컷 장치의 구성을 보인 구성도.
도 7은 본 발명의 사용상태를 순차적으로 나타낸 사용상태도.
본 발명은 적외선 광센서 소자들을 경사레일을 매개로 순차적으로 이송 및 공급하고, 경사레일을 따라 순차적으로 이송되는 광센서 소자들 중 측정하고자 하는 광센서 소자를 분리 및 고정시켜 자동으로 측정할 수 있도록 함으로써, 광센서 소자들의 검사시간을 대폭 단축시킬 수 있으며 작업 효율을 향상시킬 수 있도록 한 것이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
본 발명에 따른 광센서 소자의 품질 검사장치(100)는, 도 1 내지 도 7을 참조하여 설명하면, 다수의 광센서 소자(10)를 순차적으로 검사 케이스(202) 내로 공급하도록 경사진 경사레일(150)을 가지며, 경사레일(150)의 상부에서 광센서 소자(10)를 공급하는 공급피더(120)를 갖는 공급수단과; 검사 케이스(202) 내에 배치되고 상기 광센서 소자(10)의 품질을 측정하는 측정기(240)와 근접된 복수의 레버들을 캠축(220) 구동방식으로 동작시켜 상기 공급수단으로부터 이송되는 광센서 소자(10)들을 정렬, 분리, 고정시킴과 아울러, 상기 광센서 소자(10)의 품질을 측정하는 측정기(240)를 상기 캠축(220)을 매개로 연동되게 조작하는 검사수단(200)과; 상기 측정기(240)에 의해 측정된 상기 광센서 소자(10)의 불량 판단에 따라 배출 경로를 구분하여 배출시키기 위한 적재수단(300);으로 구성된다.
더 상세히 설명하면, 공급피더(120)는 공지의 푸쉬 타입으로 광센서 소자(10)를 순차적으로 경사레일(150)측으로 공급시키는 기능을 수행한다.
검사 케이스(202)는 경사레일(150)의 일부위 상측에 암실 형태로 구성된다.
검사수단(200)은 상기 검사 케이스(202) 내에 배치되고 외부 전원이 인가됨에 따라 구동 회전되는 모터축을 갖는 구동모터(210)와, 구동모터(210)의 모터축과 벨트부재(215)를 매개로 연동 회전되고 축 외주면에 길이방향으로 서로 이격되는 복수의 제 1,2,3,4,5,6캠(221,222,223,224,225,226)을 갖는 캠축(220)과, 일단부가 상기 캠축(220)의 제 1,2,3,4,5,6캠(221,222,223,224,225,226)에 접촉되고 타단부가 서로 다른 길이를 갖도록 상기 경사레일(150)측으로 배치되어 상기 캠축(220)의 회전 구동시 회전 동작되어 상기 경사레일(150)을 따라 이송되는 상기 광센서 소자(10)들을 정렬, 분리, 고정시키는 제 1,2,3,4,5,6레버(231,232,233,234,235,236)와, 상기 제 1,2,3,4,5,6레버(231,232,233,234,235,236)에 관통되도록 결합되어 상기 제 1,2,3,4,5,6레버(231,232,233,234,235,236)를 회전 가능하게 지지하는 레버축(230)과, 상기 제 1,2,3,4,5,6레버(231,232,233,234,235,236)의 타단부와 연결되어 상기 제 1,2,3,4,5,6레버(231,232,233,234,235,236)의 회전이 완료된 후 복귀동작시키는 복원력을 제공하는 제 1,2,3,4,5,6스프링부재(251,252,253,254,255,256)로 구성된다.
더 상세히 설명하면, 제 1,2,3,4,5,6레버(231,232,233,234,235,236)의 일단부는 각각 캠축(220)의 제 1,2,3,4,5,6캠(221,222,223,224,225,226)에 대응되도록 접촉되고, 캠축(220)의 회전시 각각의 캠 오목부위와 접촉됨에 따라 레버축(230)을 중심으로 타단부가 회전되는 구조를 갖는다.
이를 위해 제 1,2,3,4,5,6레버(231,232,233,234,235,236)는 각각의 캠과 접촉되는 부위에 회전 가능한 베어링부재(231a,232a,233a,234a,235a,236a)가 각각 배치되어 있다.
구동모터(210)는 풀리와 벨트부재(215) 연결방식에 의해 캠축(220)과 연동 회전되는 구조를 갖는다.
제 2,3,5,6레버(232,233,235,236)는 일단부와 타단부가 수평 방향으로 배치되고 각각의 제 2,3,5,6캠(222,223,225,226)에 일부가 접촉되어 회전 동작되는 캠의 오목부위와의 접촉시 일단부가 레버축(230)을 중심으로 회전동작되는 구조를 갖는다.
반면에 제 1,4레버는 일단부가 경사레일(150)에 대해 수평방향으로 배치되고 타단부가 레버축(230)을 기준으로 수직으로 배치되는 구조를 가지며, 타단부가 제 1,4캠(221,224)과 접촉되어 캠의 오목부위와 접촉시 일단부가 레버축(230)을 중심으로 회전동작되는 구조를 갖는다.
제 1레버(231)는 측정기(240)를 온동작 또는 오프동작시키는 커버 스위치(242)와 연동되도록 연결되어 있다.
다만, 각각의 레버들의 일단부는 서로 다른 길이로 형성되어 상기 경사레일(150)상에 미끄럼 이동되는 광센서 소자(10)들을 정렬시키고, 측정하고자 하는 하나의 소자를 분리시킨 후에, 측정기(240)의 측정시 고정시키는 기능을 각각 수행하게 된다.
측정기(240)는 광센서 소자(10)의 전기적 특성을 측정하기 위한 것으로서, 공지의 측정장비를 채용할 수 있으며, 측정 프로브(245)가 경사레일(150)을 향해 제 4레버(234)와 제 5레버(235) 사이에 배치된다.
적재수단(300)은 측정기(240)로부터 측정된 광센서 소자(10)의 불량 또는 양호상태를 판단한 후에 로타리식 배출 경로를 이용하여 불량 또는 양호 적재빈(350)으로 각각 분리되어 배출되는 것은 공지의 것이므로, 자세한 설명은 생략한다.
또한, 검사 케이스(202)의 내부에는 제 6레버에 고정된 광센서 소자(10)의 프레임 부위를 절단하는 리드 컷장치(20)가 더 구비된다.
이러한 구성을 갖는 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 의한 광센서 소자(10)의 품질 검사장치(100)는, 공급수단에서 광센서 소자(10)들이 순차적으로 경사레일(150)을 따라 하측으로 미끄럼 이송되고, 이송된 광센서 소자(10)들은 경사레일(150)상에서 각각의 레버들의 동작에 의해 정렬, 분리, 고정된다.
경사레일(150) 상으로 이송되는 광센서 소자(10)들은 제 3레버(233)의 타단부에 걸려서 경사레일(150)상에서 정렬 고정된다. 이때, 제 2레버(232)의 타단부는 정렬된 광센서 소자(10)들과 간섭되지 않는 위치에 위치하게 된다.
이어서, 제 3레버(233)의 일단부가 제 3캠(223)의 오목부위와 접촉됨에 따라 제 3레버(233)의 타단부가 회전동작되고, 정렬상태로 고정되어 있던 하나의 광센서 소자(10)가 분리되어 경사레일(150)의 하측으로 내려와서 제 5레버(235)에 안착되도록 이송된다.
이때 제 2레버(232)의 타단부는 다른 정렬상태의 광센서 소자(10)들과 간섭되어 정렬 상태를 유지하게 되고, 제 1레버(231)와 제 4레버(234)의 타단부는 경사레일(150)상의 광센서 소자(10)들과 간섭되지 않도록 위로 올라가 있게 된다.
1개로 분리된 광센서 소자(10)가 제 5레버(235)에 안착되면, 제 4레버(234)의 타단부가 회전 동작되어 제 5레버(235)의 타단부에 안착된 광센서 소자(10)를 측정기(240)의 측정 프로브(245)측으로 밀어서 고정시키게 된다.
이후에 제 1레버(231)의 타단부가 하강되도록 회전 동작되면, 측정기(240)의 커버 스위치(242)와 연동되도록 동작되어 측정기(240)를 온 동작시켜 제 4,5레버(234,235)에 의해 고정된 광센서 소자(10)를 측정하게 된다.
측정이 완료된 후에는 제 1레버(231)의 타단부가 다시 원위치(상측)로 복귀동작되고, 커버 스위치(242)를 들어 올려 오프상태로 동작시키고, 제 5레버(235)가 원 위치로 회전 동작되며, 이로 인해 측정된 광센서 소자(10)는 제 6레버(236)의 타단부에 안착되어 고정된다.
이와 동시에 제 2,3레버(233,234)가 동작되어 다시 1개의 광센서 소자(10)가 분리되어 제 5레버(235)의 타단부에 안착되고, 앞서 설명한 측정작업이 연속적으로 이루어지게 된다(도 7참조)
즉, 제 2,3레버(233,234)는 경사레일(150)상에서 이송되는 광센서 소자(10)들을 정렬시키고, 1개 씩 분리시켜 제 5레버(235) 상에 안착시키는 기능을 수행한다.
또, 제 4,5레버(234,235)는 측정기(240)의 측정 프로브(245)의 측정이 이루어지도록 분리된 1개의 광센서 소자(10)를 고정시키는 기능을 수행한다.
제 6레버(236)는 측정이 완료된 광센서 소자(10)의 리드 컷 공정을 수행하도록 고정시키고, 리드 컷 공정이 완료된 후에는 광센서 소자(10)를 하측의 적재수단(300)으로 배출시키는 기능을 갖는다(도 6참조).
상기한 제 1,2,3,4,5,6레버(231,232,233,234,235,236)의 회전 동작은 앞서 설명한 바와 같이, 각 레버들의 일단부가 캠축(220)의 제 1,2,3,4,5,6캠(221,222,223,224,225,226)의 회전 구동시 캠의 오목부위와 접촉됨에 따라 동작되고, 각 레버들의 복귀동작은 레버들의 일단부에 연결된 제 1,2,3,4,5,6스프링부재(251,252,253,254,255,256)에 의해 복귀동작된다.(도 3,도 4,도 5 참조)
따라서, 본 발명은 경사레일(150) 상에서 하향 이동되는 광센서 소자(10)들을 각각의 레버들이 정렬, 분리, 고정시킴과 아울러, 측정기(240)의 동작을 연동시켜 캠축(220) 구동방식으로 각각의 레버 동작들이 연계되도록 이루어지게 되며, 이로 인해 광센서 소자(10)들의 연속적인 측정 작업이 자동으로 이루어지게 되어 작업 효율을 향상시킬 수 있게 된다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 광센서 소자 20 : 리드 컷장치
100 : 검사장치 120 : 공급피더
150 : 경사레일 200 : 검사수단
202 : 검사 케이스 210 : 구동모터
215 : 벨트부재 220 : 캠축
221,222,223,224,225,226 : 제 1,2,3,4,5,6캠
230 : 레버축
231,232,233,234,235,236 : 제 1,2,3,4,5,6레버
231a,232a,233a,234a,235a,236a : 베어링부재
240 : 측정기 242 : 커버 스위치
245 : 측정 프로브
251,252,253,254,255,256 : 스프링부재
300 : 적재수단 350 : 적재빈

Claims (3)

  1. 삭제
  2. 다수의 광센서 소자(10)를 순차적으로 검사 케이스(202) 내로 공급 이송하도록 경사레일(150)을 갖는 공급수단과;
    상기 검사 케이스(202) 내에 배치되고 상기 광센서 소자(10)의 품질을 측정하는 측정기(240)와 근접된 복수의 레버들을 캠축(220) 구동방식으로 동작시켜 상기 공급수단으로부터 이송되는 광센서 소자(10)들을 정렬, 분리, 고정시킴과 아울러, 상기 광센서 소자(10)의 품질을 측정하는 측정기(240)를 상기 캠축(220)을 매개로 연동되게 조작하는 검사수단(200)과;
    상기 측정기(240)에 의해 측정된 상기 광센서 소자(10)의 불량 판단에 따라 배출 경로를 달리하는 적재수단(300);을 구비하며,
    상기 검사수단(200)은 상기 검사 케이스(202) 내에 배치되고 외부 전원이 인가됨에 따라 구동 회전되는 모터축을 갖는 구동모터(210)와,
    상기 구동모터(210)의 모터축과 벨트부재(215)를 매개로 연동 회전되고 외주면에 복수의 제 1,2,3,4,5,6캠(221,222,223,224,225,226)을 갖는 캠축(220)과,
    일단부가 상기 캠축(220)의 제 1,2,3,4,5,6캠(221,222,223,224,225,226)에 접촉되고 타단부가 서로 다른 길이를 갖도록 상기 경사레일(150)측으로 배치되어 상기 캠축(220)의 회전 구동시 회전 동작되어 상기 경사레일(150)을 따라 이송되는 상기 광센서 소자(10)들을 정렬, 분리, 고정시키는 제 1,2,3,4,5,6레버(231,232,233,234,235,236)와,
    상기 제 1,2,3,4,5,6레버(231,232,233,234,235,236)에 관통되도록 결합되어 상기 제 1,2,3,4,5,6레버(231,232,233,234,235,236)를 회전 가능하게 지지하는 레버축(230)과,
    상기 제 1,2,3,4,5,6레버(231,232,233,234,235,236)의 타단부와 연결되어 상기 제 1,2,3,4,5,6레버(231,232,233,234,235,236)의 회전이 완료된 후 복귀동작시키는 복원력을 제공하는 제 1,2,3,4,5,6스프링부재(251,252,253,254,255,256)를 구비한 것을 특징으로 하는 광센서 소자의 품질 검사장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 검사 케이스(202)의 내부에 상기 제 6레버(236)에 고정되는 광센서 소자(10)의 프레임부위를 절단하는 리드 컷장치(20)를 더 구비한 것을 특징으로 하는 광센서 소자의 품질 검사장치.
KR1020120052953A 2012-05-18 2012-05-18 광센서 소자의 품질 검사장치 KR101307510B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120052953A KR101307510B1 (ko) 2012-05-18 2012-05-18 광센서 소자의 품질 검사장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120052953A KR101307510B1 (ko) 2012-05-18 2012-05-18 광센서 소자의 품질 검사장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101307510B1 true KR101307510B1 (ko) 2013-09-12

Family

ID=49455907

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120052953A KR101307510B1 (ko) 2012-05-18 2012-05-18 광센서 소자의 품질 검사장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101307510B1 (ko)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR950005268B1 (ko) * 1992-07-16 1995-05-22 금성일렉트론주식회사 핸들러의 디바이스 분리 이송장치
KR20080109996A (ko) * 2007-06-14 2008-12-18 주식회사 파이컴 이미지 센서의 전기 검사 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR950005268B1 (ko) * 1992-07-16 1995-05-22 금성일렉트론주식회사 핸들러의 디바이스 분리 이송장치
KR20080109996A (ko) * 2007-06-14 2008-12-18 주식회사 파이컴 이미지 센서의 전기 검사 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9341580B2 (en) Linear inspection system
CN106525869B (zh) 玻璃边部缺陷检测方法及其装置和系统
WO2013138611A1 (en) Process and apparatus for measuring the crystal fraction of crystalline silicon casted mono wafers
AU3844197A (en) Apparatus and method for detecting surface defects
CN102062584A (zh) 遥控器自动检测生产线
TW201637973A (zh) 工件的特性測定裝置及工件的特性測定方法
KR101720008B1 (ko) 제품의 분류 장치
US8461857B2 (en) Distance adjustment system for use in solar wafer inspection machine and inspection machine provided with same
CN102773219A (zh) 发光元件检测与分类装置
KR101307510B1 (ko) 광센서 소자의 품질 검사장치
CN215297174U (zh) 一种硅片检测装置
US20190271593A1 (en) Inspection apparatus, inspection system, and inspection method
KR100995495B1 (ko) 바형상 프레임 비전검사기
KR101610316B1 (ko) 백라이트유닛 검사장치
WO2020105368A1 (ja) ガラス板の製造方法、及びガラス板の製造装置
TWI643180B (zh) 用於檢查顯示單元的技術
JP4323289B2 (ja) 検査装置
CN107335629B (zh) 一种led打标分光机及分光测量方法
CN213194642U (zh) 连接器检测机台
CN219980782U (zh) 一种电池检测装置
TWI407094B (zh) Solar wafer speed photoelectric detection system, detection methods and testing machine
CN210180940U (zh) 检测硅晶圆缺陷的自动光学检测机构
KR20230099834A (ko) 산란광을 이용한 유리기판의 절단면 검사 장치
US20210250519A1 (en) Simultaneous inspection of multiple surfaces of an object
KR101871172B1 (ko) 전자부품 검사장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160905

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170905

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180911

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190902

Year of fee payment: 7