JP2009105262A - 固体撮像素子の検査装置および検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】固体撮像素子の検査において、検査時間を短縮しつつ検査個数を増大させ、検査効率を高めることができる検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る検査装置20は、固体撮像素子1の信号端子と電気的に接続したプローブ2と、少なくとも固体撮像素子1の受光部を覆う遮蔽構造物4と、遮蔽構造物4の内側に配された光源3とを、少なくとも2つ以上の固体撮像素子1に対してそれぞれ備えている。各光源3から同時に光が照射された場合、遮蔽構造物4によって、各光源3からの光同士が干渉することを防ぐ。したがって、検査装置20は、複数の固体撮像素子1に対し、経時的に安定した光を同時に照射できる。
【選択図】図1
【解決手段】本発明に係る検査装置20は、固体撮像素子1の信号端子と電気的に接続したプローブ2と、少なくとも固体撮像素子1の受光部を覆う遮蔽構造物4と、遮蔽構造物4の内側に配された光源3とを、少なくとも2つ以上の固体撮像素子1に対してそれぞれ備えている。各光源3から同時に光が照射された場合、遮蔽構造物4によって、各光源3からの光同士が干渉することを防ぐ。したがって、検査装置20は、複数の固体撮像素子1に対し、経時的に安定した光を同時に照射できる。
【選択図】図1
Description
本発明は、カメラなどに利用することができる固体撮像素子の検査装置および検査方法に関するものである。
近年、固体撮像素子は、画像入力デバイスとして、デジタルカメラやカメラ付き携帯電話など、多く製品に応用され、その用途は拡大の一途をたどっている。それに伴い、固体撮像素子の画質向上が要求され、年々その画素数は増加している。この画素数の増加に伴い、固体撮像素子の検査にかかる負担は大きくなっている。
固体撮像素子について、CMOSセンサーが代表例として挙げられる。CMOSセンサーは、撮像機能と画像処理機能とを1枚のシリコンチップ上に集積した固体撮像素子である。このCMOSセンサーの動作原理について図3を参照して説明する。図3はCMOSセンサーの構成を説明するブロック図である。
図3に示すように、CMOSセンサーは、受光部であるフォトダイオード8、増幅素子9、信号伝達経路10を備えている。まず、フォトダイオード8に光が照射され、光信号が電気信号に変換される。変換された電気信号は、増幅素子9によって増幅され、信号伝達経路10にて、出力信号として画像処理部のA/D変換機に出力される。
上述のような動作を持つ固体撮像素子は、通常1枚のシリコン上に複数形成されている。そのため、固体撮像素子を検査する際、その検査効率を向上するためには、複数の固体撮像素子を同時に検査することが有効である。
たとえば、一般的な半導体検査においては、複数のチップを同時検査することにより、検査効率が向上できる。しかし、固体撮像素子においては、上述の動作原理に基づき、規定の光量を受光部上に照射する必要があるため、同時検査に条件の制約が存在する。
複数の固体撮像素子の同時検査の例として、特許文献1が開示されている。これについて図4を参照して以下に説明する。なお、特許文献1では、固体撮像素子としてCMOSセンサーが挙げられている。図4は、特許文献1により開示された複数の被測定チップ同時検査の実施例である。
図4に示すように、CMOSセンサーの被測定チップ11は、縦方向に2つ並んで配置され(チップAおよびB)、各チップAおよびBに対して、それぞれ検査用プローブ14が当てられている。チップAについては、受光部を備えるセンサー部12に対して光を照射できるよう、検査用プローブ14がセンサー部12の鉛直方向上側の領域にかからないように配置されている。チップBについては、検査用プローブ14は、チップAの場合のような制限事項を設けずに配置されている。
上述の構成により、チップAに対して測定用の光を照射してセンサー部12の検査を行いながら、並行してチップBの画像処理部15の検査を行うことが可能となり、検査効率の向上を図ることができる。
特開2002−217253号公報(平成14年8月2日公開)
特許文献1のように、固体撮像素子を撮像機能と信号処理機能とに分けて、同時検査を行えば、ある程度の検査効率の向上が図れる。しかしながら、一般的に撮像機能を検査する時間と、信号処理機能を検査する時間とは一致しないため、十分な検査効率の実現には至らない。さらに、特許文献1の構成では、複数の固体撮像素子に対して、同時に撮像機能を検査することは、困難を伴う。複数の固体撮像素子それぞれに光源を設け、同時に光を照射した場合、お互いの光源が干渉してしまい、安定な光量の光を照射することができないためである。
また、撮像機能と信号処理機能とを完全に独立させた状態のまま、すべての部分の検査をカバーできるものではないため、それぞれの繋がりの部分について別途検査が必要となる。
そこで、本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、複数個の固体撮像素子を同時に検査することができる固体撮像素子の検査装置および検査方法を提供することにある。
(検査装置の基本構成)
本発明に係る検査装置は、上記の課題を解決するために、撮像機能を有する受光部と、信号出入力用の端子とを備えた固体撮像素子が、半導体ウエハ上に2次元的に複数個配置された固体撮像素子集合体における前記固体撮像素子の検査装置であって、前記端子と電気的に接続するプローブと、少なくとも前記固体撮像素子の受光部を覆う遮蔽構造物と、前記遮蔽構造物の内側に配された光源とを、前記固体撮像素子の少なくとも2つに対して備えることを特徴としている。
本発明に係る検査装置は、上記の課題を解決するために、撮像機能を有する受光部と、信号出入力用の端子とを備えた固体撮像素子が、半導体ウエハ上に2次元的に複数個配置された固体撮像素子集合体における前記固体撮像素子の検査装置であって、前記端子と電気的に接続するプローブと、少なくとも前記固体撮像素子の受光部を覆う遮蔽構造物と、前記遮蔽構造物の内側に配された光源とを、前記固体撮像素子の少なくとも2つに対して備えることを特徴としている。
上記の構成によれば、各固体撮像素子に光を照射する光源は、遮蔽構造物に囲われているため、目的の固体撮像素子にのみ光を照射する。よって、複数の光源が同時に光を照射する場合でも、それぞれの光源からの光同士が干渉し合うことはない。そのため、本検査装置は、複数の固体撮像素子のそれぞれに、同一光量の光を同時に経時的に安定して照射できる。
各固体撮像素子において、受光部が、照射された光を受光し電気信号に変換することによって、動作する。ここで検査装置は、各固体撮像素子の端子にブローブを電気的に当てることによって、各固体撮像素子の撮像機能を個別に検査する。このとき、各受光部に互いに干渉しない独立した光をそれぞれ照射できるので、複数の固体撮像素子を同時に検査しても、検査結果の精度は、固体撮像素子を一つずつ検査した場合と同等になる。
以上のように、本発明の検査装置は、複数の固体撮像素子を正確かつ同時に検査できる。したがって、検査時間を短縮しつつ検査個数を増大させ、検査効率を高めることもできる。
(光源の制御)
また、本発明に係る検査装置においては、前記固体撮像素子の近傍に配置され、前記光源からの光を受光する検査用光センサーと、前記検査用光センサーによって制御され、前記光源を駆動する駆動回路とを複数の前記固体撮像素子それぞれに対して備えていることが好ましい。
また、本発明に係る検査装置においては、前記固体撮像素子の近傍に配置され、前記光源からの光を受光する検査用光センサーと、前記検査用光センサーによって制御され、前記光源を駆動する駆動回路とを複数の前記固体撮像素子それぞれに対して備えていることが好ましい。
上記の構成によれば、検査用光センサーが光源からの光を受光する。検査用光センサーは、受光した光に応じて、光源を駆動する駆動回路を制御する。これにより、光源から、経時的に安定した光や、光源の色に応じた適切な光量の光などを照射できる。したがって、検査に適切な光量を、固体撮像素子に照射することができる。
(検査方法)
また、本発明に係る固体撮像装置の検査方法は、上述した検査装置により、少なくとも2つ以上前記固体撮像素子の検査を同時に行うことを特徴としている。
(検査方法)
また、本発明に係る固体撮像装置の検査方法は、上述した検査装置により、少なくとも2つ以上前記固体撮像素子の検査を同時に行うことを特徴としている。
上記の検査方法によれば、複数の固体撮像素子を正確かつ同時に検査できる。したがって、検査時間を短縮しつつ検査個数を増大させ、検査効率を高めることもできる。
以上のように、本発明の検査装置は、少なくとも固体撮像素子の受光部を覆う遮蔽構造物と、前記遮蔽構造物の内側に配された光源とを、少なくとも2つ以上の固体撮像素子に対してそれぞれ備えている。したがって、複数個の固体撮像素子を同時に検査することができ、検査の効率化、高精度化を図ることができる。
本発明の一実施形態に係る固体撮像素子1の検査装置20について、図1に基づいて説明する。なお、以下の説明では、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は以下の実施形態および図面に限定されるものではない。
(全体構成)
本実施形態における検査装置20の構成を図1に示す。図1は、固体撮像素子1を検査装置20により検査する状態を示す断面図である。
本実施形態における検査装置20の構成を図1に示す。図1は、固体撮像素子1を検査装置20により検査する状態を示す断面図である。
図1に示すように、検査装置20は、プローブ2、光源3、遮蔽構造物4、検査用光センサー5、および光源駆動回路6を備えている。なお、検査装置20によって検査される固体撮像素子1は、半導体ウエハ上に2次元的(平面的)に複数個配置されてなる固体撮像素子集合体のうち、複数の固体撮像素子である。また固体撮像素子1はそれぞれ、信号端子および受光部を備えている。
(検査装置)
検査装置20において、プローブ2は、垂直針立て方式により、固体撮像素子1の信号端子に垂直に当てられる。それにより、プローブ2は、固体撮像素子1の受光面にかからない構成となる。
検査装置20において、プローブ2は、垂直針立て方式により、固体撮像素子1の信号端子に垂直に当てられる。それにより、プローブ2は、固体撮像素子1の受光面にかからない構成となる。
また、遮蔽構造物4は、蓋のない箱の形状をしている。遮蔽構造物4は、その蓋のない面を、固体撮像素子1の受光部のある面に合わせるように設置される。それにより、遮蔽構造物4は、固体撮像素子1を覆う構成となり、固体撮像素子1の受光部を遮蔽することができる。なお、遮蔽構造物4は、固体撮像素子1の受光部を覆うことができれば十分であり、箱の形状に限定されるものではない。
また、光源3は、遮蔽構造物4の内部の面であり、かつ固体撮像素子と対面する位置に設置される。それにより、光源3は、固体撮像素子1の受光部の全体に対して、測定用の光をより均一に照射できる。
上記構成は、複数の固体撮像素子1それぞれに対して設置される。なお、検査装置20における上記構成は、特に限定されないが、2つ以上の固体撮像素子1に対して備えることにより、固体撮像素子1の同時検査ができる。
上記の構成によって、複数の固体撮像素子1にはそれぞれ、光源3が設置される。光源3から照射される光は、遮蔽構造物4によって遮蔽され、光源3に対面する固体撮像素子1のみに照射される。よって、複数の光源3が同時に光を照射する場合であっても、光源3のそれぞれ対面する固体撮像素子1以外の他の固体撮像素子1へ光が照射されることはなく、それぞれの光同士が干渉し合うことを防ぐことができる。したがって、検査装置20は、個々の光源3から適切な光量を固体撮像素子1に照射することができるため、複数の固体撮像素子1の撮像機能を同時に検査することができる。
(検査用光センサー)
また、検査装置20において、検査用光センサー5は、遮蔽構造物4の内側側面の下部、すなわち固体撮像素子1近傍に設置されることが好ましい。検査用光センサー5は、信号伝達経路(図示しない)を介して、光源駆動回路6と接続されている。光源駆動回路6は、遮蔽構造物4の外側に設置され、光源3の光量を制御する機能を持つ。
また、検査装置20において、検査用光センサー5は、遮蔽構造物4の内側側面の下部、すなわち固体撮像素子1近傍に設置されることが好ましい。検査用光センサー5は、信号伝達経路(図示しない)を介して、光源駆動回路6と接続されている。光源駆動回路6は、遮蔽構造物4の外側に設置され、光源3の光量を制御する機能を持つ。
上記の構成により、検査用光センサー5は、光源3から、固体撮像素子1とほぼ同じ光量を照射される。検査用光センサー5は、照射された光の強弱に応じて、出力信号7aを出力する。出力信号7aは、信号伝達経路を介して光源駆動回路6に伝達される。光源駆動回路6は、伝達された出力信号7aをもとにして、検光源制御信号7bを出力する。光源制御信号7bによって、光源3は駆動し、その光量は制御される。したがって、検査装置20は、バラツキのない安定した光量を固体撮像素子1に照射することができる。
また、光源3を、たとえば赤色、青色、および緑色の単色を用いた光源としてもよい。この場合も、検査用光センサー5によって、色に応じた光源駆動回路6の制御ができるため、適切な光量を固体撮像素子1に照射することができる。
(応用例)
図1に示す検査装置20構成では、遮蔽構造物4により、固体撮像素子1の受光部のある面が全て覆われているが、受光部のみが覆われるの構成でも十分な効果がある。よって、遮蔽構造物4が固体撮像素子1の受光部のみを覆っている場合、プローブ2は、垂直針立て方式以外でもよい。
図1に示す検査装置20構成では、遮蔽構造物4により、固体撮像素子1の受光部のある面が全て覆われているが、受光部のみが覆われるの構成でも十分な効果がある。よって、遮蔽構造物4が固体撮像素子1の受光部のみを覆っている場合、プローブ2は、垂直針立て方式以外でもよい。
検査装置20が2個の固体撮像素子1を同時検査する場合における、プローブ2の応用例について図2を参照して以下に説明する。図2は、固体撮像素子が2つ並んだ状態を示す平面図である。
図2に示すように、2個の固体撮像素子1を、仮に固体撮像素子1aおよび1bとする。固体撮像素子1aおよび1bは、それぞれ1つの半導体ウエハ上に平面的に配置され、かつ隣り合った配置である。平面的に見て上下左右を設定した場合、固体撮像素子1aの下側が、固体撮像素子1bの上側と隣り合うとする。また、固体撮像素子1aおよび1bは、その外縁に信号端子18が、内側に受光部19が配されている。
検査装置20において、プローブ2が固体撮像素子1aおよび1bの信号端子18に接続する際、固体撮像素子1aの左右のプローブ2は、それぞれ左右に広がっていてもよい。また、固体撮像素子1aの上下のプローブ2は、固体撮像素子1bのプローブ2と接触しないようにするため、上下方向には広がることはできないが、左右方向には広がっていてもよい。また、プローブ2は、固体撮像素子1aの外側の拡がるのではなく、内側方向に向かう形でもよく、交互に外側と内側とに配置されてもよい。また、固体撮像素子1bのプローブ2についても同様に応用できる。
上記の構成により、検査装置20において、プローブ2は受光部19の上部にかかることなく、信号端子18と接続できる。よって、検査装置20は、光源3からの光が受光部19に照射される構成であり、かつプローブ2の配置に可変性を持つことができる。
(検査方法)
検査装置20による固体撮像素子1の検査方法の流れについて以下に説明する。
検査装置20による固体撮像素子1の検査方法の流れについて以下に説明する。
まず、検査装置20を、固体撮像素子1の受光部が遮蔽構造4によって覆われる配置に、セットする。次に、プローブ2を固体撮像素子1の信号端子と電気的に接続する。次に、光源3から光を照射する。次に、検査用光センサー5と光源駆動回路6とによって、光が規定の光量となるように制御する。次に、固体撮像素子1の受光部に照射された光は、信号に変換され、固体撮像素子1の信号端子からプローブ2を介してテスターに入力される。
上記した検査方法によれば、安定した光量による、複数の固体撮像素子1の同時検査法を実現できる。
本発明に係る固体撮像素子の検査装置およびその検査方法は、複数の固体撮像素子に対する同時検査装置およびその検査方法として、幅広く利用できる。
1 固体撮像素子
2 プローブ
3 光源
4 遮蔽構造物
5 検査用光センサー
6 光源駆動回路
7a 出力信号
7b 光源制御信号
8 フォトダイオード
9 増幅素子
10 信号伝達経路
11 被測定チップ
12 センサー部
13 入出力パッド
14 検査用プローブ
15 画像処理部
18 信号端子
19 受光部
20 固体撮像素子の検査装置
2 プローブ
3 光源
4 遮蔽構造物
5 検査用光センサー
6 光源駆動回路
7a 出力信号
7b 光源制御信号
8 フォトダイオード
9 増幅素子
10 信号伝達経路
11 被測定チップ
12 センサー部
13 入出力パッド
14 検査用プローブ
15 画像処理部
18 信号端子
19 受光部
20 固体撮像素子の検査装置
Claims (3)
- 撮像機能を有する受光部と、当該受光部の外側に配される信号出入力用の端子とを備えた固体撮像素子が、半導体ウエハ上に2次元的に複数個配置された固体撮像素子集合体における前記固体撮像素子の検査装置であって、
前記端子と電気的に接続するプローブと、
少なくとも前記固体撮像素子の受光部を覆う遮蔽構造物と、
前記遮蔽構造物の内側に配された光源とを、
前記固体撮像素子の少なくとも2つに対して備えることを特徴とする前記固体撮像素子の検査装置。 - 前記遮蔽構造物の内側かつ前記固体撮像素子の近傍に配置され、前記光源からの光を受光する検査用光センサーと、
前記検査用光センサーによって制御され、前記光源を駆動する駆動回路とを、
さらに備えていることを特徴とする請求項1に記載の前記固体撮像素子の検査装置。 - 請求項1および2のいずれか1項に記載の前記検査装置によって、少なくとも2つ以上前記固体撮像素子の検査を同時に行うことを特徴とする検査方法。
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---|---|---|---|
JP2007276331A JP2009105262A (ja) | 2007-10-24 | 2007-10-24 | 固体撮像素子の検査装置および検査方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010267913A (ja) * | 2009-05-18 | 2010-11-25 | Micronics Japan Co Ltd | 光センサの試験装置 |
JP2013096909A (ja) * | 2011-11-02 | 2013-05-20 | Micronics Japan Co Ltd | プローブカード及び検査装置 |
JP2015105834A (ja) * | 2013-11-28 | 2015-06-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 電子部品検査装置、電子部品の検査方法、及び、検査方法のプログラム |
KR101629838B1 (ko) * | 2015-03-16 | 2016-06-13 | (주)이즈미디어 | 카메라 모듈 검사 장치 및 그 제어 방법 |
JP2020518124A (ja) * | 2016-12-09 | 2020-06-18 | フォームファクター, インコーポレイテッド | Cmos画像走査デバイスを試験するためのled光源プローブカード技術 |
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2007
- 2007-10-24 JP JP2007276331A patent/JP2009105262A/ja active Pending
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