JP4741986B2 - 光学式検査方法および光学式検査装置 - Google Patents
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Description
また、この検出の際の雑音の大きさNは、一般にほぼ次式右辺の値に比例する。
このため、従来、異物や欠陥の検出感度を上げる方向に働く要因として、
(1)照明スポット内の照明光の照度を大きくし、強い散乱光が得られるようにする
(2)照明光の波長を短くし、強い散乱光が得られるようにする
(3)集光光学系の開口数を大きくし、効率良く散乱光が集光できるようにする
(4)量子効率やS/N比など光検出器の性能を向上させる
(5)照明スポットの面積を小さくして背景散乱光を減らす
(6)非検査物体移動ステージの主走査速度を遅くして異物や欠陥が照明スポット内を通過する時間を長くする
(7)照明スポットの主走査方向の径を大きくして異物や欠陥が照明スポット内を通過する時間を長くする
ことが良く知られている。
(1)照明光の照度を大きくすると、照明光のエネルギーを吸収して被検査物体表面の温度が上昇し、熱により被検査物体がダメージを受ける危険性が高くなる。
(2)異物や欠陥を検出するのに好適な出力等を有する光源として入手可能な光源の波長には限りがあり、短波長化には限界がある。
(3)異物や欠陥から発せられる散乱光の集光効率は100%以上にはならない。従来技術でも一般に50%程度あり、今後2倍以上にすることは既に不可能である。
(4)従来、微弱な散乱光検出に好適な光検出器として用いられている光電子増倍管の量子効率やS/N比は、既にほぼ理論限界に近く、今後の大きな改善はのぞめない。
(5)照明スポットの面積を小さくすることは有効であるが、同時に、被検査物体全面を検査するのに要する時間が長くなる弊害がある。
(6)主走査速度を遅くすることは、(5)と同様に、被検査物体全面を検査するのに要する時間が長くなる弊害がある。
(7)照明スポットの主走査方向の径を大きくするだけでは、同時に照明スポットの面積が増大することによる背景散乱光の増大と相殺して効果は無く、照明スポットの面積が増大しないように、照明スポットの主走査方向と直交方向の径を減らすと、(5)と同じで、被検査物体全面を検査するのに要する時間が長くなる弊害がある。
(1)一つ一つの光検出器に、対応する照明スポットからの散乱光のみが入射し、他の照明スポットからの散乱光が入らないようにするため、各照明スポットの像を重ならないように十分分離して結像させる、性能の高い分離結像光学系が必要となる。
(2)特に、散乱光を低い仰角で検出したい場合には、前記分離結像光学系は、低い仰角からの斜方観察光学系となるため、複数の照明スポットは前記光学系のほぼ焦点深度方向に距離を隔てて分布することになり、照明スポットの像を十分分離して結像させる光学系を実現することは難しい。
(3)複数の照明スポットに対応して(1)の分離結像光学系と検出感度に優れる光電子増倍管等の光検出器の組合せを複数備えることは、実装に際して大きな容積を必要とする。特に、複数の仰角と複数の方位角の組合せの各位置で散乱光を検出する場合には、各散乱光検出位置で前記複数の照明スポットに対応する(1)の分離結像光学系と検出感度に優れる光電子増倍管の組合せを複数備えることが必要になり、実装に際して必要とされる容積が非常に大きいものとなり、各部品が空間的に干渉して、配置できない事態も発生し得る。光検出器として小型のものを用いる、または1つの光検出器が複数の画素から構成されているものを用いる、といったことも考えられるが、残念ながらこの種の光検出器で光電子増倍管に比べて十分な検出感度を有するものは無く、採用することができない。
などの理由があるからである。
11から出た光は、ビームスプリッタ12で2本のビーム21,22に分けられる。ビーム21とビーム22は最終的に共に照射レンズ18に入射し、各々照明スポット3,4を形成するが、その間でビーム22はビーム21に比べて長い光路を通過するように光路が構成されており、その遅延時間は、例えば、前記パルスレーザ光源11のパルス発振間隔が10nsの場合、下式のように光路長の差を1500mmにすることにより、ちょうどパルス発振間隔の1/2の時間とすることができる。
=1500[mm]
ビーム21,22の光路には、各々のレーザ光の発光タイミングを信号として取り出すための発光タイミング信号生成手段として、ビーム21,22の一部を取り出すためのビームスプリッタ14,15とその一部取り出した光の時間変化波形を電気信号に変換するフォトダイオード16,17が設けてある。もちろん、2つの照明スポット3,4の間の発光時刻差を正しく検出するために、2つのフォトダイオード16,17は、照明スポット側からビーム21,22の光路を逆にたどった時に等距離となる位置に配置されなければならない。これらのフォトダイオード16,17から得られる発光タイミング信号は、例えば、図4の上2段に示すような波形となる。
17からの発光タイミング信号に所定の遅延時間とパルス持続時間を与えるため、波形整形器28を設ける。波形整形器28からの出力信号は、例えば図6の3段目・4段目に示すような波形となる。この波形整形器28からのゲート信号によってゲート回路27を
On/Offすることにより、前置増幅器25の出力信号から、図6の6段目と7段目に示す各照明スポットに対応した散乱光信号が分離される。分離された各散乱光信号は、その後、さらに増幅器26で増幅される。このように、図5の回路を用いると、1つの光検出器7の出力信号から、複数の照明スポットに対応する散乱光信号を分離して検出でき、かつ分離された個々の散乱光信号は、対応していない側の照明スポットの背景光の影響を受けないことが分かる。
27の代わりに、積分器29を配置し、積分器29の積分作用を、前記波形整形器28の信号によって制御するように構成しても同様の効果が得られる。
Claims (38)
- 被検査物体を予め定められたパターンで移動させる被検査物体移動ステージと、光源からの光を被検査物体表面に照射する照明手段と、前記照射光が被検査物体に照射されたことに起因して発生した光を検出する光検出手段と、を用いて被検査物体表面上または表面近傍内部に存在する異物や欠陥を検出する光学式検査方法において、
前記照明手段は、前記光源から発せられる1本の光束を複数の光束に分割する手段と、複数の光束を被検査物体表面上の互いに所定の距離を隔てて離散的に配置された複数の位置に照射して複数の照明スポットを形成する手段を備え、前記光検出手段は、前記複数の照明スポットの各々からの光信号を分離して検出するよう構成したことを特徴とする光学式検査方法。 - 被検査物体を予め定められたパターンで移動させる被検査物体移動ステージと、光源からの光を被検査物体表面に照射する照明手段と、前記照射光が被検査物体に照射されたことに起因して発生した光を検出する光検出手段と、を用いて被検査物体表面上または表面近傍内部に存在する異物や欠陥を検出する光学式検査方法において、
前記照明手段は、前記光源から発せられる1本の光束を複数の光束に分割する手段と、複数の光束を被検査物体表面上の互いに所定の距離を隔てて離散的に配置された複数の位置に照射して複数の照明スポットを形成する手段を備え、前記光検出手段は、前記複数の照明スポットの各々からの光信号をほぼ同時に受光し、受光した光信号を分離して検出するよう構成したことを特徴とする光学式検査方法。 - 主走査が並進移動で副走査が前記並進移動と概略直交する方向の並進移動、または主走査が回転移動で副走査が並進移動から成る被検査物体移動ステージを備え、時間的に繰返してパルス発振するパルスレーザ光源を備え、光源からのパルス光を被検査物体表面に照射する照明手段と、被検査物体で前記照射光が散乱・回折・反射された光を検出する散乱・回折・反射光検出手段を備え、被検査物体表面上または表面近傍内部に存在する異物や欠陥を検出する異物・欠陥検出方法において、前記照明手段は、前記パルスレーザ光源から発せられる1本の光束を複数の光束に分割する手段と、複数に分割した光束毎に異なる遅延時間を与える遅延光学系と、互いに異なる遅延時間を与えられた複数の光束を被検査物体表面上の互いに所定の距離を隔てて離散的に配置された複数の位置に照射して複数の照明スポットを形成する手段を備えると共に、前記照明手段内部または外部に、前記互いに異なる遅延時間を与えられた複数の光束の各々の発光タイミングを示す発光タイミング信号生成手段を備え、前記散乱・回折・反射光検出手段は、被検査物体表面上の前記複数の照明スポットから発生した散乱・回折・反射光が概略同時に入射する光検出器を備え、前記発光タイミング信号に基づいて前記光検出器からの出力信号を制御することにより前記複数の照明スポットの各々からの散乱・回折・反射光による散乱・回折・反射光信号を分離して検出するよう構成したことを特徴とする光学式検査方法。
- 主走査が並進移動で副走査が前記並進移動と概略直交する方向の並進移動、または主走査が回転移動で副走査が並進移動から成る被検査物体移動ステージを備え、時間的に繰返してパルス発振するパルスレーザ光源を備え、光源からのパルス光を被検査物体表面に照射する照明手段と、被検査物体で前記照射光が散乱・回折・反射された光を前記被検査物体表面に関して複数の仰角または複数の方位角または複数の仰角と複数の方位角の組合せの方向で検出する複数の散乱・回折・反射光検出手段を備え、被検査物体表面上または表面近傍内部に存在する異物や欠陥を検出する光学式検査方法において、前記照明手段は、前記パルスレーザ光源から発せられる1本の光束を複数の光束に分割する手段と、複数に分割した光束毎に異なる遅延時間を与える遅延光学系と、互いに異なる遅延時間を与えられた複数の光束を被検査物体表面上の互いに所定の距離を隔てて離散的に配置された複数の位置に照射して複数の照明スポットを形成する手段を備えると共に、前記照明手段内部または外部に、前記互いに異なる遅延時間を与えられた複数の光束の各々の発光タイミングを示す発光タイミング信号生成手段を備え、前記複数の散乱・回折・反射光検出手段の各々は、被検査物体表面上の前記複数の照明スポットから発生した散乱・回折・反射光が概略同時に入射する光検出器を備え、前記発光タイミング信号に基づいて前記光検出器からの出力信号を制御することにより前記複数の照明スポットの各々からの散乱・回折・反射光による散乱・回折・反射光信号を分離して検出するよう構成したことを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項3または4記載の光学式検査方法において、前記発光タイミング信号生成手段を、前記パルスレーザ光源から出力される同期信号、または前記パルスレーザ光源に与える制御信号を元に発光タイミング信号を生成するように構成したことを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項3または4記載の光学式検査方法において、前記発光タイミング信号生成手段が、前記互いに異なる遅延時間を与えられた複数の光束の一部を、前記複数の光束が被測定物体表面に照射されるまでの光路上で分離して、前記各々の光束の発光タイミングを検出する発光タイミング信号検出手段を備えたことを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項3または4記載の光学式検査方法において、被検査物体で前記照射光が正反射された光を検出する正反射光検出手段を備えると共に、前記発光タイミング信号生成手段を、前記正反射光検出手段が検出した正反射光の検出信号を元に発光タイミング信号を生成するように構成したことを特徴とする光学式検査方法。
- 主走査が並進移動で副走査が前記並進移動と概略直交する方向の並進移動、または主走査が回転移動で副走査が並進移動から成る被検査物体移動ステージを備え、時間的に繰返してパルス発振するパルスレーザ光源を備え、光源からのパルス光を被検査物体表面に照射する照明手段と、被検査物体で前記照射光が散乱・回折・反射された光を検出する散乱・回折・反射光検出手段を備え、被検査物体表面上または表面近傍内部に存在する異物や欠陥を検出する光学式検査方法において、前記照明手段は、前記パルスレーザ光源から発せられる1本の光束を複数の光束に分割する手段と、複数に分割した光束毎に異なる遅延時間を与える遅延光学系と、互いに異なる遅延時間を与えられた複数の光束を被検査物体表面上の互いに所定の距離を隔てて離散的に配置された複数の位置に照射して複数の照明スポットを形成する手段を備えると共に、前記照明手段内部または外部に、前記互いに異なる遅延時間を与えられた複数の光束の各々の発光開始タイミングを示す発光開始タイミング信号生成手段を備え、前記散乱・回折・反射光検出手段は、被検査物体表面上の前記複数の照明スポットから発生した散乱・回折・反射光が概略同時に入射する光検出器を備え、前記発光開始タイミング信号に基づいて前記光検出器からの出力信号を制御することにより前記複数の照明スポットの各々からの散乱・回折・反射光による散乱・回折・反射光信号を分離して検出するよう構成したことを特徴とする光学式検査方法。
- 主走査が並進移動で副走査が前記並進移動と概略直交する方向の並進移動、または主走査が回転移動で副走査が並進移動から成る被検査物体移動ステージを備え、時間的に繰返してパルス発振するパルスレーザ光源を備え、光源からのパルス光を被検査物体表面に照射する照明手段と、被検査物体で前記照射光が散乱・回折・反射された光を前記被検査物体表面に関して複数の仰角または複数の方位角または複数の仰角と複数の方位角の組合せの方向で検出する複数の散乱・回折・反射光検出手段を備え、被検査物体表面上または表面近傍内部に存在する異物や欠陥を検出する光学式検査方法において、前記照明手段は、前記パルスレーザ光源から発せられる1本の光束を複数の光束に分割する手段と、複数に分割した光束毎に異なる遅延時間を与える遅延光学系と、互いに異なる遅延時間を与えられた複数の光束を被検査物体表面上の互いに所定の距離を隔てて離散的に配置された複数の位置に照射して複数の照明スポットを形成する手段を備えると共に、前記照明手段内部または外部に、前記互いに異なる遅延時間を与えられた複数の光束の各々の発光開始タイミングを示す発光開始タイミング信号生成手段を備え、前記複数の散乱・回折・反射光検出手段の各々は、被検査物体表面上の前記複数の照明スポットから発生した散乱・回折・反射光が概略同時に入射する光検出器を備え、前記発光開始タイミング信号に基づいて前記光検出器からの出力信号を制御することにより前記複数の照明スポットの各々からの散乱・回折・反射光による散乱・回折・反射光信号を分離して検出するよう構成したことを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項8または9記載の光学式検査方法において、前記発光開始タイミング信号生成手段を、前記パルスレーザ光源から出力される同期信号、または前記パルスレーザ光源に与える制御信号を元に発光開始タイミング信号を生成するように構成したことを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項8または9記載の光学式検査方法において、前記発光開始タイミング信号生成手段が、前記互いに異なる遅延時間を与えられた複数の光束の一部を、前記複数の光束が被測定物体表面に照射されるまでの光路上で分離して、前記各々の光束の発光開始タイミングを検出する発光開始タイミング信号検出手段を備えたことを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項8または9記載の光学式検査方法において、被検査物体で前記照射光が正反射された光を検出する正反射光検出手段を備えると共に、前記発光開始タイミング信号生成手段を、前記正反射光検出手段が検出した正反射光の検出信号を元に発光開始タイミング信号を生成するように構成したことを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項8〜12のいずれかに記載の光学式検査方法において、前記光検出器からの出力信号を制御することにより前記複数の照明スポットの各々からの散乱・回折・反射光による散乱・回折・反射光信号を分離する際に、前記複数の照明スポットの各々に対応する前記発光開始タイミング信号を用いて、各発光開始タイミングで始まって所定の時間幅だけ持続する、前記複数の照明スポットの各々に対応する光検出制御信号を生成し、前記光検出制御信号に基づいて前記光検出器からの出力信号を制御することを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項8〜12のいずれかに記載の光学式検査方法において、前記光検出器からの出力信号を制御することにより前記複数の照明スポットの各々からの散乱・回折・反射光による散乱・回折・反射光信号を分離する際に、前記複数の照明スポットの各々に対応する前記発光開始タイミング信号を用いて、各発光開始タイミングから所定の時間だけ遅れて始まってまた別の所定の時間幅だけ持続する、前記複数の照明スポットの各々に対応する光検出制御信号を生成し、前記光検出制御信号に基づいて前記光検出器からの出力信号を制御することを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項8〜12のいずれかに記載の光学式検査方法において、前記光検出器からの出力信号を制御することにより前記複数の照明スポットの各々からの散乱・回折・反射光による散乱・回折・反射光信号を分離する際に、前記複数の照明スポットの各々に対応する前記発光開始タイミング信号を用いて、各発光開始タイミングから前記光検出器からの出力信号が有する立上がり応答特性に対応する時間だけ遅れて始まって前記光検出器からの出力信号が有する周波数帯域特性に対応する時間幅だけ持続する、前記複数の照明スポットの各々に対応する光検出制御信号を生成し、前記光検出制御信号に基づいて前記光検出器からの出力信号を制御することを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項13〜15のいずれかに記載の光学式検査方法において、前記光検出器の出力電気信号を増幅した後に、前記複数の照明スポットの数に対応した複数のゲート回路に分配し、各ゲート回路を各照明スポットに関連付け、前記分配された各出力信号を、関連付けられた各照明スポットに対応する前記光検出制御信号に基づいてOn/Offすることにより、前記複数の照明スポットの各々からの散乱・回折・反射光による散乱・回折・反射光信号を分離して検出するように構成したことを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項13〜15のいずれかに記載の光学式検査方法において、前記光検出器の出力電気信号を増幅した後に、前記複数の照明スポットの数に対応した複数の積分器に分配し、各積分器を各照明スポットに関連付け、前記分配された各出力信号を、前記各積分器に関連付けられた各照明スポットに対応する前記光検出制御信号がOnの時間帯のみ積分することにより、前記複数の照明スポットの各々からの散乱・回折・反射光による散乱・回折・反射光信号を分離して検出するように構成したことを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項1〜17のいずれかに記載の光学式検査方法において、前記複数の照明スポットを、被検査物体表面上で前記被検査物体移動ステージの主走査方向と概略同一の方向に概略一列で並べたことを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項1〜17のいずれかに記載の光学式検査方法において、前記複数の照明スポットを、被検査物体表面上で前記被検査物体移動ステージの副走査方向と概略同一の方向に概略一列で並べたことを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項1〜17のいずれかに記載の光学式検査方法において、前記複数の照明スポットを、被検査物体表面上で前記被検査物体移動ステージの主走査方向との成す角度が平行と直交の間にあるような所定の方向に概略一列で並ぶように配置したことを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項18記載の光学式検査方法において、前記各照明スポットが重ならないように並べたことを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項19記載の光学式検査方法において、前記各照明スポットを概略隙間無く並べたことを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項19記載の光学式検査方法において、前記各照明スポットを所定の割合で重なるように並べたことを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項20記載の光学式検査方法において、前記被検査物体移動ステージを主走査した時に各照明スポットが描く軌跡が概略隙間無く並ぶように配置したことを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項20記載の光学式検査方法において、前記被検査物体移動ステージを主走査した時に各照明スポットが描く軌跡が所定の割合で重なるように配置したことを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項1〜17のいずれかに記載の光学式検査方法において、M,Nを整数として積M×N個の複数の照明スポットをM個ずつN組のグループに分け、前記N組の各グループ内のM個の照明スポットを被検査物体表面上で前記被検査物体移動ステージの主走査方向と概略同一の方向に概略一列で並べると共に、N組の前記M個ずつの照明スポットのグループを、前記被検査物体移動ステージの主走査方向との成す角度が平行と直交の間にあるような所定の方向に概略一列で並ぶように配置したことを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項26記載の光学式検査方法において、前記N組の各グループ内のM個の照明スポットは重ならないように並べ、N組の前記M個ずつの照明スポットのグループは、前記被検査物体移動ステージを主走査した時に各グループの照明スポットが描く軌跡が概略隙間無く並ぶように配置したことを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項26記載の光学式検査方法において、前記N組の各グループ内のM個の照明スポットは重ならないように並べ、N組の前記M個ずつの照明スポットのグループは、前記被検査物体移動ステージを主走査した時に各グループの照明スポットが描く軌跡が所定の割合で重なるように配置したことを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項18または21記載の光学式検査方法において、分離して検出された前記複数の照明スポットに対応する散乱・回折・反射光信号に対して、統計処理計算を施すことにより、異物または欠陥の検出感度を向上させることを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項26〜28のいずれかに記載の光学式検査方法において、分離して検出された前記N組の各グループ内のM個の照明スポットに対応する散乱・回折・反射光信号に対して、統計処理計算を施すことにより、異物または欠陥の検出感度を向上させることを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項19,20,21,22〜28のいずれかに記載の光学式検査方法において、現在の主走査と次の主走査の間に副走査が移動する距離を、単一の照明スポットで検査する場合の前記距離よりも大きくすることにより、異物または欠陥の検査速度を向上させることを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項26〜28のいずれかに記載の光学式検査方法において、分離して検出された前記N組の各グループ内のM個の照明スポットに対応する散乱・回折・反射光信号に対して、統計処理計算を施すことにより、異物または欠陥の検出感度を向上させると共に、現在の主走査と次の主走査の間に副走査が移動する距離を、単一の照明スポットで検査する場合の前記距離よりも大きくすることにより、異物または欠陥の検査速度を向上させることを特徴とする光学式検査方法。
- 被検査物体を予め定められたパターンで移動させる被検査物体移動ステージと、
光源からの光を被検査物体表面に照射する照明手段と、
前記照射光が被検査物体に照射されたことに起因して発生した光を検出する光検出手段と、
を備えた光学式検査装置において、
前記照明手段は、前記光源から発せられる1本の光束を複数の光束に分割し、分割された複数の光束を被検査物体上の所定の距離を隔て、前記被検査物体移動ステージで該被検査物体が移動するに際して前記照明手段で照射される照射スポットの軌跡の少なくとも一部が重なるように複数の照明スポットを形成する手段を備え、
該複数の照明スポットから発生する光のうちの前記被検査物体の同一位置から発生した光を前記光検出手段で異なる時刻に検出した信号を合成する検出光合成手段と、
を備えたことを特徴とする光学式検査装置。 - 被検査物体を予め定められたパターンで移動させる被検査物体移動ステージと、
光源からの光を被検査物体表面に照射する照明手段と、
前記照射光が被検査物体に照射されたことに起因して発生した光を検出する光検出手段と、
を備えた光学式検査装置において、
前記照明手段は、前記光源から発せられる1本の光束を複数の光束に分割し、分割された複数の光束を被検査物体上の所定の距離を隔て、前記被検査物体移動ステージで該被検査物体が移動するに際して前記照明手段で照射される照射スポットの軌跡が重ならないように複数の照明スポットを形成する手段を備え、
該複数の照明スポットから発生する光を前記光検出手段で検出した信号を合成する検出光合成手段と、
を備えたことを特徴とする光学式検査装置。 - 主走査が並進移動で副走査が前記並進移動と概略直交する方向の並進移動、または主走査が回転移動で副走査が並進移動から成る被検査物体移動ステージを備え、時間的に繰返してパルス発振するパルスレーザ光源を備え、光源からのパルス光を被検査物体表面に照射する照明手段と、被検査物体で前記照射光が散乱・回折・反射された光を前記被検査物体表面に関して複数の仰角または複数の方位角または複数の仰角と複数の方位角の組合せの方向で検出する複数の散乱・回折・反射光検出手段を備え、被検査物体表面上または表面近傍内部に存在する異物や欠陥を検出する異物・欠陥検査装置において、前記照明手段は、前記パルスレーザ光源から発せられる1本の光束を複数の光束に分割する手段と、複数の光束を被検査物体表面上の互いに所定の距離を隔てて離散的に配置された複数の位置に照射して複数の照明スポットを形成する手段を備え、前記複数の照明スポットを、被検査物体表面上で前記被検査物体移動ステージの主走査方向と概略同一の方向に概略一列で並べると共に、該複数の照明スポットから発生する光のうちの前記被検査物体の同一位置から発生した光を前記光検出手段で異なる時刻に検出した信号を分離して検出する光信号分離検出手段と、
を備えたことを特徴とする光学式検査装置。 - 主走査が並進移動で副走査が前記並進移動と概略直交する方向の並進移動、または主走査が回転移動で副走査が並進移動から成る被検査物体移動ステージを備え、時間的に繰返してパルス発振するパルスレーザ光源を備え、光源からのパルス光を被検査物体表面に照射する照明手段と、被検査物体で前記照射光が散乱・回折・反射された光を前記被検査物体表面に関して複数の仰角または複数の方位角または複数の仰角と複数の方位角の組合せの方向で検出する複数の散乱・回折・反射光検出手段を備え、被検査物体表面上または表面近傍内部に存在する異物や欠陥を検出する異物・欠陥検査装置において、前記照明手段は、前記パルスレーザ光源から発せられる1本の光束を複数の光束に分割する手段と、複数の光束を被検査物体表面上の互いに所定の距離を隔てて離散的に配置された複数の位置に照射して複数の照明スポットを形成する手段を備え、前記複数の照明スポットを、被検査物体表面上で前記被検査物体移動ステージの副走査方向と概略同一の方向に概略一列で並べると共に、該複数の照明スポットから発生する光を前記光検出手段で検出した信号を分離して検出する光信号分離検出手段と、
を備えたことを特徴とする光学式検査装置。 - 主走査が並進移動で副走査が前記並進移動と概略直交する方向の並進移動、または主走査が回転移動で副走査が並進移動から成る被検査物体移動ステージを備え、時間的に繰返してパルス発振するパルスレーザ光源を備え、光源からのパルス光を被検査物体表面に照射する照明手段と、被検査物体で前記照射光が散乱・回折・反射された光を前記被検査物体表面に関して複数の仰角または複数の方位角または複数の仰角と複数の方位角の組合せの方向で検出する複数の散乱・回折・反射光検出手段を備え、被検査物体表面上または表面近傍内部に存在する異物や欠陥を検出する異物・欠陥検査装置において、前記照明手段は、前記パルスレーザ光源から発せられる1本の光束を複数の光束に分割する手段と、複数の光束を被検査物体表面上の互いに所定の距離を隔てて離散的に配置された複数の位置に照射して複数の照明スポットを形成する手段を備え、前記複数の照明スポットを、被検査物体表面上で前記被検査物体移動ステージの主走査方向との成す角度が平行と直交の間にあるような所定の方向に概略一列で並べると共に、該複数の照明スポットから発生する光を前記光検出手段で検出した信号を分離して検出する光信号分離検出手段と、
を備えたことを特徴とする光学式検査装置。 - 主走査が並進移動で副走査が前記並進移動と概略直交する方向の並進移動、または主走査が回転移動で副走査が並進移動から成る被検査物体移動ステージを備え、時間的に繰返してパルス発振するパルスレーザ光源を備え、光源からのパルス光を被検査物体表面に照射する照明手段と、被検査物体で前記照射光が散乱・回折・反射された光を前記被検査物体表面に関して複数の仰角または複数の方位角または複数の仰角と複数の方位角の組合せの方向で検出する複数の散乱・回折・反射光検出手段を備え、被検査物体表面上または表面近傍内部に存在する異物や欠陥を検出する異物・欠陥検査装置において、前記照明手段は、前記パルスレーザ光源から発せられる1本の光束を複数の光束に分割する手段と、複数の光束を被検査物体表面上の互いに所定の距離を隔てて離散的に配置された複数の位置に照射して、M,Nを整数として積M×N個の複数の照明スポットを形成する手段を備え、前記複数の照明スポットをM個ずつN組のグループに分け、前記N組の各グループ内のM個の照明スポットを被検査物体表面上で前記被検査物体移動ステージの主走査方向と概略同一の方向に概略一列で並べると共に、N組の前記M個ずつの照明スポットのグループを、前記被検査物体移動ステージの主走査方向との成す角度が平行と直交の間にあるような所定の方向に概略一列で並ぶように配置すると共に、該複数の照明スポットから発生する光を前記光検出手段で検出した信号を分離して検出する光信号分離検出手段と、
を備えたことを特徴とする光学式検査装置。
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