DE112006001477T5 - Testsondenkarte - Google Patents
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Abstract
Testsondenkarte
(1) aufweisend:
ein Installationsteil (100) mit einer unteren Oberfläche, an welcher Sondenspitzen (160) für den elektrischen Kontakt mit einem Testobjekt vorgesehen sind;
eine Leiterplatte (PCB) (200) mit oberen und unteren Oberflächen, auf welchen jeweils elektrisch verbundene Pads (201, 202) angeordnet sind;
Zwischenverbindungsteile (220), die zwischen dem Installationsteil (100) und der Leiterplatte (200) angeordnet sind, um die Pads (201), die auf der unteren Oberfläche der Leiterplatte (200) angeordnet sind, mit dem Sondenspitzen (160) elektrisch zu verbinden;
ein Verstärkungsteil (300), das über der Leiterplatte (200) angeordnet ist, um einen Raum (302) zwischen dem Verstärkungsteil (300) und der Leiterplatte (200) zu definieren, und das mit der Leiterplatte (200) gekoppelt ist;
ein Kontaktteil (400), das in dem Raum (302) vorgesehen ist und eine obere Oberfläche (440) aufweist, die teilweise oder vollständig mit dem Verstärkungsteil (300) in Kontakt steht;
ein Verbindungsteil (500), das in einem Einfügeloch eingefügt ist,...
ein Installationsteil (100) mit einer unteren Oberfläche, an welcher Sondenspitzen (160) für den elektrischen Kontakt mit einem Testobjekt vorgesehen sind;
eine Leiterplatte (PCB) (200) mit oberen und unteren Oberflächen, auf welchen jeweils elektrisch verbundene Pads (201, 202) angeordnet sind;
Zwischenverbindungsteile (220), die zwischen dem Installationsteil (100) und der Leiterplatte (200) angeordnet sind, um die Pads (201), die auf der unteren Oberfläche der Leiterplatte (200) angeordnet sind, mit dem Sondenspitzen (160) elektrisch zu verbinden;
ein Verstärkungsteil (300), das über der Leiterplatte (200) angeordnet ist, um einen Raum (302) zwischen dem Verstärkungsteil (300) und der Leiterplatte (200) zu definieren, und das mit der Leiterplatte (200) gekoppelt ist;
ein Kontaktteil (400), das in dem Raum (302) vorgesehen ist und eine obere Oberfläche (440) aufweist, die teilweise oder vollständig mit dem Verstärkungsteil (300) in Kontakt steht;
ein Verbindungsteil (500), das in einem Einfügeloch eingefügt ist,...
Description
- TECHNISCHES GEBIET
- Die vorliegende Erfindung betrifft Testgeräte für Halbleiterwafer und insbesondere Testsondenkarten, sogenannte Probecards die zum Testen von elektrischen Eigenschaften von Halbleiterchips verwendet werden.
- HINTERGRUND DER TECHNIK
- Im allgemeinen werden Halbleiterprodukte durch Ausführen einer komplexen Reihe von Prozessen hergestellt, darunter ein Herstellungsverfahren für Reinsiliziumwafer, ein Verfahren zum Ausbilden von Mustern auf den Reinsiliziumwafern, um Halbleiterchips herzustellen, ein elektrisches Die-Sortierverfahren (electric die sorting EDS) zum Testen von elektrischen Eigenschaften der Halbleiterchips, um zu bestimmen, ob die Halbleiterchips gut oder schlecht sind, ein Verfahren zum Verpacken der guten Halbleiterchips sowie ein Verfahren zum abschließenden Testen der verpackten Halbleiterchips.
- Von den Chips, die durch elektrischen Eignungstest als schlecht bestimmt wurden sind, werden die reparierbaren Chips repariert, wohingegen die nicht-reparierbaren Chips eliminiert werden, bevor ein Bestückungsverfahren durchgeführt wird. Somit ist das Testverfahren für die elektrischen Eigenschaften hinsichtlich der Verringerung der Herstellungs- bzw. Bestückungskosten und zum Verbessern der Ausbeute bei der Halbleiterchipherstellung von erheblicher Bedeutung.
- Eine Vorrichtung zum Durchführen eines EDS-Verfahren enthält eine Probe-Card bzw. Testsondenkarte mit Sondenspitzen, welche mit einem Leitungspad in Kontakt stehen, das für ein Testobjekt, wie etwa einen Wafer, vorgesehen ist, um elektrische Signale an das Leitungspad anzulegen. Die Enden der Sondenstifte bzw. -spitzen müssen auf dem Niveau bzw. der gleichen Höhe angeordnet sein, so dass alle Sondenspitzen in Kontakt mit dem Pad kommen. Die Sondenspitzen ragen von dem Boden eines Zwischenraumausgleichers (space transformer) nach unten. Falls jedoch die Dicke des Zwischenraumausgleichers
42 nicht gleichmäßig ist, wie in1 gezeigt, haben die Enden der Sondenspitzen46 eine unterschiedliche Höhe obgleich der Zwischenraumausgleicher42 horizontal angeordnet ist. Aus diesem Grund entsteht zwischen einem Pad und einer Sondenspitze46 während eines Tests ein unvollständiger Kontakt. -
2 ist eine Querschnittsansicht einer herkömmlichen Testsondenkarte, die zur Steuerung der Höhe des Bodens eines Zwischenraumausgleichers42 konfiguriert ist. Ein oberes Verstärkungsteil30 ist an einer oberen Oberfläche einer gedruckten Leiterplatte (printed circuit board PCB)10 vorgesehen und ein unteres Verstärkungsteil20 ist an dessen Bodenoberfläche vorgesehen. Dasoberes Verstärkungsteil30 ist ein scheibenförmiges Teil, und das untere Verstärkungsteil20 ist ringförmiges Teil. Die Verstärkungsteile20 und30 werden durch einen Bolzen70 miteinander befestigt. Ein Installationsteil40 ist an der Innenseite des Bodenverstärkungsteils20 vorgesehen. Das Installationsteil40 enthält einen Zwischenraumausgleicher42 mit einer Sondenspitze46 und eine Unterstützungsplatte44 , die zum Halten des Zwischenraumausgleichers42 angeordnet ist. Die Unterstützungsplatte44 ist mit dem Bodenverstärkungsteil20 mittels einer Blattfeder50 gekoppelt. Eine Vielzahl von Löchern12 sind an dem oberen Verstärkungsteil30 und der Leiterplatte10 ausgebildet. Eine Vielzahl von Feinsteuerungsschrauben60 sind jeweils in die Löcher12 eingefügt. Der Einfügungsgrad der jeweiligen Steuerschrauben60 wird zum Einstellen einer Kraft, die einen Druck auf den Zwischenraumausgleicher42 ausgeübt wird, gesteuert. Somit wird die Höhe des Bodens des Zwischenraumausgleichers42 gesteuert. Wie in3 gezeigt, wirkt der Druckkraft F1, die von der Steuerschraube60 ausgeübt wird, eine Druckkraft F2, entgegen die von einer Unterstützungsplatte44 auf eine Blattfeder50 durch eine Rückstellkraft ausgeübt wird, so dass die Position des Zwischenraumausgleichers42 fixiert ist. Elastische Mittel wie ein Pogo-Pin80 sind zwischen einer Leiterplatte10 und dem Zwischenraumausgleicher42 zu deren elektrischen Verbindung vorgesehen. - Im allgemeinen wird ein Testverfahren durchgeführt, während der Wafer erwärmt wird. Falls die zuvor beschriebene Testsondenkarte für einen langen Zeitraum verwendet wird, wird die Blattfeder
50 deformiert und das Elastizitätsmodul der Blattfeder50 ändert sich. Folglich wird die Rückstellkraft der Blattfeder50 ebenso verändert und es verschlechtert sich die gesteuerte bzw. eingestellte Höhe des Zwischenraumausgleichers42 . Außerdem verursacht die verwendete Bauteilezahl, wie etwa die Vielzahl an Blattfedern50 , das obere Verstärkungsteil30 und das untere Verstärkungsteil20 , dass zur Herstellung oder Wartung einer Testsonde, ein längerer Zeitraum erforderlich ist. - OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
- Technisches Problem
- Beispielhafte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung sind auf eine Probe-Card bzw. Testsondenkarte gerichtet.
- Technische Lösung
- Bei einer beispielhaften Ausführungsform kann die Testsondenkarte enthalten: ein Installationsteil mit einer unteren Oberfläche, an welcher Sondennadeln bzw. Sondenspitzen zum elektrischen Kontakt mit einem Testobjekt vorgesehen sind; eine Leiterplatte (PCB) mit oberen und unteren Oberflächen, auf welchen jeweils elektrisch verbunden Pads angeordnet sind; Zwischenverbindungsteile, die zwischen dem Installationsteil und der PCB angeordnet sind, um das Pad, das auf der unteren Oberfläche des PCB angeordnet ist, mit dem Sondenspitzen elektrisch zu verbinden; ein Verstärkungsteil, dass über der Leitungsplatte angeordnet ist, um einen Raum zwischen dem Verstärkungsteil und der Leiterplatte zu definieren und mit der Leiterplatte gekoppelt ist; ein Kontaktteil, das in einem Raum vorgesehen ist und eine obere Oberfläche aufweist, die teilweise oder vollständig das Verstärkungsteil kontaktiert; ein Verbindungsteil, das in einem Locheinsatz, der in der Leiterplatte ausgebildet ist, eingefügt ist, um das Kontaktteil mit dem Installationsteil zu verbinden; und eine Vielzahl von Steuerteilen, die in Steuerlöcher eingefügt sind, die in dem Installationsteil, der Leiterplatte und dem Verstärkungsteil zum Steuern bzw. Einstellen der Höhe des Installationsteils und zum Befestigen des Installationsteils mit der Leiterplatte ausgebildet sind, wobei die Einfügetiefe der jeweiligen Einfügelöchern fein einstellbar ist.
- Bei einer anderen beispielhaften Ausführungsform enthält die Testsondenkarte: ein Installationsteil mit einer unteren Oberfläche, an welcher Testsonden zum elektrischen kontaktieren eines Testobjekts vorgesehen sind; eine Leiterplatte, die mit oberen und unteren Oberflächen, auf welchen jeweils elektrisch verbundene Pads angeordnet sind; ein Zwischenverbindungsteil, das zwischen dem Installationsteil und der Leiterplatte angeordnet ist, um das Pad, das auf der unteren Oberfläche der Leiterplatte angeordnet ist, mit den Sondenspitzen elektrisch zu verbinden; ein Verstärkungsteil, das auf der Leiterplatte angeordnet ist, wenn sie miteinander gekoppelt sind; und eine Vielzahl von Steuerungsschrauben, die an dem Verstärkungsteil über ein Steuerloch, das in der Leiterplatte ausgebildet ist, zum Steuern bzw. Einstellen der Höhe der jeweiligen Sondenspitzen und Fixieren des Installationsteils mit dem Verstärkungsteil vorgesehen sind, wobei die Steuerschrauben in die Steuerlöcher mit Schraubengewinden in einer von oben nach unten verlaufenden Richtung eingefügt sind, um ihre Einfügungstiefe fein einzustellen.
- VORTEILHAFTE WIRKUNGEN
- Bei einer Testsondenkarte gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird keine Blattfeder zum Aufrechterhalten der Höhe des Zwischenraumausgleichers verwendet. Daher ist es möglich, zu verhindern, dass die eingestellte bzw. gesteuerte Höhe des Zwischenraumausgleichers sich aufgrund der thermischen Deformation der Blattfeder während eines Verfahrens verändert.
- Bei einer Testsondenkarte gemäß einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung sind ein Zwischenraumausgleicher und ein Kontaktteil miteinander fixiert und eine obere Oberfläche des Kontaktteils steht in Kontakt mit einem Verstärkungsteil. Daher ist es möglich, zu verhindern, dass eine eingestellte bzw. gesteuerte Höhe des Zwischenraumausgleichers sich aufgrund der Kraft ändert, die ausgeübt wird, wenn die Probespitzen einen Wafer während des Testverfahrens kontaktieren
- Gemäß der vorliegenden Erfindung weist die Testsondenkarte einen einfachen Aufbau auf. Es ist daher möglich, sie ohne weiters zu bauen und zu warten.
- KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
-
1 zeigt die Probleme, die sich bei der Verwendung von herkömmlichen Testsondenkarten ergeben. -
2 ist eine Querschnittsansicht einer herkömmlichen Testsondenkarte. -
3 zeigt eine Kraft, die auf die Testsondenkarte ausgeübt wird, die in2 gezeigt ist, wenn die Testsondenkarte verwendet wird. -
4 ist eine perspektivische Ansicht einer Testsondenkarte gemäß der vorliegenden Erfindung. -
5 ist eine Querschnittsansicht entlang einer Linie I-I der4 . -
6 ist eine perspektivische Ansicht einer Testsondenkarte, wie sie in5 gezeigt ist. -
7 bis11 zeigen ein Montageverfahren einer Testsondenkarte. - BESTE AUSFÜHRUNGSART DER ERFINDUNG
- Die vorliegende Erfindung wird im folgenden unter Bezugnahme auf die begleitenden Zeichnungen eingehender beschrieben, in welchen bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung gezeigt sind. Die Erfindung kann jedoch auf viele verschiedene Arten ausgeführt werden und es sollte nicht so ausgelegt werden, dass sie auf die hier dargestellten Ausführungsformen beschränkt ist. In den Zeichnungen wurden die Formen der Teile zur Klarheit vergrößert dargstellt.
- Eine Testsondenkarte
1 gemäß der Erfindung wird zum Testen der elektrischen Eigenschaften von Testobjekten, wie etwa Halbleiterwafern verwendet.4 ist eine perspektivische Ansicht einer Testsondenkarte gemäß der vorliegenden Erfindung.5 ist eine Querschnittsansicht entlang der Linie I-I in4 und6 ist eine perspektivische Ansicht einer in5 dargestellten Testsondenkarte. - Gemäß
4 bis6 enthält die Testsondenkarte1 ein Installationsteil100 , eine Leiterplatte (PCB)200 , ein Verstärkungsteil300 , ein Kontaktteil400 , ein Verbindungsteil500 und ein Steuerteil600 . - Das Installationsteil
100 ist ein scheibenförmiges Teil und weist Testsondenspitzen160 auf, die mit einem Pad, das auf einem Wafer (nicht gezeigt) angeordnet ist, während eines Testverfahrens in Kontakt kommen, um ein elektrisches Signal an das Pad anzulegen. Das Installationsteil100 enthält einen Zwischenraumausgleicher120 , wo die Sondenspitzen160 installiert sind, und eine Unterstützungsplatte140 , die zum Halten des Zwischenraumausgleichers120 konfiguriert ist. Der Zwischenraumausgleicher120 weist eine Scheibenform auf und die Sondenspitzen160 ragen von der unteren Oberfläche des Zwischenraumausgleichers120 nach unten. Eine Seite des Zwischenraumausgleichers120 ist abgestuft, so dass ein oberes Ende davon weiter nach außen ragt, als sein unteres Ende. Die Sondenspitzen160 können unabhängig von dem Zwischenraumausgleicher120 hergestellt sein, bevor sie an den Zwischenraumausgleicher120 angebracht werden. Eine Vielzahl von Pads122 sind an der oberen Oberfläche des Zwischenraumausgleichers120 angeordnet. Innerhalb des Zwischenraumausgleichers120 sind Signalleitungen (nicht gezeigt) ausgebildet, um die Sondenspitzen160 mit den Pads122 elektrisch zu verbinden. Die Unterstützungsplatte140 ist eine ringförmige Platte140 , welche so angeordnet ist, dass sie den Zwischenraumausgleicher120 in einer lateralen Richtung umgibt. Eine Innenseite der Unterstützungsplatte140 ist abgestuft, so dass ein oberes Ende davon weiter nach innen ragt als ihr unteres Ende. Wenn das obere Ende, das in lateraler Richtung des Zwischenraumausgleichers120 hervorsteht, in bzw. auf das untere Ende, das nach innen ragt, platziert wird, ist der Zwischenraumausgleicher120 durch eine Schraube (nicht gezeigt) fest mit der Unterstützungsplatte140 gekoppelt. Alternativ dazu können die Formen des Zwischenraumausgleichers120 und der Unterstützungsplatte140 variieren, so dass der Zwischenraumausgleicher120 unter Krafteinwirkung fest und fixiert mit der Unterstützungsplatte140 gekoppelt ist. - Eine Leiterplatte
200 ist über dem Zwischenraumausgleicher120 montiert. Pads201 und202 sind jeweils auf oberen und unteren Oberflächen der Leiterplatte200 vorgesehen. Die Leiterplatte200 weist eine Scheibenform auf und besitzt einen größeren Durchmesser als die Unterstützungsplatte140 . Eine Vielzahl von Zwischenverbindungsteilen, beispielsweise Pogo-Pins220 , sind an der unteren Oberfläche der Leiterplatte200 vorgesehen. Jeder der Pogo-Pins220 ist aus Metall hergestellt, um eine Leitfähigkeit aufzuweisen, und weist obere und untere Anschlüsse (Ports) und eine Feder auf, die zum Verbinden der oberen und unteren Anschlüsse miteinander vorgesehen ist. Die Pogo-Pins220 sind zum Zwischenverbinden eines Pads122 das auf der oberen Oberfläche der Leiterplatte200 angeordnet ist, und einem Pad201 , das an der unter Oberfläche der Leiterplatte200 angeordnet ist, vorgesehen. Genauer gesagt ist das Pad201 an der Bodenoberfläche der Leiterplatte200 vorgesehen und das Pad202 ist an dem oberen Rand der Leiterplatte200 angeordnet. Signalleitungen (nicht gezeigt) sind innerhalb der Leiterplatte200 zum elektrischen Verbinden der Pads201 und202 vorgesehen. Ein separates Testgerät (nicht gezeigt) ist elektrisch mit dem Pad202 der Leiterplatte200 verbunden. - Ein Verstärkungsteil
300 ist auf der Leiterplatte200 montiert. Das Verstärkungsteil300 ist ein zylindrisches Teil mit einem bodenoffenen Raum302 . Eine Vielzahl von Kopplungsnuten322 sind an der Seitenwand des Verstärkungsteils300 ausgebildet, wobei die Kopplungsnuten322 Schraubengewinde aufweisen. Die Kupplungslöcher242 sind an der Leiterplatte200 derart vorgesehen, dass sie den Kopplungsnuten322 gegenüberliegen. Eine Bodenoberfläche des Verstärkungsteils300 ist weitgehend flach (roughly flat). Eine Schraube280 wird in einer Aufwärtsrichtung in das Kopplungsloch242 und die Kopplungsnut322 eingefügt, um das Verstärkungsteil300 mit der Leitungsplatte zu fixieren. - Wenn das Verstärkungsteil
300 und die Leitungsplatte200 miteinander gekoppelt werden, definieren sie einen Raum302 , in welchem ein Kontaktteil400 vorgesehen ist. Eine obere Oberfläche440 des Kontaktteils400 ist auf einen Innenoberfläche des Verstärkungsteils300 angeordnet. Das Kontaktteil400 weist eine untere Oberfläche420 und eine obere Oberfläche440 auf. Die untere Oberfläche420 des Kontaktteils400 besitzt eine kreisförmige flache Oberfläche und die obere Oberfläche ist von dem Rand zur Mitte nach oben zulaufend. Eine Vielzahl von Lochschächten244 sind in der Leiterplatte200 ausgebildet, um nach oben und unten durch sie hindurchzudringen. Die Einfügelöcher244 sind weiter innen als die Kopplungslöcher242 ausgebildet. - Ein Verbindungsteil
500 ist in das Einfügeloch244 eingefügt, so dass das Kontaktteil400 mit der Unterstützungsplatte144 verbunden ist. Das Verbindungsteil500 ist ein stabförmiges Teil. Ein Loch522 mit einem Schraubengewinde ist zum Durchdringen des Verbindungsteils500 in der Längsrichtung ausgebildet. Das Verbindungsteil500 weist eine größere Länge auf, als die Dicke der Leiterplatte200 . Wenn das Verbindungsteil500 in das Einfügeloch244 eingefügt wird, ragt das obere Ende des Verbindungsteils500 in Richtung der oberen Oberfläche der Leiterplatte200 hervor und sein unteres Ende ragt in Richtung der unteren Oberfläche der Leiterplatte200 hervor. Das Kontaktteil400 und die Unterstützungsplatte140 weisen Löcher460 und144 auf, welche Schraubengewinde an einer Position aufweisen, die mit einem Loch522 , das in dem Verbindungsteil500 ausgebildet ist, korrespondiert. Eine Schraube540 ist in Ab wärtsrichtung in ein Loch460 eingefügt, das in dem Kontaktteil400 ausgebildet ist, sowie in ein Loch522 , das in den Verbindungsteil500 ausgebildet ist. Eine Schraube560 ist in ein Loch144 in Aufwärtsrichtung eingefügt, das in der Unterstützungsplatte140 ausgebildet ist und in das Loch522 , das in dem Verbindungsteil500 ausgebildet worden ist. Aufgrund der Schrauben540 und560 wird das Verbindungsteil500 mit dem Kontaktteil400 und der Unterstützungsplatte140 fixiert. - Wenn das Verbindungsteil
500 in das Einfügeloch244 eingefügt wird, ist das Einfügeloch244 breiter als das Verbindungsteil500 , so dass das Verbindungsteil500 mit einem vorbestimmten Winkel in dem Einfügelocht244 geneigt ist. Falls beispielsweise das Einfügeloch244 und das Verbindungsteil500 einen kreisförmigen Querschnitt aufweisen, besitzt das Einfügeloch244 einen größeren Durchmesser als das Verbindungsteil500 . In einigen Fällen ist der Zwischenraumausgleicher120 so hergestellt, dass sich seine Dicke von einer Seite zu der anderen aufgrund eines Fehlers im Herstellungsprozess unterscheiden kann. Aus diesem Grund weisen die Enden der Sondenspitzen nicht das gleiche Niveau bzw. die gleich Höhe auf, auch wenn der Zwischenraumausgleicher120 auf der Leiterplatte200 horizontal installiert ist. Das Steuerteil600 ist zum Verbinden des Installationsteils100 mit dem Verstärkungsteil300 vorgesehen. Das Steuerteil600 wird wiederholt durch einen Bediener festgezogen bzw. gelockert, um die Höhe der unteren Oberfläche des Zwischenraumausgleichers120 zu steuern bzw. einstellen, so dass die Enden der Sondenspitzen160 die gleiche Höhe aufweisen. - Genauer gesagt spielt das Steuerteil
600 eine Rolle beim Fixieren des Installationsteils100 mit dem Verstärkungsteil300 . Optional kann ein spezielles Fixierungsteil, wie etwa eine Schraube (nicht gezeigt) verwendet werden, um das Steuerteil600 mit dem Installationsteil100 vollständig zu fixieren. - Ein Steuerloch
246 ist zwischen dem Kopplungsloch242 und dem Einfügeloch244 der Leiterplatte200 ausgebildet, um diese von oben und unten zu durchdringen. Steuerlöcher324 und146 mit Schraubengewinde sind in dem Verstärkungsteil300 und der Unterstützungsplatte140 ausgebildet, so dass sie jeweils dem Steuerloch246 gegenüberliegen. Ein Steuerteil600 ist in die Steuerlöcher324 und146 eingefügt. Eine Einführungstiefe des Steuerteils600 ist fein einstellbar. Das Steuerteil600 kann eine Steuerschraube sein. Schraubengewinde sind in den Steuerlöchern324 in dem Verstärkungsteil300 mit einer feinen Steigung bzw. feinen Abständen ausgebildet, um die Höhe der Bodenoberfläche des Zwischenraumausgleichers120 fein einstellen zu können. Die Anzahl von Steuerschrauben600 beträgt drei bis fünf. Für den Fall, bei dem höchstens zwei Steuerschrauben600 verwendet werden, ist es schwierig die Höhe zu steuern. Andererseits in dem Fall, bei dem mindestens sechs Steuerschrauben vorgesehen sind, ist viel Zeit zum Steuern bzw. Einstellen der Höhe erforderlich. Jedoch werden zumindest sechs Schrauben600 vorgesehen, um die Höhe genau und stabil einzustellen. Die Steuerschrauben600 sind derart angeordnet, dass sie ein regelmäßiges Polygon ausbilden. Alternativ können die Steuerschrauben600 angeordnet sein, um ein Polygon auszubilden. - Wie vorangehend diskutiert, enthält die Testsondenkarte
1 gemäß der vorliegenden Erfindung ein Kontaktteil400 , dessen obere Oberfläche teilweise mit dem Verstärkungsteil300 in Kontakt steht. Folglich wird eine von oben nach unten gerichtete Kraft an einem Kontaktpunkt des Verstärkungsteils300 und des Kontaktteils400 erzeugt, wenn eine von unten nach oben gerichtete Kraft an den Kontaktpunkt der Sondenspitzen160 und einem Pad, das auf dem Wafer angeordnet ist, während eines Testverfahrens ausgeübt wird. Aufgrund der Erzeugung der von oben nach unten gerichteten Kraft wird die gesteuerte bzw. eingestellte Höhe des Zwischenraumausgleichers120 nicht verändert. - Bis die obere Oberfläche des Kontaktteils
400 das Verstärkungsteil300 kontaktiert, sind Steuerschrauben600 in die Steuerlöcher146 ,246 und324 eingefügt, um das Installationsteil100 , die Leiterplatte200 und das Verstärkungsteil300 miteinander zu koppeln. Dabei haben die Enden der Sondenspitzen160 verschiedene Höhen, was aus verschiedenen Gründen resultiert, bei denen die Höhe des Zwischenraumausgleichers120 nicht aufrechterhalten werden kann oder eine Dicke des Zwischenraumausgleichers120 nicht gleichförmig ist, auch wenn die Einfügungstiefe der Steuer schraube600 gleich ist, um die Höhe des Zwischenraumausgleichers120 beizubehalten (siehe10 ). Daher sollte die Höhe bzw. das Niveau der unteren Oberfläche des Zwischenraumausgleichers so beibehalten werden, dass die Enden der Sondenspitzen160 die gleiche Höhe aufweisen, was durch ein präzises Steuern bzw. Einstellen einer Einführungstiefe der jeweiligen Steuerschrauben600 erzielt wird. Wenn somit der Zwischenraumausgleicher120 nicht mehr austariert ist und geneigt ist, sind ebenso das Verbindungsteil500 und das Kontaktteil400 geneigt. Da jedoch die obere Oberfläche440 des Kontaktteils400 oben von der Mitte zum Rand hin konisch bzw. sich verjüngend und das Verstärkungsteil300 eine flache obere Oberfläche aufweist, die die obere Oberfläche440 des Kontaktteils400 kontaktiert, wird der Kontakt des Kontaktteils400 mit dem Verstärkungsteil300 auch dann aufrechterhalten, wenn das Kontaktteil400 geneigt ist. Da ferner das Einfügeloch244 einen größeren Durchmesser als das Verbindungsteil500 aufweist, kann das Verbindungsteil500 innerhalb des Einfügelochs242 geneigt sein. Da ferner der Pogo-Pin420 darin eine Feder aufweist, wird der Kontakt eines Pads122 , das darauf angeordnet ist, und ein Pad201 unterhalb der Leiterplatte200 auch dann beibehalten, wenn der Zwischenraumausgleicher120 geneigt ist (siehe11 ). - Wie bei der beispielhaften Ausführungsform beschrieben, weist das Kontaktteil
400 eine Form auf, die einen Teilschnitt einer Sphäre bzw. Kugel gleicht. Jedoch kann das Kontaktteil auch eine vollständige sphärische Form aufweisen oder eine Vielzahl von Formen, die einen ununterbrochenen Kontakt mit dem Verstärkungsteil auch dann vorsehen, wenn eine Höhe des Zwischenraumausgleichers gesteuert bzw. eingestellt wird. - Bei einer herkömmlichen Testsondenkarte wird die eingestellte Höhe des Zwischenraumausgleichers aufgrund der Rückstellkraft einer Blattfeder beibehalten. Daher kann sich ein Elastizitätsmodul der Blattfeder während eines Testverfahrens, das bei einer hohen Temperatur durchgeführt wird, veränderte, was wiederum die eingestellte Höhe des Zwischenraumausgleichers verändert. Bei der Testsondenkarte
1 gemäß der vorliegenden Erfindung wird jedoch keine Blattfeder benötigt, um eine eingestellte Höhe des Zwischenraumausgleichers120 vorzusehen. Es ist daher möglich, dass eine Veränderung der eingestellten Höhe des Zwischenraumausgleichers120 aufgrund einer thermischen Deformation während eines Testverfahrens zu verhindern. - Bei der Testsondenkarte
1 sind ein Zwischenraumausgleicher120 und ein Kontaktteil400 fixiert und eine obere Oberfläche des Kontaktteils400 kontaktiert ein Verstärkungsteil300 . Es ist daher möglich, das Verändern der eingestellten Höhe des Zwischenraumausgleichers120 aufgrund einer Kraft zu verhindern, die erzeugt wird, wenn eine Sondenspitze einen Wafer während eines Testverfahrens kontaktiert. -
7 bis11 stellen ein Verfahren zum Zusammenbauen einer Testsondenkarte dar, wie sie in5 gezeigt ist. Ein Verbindungsteil500 wird mit einem Kontaktteil400 fixiert (7 ). Das Verbindungsteil500 wird in einen Einfügeloch244 eingefügt, der in der Leiterplatte200 ausgebildet ist, um das Kontaktteil400 an der oberen Oberfläche der Leiterplatte200 zu lokalisieren (8 ). Ein Verstärkungsteil300 ist mit der Leiterplatte200 fixiert und ein Installationsteil100 , das unterhalb der Leiterplatte200 angeordnet ist, wird mit dem Verbindungsteil500 fixiert (9 ). Steuerteile600 werden in die Steuerlöcher146 ,246 und324 , die in der Leiterplatte200 und dem Verstärkungsteil300 ausgebildet sind, hinunter bis zu einer Position, wo das Kontaktteil400 das Verstärkungsteil300 kontaktiert, wodurch sie miteinander gekoppelt werden (10 ). Eine Einführungstiefer der jeweiligen Steuerteile600 wird durch Steuern der Höhe des Zwischenraumausgleichers120 eingestellt (11 ). - Gewerbliche Anwendbarkeit
- Gemäß der zuvor beschriebenen Testsondenkarte wird bei dieser eine eingestellte Höhe eines Zwischenraumausgleichers nicht verändert. Daher ist diese Testsondenkarte für ein Testen von elektrischen Eigenschaften von Halbleiterchips verfügbar.
- Zusammenfassung
- Testsondenkarte
- Die vorliegende Erfindung sieht eine Testsondenkarte vor, die einfach zusamnengebaut und gewartet werden kann, und so konfiguriert ist, dass eine Veränderung des eingestellten Niveaus bzw. der eingestellten Höhe eines Zwischenraumausgleichers aufgrund von verschiedenen Ursachen, wie beispielsweise einer thermischen Deformation während des Testverfahrens verhindert wird. Die Testsondenkarte enthält ein Installationsteil, an dem Sondenspitzen vorgesehen sind, sowie eine Leiterplatte, die auf dem Installationsteil angeordnet ist. Ein Verstärkungsteil wird mit einer oberen Obefläche der Leiterplatte fixiert und ein Kontaktteil ist zwischen der Leiterplatte und dem Verstärkungsteil angeordnet. Das Kontaktteil und das Installationsteil werden mittels eines Verbindungsteils, das in einem Einfügeloch, das in der Leiterplatte ausgebildet ist, miteinander fixiert, und Steuerschrauben, die zum Steuern der Höhe des Installationsteils vorgesehen sind, sind in die Steuerlöcher, die in den Installationsteil, der Leiterplatte und dem Verstärkungsteil ausgebildet sind, aufeinanderfolgend in einer von unten nach oben verlaufenden Richtung eingefügt. Aufgrund einer nach oben konvex bzw zum Rand hin verjüngend verlaufenden oberen Oberfläche des Kontaktteils kontaktiert das Kontaktteil ununterbrochen das Verstärkungsteil, auch wenn das Installationsteil und das Kontaktteil während des Steuerns bzw. Einstellens der Höhe des Installationsteils zueinander geneigt verlaufen.
Claims (8)
- Testsondenkarte (
1 ) aufweisend: ein Installationsteil (100 ) mit einer unteren Oberfläche, an welcher Sondenspitzen (160 ) für den elektrischen Kontakt mit einem Testobjekt vorgesehen sind; eine Leiterplatte (PCB) (200 ) mit oberen und unteren Oberflächen, auf welchen jeweils elektrisch verbundene Pads (201 ,202 ) angeordnet sind; Zwischenverbindungsteile (220 ), die zwischen dem Installationsteil (100 ) und der Leiterplatte (200 ) angeordnet sind, um die Pads (201 ), die auf der unteren Oberfläche der Leiterplatte (200 ) angeordnet sind, mit dem Sondenspitzen (160 ) elektrisch zu verbinden; ein Verstärkungsteil (300 ), das über der Leiterplatte (200 ) angeordnet ist, um einen Raum (302 ) zwischen dem Verstärkungsteil (300 ) und der Leiterplatte (200 ) zu definieren, und das mit der Leiterplatte (200 ) gekoppelt ist; ein Kontaktteil (400 ), das in dem Raum (302 ) vorgesehen ist und eine obere Oberfläche (440 ) aufweist, die teilweise oder vollständig mit dem Verstärkungsteil (300 ) in Kontakt steht; ein Verbindungsteil (500 ), das in einem Einfügeloch eingefügt ist, das in der Leiterplatte (200 ) ausgebildet ist, um das Kontaktteil (400 ) mit dem Installationsteil (100 ) zu koppeln; und eine Vielzahl von Steuerteilen (600 ), die in Steuerlöchern (146 ,246 ,324 ), die in den Installationsteil (100 ), der Leiterplatte (200 ) und dem Verstärkungsteil (300 ) ausgebildet sind, zum Steuern der Höhe des Installationsteils (100 ) und zum Fixieren des Installationsteils (100 ) mit der Leiterplatte (200 ) eingefügt sind, wobei die Einfügungstiefe in die jeweiligen Einfügelöcher (144 ,244 ) fein einstellbar ist. - Testsondenkarte (
1 ) gemäß Anspruch 1, wobei das Steuerteil (600 ) eine Schraube ist und ein Schraubengewinde in dem Steuerloch (324 ) ausgebildet ist, welches in dem Verstärkungsteil (300 ) ausgebildet ist, wobei die Schraube in die Steuerlöcher (146 ,246 ,324 ), die in dem Installationsteil (100 ), der Leiterplatte (200 ) und dem Verstärkungsteil (300 ) ausgebildet sind, aufeinanderfolgend in einer von unten nach oben verlaufenden Richtung eingefügt wird. - Testsondenkarte (
1 ) gemäß Anspruch 2, wobei die obere Oberfläche des Kontaktteils (400 ) nach oben konvex verläuft. - Testsondenkarte (
1 ) gemäß Anspruch 3, wobei die untere Oberfläche des Verstärkungsteils (300 ) zum Definieren des Raums mit flacher Form vorgesehen ist. - Testsondenkarte (
1 ) gemäß Anspruch 1, wobei ein Querschnittsbereich eines Einfügelochs größer ist als ein Querschnittsbereich des Verbindungsteils (500 ), so dass das Verbindungsteil (500 ) innerhalb des Einfügelochs, das in der Leiterplatte (200 ) ausgebildet ist, geneigt verläuft. - Testsondenkarte (
1 ) gemäß Anspruch 5, wobei das Installationsteil (100 ) aufweist: einen Zwischenraumausgleicher (120 ), an den die Sondenspitzen (160 ) installiert sind; und eine Unterstützungsplatte (140 ), die zum Umgeben und Unterstützen des Zwischenraumausgleichers (120 ) vorgesehen und mit dem Verbindungsteil (500 ) gekoppelt ist, wobei die Unterstützungsplatte (140 ) die Steuerlöcher (324 ,246 ,146 ) aufweist, in welche die Steuerteile (600 ) eingefügt sind. - Testsondenkarte (
1 ) nach Anspruch 5, wobei die Anzahl der Steuerteile (600 ) drei bis fünf beträgt. - Testsondenkarte (
1 ) aufweisend: ein Installationsteil (100 ) mit einer unteren Oberfläche, an welcher die Testsondenspitzen (160 ) zum elektrischen kontaktieren eines Testobjekts vorgesehen sind; eine Leiterplatte (PCB) (200 ) mit oberen und unteren Oberflächen, auf welchen jeweils elektrisch verbundene Pads (201 ,202 ) angeordnet sind; Zwischenverbindungsteile (220 ), die zwischen den Installationsteil (100 ) und der Leiterplatte (200 ) angeordnet sind, um die Pads (201 ), die auf der unteren Oberfläche der Leiterplatte (200 ) angeordnet sind, mit den Sondenspitzen (160 ) elektrisch zu verbinden; Verstärkungsteil (300 ), das auf der Leiterplatte (200 ) angeordnet ist, wenn diese miteinander gekoppelt werden; und eine Vielzahl von Steuerschrauben (600 ), die zu dem Verstärkungsteil (300 ) durch ein in der Leiterplatte (200 ) ausgebildetes Steuerloch (246 ) hindurch vorgesehen sind, um die Höhe der jeweiligen Sondenspitzen (160 ) zu steuern und das Installationsteil (100 ) mit dem Verstärkungsteil (300 ) zu fixieren, wobei die Steuerschrauben (600 ) in die Steuerlöcher (146 ,246 ,324 ), die Schraubengewinde aufweisen, in einer von unten nach oben verlaufenden Richtung eingefügt sind, um die Einfügungstiefen fein einstellen zu können.
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