TWI661201B - 探針及電連接裝置 - Google Patents

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TWI661201B
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Mika Nasu
那須美佳
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Kabushiki Kaisha Nihon Micronics
日商日本麥克隆尼股份有限公司
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Abstract

本發明提供一種將第1接觸對象與第2接觸對象予以電性連接之探針20，該探針20係具備：筒狀之管體部20，係朝上下方向Z延伸；第1柱塞部60，其一部分從管體部50之一端插入，且與第1接觸對象電性接觸；以及第2柱塞部70，其一部分從管體部50之另一端插入，且與第2接觸對象電性接觸；管體部50係具備：具有內徑 1i之第1管體部51；以及配置在第1管體部51之內側，且具有比內徑 1i更小之外徑

Description

探針及電連接裝置
本發明係關於一種用於被檢查體之電性檢查等之探針及電連接裝置。
建構於半導體晶圓中之多數個積體電路一般在從該晶圓切斷、分離之前接受是否具有如規格書所述之性能的電性檢查。就使用於該電性檢查之裝置而言，有一種具備複數個探針之電連接裝置。
在利用該種電連接裝置來實施電性檢查之際，使複數個探針之基端部(上端部)接觸至連接於測試器等裝置之探針基板的電極，並使探針之前端部(下端部)接觸至積體電路等被檢查體之電極。
此時，從電連接裝置朝上方延伸出之探針的基端部(上端部)係藉由保持以預定荷重壓接於探針基板之壓接狀態(即所謂預負載(preload)狀態)，以維持探針與探針基板之電性連接。
再者，從電連接裝置朝下方延伸出之探針的前端部係藉由設為以預定荷重壓接於被檢查體之壓接狀態(即所謂過驅動(overdrive)狀態)，以維持探針與被檢查體之 電性連接。如此，透過探針將被檢查體與探針基板予以電性連接，以實施電性檢查。
再者，就組裝在電連接裝置之探針而言，已有提出一種於上下方向之一部分的區間具備發揮彈簧功能(彈性力)之彈簧部(例如參照專利文獻1)者。
該探針係具備：接觸於被檢查體之柱塞(plunger)、及具有圓筒形狀之管體(barrel)，管體係在上下方向(長邊方向)具備彈簧部。
如此，藉由探針具有彈簧部，當成為預負載狀態或過驅動狀態時，可朝上下方向壓縮，並且可對探針基板或被檢查體施加適當之推壓力。再者，伴隨著製造誤差所造成之探針長度的不均亦可藉由彈簧部之壓縮而吸收。
(先前技術文獻) (專利文獻)
專利文獻1：日本特開2016-99337號公報
然而，在習知技術之探針中，彈簧部係必須設定用以僅在預負載狀態與過驅動狀態下進行壓縮之程度的壓縮長度、及用以僅吸收伴隨製造誤差所造成之探針長度之不均之程度的的壓縮長度。因此，在習知技術之探針中，係使複數個彈簧部朝上下方向串聯地配置等，而在上 下方向使彈簧部遍及較長之區間而形成。
然而，當在上下方向使彈簧部遍及較長之區間而形成時，由於探針之上下方向的長度亦會變長，因此探針會容易撓曲。此外，若各探針變得容易撓曲，則在實施電性檢查之際會有接觸於鄰接之探針而短路(short)之疑虞。
本發明係鑑於上述課題而研創者，其目的在於提供一種可防止起因於探針之撓曲所造成的探針間之接觸的探針及電連接裝置。
為了達成上述目的，本發明之探針的第1特徵係一種將第1接觸對象與第2接觸對象予以電性連接之探針，該探針具備：筒狀之管體部，係朝上下方向延伸；第1柱塞部，其一部分從前述管體部之一端插入，且與前述第1接觸對象電性接觸；以及第2柱塞部，其一部分從前述管體部之另一端插入，且與上述第2接觸對象電性接觸；前述管體部係具備：具有預定內徑之第1管體部；以及配置在前述第1管體部之內側，且具有比前述預定內徑更小之外徑的第2管體部；前述第1管體部係具備：在上下方向發揮彈簧功能之第1彈簧部；前述第2管體部係具備：在上下方向發揮彈簧功能之第2彈簧部；前述第1柱塞部係具有尺寸比前述第1管體部之內徑更大的本體部分。
本發明之探針的第2特徵係關於上述特徵， 其中，前述第1彈簧部及前述第2彈簧部都將前述第1柱塞部朝前述第1接觸對象推壓。
本發明之探針的第3特徵係關於上述特徵，其中，前述第1管體部之上下方向的長度係比前述第2管體部之上下方向的長度更短。
本發明之探針的第4特徵係關於上述特徵，其中，前述第1彈簧部係具備：上方第1彈簧部；以及配置在比前述上方第1彈簧部更靠近上下方向之下方之處的下方第1彈簧部。
本發明之探針的第5特徵係關於上述特徵，其中，前述上方第1彈簧部及前述下方第1彈簧部係形成為彼此之旋繞方向相反之螺旋形狀。
本發明之探針的第6特徵係關於上述特徵，其中，前述第1管體部及前述第2管體部係以可分離之方式構成。
本發明之探針的第7特徵係關於上述特徵，其中，前述第1管體部係具備：具有其他內徑之外側第1管體部；以及配置在前述外側第1管體部之內側，且具有比前述其他內徑更小之外徑的內側第1管體部；前述外側第1管體部係具備在上下方向發揮彈簧功能之外側第1彈簧部；前述內側第1管體部係具備在上下方向發揮彈簧功能之內側第1彈簧部。
本發明之探針的第8特徵係關於上述特徵，其中，插入至前述管體部之前述第2柱塞部的上端部係位 在比前述第2管體部所具備之前述第2彈簧部的下端部更靠近上下方向之上方的位置。
本發明之電連接裝置的特徵係一種具備將第1接觸對象與第2接觸對象予以電性連接的複數個探針之電連接裝置，前述探針係具備：筒狀之管體部，係朝上下方向延伸；第1柱塞部，其一部分從前述管體部之一端插入，且與前述第1接觸對象電性接觸；以及第2柱塞部，其一部分從前述管體部之另一端插入，且與上述第2接觸對象電性接觸；前述管體部係具備：具有預定內徑之第1管體部；以及配置在前述第1管體部之內側，且具有比前述預定內徑更小之外徑的第2管體部；前述第1管體部係具備：在上下方向發揮彈簧功能之第1彈簧部；前述第2管體部係具備：在上下方向發揮彈簧功能的第2彈簧部；前述第1柱塞部係具有尺寸比前述第1管體部之內徑更大的本體部分。
依據本發明，可提供一種可防止起因於探針之撓曲所造成的探針間之接觸的探針及電連接裝置。
1‧‧‧檢查裝置
2‧‧‧卡狀連接裝置
5‧‧‧補強板
12‧‧‧夾盤
14‧‧‧半導體晶圓
14a‧‧‧電極墊
16‧‧‧探針基板
16a‧‧‧配線
16b‧‧‧測試器島部
18‧‧‧探針支持體
20‧‧‧探針
20a‧‧‧前端部
20b‧‧‧基端部
31‧‧‧上方導引板
31a、32a、33a‧‧‧導引孔
31x、32x‧‧‧凹部
32‧‧‧下方導引板
32b、33b‧‧‧上表面
33‧‧‧中間導引板
36‧‧‧固定螺絲
50‧‧‧管體部
51‧‧‧第1管體部
51a、52a、60a、62a、152xa、152ya‧‧‧下端部
51b、52b、70b、152xb、152yb‧‧‧上端部
51i‧‧‧內側第1管體部
51o‧‧‧外側第1管體部
52‧‧‧第2管體部
60‧‧‧第1柱塞部
61‧‧‧本體部分
61a‧‧‧下表面
62‧‧‧插入部分
70‧‧‧第2柱塞部
151‧‧‧第1彈簧部
151i‧‧‧內側第1彈簧部
151o‧‧‧外側第1彈簧部
151x‧‧‧上方第1彈簧部
151y‧‧‧下方第1彈簧部
152‧‧‧第2彈簧部
152x‧‧‧上方第2彈簧部
152y‧‧‧下方第2彈簧部
CB、CT‧‧‧預定位置
CL‧‧‧中心軸
L1、L2、LD、α‧‧‧長度
X‧‧‧左右方向
Y‧‧‧前後方向
Z‧‧‧上下方向
β‧‧‧壓縮長度
△L‧‧‧差
1i、 3i‧‧‧內徑
1o、 2o‧‧‧外徑
61‧‧‧直徑
第1圖係概略性顯示包含本發明第1實施形態之電連接裝置的檢查裝置之側視圖。
第2圖係概略性顯示本發明第1實施形態之電連接裝置(探針支持體)的剖視圖。
第3圖係概略性顯示本發明第1實施形態之探針的側視圖。
第4圖係概略性顯示本發明第1實施形態之探針的剖視圖。
第5圖係概略性顯示本發明第1實施形態之探針的剖視圖。
第6圖係概略性顯示本發明第1實施形態之變形例之探針的側視圖。
第7圖係概略性顯示本發明第1實施形態之變形例之探針的剖視圖。
以下，針對本發明實施形態之電連接裝置，參照圖式詳細地說明。再者，以下所示之實施形態係例示用以使本發明之技術思想具體化之裝置等，本發明之技術思想並非將各構成零件的配置等界定成下述記載者。本發明之技術思想係可在申請專利範圍內施行各種之變更。
[第1實施形態]
<檢查裝置之構成>
第1圖係概略性顯示包含具備本發明第1實施形態之探針20之電連接裝置之檢查裝置1之側視圖。此外，為了進行說明，在圖式中，規定上下方向Z、與上下方向Z正交之左右方向X、及與上下方向Z及左右方向X正交之前後方向Y。再者，上下方向Z亦可改稱為探針20之長邊 方向。
如第1圖所示，檢查裝置1係主要具備卡狀連接裝置2、及夾盤12。
卡狀連接裝置2(亦有稱為探針卡之情形)係在可升降之夾盤12的上方被保持在框架(frame)(未圖示)。在夾盤12上保持有作為被檢查體之一例的半導體晶圓14。在半導體晶圓14中組裝有多數個積體電路。
半導體晶圓14係為了進行積體電路之電性檢查，而使該積體電路之多數個電極墊14a朝上方而配置在夾盤12上。
卡狀連接裝置2係具備探針基板16、及探針支持體18。
探針基板16係由例如圓形之剛性(rigid)配線基板所構成。探針基板16係電性連接在探針20之基端部20b(上端部)。
在探針基板16之一面(第1圖所示之上表面)的周緣部，設置有作為對測試器(未圖示)之連接端的多數個測試器島部(tester land)16b。各測試器島部16b係連接在設置於探針基板16的配線16a。
此外，在探針基板16之一面(第1圖所示之上表面)，還設置有補強探針基板16之例如金屬製的補強板5。該補強板5係配置在探針基板16之除了設置有測試器島部16b之周緣部分的中央部。再者，在探針基板16之另一面(第1圖所示之下表面)配置有探針支持體18。
探針支持體18係藉由預定之保持構件而保持在探針基板16。探針支持體18係具備複數個探針20。探針支持體18係在探針20之前端部20a(下端部)被推壓至半導體晶圓14時，防止探針20之彼此間的干渉。此外，具備探針20之探針支持體18係構成申請專利範圍所述之電連接裝置。
探針20係具有前端部20a及基端部20b。探針20之前端部20a係以與對應於半導體晶圓14而設置之電極墊14a相對向的方式配置。
探針20之基端部20b係在壓接於探針基板16之連接墊(未圖示)的壓接狀態、亦即預負載狀態下抵接。藉此，探針20之基端部20b係與探針基板16電性連接。
此外，在本實施形態中，探針基板16之連接墊(未圖示)係構成申請專利範圍所述之第1接觸對象，半導體晶圓14之電極墊14a係構成申請專利範圍所述之第2接觸對象。
<探針支持體之構成>
接著，參照第2圖，針對探針支持體18之構成詳細地加以說明。第2圖係用以說明探針支持體18之概略構成的剖視圖。在此，於第2圖中，雖為了使說明簡單化而顯示9個探針20，但並不限定於9個。此外，在第2圖中，雖例示複数個探針20之排列為1列之情形，但並不限定於 此，亦可以任意的方式配置，例如從上下方向Z觀看成為矩陣状之配置等。此外，在第2圖中，係顯示探針20之概略構成，但針對探針20之詳細構成係如後述(參照第3圖)。
探針支持體18係具有上方導引板31、下方導引板32、中間導引板33、固定螺絲36、及探針20。
上方導引板31係用來將各探針20之上部予以定位並保持，且容許探針20之滑動的支持構件。亦即，上方導引板31係各探針20之上部的位置保持導件。上方導引板31係形成為在中央具有朝向上方之凹部31x的平板狀。在凹部31x設置有供探針20之上部貫穿且被支持之導引孔31a。導引孔31a之直徑係比下方導引板32之導引孔32a的直徑更大，且比中間導引板33之導引孔33a的直徑更大。
導引孔31a係以與中間導引板33之各導引孔33a整合的方式配置，並且分別相對應地設置在與探針基板16之未圖示的各電極整合的位置。由此，藉由在各導引孔31a嵌入各探針20之上部，各探針20的基端部20b會與探針基板16之各連接墊接觸。藉由各探針20之後述的彈簧功能，各探針20之上部係伴隨探針20之伸縮而在貫穿各導引孔31a的狀態下滑動。
此外，上方導引板31係例如以陶瓷成形而具有絕緣性。再者，亦可適用形成為圓環或矩形環等之間隔件(spacer)，以取代上方導引板31。
下方導引板32係用來將各探針20之下部予 以定位並保持，且容許探針20之滑動的支持構件。亦即，下方導引板32係各探針20之下部的位置保持導件。下方導引板32係形成為在中央具有朝向下方之凹部32x的平板狀。在凹部32x設置有供探針20之下部貫穿且被支持之導引孔32a。導引孔32a之直徑係比上方導引板31之導引孔31a的直徑更小，且比中間導引板33之導引孔33a的直徑更小。
導引孔32a係以分別對應於各電極墊14a之方式設置在與半導體晶圓14之各電極墊14a整合的位置。由此，藉由在各導引孔32a嵌入各探針20之下部，各探針20之前端部20a會與半導體晶圓14之各電極墊14a接觸。藉由各探針20之後述的彈簧功能，各探針20之下部係伴隨探針20之伸縮而在貫穿各導引孔32a之狀態下滑動。
此外，下方導引板32係例如以陶瓷成形而具有絕緣性。亦可適用形成為圓環或矩形環等之間隔件，以取代下方導引板32。
中間導引板33係用以防止在鄰接之探針20間的短路，並且保持各探針20之垂直性的構件。中間導引板33係將其周緣部以上方導引板31及下方導引板32予以夾持而支持。
在中間導引板33中，係在與上方導引板31之各導引孔31a及下方導引板32之各導引孔32a整合的位置設置有分別對應之導引孔33a。中間導引板33之導引孔33a的直徑係比上方導引板31之導引孔31a的直徑更小， 且比下方導引板32之導引孔32a的直徑更大。
此外，中間導引板33係以耐摩耗性及耐熱性佳之合成樹脂製薄膜(例如聚醯亞胺薄膜等)薄薄地構成。中間導引板33亦可藉由陶瓷等而構成。
固定螺絲36係用以將探針支持體18整體一體地固定之螺絲。上方導引板31、下方導引板32、及中間導引板33係藉由固定螺絲36而一體地固定，且構成為可裝卸自如。
<探針之構成>
接著，參照第3圖至第5圖，針對第1實施形態之探針20的構成詳細地說明。第3圖係探針20之側視圖，第4圖係沿著安裝在探針支持體18之探針20的中心軸之剖視圖，第5圖係顯示將探針20組裝至探針支持體18之狀況的剖視圖。
如第3圖至第4圖所示，探針20係具備朝上下方向Z延伸之筒狀的管體部50；第1柱塞部60；及第2柱塞部70。此外，管體部50、第1柱塞部60及第2柱塞部70皆係由導電性之材質所形成。
管體部50係具備筒狀之第1管體部51、及筒狀之第2管體部52。第1管體部51係具有內徑 1i與外徑 1o之圓筒形狀。第1管體部51之外徑 1o雖比上方導引板31之導引孔31a的直徑小，但比中間導引板33之導引孔33a的直徑大。因此，第1管體部51之下端部 51a係在組裝於探針支持體18之際抵接於中間導引板33的上表面33b。此外，第1管體部51之上端部51b係抵接於後述之第1柱塞部60的本體部分61之下表面61a。
第1管體部51係具備在上下方向Z發揮彈簧功能之第1彈簧部151。具體而言，第1彈簧部151係朝上下方向Z伸縮，並且發揮朝上下方向Z之彈性力。
例如，在探針20之基端部20b壓接於探針基板16之預負載狀態下，會對第1管體部51朝上下方向Z施加壓縮力。藉此，第1彈簧部151係沿著上下方向Z壓縮，並且對探針基板16施加彈性力(推壓力)。
此外，第1管體部51係在第1彈簧部151之上方與下方之各者具備不會發揮彈性力的非彈簧部(未圖示)。
第2管體部52係配置在第1管體部51之內側。第2管體部52係形成具有比第1管體部51之內徑 1i更小之外徑 2o的圓筒形狀。藉由將該第2管體部52配置在第1管體部51之內側，第1管體部51及第2管體部52係配置成以中心軸CL為中心之同心圓狀。第2管體部52之外徑 2o雖比中間導引板33之導引孔33a的直徑小，但比下方導引板32之導引孔32a的直徑更大。
再者，第2管體部52係具備在上下方向Z發揮彈簧功能之第2彈簧部152。具體而言，第2彈簧部152係朝上下方向Z伸縮，並且發揮朝上下方向Z之彈性力者。
再者，在本實施形態中，如第4圖所示，第2彈簧部152係具有上方第2彈簧部152x及下方第2彈簧部152y。
例如，在探針20之前端部20a壓接於半導體晶圓14之過驅動狀態下，當對第2管體部52朝上下方向Z施加壓縮力時，第2彈簧部152係沿著上下方向Z壓縮，並且對半導體晶圓14施加彈性力(推壓力)。亦即，上方第2彈簧部152x與下方第2彈簧部152y兩方係沿著上下方向Z壓縮，並且施加彈性力(推壓力)。
此外，第2管體部52係在上方第2彈簧部152x之上方、上方第2彈簧部152x與下方第2彈簧部152y之間、及下方第2彈簧部152y之下方的三個部位，具備不會發揮彈性力的非彈簧部(皆未圖示)。
此外，如第4圖所示，在管體部50中，第1管體部51之上下方向Z的長度L1與第2管體部52之上下方向Z的長度L2並不相同。具體而言，第1管體部51之上下方向Z的長度L1係比第2管體部52之上下方向Z的長度L2更短。此外，長度L1與長度L2之差△L係比下方導引板32之上表面32b與中間導引板33之上表面33b的上下方向Z之長度LD短至長度α。因此，第2管體部52之下端部52a係從下方導引板32之上表面32b朝上下方向Z之上方分開達長度α。
第1柱塞部60係將一部分從管體部50之上端部(一端)插入且與探針基板16電性接觸者。具體而言， 第1柱塞部60係具有寬度寬廣之本體部分61、及寬度狹窄之插入部分62。
本體部分61之左右方向X的寬度(直徑 61)係比第1管體部51之內徑 1i更大。並且，本體部分61之下表面61a係與管體部50之上端部抵接。具體而言，本體部分61之下表面61a係抵接於第1管體部51之上端部51b及第2管體部52之上端部52b。
在此，第1柱塞部60雖將本體部分61抵接於第1管體部51，但並未與第1管體部51固定。藉此，如第5圖所示，第1管體部51與第2管體部52係以可分離之方式構成。
插入部分62係插入至管體部50之第2管體部52。並且，插入部分62係在預定位置CT藉由接合而與管體部50之第2管體部52固定。此外，接合方法係可列舉例如電阻熔接(點熔接)、雷射熔接或鉚接而接合之方法等。
再者，插入部分62之下端部62a係成為第1柱塞部60之下端部60a。插入部分62之下端部62a係位在比上方第2彈簧部152x之上端部152xb更靠近上下方向Z之上方的位置。
第2柱塞部70係具有大致圓柱形狀。第2柱塞部70係將一部分從管體部50之下端部(另一端)插入，且與半導體晶圓14電性接觸者。
第2柱塞部70係在預定位置CB與第2管體 部52固定。具體而言，第2柱塞部70係在配置於下方第2彈簧部152y之下方的非彈簧部(未圖示)之預定位置CB藉由接合而與第2管體部52固定。此外，接合方法係與上述之第1柱塞部60的插入部分62之接合方法相同。
此外，第2柱塞部70之上端部70b係位在比第2管體部52所具備之第2彈簧部152的下端部更靠近上下方向Z之上方的位置。具體而言，在本實施形態中，第2柱塞部70之上端部70b係位在比第2彈簧部152之上方第2彈簧部152x的上端部152xb更靠近上下方向Z之上方的位置。
<作用及效果>
如以上所述，在本發明第1實施形態之探針20中，係具備管體部50、第1柱塞部60、及第2柱塞部70。管體部50係具備：具有內徑 1i(預定內徑)之第1管體部51；及配置在第1管體部51之內側(中心軸CL側)，且具有比內徑 1i更小之外徑 2o的第2管體部52。亦即，第1管體部51與第2管體部52係彼此配置成同心圓狀。並且，第1管體部51係具備第1彈簧部151，第2管體部52係具備第2彈簧部152。此外，第1柱塞部60係具有尺寸(寬度或直徑)比第1管體部51之內徑 1i更大的本體部分61。
藉此，第1彈簧部151與第2彈簧部152可在並排排列配置且朝向上下方向Z之狀態下例如對第1柱 塞部60(或第2柱塞部70)發揮彈簧功能，因此與朝上下方向Z直線排列配置之情形相比較，可使第1彈簧部151與第2彈簧部152之上下方向Z的長度縮短。因此，亦可縮短探針20之上下方向Z的長度，故而探針20不容易撓曲，而可防止起因於探針20之撓曲所造成之探針20間的接觸。
再者，由於可防止起因於探針20之撓曲所造成之探針20間的接觸，因此可在探針支持體18使探針20以狹窄的間隔(狹窄間距)配置。
再者，在第1實施形態之探針20中，雖然第2管體部52之下端部52a係為從下方導引板32之上表面32b朝上下方向Z之上方分開達長度α的構成(參照第4圖)，但亦可適當地變更該長度α。
例如，長度α亦可設為零(zero)。亦即，亦可不設置長度α。此時，在將探針20組裝在探針支持體18之際，第1管體部51之下端部51a會抵接於中間導引板33之上表面33b，並且第2管體部52之下端部52a會抵接於下方導引板32之上表面32b。並且，在預負載狀態中，第1彈簧部151與第2彈簧部152都將第1柱塞部60朝探針基板16推壓。藉此，由於可藉由第1彈簧部151與第2彈簧部152兩方的彈性力(推壓力)將第1柱塞部60朝探針基板16推壓，因此可更強力地推壓。再者，由於即使第1彈簧部151與第2彈簧部152之任一者劣化(例如因發生疲乏所造成之劣化)也可藉由另一方推壓，因此可遍及更長的期間來維持第1柱塞部60與探針基板16之電性連 接關係。
再者，長度α亦可構成為第1管體部51之第1彈簧部151在預負載狀態下壓縮之壓縮長度β以上。此時，在預負載狀態中，第2管體部52之下端部52a係不會與下方導引板32之上表面32b抵接而分開。藉此，可利用預負載狀態及過驅動狀態分離彈簧功能。具體而言，在預負載狀態下，僅利用第1管體部51之第1彈簧部151將第1柱塞部60朝探針基板16推壓。另一方面，在過驅動狀態下，僅利用第2管體部52之第2彈簧部152將第2柱塞部70朝半導體晶圓14推壓。藉此，可藉由調整第1管體部51之第1彈簧部151的彈簧常數及第2管體部52之第2彈簧部152的彈簧常數而更彈性地調整預負載狀態之推壓力及過驅動狀態之推壓力。
再者，長度α亦可以成為第1管體部51之第1彈簧部151在預負載狀態下壓縮之壓縮長度β的預定比例(例如β/2)的方式構成。此時，為了設為預負載狀態，係在將探針20之基端部20b壓接於探針基板16之中途使第2管體部52之下端部52a與下方導引板32之上表面32b抵接。藉此，在第1彈簧部151之壓縮長度未達預定比例之範圍(例如未達β/2)內，僅利用第1管體部51之第1彈簧部151將第1柱塞部60朝探針基板16推壓，且在第1彈簧部151之壓縮長度為預定比例以上(例如β/2以上)的範圍內，使第1彈簧部151及第2彈簧部152都將第1柱塞部60朝向探針基板16推壓。藉此，可依據壓縮長度使 推壓力(彈性力)階段性地增加。
在本發明第1實施形態之探針20中，第1管體部51之上下方向Z的長度L1係比第2管體部52之上下方向Z的長度L2更短。藉此，由於可抑制第1管體部51之材料費，因此可抑制探針20之製造成本。
此外，在第1實施形態之探針20中，第1管體部51與第2管體部52係以可分離之方式構成。藉此，可使第1管體部51與第2管體部52分別地進行更換。例如，當第1管體部51與第2管體部52之任一者故障時，由於可僅更換故障之一者，因此便利性佳。
再者，在第1實施形態之探針20中，第2彈簧部152係具備上方第2彈簧部152x及下方第2彈簧部152y。藉此，亦可使例如上方第2彈簧部152x與下方第2彈簧部152y之彈簧常數互不相同。因此，藉由上方第2彈簧部152x與下方第2彈簧部152y之組合，可更彈性地調整過驅動狀態下之對半導體晶圓14的推壓力。
在第1實施形態之探針20中，插入至管體部50之第2柱塞部70的上端部70b係位在比第2管體部52所具備之第2彈簧部152的下方第2彈簧部152y之下端部152ya更靠近上下方向Z之上方的位置。具體而言，第2柱塞部70之上端部70b係比上方第2彈簧部152x之上端部152xb(第2彈簧部152的上端部)更靠近上下方向Z之上方的位置。藉此，由於第2柱塞部70係配置在第2彈簧部152之內部，因此探針20係不容易在第2彈簧部 152折曲。
[變形例1]
接著，針對本發明第1實施形態之探針20的變形例1加以說明。第6圖係顯示本變形例之探針20的側視圖。
如第6圖所示，在本變形例之探針20中，第1管體部51所具備之第1彈簧部151係具備：上方第1彈簧部151x；及配置在比上方第1彈簧部151x更靠近上下方向Z之下方之處的下方第1彈簧部151y。
此外，第1管體部51係在上方第1彈簧部151x之上方、上方第1彈簧部151x與下方第1彈簧部151y之間、及下方第1彈簧部151y之下方的三個部位，具備不會發揮彈性力之非彈簧部(皆未圖示)。
並且，上方第1彈簧部151x與下方第1彈簧部151y係形成為彼此之旋繞方向相反之螺旋形狀。具體而言，如第6圖所示，上方第1彈簧部151x係形成為朝左下旋繞之螺旋形狀，下方第1彈簧部151y係形成朝右下旋繞之螺旋形狀。
如以上所述，在變形例1之探針20中，第1彈簧部151係具備上方第1彈簧部151x及下方第1彈簧部151y。藉此，亦可使例如上方第1彈簧部151x與下方第1彈簧部151y之彈簧常數互不相同。因此，藉由上方第1彈簧部151x與下方第1彈簧部151y之組合，可更彈性地調整預負載狀態下之對探針基板16的推壓力。
此外，在變形例1之探針20中，上方第1彈簧部151x與下方第1彈簧部151y係形成為彼此之旋繞方向相反之螺旋形狀。藉此，由上方第1彈簧部151x與下方第1彈簧部151y的壓縮所產生之往旋繞方向的付勢力會彼此抵消，與連結旋繞方向相同之二個螺旋狀之彈簧部之情形相比較，係不容易折曲且難以扭轉。
[變形例2]
接著，針對本發明第1實施形態之探針20的變形例2加以說明。第7圖係顯示本變形例之探針20之剖視圖。
如第7圖所示，在本變形例之探針20中，第1管體部51係藉由直徑不同之複數個管體部而構成。具體而言，第1管體部51係具備：外側第1管體部51o；及配置在外側第1管體部51o之內側的內側第1管體部51i。此外，外側第1管體部51o係具有內徑 3i(其他內徑)，內側第1管體部51i係具有比內徑 3i更小之外徑 1o。
此外，外側第1管體部51o係具備在上下方向Z發揮彈簧功能之外側第1彈簧部151o，內側第1管體部51i係具備在上下方向Z發揮彈簧功能之內側第1彈簧部151i。
如以上所述，依據變形例2之探針20，第1管體部51係具備外側第1管體部51o及內側第1管體部51i，外側第1管體部51o係具備外側第1彈簧部151o，內側第1管體部51i係具備內側第1彈簧部151i。藉此， 亦可使例如外側第1彈簧部151o與內側第1彈簧部151i之彈簧常數互不相同。藉此，可藉由外側第1彈簧部151o與內側第1彈簧部151i之組合而更彈性地調整預負載狀態中之對探針基板16的推壓力。
[本發明之其他實施形態]
以上，雖利用上述實施形態詳細地說明本發明，但所屬技術領域中具有通常知識者當然明瞭本發明並非為被限定在本說明書中所說明之實施形態者。
例如在上述之實施形態中，第1柱塞部60雖係列舉未與第1管體部51固定之情形為例加以說明，但亦可與第1管體部51固定。亦即，第1管體部51與第2管體部52亦可藉由第1柱塞部60而連結。
再者，例如探針支持體18只要至少具備一個上述之實施形態所示的探針20即可。
此外，在上述實施形態中，第2柱塞部70之上端部70b係位在比上方第2彈簧部152x之上端部152xb更上方之位置，但並不限定於此。例如，第2柱塞部70之上端部70b亦可配置在下方第2彈簧部152y之上端部152yb與上方第2彈簧部152x之下端部152xa之間。此時，第1柱塞部60之下端部60a(亦即第1柱塞部60之插入部分62的下端部62a)係配置在上方第2彈簧部152x之下端部152xa與下方第2彈簧部152y之上端部152yb之間。藉此，第1柱塞部60係配置在上方第2彈簧部152x 之內部，且第2柱塞部70係配置在下方第2彈簧部152y之內部，因此探針20係不容易在第2彈簧部152折曲。
此外，在上述之變形例1中，雖著眼於上方第1彈簧部151x與下方第1彈簧部151y之形狀，以形成為各自的旋繞方向相反之螺旋形狀的情形為例加以說明，但並不限定於此。例如，在第2管體部52中，上方第2彈簧部152x與下方第2彈簧部152y亦可形成為彼此之旋繞方向相反的螺旋形狀。
如此，本發明並非如同上述實施形態所限定者，其可在實施階段中於不脫離其要旨的範圍內使構成要素變形而具體化。此外，還可藉由上述實施形態所揭示之複數個構成要素的適當組合來形成各種發明。例如，亦可從實施形態所示之全構成要素刪除幾個構成要素。

Claims (9)

  1. 一種探針，係將第1接觸對象與第2接觸對象予以電性連接之探針，該探針具備：筒狀之管體部，係朝上下方向延伸；第1柱塞部，其一部分從前述管體部之一端插入，且與前述第1接觸對象電性接觸；以及第2柱塞部，其一部分從前述管體部之另一端插入，且與上述第2接觸對象電性接觸；前述管體部係具備：具有預定內徑之第1管體部；以及配置在前述第1管體部之內側，且具有比前述預定內徑更小之外徑的第2管體部；前述第1管體部係一部分形成為在上下方向發揮彈簧功能之第1彈簧部；前述第2管體部係一部分形成為在上下方向發揮彈簧功能之第2彈簧部；前述第1柱塞部係具有尺寸比前述第1管體部之內徑更大的本體部分。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之探針，其中，前述第1彈簧部及前述第2彈簧部都將前述第1柱塞部朝前述第1接觸對象推壓。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之探針，其中，前述第1管體部之上下方向的長度係比前述第2管體部之上下方向的長度更短。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之探針，其中，前述第1彈簧部係具備：上方第1彈簧部；以及配置在比前述上方第1彈簧部更靠近上下方向之下方之處的下方第1彈簧部。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之探針，其中，前述上方第1彈簧部及前述下方第1彈簧部係形成為彼此之旋繞方向相反之螺旋形狀。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之探針，其中，前述第1管體部及前述第2管體部係以可分離之方式構成。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之探針，其中，前述第1管體部係具備：具有其他內徑之外側第1管體部；以及配置在前述外側第1管體部之內側，且具有比前述其他內徑更小之外徑的內側第1管體部；前述外側第1管體部係具備：在上下方向發揮彈簧功能之外側第1彈簧部；前述內側第1管體部係具備：在上下方向發揮彈簧功能之內側第1彈簧部。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之探針，其中，插入至前述管體部之前述第2柱塞部的上端部係位在比前述第2管體部所具備之前述第2彈簧部的下端部更靠近上下方向之上方的位置。
  9. 一種電連接裝置，係具備將第1接觸對象與第2接觸對象予以電性連接的複數個探針之電連接裝置，前述探針係具備：筒狀之管體部，係朝上下方向延伸；第1柱塞部，其一部分從前述管體部之一端插入，且與前述第1接觸對象電性接觸；以及第2柱塞部，其一部分從前述管體部之另一端插入，且與上述第2接觸對象電性接觸；前述管體部係具備：具有預定內徑之第1管體部；以及配置在前述第1管體部之內側，且具有比前述預定內徑更小之外徑的第2管體部；前述第1管體部係一部分形成為在上下方向發揮彈簧功能之第1彈簧部；前述第2管體部係一部分形成為在上下方向發揮彈簧功能的第2彈簧部；前述第1柱塞部係具有尺寸比前述第1管體部之內徑更大的本體部分。
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