KR20190105082A

KR20190105082A - 프로브 및 전기적 접속 장치

Info

Publication number: KR20190105082A
Application number: KR1020197024185A
Authority: KR
Inventors: 미카 나스
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2017-02-10
Filing date: 2018-01-17
Publication date: 2019-09-11
Also published as: TW201831912A; EP3581945B1; CN110268275B; TWI661201B; US11022627B2; WO2018147024A1; CN110268275A; JP2018128404A; EP3581945A4; JP6892277B2; KR102137185B1; EP3581945A1; US20200025797A1

Abstract

제1 접촉 대상과 제2 접촉 대상을 전기적으로 접속하는 프로브(20)이며, 상하 방향 Z까지 연장하는 통상의 배럴부(50)와, 일부가 배럴부(50)의 일단에서 삽입되고, 제1 접촉 대상에 전기적으로 접촉하는 제1 플런저부(60)와, 일부가 배럴 부(50)의 타단에서 삽입되고 제2 접촉 대상에 전기적으로 접촉하는 제2 플런저 부(70)를 구비하며, 배럴부(50)는 내경φ1i을 갖는 제1 배럴부(51)와, 제1 배럴 부(51)의 내측에 배치되고, 내경φ1i보다도 작은 외경φ2o을 갖는 제2 배럴부(52)를 구비하고, 제1 배럴부(51)는 제1 스프링부(151)를 구비하고, 제2 배럴부(52)는 제2 스프링부(152)를 구비하며, 제1 플런저부(60)는 제1 배럴부(51)의 내경보다도 큰 치수의 본체 부분(61)을 갖는다.

Description

프로브 및 전기적 접속 장치

본 발명은, 피검사체의 전기적 검사 등에 이용되는 프로브 및 전기적 접속 장치에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼에 형성된 다수의 집적 회로는, 일반적으로 그 웨이퍼로부터 절단, 분리되기 전에, 사양서대로의 성능을 갖는지 여부를 전기적 검사를 받는다. 이러한 전기적 검사에 이용되는 장치로서 복수의 프로브를 구비한 전기적 접속 장치가 있다.

이런 종류의 전기적 접속 장치를 이용하여 전기적 검사를 실시할 때, 복수의 프로브의 기단부(상단부)를, 테스터 등의 장치에 접속되는 프로브 기판의 전극에 접촉시켜 프로브의 선단부(하단부)를, 집적 회로 등의 피검사체의 전극에 접촉시킨다.

이때, 전기적 접속 장치에서 상방으로 연장하는 프로브의 기단부(상단부)는, 프로브 기판에 소정 하중으로 압착한 압착 상태(소위, 프리로드 상태(preload state))를 유지함으로써, 프로브와 프로브 기판과의 전기적 접속이 유지된다.

또한, 전기적 접속 장치에서 하방으로 연장되는 프로브의 선단부는, 피검사 체에 소정 하중으로 압착시킨 압착 상태(소위, 오버드라이브 상태(overdrive state))로 함으로써, 프로브와 피검사체의 전기적인 접속이 유지된다. 이렇게 해서 프로브를 통해서 피검사체와 프로브 기판이 전기적으로 접속되어서 전기적 검사가 실시된다.

또한, 전기적 접속 장치에 결합되는 프로브로서는, 상하 방향의 일부의 구간에 있어서 스프링 기능(탄성력)을 발휘하는 스프링부를 구비한 것이 제안되고 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).

관련한 프로브는, 피검사체에 접촉하는 플런저(plunger)와, 원통 형상을 갖는 배럴(barrel)을 구비하고, 배럴이 상하 방향(길이 방향)으로 스프링부를 구비한다.

이와 같이, 프로브가 스프링부를 가짐으로써, 프리로드 상태나 오버 드라이브 상태가 된 경우에, 상하 방향으로 압축하면서 동시에 프로브 기판이나 피검사체에 대해서 적당한 누름력(pressing force)을 부여할 수 있다. 그리고 또한, 제조 오차에 따른 프로브 길이의 불균일도 스프링부의 압축에 의해 흡수된다.

일본 특허공개공보 제2016-99337호

그런데, 종래 기술에 관련한 프로브에 있어서, 스프링부에는, 프리로드 상태와 오버드라이브 상태에 있어서 압축하는 만큼의 압축 길이와, 제조 오차에 따른 프로브 길이의 불균일을 흡수하는 만큼의 압축 길이를 설정할 필요가 있다. 이로 인해, 종래 기술에 관련한 프로브에서는, 복수의 스프링부를 상하 방향으로 직렬적으로 배치하는 등, 상하 방향에 있어서 스프링부를 긴 구간에 걸쳐서 형성시켰다.

그러나, 상하 방향에 있어서 스프링부를 긴 구간에 걸쳐서 형성시키면, 프로브의 상하 방향에서의 길이도 길어져 버리기 때문에 프로브가 휘기 쉬워진다. 또한, 각 프로브가 휘기 쉬워지면, 전기적 검사를 실시할 때에 인접하는 프로브에 접촉해서 단락(쇼트)할 우려가 있다.

본 발명은, 이러한 점을 감안해서 이루어진 것으로서, 프로브의 휘어짐(flexure)에 기인한 프로브간의 접촉을 방지할 수 있는 프로브 및 전기적 접속 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 관련한 프로브의 제1의 특징은, 제1 접촉 대상과 제2 접촉 대상을 전기적으로 접속하는 프로브이며, 상하 방향으로 연장되는 통상(tubular shape)의 배럴부와, 일부가 상기 배럴부의 일단에서 삽입되고, 상기 제1 접촉 대상에 전기적으로 접촉하는 제1 플런저부와, 일부가 상기 배럴부의 타단에서 삽입되고, 상기 제2 접촉 대상에 전기적으로 접촉하는 제2 플런저부를 구비하고, 상기 배럴부는 소정의 내경(內徑)을 갖는 제1 배럴부와, 상기 제1 배럴부의 내측에 배치되고, 상기 소정의 내경보다도 작은 외경(外徑)을 갖는 제2 배럴부를 구비하고, 상기 제1 배럴부는, 상하 방향에 있어서 스프링 기능을 발휘하는 제1 스프링부를 구비하고, 상기 제2 배럴부는 상하 방향에 있어서 스프링 기능을 발휘하는 제2 스프링부를 구비하고, 상기 제1 플런저부는 상기 제1 배럴부의 내경보다도 큰 치수의 본체 부분을 갖는 것에 있다.

본 발명에 관련한 프로브의 제2의 특징은, 상기 특징에 관한 것으로, 상기 제1 스프링부와 상기 제2 스프링부는, 함께 상기 제1 플런저부를 상기 제1 접촉 대상을 향해서 누르는 것에 있다.

본 발명에 관련한 프로브의 제3의 특징은, 상기 특징에 관한 것으로, 상기 제1 배럴부의 상하 방향의 길이는, 상기 제2 배럴부의 상하 방향의 길이보다도 짧은 것에 있다.

본 발명에 관련한 프로브의 제4의 특징은, 상기 특징에 관한 것으로, 상기 제1 스프링부는, 상방 제1 스프링부와, 상기 상방 제1 스프링부보다도 상하 방향의 하방에 배치되는 하방 제1 스프링부를 구비하는 것에 있다.

본 발명에 관련한 프로브의 제5의 특징은, 상기 특징에 관한 것으로, 상기 상방 제1 스프링부와 상기 하방 제1 스프링부는, 서로의 선회 방향이 역(逆) 나선 형상으로 형성되는 것에 있다.

본 발명에 관련한 프로브의 제6의 특징은, 상기 특징에 관한 것으로, 상기 제1 배럴부와 상기 제2 배럴부는, 분리 가능하게 구성되는 것에 있다.

본 발명에 관련한 프로브의 제7의 특징은, 상기 특징에 관한 것으로, 상기 제1 배럴부는, 다른 내경을 갖는 외측 제1 배럴부와, 상기 외측 제1 배럴부의 내측에 배치되고, 상기 다른 내경보다도 작은 외경을 갖는 내측 제1 배럴부를 구비하며, 상기 외측 제1 배럴부는, 상하 방향에 있어서 스프링 기능을 발휘하는 외측 제1 스프링부를 구비하고, 상기 내측 제1 배럴부는, 상하 방향에 있어서 스프링 기능을 발휘하는 내측 제1 스프링부를 구비하는 것에 있다.

본 발명에 관련한 프로브의 제8의 특징은, 상기 특징에 관한 것으로, 상기 배럴부에 삽입되는 상기 제2 플런저부의 상단부는, 상기 제2 배럴부에 구비되는 상기 제2 스프링부의 하단부보다도 상하 방향의 상방에 위치하는 것에 있다.

본 발명에 관련한 전기적 접속 장치의 특징은, 제1 접촉 대상과 제2 접촉 대상을 전기적으로 접속하는 복수의 프로브를 구비하는 전기적 접속 장치이며, 상기 프로브는, 상하 방향으로 연장하는 통상의 배럴부와, 일부가 상기 배럴부의 일단에서 삽입되고, 상기 제1 접촉 대상에 전기적으로 접촉하는 제1 플런저부와, 일부가 상기 배럴부의 타단에서 삽입되고, 상기 제2 접촉 대상에 전기적으로 접촉하는 제2 플런저부를 구비하고, 상기 배럴부는 소정의 내경을 갖는 제1 배럴부와, 상기 제1 배럴부의 내측에 배치되고, 상기 소정의 내경보다도 작은 외경을 갖는 제2 배럴부를 구비하고, 상기 제1 배럴부는, 상하 방향에 있어서 스프링 기능을 발휘하는 제1 스프링부를 구비하고, 상기 제2 배럴부는, 상하 방향에 있어서 스프링 기능을 발휘하는 제2 스프링부를 구비하고, 상기 제1 플런저부는 상기 제1 배럴부의 내경보다도 큰 치수의 본체 부분을 갖는 것에 있다.

본 발명에 따르면, 프로브의 휘어짐에 기인한 프로브간의 접촉을 방지하는 것이 가능한 프로브 및 전기적 접속 장치를 제공할 수 있다.

도 1은, 본 발명의 제1 실시 형태에 관련한 전기적 접속 장치를 포함하는 검사 장치를 개략적으로 나타내는 측면도이고,
도 2는, 본 발명의 제1 실시 형태에 관련한 전기적 접속 장치(프로브 지지체)를 개략적으로 나타내는 단면도이고,
도 3은, 본 발명의 제1 실시 형태에 관련한 프로브를 개략적으로 나타내는 측면도이고,
도 4는, 본 발명의 제1 실시 형태에 관련한 프로브를 개략적으로 나타내는 단면도이고,
도 5는, 본 발명의 제1 실시 형태에 관련한 프로브를 개략적으로 나타내는 단면도이고,
도 6은, 본 발명의 제1 실시 형태의 변형 예에 관련한 프로브를 개략적으로 나타낸 측면도이고,
도 7은, 본 발명의 제1 실시 형태의 변형 예에 관련한 프로브를 개략적으로 나타내는 단면도이다.

이하, 본 발명의 실시 형태에 관련한 전기적 접속 장치에 관해서 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 또한, 아래에 나타내는 실시 형태는, 본 발명의 기술적 사상을 구체화하기 위한 장치 등을 예시하는 것으로서, 본 발명의 기술적 사상은 각 구성 부품의 배치 등을 하기의 것에 특정하는 것은 아니다. 본 발명의 기술적 사상은, 특허 청구의 범위에 있어서 다양한 변경을 더할 수 있다.

[제1 실시 형태]

<검사 장치의 구성>

도 1은, 본 발명의 제1 실시 형태에 관련한 프로브(20)를 구비한 전기적 접속 장치를 포함하는 검사 장치(1)를 개략적으로 나타내는 측면도이다. 또한, 설명을 위해, 도면에 있어서, 상하 방향 Z와, 상하 방향 Z에 직교하는 좌우 방향 X와, 상하 방향 Z 및 좌우 방향 X에 직교하는 전후 방향 Y를 규정한다. 또한, 상하 방향 Z는, 프로브(20)의 길이 방향이라고도 바꿔 말할 수 있다.

도 1에 도시하는 바와 같이, 검사 장치(1)는 주로 카드형 접속 장치(2)와, 척(chuck)(12)을 구비한다.

카드형 접속 장치(2)(프로브 카드라고도 불리는 경우가 있다)가, 승강 가능한 척(12)의 상방에서 프레임(미도시)에 유지된다. 척(12) 상에는, 피검사체의 일례로서 반도체 웨이퍼(14)가 유지되어 있다. 반도체 웨이퍼(14)에는 다수의 집적 회로가 포함되어 있다.

반도체 웨이퍼(14)는, 집적 회로의 전기적 검사를 위해서 그 집적 회로의 다수의 전극 패드(14a)를 상방을 향해서 척(12) 상에 배치되어 있다.

카드형 접속 장치(2)는, 프로브 기판(16)과, 프로브 지지체(18)를 구비한다.

프로브 기판(16)은, 예를 들면 원형의 리지드 배선 기판으로 이루어진다. 프로브 기판(16)은, 프로브(20)의 기단부(20b)(상단부)에 전기적으로 접속된다.

프로브 기판(16)의 한쪽 면(도 1에 도시되는 상면)의 주연부에는, 테스터(미도시)로의 접속단(connection end)이 되는 다수의 테스터 랜드(tester land)(16b)가 설치되어 있다. 각 테스터 랜드(16b)는, 프로브 기판(16)에 설치된 배선(16a)에 접속되어 있다.

또한, 프로브 기판(16)의 한쪽 면(도 1에 도시되는 상면)에는, 프로브 기판 (16)을 보강하는 예를 들면 금속제의 보강판(5)이 설치되어 있다. 그 보강판(5)은, 프로브 기판(16)의 테스터 랜드(16b)가 설치된 주연분(周緣分)을 제외한 중앙부에 배치되어 있다. 또한, 프로브 기판(16)의 다른 쪽 면(도1에 도시되는 하면)에는, 프로브 지지체(18)가 배치되어 있다.

프로브 지지체(18)는, 소정의 유지 부재에 의해 프로브 기판(16)에 유지되어 있다. 프로브 지지체(18)는 복수의 프로브(20)를 구비한다. 프로브 지지체(18)는, 프로브(20)의 선단부(20a)(하단부)가 반도체 웨이퍼(14)에 눌렸을 때에 프로브(20) 상호간의 간섭을 방지한다. 또한, 프로브(20)를 구비한 프로브 지지체(18)가, 특허 청구의 범위에 기재된 전기적 접속 장치를 구성한다.

프로브(20)는, 선단부(20a)와 기단부(20b)를 갖는다. 프로브(20)의 선단부 (20a)는, 반도체 웨이퍼(14)에 대응해서 설치되어 있는 전극 패드(14a)에 대향하도록 배치된다.

프로브(20)의 기단부(20b)는, 프로브 기판(16)의 접속 패드(미도시)에 압착 된 압착 상태, 즉 프리로드 상태로 맞닿아 있다. 이에 따라, 프로브(20)의 기단부(20b)는 프로브 기판(16)과 전기적으로 접속되어 있다.

또한, 본 실시 형태에 있어서, 프로브 기판(16)의 접속 패드(미도시)가, 특허 청구의 범위에 기재된 제1 접촉 대상을 구성하고, 반도체 웨이퍼(14)의 전극 패드(14a)가 특허청구의 범위에 기재된 제2 접촉 대상을 구성한다.

<프로브 지지체의 구성>

이어서, 도 2를 참조하여 프로브 지지체(18)의 구성에 관해서 상세하게 설명한다. 도 2는, 프로브 지지체(18)의 개략 구성을 설명하기 위한 단면도이다. 이때, 도 2에서는 설명의 단순화를 위해 9개의 프로브(20)를 도시하고 있지만, 9개에 한정되는 것은 아니다. 또한, 도 2에는 복수의 프로브(20)의 배열이, 1열인 경우를 예시하고 있는데, 이에 한정되지 않으며 상하 방향 Z에서 보아 매트릭스 형태의 배치 등, 임의로 배치되어 있어도 좋다. 또한, 도 2에서는 프로브(20)의 개략 구성을 도시하고 있으며, 프로브(20)의 상세한 구성에 관해서는 후술한다(도 3 참조).

프로브 지지체(18)는, 상방 가이드판(31)과, 하방 가이드판(32)과, 중간 가이드판(33)과, 고정 나사(36)와, 프로브(20)를 갖는다.

상방 가이드판(31)은, 각 프로브(20)의 상부를 위치 결정해서 유지하고, 프로브(20)의 슬라이딩 이동(摺動)을 허용하기 위한 지지 부재이다. 즉, 상방 가이드판(31)은, 각 프로브(20)의 상부의 위치 유지 가이드이다. 상방 가이드판(31)은, 중앙에 상방을 향하는 오목부(凹部)(31x)를 갖는 평판 형상으로 형성되어 있다. 오목부(31x)에는, 프로브(20)의 상부가 관통되어서 지지되는 가이드 홀(guide hole)(31a)이 설치되어 있다. 가이드 홀(31a)의 직경은, 하방 가이드판(32)의 가이드 홀(32a)의 직경보다도 크고, 또 중간 가이드 판(33)의 가이드 홀(33a)의 직경보다도 크다.

가이드 홀(31a)은, 중간 가이드 판(33)의 각 가이드 홀(33a)에 정합하도록 배치되면서 동시에 프로브 기판(16)의 도시하지 않은 각 전극과 정합하는 위치에 각각 대응하도록 설치되어 있다. 이에 따라, 각 가이드 홀(31a)에 각 프로브(20)의 상단이 끼워맞춰짐으로써 각 프로브(20)의 기단부(20b)가 프로브 기판(16)의 각 접속 패드와 접촉하도록 되어 있다. 각 프로브(20)의 후술하는 스프링 기능에 의해 각 프로브(20)의 상부는 프로브(20)의 신축에 따라 각 가이드 홀(31a)을 관통하고 있는 상태에서 슬라이딩 이동하도록 이루어져 있다.

또한, 상방 가이드판(31)은, 예를 들면, 세라믹으로 성형되어 있어서 절연성을 갖는다. 또한, 상방 가이드판(31)을 대신해서, 원환(圓環)이나 직사각형 고리(矩形環) 등으로 형성되어 있는 스페이서(spacer)를 적용하는 것이라도 좋다.

하방 가이드 판(32)은, 각 프로브(20)의 하부를 위치 결정해서 유지하고, 프로브(20)의 슬라이딩 이동을 허가하기 위한 지지 부재이다. 즉, 하방 가이드 판(32)은, 각 프로브(20)의 하부의 위치 유지 가이드이다. 하방 가이드 판(32)은, 중앙에 하방을 향하는 오목부(32x)를 갖는 평판 형상으로 형성되어 있다. 오목부(32x)에는, 프로브(20)의 하부가 관통되어서 지지되는 가이드 홀(32a)이 설치되어 있다. 가이드 홀(32a)의 직경은, 상방 가이드판(31)의 가이드 홀(31a)의 직경보다도 작으며, 또 중간 가이드 판(33)의 가이드 홀(33a)의 직경보다도 작다.

가이드 홀(32a)은, 반도체 웨이퍼(14)의 각 전극 패드(14a)와 정합하는 위치에, 각 전극 패드(14a)에 각각 대응하도록 설치되어 있다. 이에 따라, 각 가이드 홀(32a)에 각 프로브(20)의 하부가 끼워맞춰짐으로써, 각 프로브(20)의 선단부(20a)가 반도체 웨이퍼(14)의 각 전극 패드(14a)와 접촉하게 되어 있다. 각 프로브(20)의 후술하는 스프링 기능에 의해 각 프로브(20)의 하부는 프로브(20)의 신축에 따라 각 가이드 홀(32a)을 관통하고 있는 상태에서 슬라이딩 이동하도록 되어 있다.

또한, 하방 가이드 판(32)은, 예를 들면, 세라믹으로 성형되어 있어서 절연성을 갖는다. 하방 가이드 판(32)을 대신해서 원환이나 직사각형 고리 등으로 형성되어 있는 스페이서를 적용하는 것이라도 좋다.

중간 가이드 판(33)은, 인접하는 프로브(20) 사이에서의 쇼트를 방지하면서 동시에 각 프로브(20)의 수직성을 유지하기 위한 부재이다. 중간 가이드 판(33)은, 그 주연부가 상방 가이드 판(31)과 하방 가이드 판(32)으로 사이에 끼워져 지지되어 있다.

중간 가이드 판(33)에는, 상방 가이드 판(31)의 각 가이드 홀(31a)과, 하방 가이드 판(32)의 각 가이드 홀(32a)에 정합하는 위치에, 각각 대응하는 가이드 홀(33a)이 설치되어 있다. 중간 가이드 판(33)의 가이드 홀(33a)의 직경은 상방 가이드 판(31)의 가이드 홀(31a)의 직경보다도 작으며, 또 하방 가이드 판(32)의 가이드 홀(32a)의 직경보다도 크다.

또한, 중간 가이드 판(33)은, 내마모성 및 내열성이 뛰어난 합성수지제 필름, 예를 들면 폴리이미드 필름 등으로 얇게 구성되어 있다. 중간 가이드 판(33)은 세라믹 등으로 구성되어 있어도 좋다.

고정 나사(36)는, 프로브 지지체(18) 전체를 일체적으로 고정하기 위한 나사이다. 상방 가이드 판(31), 하방 가이드 판(32), 및 중간 가이드 판(33)은, 고정 나사(36)에 의해 일체적으로 고정되고, 또한 탈착 자유롭게 구성되어 있다.

<프로브의 구성>

이어서, 도 3 내지 도 5를 참조해서 제1 실시 형태에 관련한 프로브(20)의 구성에 관해서 상세하게 설명한다. 도 3은, 프로브(20)의 측면도이고, 도 4는 프로브 지지체(18)에 조립한 프로브(20)의 중심축을 따른 단면도이고, 도 5는 프로브(20)를 프로브 지지체(18)로의 조립 상황을 도시하는 단면도이다.

도 3 내지 도 4에 도시하는 바와 같이, 프로브(20)는, 상하 방향 Z로 연장되는 통상의 배럴부(50)와, 제1 플런저부(60)와, 제2 플런저부(70)를 구비한다. 또한, 배럴부(50)와 제1 플런저(60)와 제2 플런저(70)는, 모두 도전성의 재질로 형성되어 있다.

배럴부(50)는, 통상의 제1 배럴부(51)와, 통상의 제2 배럴부(52)를 구비한다. 제1 배럴부(51)는, 내경φ1i과 외경φ1o을 갖는 원통 형상이다. 제1 배럴부(51)의 외경φ1o은, 상방 가이드 판(31)의 가이드 홀(31a)의 직경보다도 작지만, 중간 가이드 판(33)의 가이드 홀(33a)의 직경보다도 크다. 따라서, 제1 배럴부(51)의 하단부(51a)는, 프로브 지지체(18)에 결합되었을 때에, 중간 가이드 판(33)의 상면(33b)에 맞닿는다. 또한, 제1 배럴부(51)의 상단부(51b)는 후술하는 제1 플런저부(60)의 본체 부분(61)의 하면(61a)에 맞닿는다.

제1 배럴부(51)는, 상하 방향 Z에 있어서 스프링 기능을 발휘하는 제1 스프링부(151)를 구비한다. 구체적으로, 제1 스프링부(151)는, 상하 방향 Z으로 신축하면서 동시에 상하 방향 Z로의 탄성력을 발휘한다.

예를 들면, 프로브(20)의 기단부(20b)가 프로브 기판(16)에 압착되는 프리로드(preload) 상태에 있어서, 제1 배럴부(51)에 대해서 상하 방향 Z로 압축력이 부여된다. 이에 따라, 제1 스프링부(151)는 상하 방향 Z를 따라서 압축하면서 동시에 프로브 기판(16)에 대해서 탄성력(pressing force)을 부여한다.

또한, 제1 배럴부(51)는, 제1 스프링부(151)의 상방과 하방의 각각에 있어서 탄성력을 발휘하지 않는 비(非)스프링부(미도시)를 구비한다.

제2 배럴부(52)는, 제1 배럴부(51)의 내측에 배치된다. 제2 배럴부(52)는 제1 배럴부(51)의 내경 φ1i보다도 작은 외경φ2o을 갖는 원통 형상이다. 이러한 제2 배럴부(52)가 제1 배럴부(51)의 내측에 배치됨에 따라서, 제1 배럴부(51)와 제2 배럴부(52)는, 중심축(CL)을 중심으로 한 동심원 상에 배치된다. 제2 배럴부(52)의 외경φ2o은, 중간 가이드판(33)의 가이드 홀(33a)의 직경보다도 작지만, 하방 가이드 판(32)의 가이드 홀(32a)의 직경보다도 크다.

또한, 제2 배럴부(52)는, 상하 방향 Z에 있어서 스프링 기능을 발휘하는 제2 스프링부(152)를 구비한다. 구체적으로, 제2 스프링부(152)는 상하 방향 Z으로 신축하면서 동시에 상하 방향 Z으로의 탄성력을 발휘하는 것이다.

또한, 본 실시 형태에서는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 제2 스프링부(152)는 상방 제2 스프링부(152x)와, 하방 제2 스프링부(152y)를 갖는다.

예를 들면, 프로브(20)의 선단부(20a)가 반도체 웨이퍼(14)에 압착되는 오버 드라이브 상태에 있어서, 제2 배럴부(52)에 대해서 상하 방향 Z로 압축력이 부여되면, 제2 스프링부(152)는 상하 방향 Z를 따라서 압축하면서 동시에, 반도체 웨이퍼 (14)에 대해서 탄성력(pressing force)을 부여한다. 즉, 상방 제2 스프링부(152x)와 하방 제2 스프링부(152y) 양쪽이 상하 방향 Z를 따라서 압축하면서 탄성력(pressing force)을 부여한다.

또한, 제2 배럴부(52)는, 상방 제2 스프링부(152x)의 상방과, 상방 제2 스프링부(152x)와 하방 제2 스프링부(152y) 사이와, 하방 제2 스프링부(152y)의 하방의 세 부위에 있어서, 탄성력을 발휘하지 않는 비(非)스프링부(모두 미도시)를 구비한다.

또한, 도 4에 도시되는 바와 같이, 배럴부(50)에 있어서, 제1 배럴부(51)의 상하 방향 Z에서의 길이(L1)와 제2 배럴부(52)의 상하 방향 Z에서의 길이(L2)는, 다르다. 구체적으로, 제1 배럴부(51)의 상하 방향 Z의 길이(L1)는, 제2 배럴부(52)의 상하 방향 Z의 길이(L2)보다도 짧다. 또한, 길이(L1)와 길이(L2)의 차이(ΔL)는, 하방 가이드판(32)의 상면(32b)과 중간 가이드판(33)의 상면(33b)과의 상하 방향 Z에서의 길이(LD)보다도 길이 α만큼 짧다. 따라서, 제2 배럴부(52)의 하단부(52a)는, 하방 가이드 판(32)의 상면(32b)에서 상하 방향 Z의 상방에 길이 α만큼 이격한다.

제1 플런저부(60)는, 일부가 배럴부(50)의 상단부(일단)에서 삽입되고, 프로브 기판(16)에 전기적으로 접촉하는 것이다. 구체적으로, 제1 플런저부(60)는, 넓은 폭의 본체 부분(61)과, 좁은 폭의 삽입 부분(62)을 갖는다.

본체 부분(61)의 좌우 방향(X)에서의 폭(직경φ61)은, 제1 배럴부(51)의 내경 φ1i보다도 크다. 그리고, 본체 부분(61)의 하면(61a)은, 배럴부(50)의 상단부에 맞닿는다. 구체적으로, 본체 부분(61)의 하면(61a)은, 제1 배럴부(51)의 상단부 (51b)와 제2 배럴부(52)의 상단부(52b)에 맞닿는다.

이때, 제1 플런저부(60)는, 본체 부분(61)이 제1 배럴부(51)에 맞닿지만, 제1 배럴부(51)와는 고정되어 있지 않다. 이에 따라, 도 5에 도시하는 바와 같이, 제1 배럴부(51)와 제2 배럴부(52)는 분리 가능하게 구성되어 있다.

삽입 부분(62)은, 배럴부(50)의 제2 배럴부(52)에 삽입된다. 또한, 삽입 부분(62)은, 소정 위치(CT)에 있어서 배럴부(50)의 제2 배럴부(52)와 접합에 의해 고정되어 있다. 또한, 접합 방법은, 예를 들면, 저항 용접(스팟 용접), 레이저 용접 또는 코킹에 의해 접합하는 방법 등을 들 수 있다.

또한, 삽입 부분(62)의 하단부(62a)는, 제1 플런저부(60)의 하단부(60a)가 된다. 삽입 부분(62)의 하단부(62a)는, 상방 제2 스프링부(152x)의 상단부(152xb)보다도 상하 방향 Z의 상방에 위치한다.

제2 플런저부(70)는, 대개 원기둥(圓柱) 형상을 갖는다. 제2 플런저부(70)는, 일부가 배럴부(50)의 하단부(타단)에서 삽입되어, 반도체 웨이퍼(14)에 전기적으로 접촉하는 것이다.

제2 플런저부(70)는, 소정 위치(CB)에 있어서, 제2 배럴부(52)와 고정되어 있다. 구체적으로, 제2 플런저부(70)는, 하방 제2 스프링부(152y)의 하방에 배치되는 비스프링부(미도시)에 위치하는 소정 위치(CB)에 있어서, 제2 배럴부(52)와 접합에 의해 고정되어 있다. 또한, 접합 방법은, 상술한 제1 플런저부(60)의 삽입 부분(62)에서의 접합 방법과 동일하다.

또한, 제2 플런저부(70)의 상단부(70b)는, 제2 배럴부(52)에 구비되는 제2 스프링부(152)의 하단부보다도 상하 방향 Z의 상방에 위치한다. 구체적으로, 본 실시 형태에서는, 제2 플런저부(70)의 상단부(70b)는, 제2 스프링부(152)의 상방 제2 스프링부(152x)의 상단부(152xb)보다도 상하 방향 Z의 상방에 위치한다.

<작용 및 효과>

이상과 같이, 본 발명의 제1 실시 형태에 관련한 프로브(20)에서는, 배럴부(50)와 제1 플런저부(60)와 제2 플런저부(70)를 구비한다. 배럴부(50)는, 내경 φ1i(소정의 내경)을 갖는 제1 배럴부(51)와, 제1 배럴부(51)의 내측(중심축 CL 측)에 배치되고, 내경 φ1i보다도 작은 외경 φ2o을 갖는 제2 배럴부(52)를 구비한다. 즉, 제1 배럴부(51)와 제2 배럴부(52)는 서로 동심원 형태로 배치된다. 그리고, 제1 배럴부(51)는 제1 스프링부(151)를 구비하고, 제2 배럴부(52)는 제2 스프링부(152)를 구비한다. 또한, 제1 플런저부(60)는 제1 배럴부(51)의 내경 φ1i보다도 큰 치수(폭, 또는 직경)의 본체 부분(61)을 갖는다.

이에 따라, 제1 스프링부(151)와 제2 스프링부(152)가, 상하 방향 Z를 향해서 병렬로 배치한 상태로, 예를 들면, 제1 플런저부(60)(또는 제2 플런저부(70))에 스프링 기능을 발휘할 수 있기 때문에 상하 방향 Z로 직렬로 배치되는 경우에 비해서 제1 스프링부(151)와 제2 스프링부(152)의 상하 방향 Z에서의 길이를 짧게 할 수 있다. 따라서, 프로브(20)의 상하 방향(Z)에서의 길이도 짧게 하는 것이 가능해지므로 프로브(20)가 휘기 어려워져 프로브(20)의 휨(flexure)에 기인한 프로브(20)간의 접촉을 방지할 수 있다.

그리고 또한, 프로브(20)의 휨에 기인한 프로브(20)간의 접촉을 방지할 수 있어서 프로브 지지체(18)에는 프로브(20)를 좁은 간격(narrow pitches)으로 배치시킬 수 있다.

또한, 제1 실시 형태에 관련한 프로브(20)에서는, 제2 배럴부(52)의 하단부 (52a)는 하방 가이드판(32)의 상면(32b)에서 상하 방향 Z의 상방으로 길이 α만큼 이격하는 구성이었지만(도 4 참조), 이 길이 α를 적절히 변경할 수도 있다.

예를 들면, 길이 α는, 영(제로)으로 해도 좋다. 즉, 길이 α를 설치하지 않아도 좋다. 이 경우, 프로브 지지체(18)에 프로브(20)를 조립했을 때에, 제1 배럴부(51)의 하단부(51a)가 중간 가이드판(33)의 상면(33b)에 맞닿으면서 동시에 제2 배럴부(52)의 하단부(52a)가 하방 가이드 판(32)의 상면(32b)에 맞닿게 된다. 그리고, 프리로드 상태에 있어서, 제1 스프링부(151)와 제2 스프링부(152)는, 함께 제1 플런저부(60)를 프로브 기판(16)을 향해서 누른다. 이에 따라, 제1 스프링부(151)와 제2 스프링부(152) 양쪽의 탄성력(pressing force)에 의해 제1 플런저부(60)를 프로브 기판(16)에 누룰 수 있어서, 더 강하게 누룰 수 있다. 또한, 제1 스프링부 (151)와 제2 스프링부(152) 중 어느 한쪽이 열화(예를 들면, 새깅(agging) 발생에 의한 열화)해도 다른 쪽에 의해 눌려지기 때문에 제1 플런저부(60)와 프로브 기판(16)의 전기적인 접속 관계를 더 오랜 기간 동안 유지할 수 있다.

그리고 또한, 길이 α는, 제1 배럴부(51)의 제1 스프링부(151)가 프리로드 상태에 있어서 압축하는 압축 길이 β이상으로 구성해도 좋다. 이 경우, 프리로드 상태에 있어서도 제2 배럴부(52)의 하단부(52a)가 하방 가이드 판(32)의 상면(32b)과 맞닿지 않고 이격한다. 이에 따라, 프리로드 상태와 오버드라이브 상태에서 스프링 기능을 분리할 수 있다. 구체적으로, 프리로드 상태에 있어서, 제1 배럴부(51)의 제1 스프링부(151)만으로 제1 플런저부(60)를 프로브 기판(16)을 향해서 누른다. 한편, 오버드라이브 상태에 있어서, 제2 배럴부(52)의 제2 스프링부(152)만으로 제2 플런저부(70)를 반도체 웨이퍼(14)를 향해서 누른다. 이에 따라, 제1 배럴부(51)의 제1 스프링부(151)의 스프링 정수와, 제2 배럴부(52)의 제2 스프링 부(152)의 스프링 정수를 조정함으로써 프리로드 상태의 누름력(pressing force)과 오버 드라이브 상태의 누름력을 보다 유연하게 조정할 수 있다.

그리고 또한, 길이 α는, 제1 배럴부(51)의 제1 스프링부(151)가 프리로드 상태에서 압축하는 압축 길이 β의 소정 비율(예를 들면, β/2)이 되도록 구성해도 좋다. 이 경우, 프리로드 상태로 가져오기 위해서 프로브(20)의 기단부(20b)를 프로브 기판(16)에 압착하는 도중에 제2 배럴부(52)의 하단부(52a)가 하방 가이드 판(32)의 상면(32b)과 맞닿는다. 이에 따라, 제1 스프링부(151)의 압축 길이가 소정 비율 미만의 범위(예를 들면, β/2미만)에서는, 제1 배럴부(51)의 제1 스프링부(151)만으로 제1 플런저부(60)를 프로브 기판(16)을 향해서 누르고, 제1 스프링부(151)의 압축 길이가 소정 비율 이상(예를 들면, β/2 이상)의 범위에서는, 제1 스프링부(151)와 제2 스프링부(152)는 함께 제1 플런저부(60)를 프로브 기판(16)을 향해서 누른다. 이에 의해, 압축 길이에 따라서 누름력(탄성력)을 단계적으로 증가시킬 수있다.

본 발명의 제1 실시 형태에 관련한 프로브(20)에서는, 제1 배럴부(51)의 상하 방향 Z의 길이(L1)는, 제2 배럴부(52)의 상하 방향 Z의 길이(L2)보다도 짧다. 이에 따라, 제1 배럴부(51)의 재료비를 억제할 수 있어서 프로브(20)의 제조 비용을 억제할 수 있다.

또한, 제1 실시 형태에 관련한 프로브(20)에서는, 제1 배럴부(51)와 제2 배럴부(52)는 분리 가능하게 구성된다. 이에 따라, 제1 배럴부(51)와 제2 배럴부(52)를 별도로 교체하는 것이 가능해진다. 예를 들면, 제1 배럴부(51)와 제2 배럴부(52)의 어느 한쪽이 고장난 경우에, 고장난 한쪽만 교체할 수 있어서 매우 편리하다.

또한, 제1 실시 형태에 관련한 프로브(20)에서는, 제2 스프링부(152)는, 상방 제2 스프링부(152x)와 하방 제2 스프링부(152y)를 구비한다. 이에 의해, 예를 들면 상방 제2 스프링부(152x)와 하방 제2 스프링부(152y)의 스프링 정수를 상이하게 하는 것도 가능해진다. 따라서, 상방 제2 스프링부(152x)와 하방 제2 스프링부(152y)의 조합에 의해, 오버드라이브 상태에서의 반도체 웨이퍼(14)로의 누름력을 더 유연하게 조정할 수 있다.

제1 실시 형태와 관련한 프로브(20)에서는, 배럴부(50)에 삽입되는 제2 플런저부(70)의 상단부(70b)는, 제2 배럴부(52)에 구비되는 제2 스프링부(152)의 하방 제2 스프링부(152y)의 하단부(152ya)보다도 상하 방향 Z의 상방에 위치한다. 구체적으로, 제2 플런저부(70)의 상단부(70b)는, 상방 제2 스프링부(152x)의 상단부(152xb)(제2 스프링부(152)의 상단부)보다도 상하 방향 Z의 상방에 위치한다. 이에 따라, 제2 플런저부(70)가 제2 스프링부(152)의 내부에 배치되므로, 프로브(20)는, 제2 스프링부(152)에 있어서 꺾이기 어려워진다.

[변형 예 1]

이어서, 본 발명의 제1 실시 형태에 관련한 프로브(20)의 변형 예 1에 관해서 설명한다. 도 6은 본 변형 예에 관련한 프로브(20)를 도시하는 측면도이다.

도 6에 도시하는 바와 같이, 본 변형 예에 관련한 프로브(20)에서는, 제1 배럴부(51)에 구비되는 제1 스프링부(151)는, 상방 제1 스프링부(151x)와, 상방 제1 스프링부(151x)보다도 상하 방향 Z의 하방에 배치되는 하방 제1 스프링부(151y)를 구비한다.

또한, 제1 배럴부(51)는, 상방 제1 스프링부(151x)의 상방과, 상방 제1 스프링부(151x)와 하방 제1 스프링부(151y) 사이와, 하방 제1 스프링부(151y)의 하방의 세 부위에 있어서, 탄성력을 발휘하지 않는 비(非)스프링부(모두 미도시)를 구비한다.

또한, 상방 제1 스프링부(151x)와 하방 제1 스프링부(151y)는, 서로의 선회방향이 역(逆) 나선 형상으로 형성된다. 구체적으로, 도 6에 도시되는 바와 같이 상방 제1 스프링부(151x)는, 왼쪽으로 내려가면서 선회하는 나선 형상으로 형성되어 있고, 하방 제1 스프링부(151y)는, 오른쪽으로 내려가면서 선회하는 나선 형상으로 형성되어 있다.

이상과 같이, 변형 예 1에 관련한 프로브(20)에서는, 제1 스프링부(151)가, 상방 제1 스프링부(151x)와 하방 제1 스프링부(151y)를 구비한다. 이에 따라, 예를 들면 상방 제1 스프링부(151x)와 하방 제1 스프링부(151y)의 스프링 정수를 상이하게 하는 것도 가능하다. 따라서, 상방 제1 스프링부(151x)와 하방 제1 스프링부 (151y)의 조합에 의해 프리로드 상태에서의 프로브 기판(16)으로의 누름력을 더 유연하게 조정할 수 있다.

또한, 변형 예 1에 관련한 프로브(20)에서는, 상방 제1 스프링부(151x)와 하방 제1 스프링부(151y)는, 서로의 선회 방향이 역 나선 형상으로 형성된다. 이에 따라, 상방 제1 스프링부(151x)와 하방 제1 스프링부(151y)의 압축에 의해 생기는 선회 방향으로의 바이어싱 힘(biasing force)은 서로 상쇄되어, 선회 방향이 동일한 2개의 나선상의 스프링부를 연결한 경우에 비해 절곡되기 어렵고 또한 비틀리기 힘들어진다.

[변형 예 2]

이어서, 본 발명의 제1 실시 형태에 관련한 프로브(20)의 변형 예 2에 관해서 설명한다. 도 7은, 본 변형 예에 관련한 프로브(20)를 도시하는 단면도이다.

도 7에 도시하는 바와 같이, 본 변형 예에 관련한 프로브(20)에서는 제1 배럴부(51)가 직경이 다른 복수의 배럴부에 의해 구성된다. 구체적으로, 제1 배럴 부(51)는, 외측 제1 배럴부(51o)와, 외측 제1 배럴부(51o)의 내측에 배치되는 내측 제1 배럴부(51i)를 구비한다. 또한, 외측 제1 배럴부(51o)는, 내경φ3i(다른 내경)을 가지며, 내측 제1 배럴부(51i)는 내경φ3i보다도 작은 외경φ1o을 갖는다.

또한, 외측 제1 배럴부(51o)는, 상하 방향 Z에 있어서 스프링 기능을 발휘하는 외측 제1 스프링부(151o)를 구비하고, 내측 제1 배럴부(51i)는 상하 방향 Z에 있어서 스프링 기능을 발휘하는 내측 제1 스프링부(151i)를 구비한다.

이상과 같이, 변형 예 2에 관련한 프로브(20)에 따르면, 제1 배럴부(51)는 외측 제1 배럴부(51o)와 내측 제1 배럴부(51i)를 구비하고, 외측 제1 배럴부(51o)는 외측 제1 스프링부(151o)를 구비하고, 내측 제1 배럴부(51i)는 내측 제1 스프링 부(151i)를 구비한다. 이에 따라, 예를 들면 외측 제1 스프링부(151o)와 내측 제1 스프링부(151i)의 스프링 정수를 상이하게 하는 것도 가능해진다. 따라서, 외측 제 1 스프링부(151o)와 내측 제1 스프링부(151i)의 조합에 의해, 프리로드 상태에서의 프로브 기판(16)으로의 누름력을 더 유연하게 조정할 수있다.

[본 발명의 다른 실시 형태]

이상, 상술한 실시 형태를 이용하여 본 발명에 관해서 상세하게 설명했지만, 당업자에게 있어서는 본 발명이 본 명세서 중에 설명한 실시 형태에 한정되는 것은 아니라는 것은 분명하다.

예를 들면, 상술한 실시 형태에서는, 제1 플런저부(60)는 제1 배럴부(51)와는 고정되어 있지 않은 경우를 예로 들어 설명했지만, 제1 배럴부(51)와 고정되어 있어도 좋다. 즉, 제1 배럴부(51)와 제2 배럴부(52)는 제1 플런저부(60)에 의해 연결되어 있어도 좋다.

또한, 예를 들면, 프로브 지지체(18)는 상술한 실시 형태에 도시한 프로브(20)를 적어도 하나 구비하고 있으면 좋다.

또한, 상술한 실시 형태에서는, 제2 플런저부(70)의 상단부(70b)는, 상방 제 2 스프링부(152x)의 상단부(152xb)보다도 상방에 위치하고 있는데, 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제2 플런저부(70)의 상단부(70b)는, 하방 제2 스프링부(152y)의 상단부(152yb)와, 상방 제2 스프링부(152x)의 하단부(152xa) 사이에 배치해도 좋다. 이 경우, 제1 플런저부(60)의 하단부(60a), 즉 제1 플런저부(60)의 삽입 부분(62)의 하단부(62a)는, 상방 제2 스프링부(152x)의 하단부(152xa)와, 하방 제2 스프링부(152y)의 상단부(152yb) 사이에 배치한다. 이에 따라, 제1 플런저부(60)가 상방 제2 스프링부(152x)의 내부에 배치되고, 제2 플런저부(70)가 하방 제2 스프링부(152y)의 내부에 배치되기 때문에, 프로브(20)는 제2 스프링부(152)에 있어서 꺾이기 어려워진다.

또한, 상술한 변형 예 1에서는, 상방 제1 스프링부(151x)와 하방 제1 스프링 부(151y)의 형상에 착안해서 각각의 선회 방향이 역 나선 형상으로 형성되는 경우를 예로 들어 설명하지만, 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제2 배럴부(52)에 있어서 상방 제2 스프링부(152x)와 하방 제2 스프링부(152y)는, 서로의 선회 방향이 역 나선 형상으로 형성되어도 좋다.

이와 같이, 본 발명은 상기 실시의 형태 그대로 한정되는 것이 아니라, 실시 단계에서는 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성 요소를 변형해서 구체화 할 수있다. 또한, 상기 실시의 형태에 개시되어 있는 복수의 구성 요소의 적절한 조합에 의해 다양한 발명을 형성할 수 있다. 예를 들면, 실시의 형태에 나타내는 모든 구성 요소에서 몇 개의 구성 요소를 삭제해도 좋다.

1; 검사 장치
2; 카드형 접속 장치
12; 척
14; 반도체 웨이퍼
14a; 전극 패드
16; 프로브 기판
18; 프로브 지지체
20; 프로브
20a; 선단부
20b; 기단부
31; 상방 가이드 판
32; 하방 가이드 판
33; 중간 가이드 판
50; 배럴부
51; 제1 배럴부
52; 제2 배럴부
60; 제1 플런저부
70; 제2 플런저부
151; 제1 스프링부
152; 제2 스프링부

Claims

제1 접촉 대상과 제2 접촉 대상을 전기적으로 접속하는 프로브이며,
상하 방향으로 연장되는 통상(tubular shape)의 배럴부와,
일부가 상기 배럴부의 일단에서 삽입되고, 상기 제1 접촉 대상에 전기적으로 접촉하는 제1 플런저부와,
일부가 상기 배럴부의 타단에서 삽입되고, 상기 제2 접촉 대상에 전기적으로 접촉하는 제2 플런저부를 구비하고,
상기 배럴부는,
소정의 내경을 갖는 제1 배럴부와,
상기 제1 배럴부의 내측에 배치되고, 상기 소정의 내경보다도 작은 외경을 갖는 제2 배럴부를 구비하고,
상기 제1 배럴부는, 상하 방향에 있어서 스프링 기능을 발휘하는 제1 스프링부를 구비하고,
상기 제2 배럴부는, 상하 방향에 있어서 스프링 기능을 발휘하는 제2 스프링부를 구비하고,
상기 제1 플런저부는, 상기 제1 배럴부의 내경보다도 큰 치수의 본체 부분을 가지는 것을 특징으로 하는 프로브.
제1항에 있어서,
상기 제1 스프링부와 상기 제2 스프링부는, 함께 상기 제1 플런저부를 상기 제1 접촉 대상을 향해서 누르는(press) 것을 특징으로 하는 프로브.
제1항에 있어서,
상기 제1 배럴부의 상하 방향의 길이는, 상기 제2 배럴부의 상하 방향의 길이보다도 짧은 것을 특징으로 하는 프로브.
제1항에 있어서,
상기 제1 스프링부는, 상방 제1 스프링부와, 상기 상방 제1 스프링부보다도 상하 방향의 하방에 배치되는 하방 제1 스프링부를 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브.
제4항에 있어서,
상기 상방 제1 스프링부와 상기 하방 제1 스프링부는, 서로의 선회 방향이 역(逆) 나선 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브.
제1항에 있어서,
상기 제1 배럴부와 상기 제2 배럴부는, 분리 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 프로브.
제1항에 있어서,
상기 제1 배럴부는,
다른 내경을 갖는 외측 제1 배럴부와,
상기 외측 제1 배럴부의 내측에 배치되고, 상기 다른 내경보다도 작은 외경을 갖는 내측 제1 배럴부를 구비하고,
상기 외측 제1 배럴부는, 상하 방향에 있어서 스프링 기능을 발휘하는 외측제1 스프링부를 구비하고,
상기 내측 제1 배럴부는, 상하 방향에 있어서 스프링 기능을 발휘하는 내측제1 스프링부를 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브.
제1항에 있어서,
상기 배럴부에 삽입되는 상기 제2 플런저부의 상단부는, 상기 제2 배럴부에 구비되는 상기 제2 스프링부의 하단부보다도 상하 방향의 상방에 위치하는 것을 특징으로 하는 프로브.
제1 접촉 대상과 제2 접촉 대상을 전기적으로 접속하는 복수의 프로브를 구비하는 전기적 접속 장치이며,
상기 프로브는,
상하 방향으로 연장되는 통상의 배럴부와,
일부가 상기 배럴부의 일단에서 삽입되고, 상기 제1 접촉 대상에 전기적으로 접촉하는 제1 플런저부와,
일부가 상기 배럴부의 타단에서 삽입되고, 상기 제2 접촉 대상에 전기적으로 접촉하는 제2 플런저부를 구비하고,
상기 배럴부는,
소정의 내경을 갖는 제1 배럴부와,
상기 제1 배럴부의 내측에 배치되고, 상기 소정의 내경보다도 작은 외경을 갖는 제2 배럴부를 구비하고,
상기 제1 배럴부는, 상하 방향에 있어서 스프링 기능을 발휘하는 제1 스프링부를 구비하고,
상기 제2 배럴부는, 상하 방향에 있어서 스프링 기능을 발휘하는 제2 스프링 부를 구비하고,
상기 제1 플랜저부는, 상기 제1 배럴부의 내경보다도 큰 치수의 본체 부분을 가지는 것을 특징으로 하는 전기적 접속 장치.