JP2016142644A - 電気的接続装置およびポゴピン - Google Patents
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 12
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 14
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 5
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 67
- 238000012360 testing method Methods 0.000 abstract description 17
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 15
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000003351 stiffener Substances 0.000 description 1
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
【解決手段】ポゴピン100は、半導体ウェハ28上のICへの接触端子111および接触端子111と同軸に設けられた円柱状のプランジャ本体部112を有するプランジャ部110と、プランジャ部110の外周側に設けられたバレル部120とを備え、バレル部120は、接触端子111の軸方向に伸縮自在に設けられた第1の弾性コイル122、第2の弾性コイル124、および第1の弾性コイル122と第2の弾性コイル124との間に止め部材127が設けられたバレル本体部123を有し、プランジャ部110は、第1の弾性コイル122および第2の弾性コイル124がそれぞれ所定の長さだけ弾性圧縮したときに、止め部材127が接触する止め受け部材113を有する。
【選択図】図4
Description
図1は、本発明の実施形態1である電気的接続装置を含む全体構造を示した図であり、図2は、本発明の実施形態1である電気的接続装置により半導体ウェハ上のICの電気的試験前の状態を模式的に示した図であり、図3は、本発明の実施形態1である電気的接続装置により半導体ウェハ上のICの電気的試験中の状態を模式的に示した図である。
その後、本発明の実施形態1である電気的接続装置1が備えるポゴピン100の弾性力線203は、オーバードライブ値が“100” (μm)に達した状態、すなわち図4(b)に示した止め受け部材113が止め部材127に接触した状態から以降は、傾きS2で上昇する。
なお、比較のため、図5における弾性力線201は、第1の弾性コイル122のみを有するポゴピンにおける弾性力を示しており、弾性力線202は、第2の弾性コイル124のみを有するポゴピンにおける弾性力を示しており、弾性力線205は、止め受け部材113や止め部材127を設けることなく単純に第1の弾性コイル122と第2の弾性コイル124とを直列に接続したポゴピンの弾性力を示している。
本発明の実施形態1である電気的接続装置1では、バネ定数が小さい(バネ定数:k1)第1の弾性コイル122と、バネ定数が大きい(バネ定数:k2)第2の弾性コイル124とを直列に配置したが、これに限らず、ばね定数が同一の弾性コイルを用いるようにしてもよい。
その後、本発明の実施形態2のポゴピン100の弾性力202は、オーバードライブ値が“100” (μm)に達した状態、すなわち図4(b)に示した止め受け部材113が止め部材127に接触した状態から以降は、所定の傾きS4で上昇する。
なお、比較のため、図6における弾性力線301は、第1の弾性コイル122のみを有するポゴピンにおける弾性力を示しており、弾性力線302は、第2の弾性コイル124のみを有するポゴピンにおける弾性力を示している。第2の実施形態では、第1の弾性コイル122と第2の弾性コイル124のばね定数が同一であるので、弾性力線301,302と同一の直線となっている。弾性力線305は、止め受け部材113や止め部材127を設けることなく単純に第1の弾性コイル122と第2の弾性コイル124とを直列に接続したポゴピンの弾性力を示している。
本発明の実施形態1である電気的接続装置1では、第1の弾性コイル122と、第2の弾性コイル124との2つの弾性コイルを直列に配置したが、これに限らず、3つ以上の弾性コイルを用いるようにしてもよい。
本発明の実施形態1である電気的接続装置1では、プランジャ部110の接触端子111に止め受け部材113を備えていたが、これに限らず、プランジャ部のプランジャ本体部に止め受け部材を備えるようにしてもよい。
11…テスタ
12…支持部材
14…配線基板
16…電気的接続部
17…接続支持部材
18…プローブ基板
19…支持部材
20…ホルダ
21…チャックトップ
22…ステージ機構
23…プローバベース
24…熱源
28…半導体ウェハ
100…ポゴピン
101…下端部
103…上端部
110,110a,110b…プランジャ部
111,111a,111b…接触端子
112,112b…プランジャ本体部
113,114…止め受け部材
120,120a,120b…バレル部
121,121b…固定部
122…第1の弾性コイル
123,131…バレル本体部
124…第2の弾性コイル
125,125b…固定部
127,128…止め部材
132…第3の弾性コイル
141…ランド部
Claims (8)
- 表面に電極を有する被検査体を作業面上で保持し、前記電極とテスタとを電気的に接続する電気的接続装置であって、
一方の面に前記テスタへの接続部が設けられ、他方の面に前記接続部に接続されたランド部が設けられた配線基板と、
前記配線基板の前記被検査体側に配置され、前記ランド部に一方の端部が接触し他方の端部が前記被検査体側に突出するポゴピンが設けられたプローブ基板と、を備え、
前記ポゴピンは、
前記電極への接触端子および前記接触端子と同軸に設けられ前記ランド部へ接触するプランジャ本体部を有するプランジャ部と、前記プランジャ部の外周側に設けられたバレル部とを備え、
前記バレル部は、前記接触端子の軸方向に伸縮自在に設けられた複数の弾性体および前記複数の弾性体の間に1以上の止め部材が設けられたバレル本体部を有し、
前記プランジャ部は、前記複数の弾性体がそれぞれ所定の長さだけ弾性圧縮したときに前記1以上の止め部材のうち対応する止め部材に接触するように設けられた1以上の止め受け部材を有する
ことを特徴とする電気的接続装置。 - 前記1以上の止め受け部材は、
前記複数の弾性体がそれぞれ弾性圧縮するときに、前記接触端子側に設けられた弾性体から順に対応する止め部材に接触する位置に設けられた
ことを特徴とする請求項1記載の電気的接続装置。 - 前記複数の弾性体は、弾性コイルであり、
前記接触端子側に設けられた弾性コイルほどばね定数が小さくなるように配置された
ことを特徴とする請求項2記載の電気的接続装置。 - 前記1以上の止め受け部材は、前記プランジャ本体部に設けられている
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の電気的接続装置。 - 前記複数の弾性体は、螺旋方向が同一になるように設けられた弾性コイルである
ことを特徴とする請求項1記載の電気的接続装置。 - 前記複数の弾性体は、螺旋方向が交互に逆方向になるように設けられた弾性コイルである
ことを特徴とする請求項1記載の電気的接続装置。 - 前記バレル部は、前記複数の弾性体と前記バレル本体部とが一体成型された
ことを特徴とする請求項1記載の電気的接続装置。 - 表面に電極を有する被検査体を作業面上で保持し、前記電極とテスタとを電気的に接続する電気的接続装置であり、一方の面に前記テスタへの接続部が設けられ、他方の面に前記接続部に接続されたランド部が設けられた配線基板と、前記配線基板の前記被検査体側に配置されたプローブ基板とを備えた電気的接続装置に適用され、前記ランド部に一方の端部が接触し、他方の端部が前記被検査体側に突出するように前記プローブ基板に設けられるポゴピンであって、
前記電極への接触端子、および前記接触端子と同軸に設けられ前記ランド部に接触するプランジャ本体部を有するプランジャ部と、前記プランジャ部の外周側に設けられたバレル部とを備え、
前記バレル部は、前記接触端子の軸方向に伸縮自在に設けられた複数の弾性体および前記複数の弾性体の間に1以上の止め部材が設けられたバレル本体部を有し、
前記プランジャ部は、前記複数の弾性体がそれぞれ所定の長さだけ弾性圧縮したときに前記1以上の止め部材のうち対応する止め部材に接触するように設けられた1以上の止め受け部材を有する
ことを特徴とするポゴピン。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015018964A JP6317270B2 (ja) | 2015-02-03 | 2015-02-03 | 電気的接続装置およびポゴピン |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015018964A JP6317270B2 (ja) | 2015-02-03 | 2015-02-03 | 電気的接続装置およびポゴピン |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016142644A true JP2016142644A (ja) | 2016-08-08 |
JP6317270B2 JP6317270B2 (ja) | 2018-04-25 |
Family
ID=56570219
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015018964A Active JP6317270B2 (ja) | 2015-02-03 | 2015-02-03 | 電気的接続装置およびポゴピン |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6317270B2 (ja) |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170814 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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