JP2001235486A - 検査用プローブ、及び該検査用プローブを備えた検査装置 - Google Patents
検査用プローブ、及び該検査用プローブを備えた検査装置Info
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- H01R13/24—Contacts for co-operating by abutting resilient; resiliently-mounted
- H01R13/2407—Contacts for co-operating by abutting resilient; resiliently-mounted characterized by the resilient means
- H01R13/2421—Contacts for co-operating by abutting resilient; resiliently-mounted characterized by the resilient means using coil springs
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高周波電気信号を検出する際における電気信
号の減衰を低減する。 【解決手段】 検査用プローブＡ３の探針部１を被検査
部品の端子（不図示）に接触させた場合、該探針部１は
スプリング部Ｓ１の付勢力によって確実に接触される。
ここで、スプリング部Ｓ１には、外周側から内周側にか
けてコイル径が次第に小さくなる渦巻き状のものを用い
ているため、コイル径が均一なものに比べて全長を短く
できる。その結果、スプリング部のインピーダンスを小
さくでき、高周波電気信号を検出するに当たっても電気
信号の減衰を低減できる。
号の減衰を低減する。 【解決手段】 検査用プローブＡ３の探針部１を被検査
部品の端子（不図示）に接触させた場合、該探針部１は
スプリング部Ｓ１の付勢力によって確実に接触される。
ここで、スプリング部Ｓ１には、外周側から内周側にか
けてコイル径が次第に小さくなる渦巻き状のものを用い
ているため、コイル径が均一なものに比べて全長を短く
できる。その結果、スプリング部のインピーダンスを小
さくでき、高周波電気信号を検出するに当たっても電気
信号の減衰を低減できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、チップ部品、ＬＳ
Ｉ、ＬＣＤ等の電子部品の端子から電気信号を取り出し
て電気的導通検査などを行う際に用いる検査用プロー
ブ、及び該検査用プローブを備えた検査装置に関する。
Ｉ、ＬＣＤ等の電子部品の端子から電気信号を取り出し
て電気的導通検査などを行う際に用いる検査用プロー
ブ、及び該検査用プローブを備えた検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、チップ部品、ＬＳＩ，ＬＣＤ等の
電子部品の端子から電気信号を取り出して検査するため
に、ピン接触型の検査用プローブを備えた検査装置が用
いられている。
電子部品の端子から電気信号を取り出して検査するため
に、ピン接触型の検査用プローブを備えた検査装置が用
いられている。
【０００３】図８は、従来の検査装置の一例を示す図で
あるが、この図に示す検査装置Ｄ４は、孔部１０（以下
“保持孔１０”とする）が形成された絶縁性のブロック
Ｃ４を備えており、この保持孔１０には検査用プローブ
Ａ４が配置されている。そして、この検査用プローブＡ
４は、保持孔１０の内部に嵌着された導通性で円筒状の
スリーブ１１と、該スリーブ１１の内部に嵌着された導
電性のソケット１２と、その先端部が外部に突出するよ
うにソケット１２の内部に配置された導電性のプランジ
ャ１３と、このプランジャ１３の後端部とソケット１２
との間に縮設されたコイルスプリングＳ４と、によって
構成されている。なお、プランジャ１３はソケット１２
から抜けないような構造になっている（詳細説明は省
略）。また、保持孔１０は被検査部品（半導体、液晶ガ
ラス基板、プリント基板等）の複数の端子に対応した数
だけ多数形成されており、各保持孔１０には上述と同様
にスリーブ１１やソケット１２やプランジャ１３等がそ
れぞれ配置されている。
あるが、この図に示す検査装置Ｄ４は、孔部１０（以下
“保持孔１０”とする）が形成された絶縁性のブロック
Ｃ４を備えており、この保持孔１０には検査用プローブ
Ａ４が配置されている。そして、この検査用プローブＡ
４は、保持孔１０の内部に嵌着された導通性で円筒状の
スリーブ１１と、該スリーブ１１の内部に嵌着された導
電性のソケット１２と、その先端部が外部に突出するよ
うにソケット１２の内部に配置された導電性のプランジ
ャ１３と、このプランジャ１３の後端部とソケット１２
との間に縮設されたコイルスプリングＳ４と、によって
構成されている。なお、プランジャ１３はソケット１２
から抜けないような構造になっている（詳細説明は省
略）。また、保持孔１０は被検査部品（半導体、液晶ガ
ラス基板、プリント基板等）の複数の端子に対応した数
だけ多数形成されており、各保持孔１０には上述と同様
にスリーブ１１やソケット１２やプランジャ１３等がそ
れぞれ配置されている。
【０００４】また、図９は、従来の検査装置の他の例を
示す図であるが、この図に示す検査装置Ｄ５は、上述し
た従来例と同様に、保持孔１０の形成された絶縁性のブ
ロックＣ５を備えており、この保持孔１０には検査用プ
ローブＡ５が配置されている。そして、この検査用プロ
ーブＡ５は、保持孔１０の両開口部付近にて移動自在に
配置された一対のプランジャ２０，２０と、これらのプ
ランジャ２０，２０の間に縮設されたコイルスプリング
Ｓ５と、によって構成されている。なお、ブロックＣ５
の両面にはシート部材２２，２２がそれぞれ貼付されて
いて、プランジャ２０が保持孔１０から抜けないような
構造になっている（詳細説明は省略）。
示す図であるが、この図に示す検査装置Ｄ５は、上述し
た従来例と同様に、保持孔１０の形成された絶縁性のブ
ロックＣ５を備えており、この保持孔１０には検査用プ
ローブＡ５が配置されている。そして、この検査用プロ
ーブＡ５は、保持孔１０の両開口部付近にて移動自在に
配置された一対のプランジャ２０，２０と、これらのプ
ランジャ２０，２０の間に縮設されたコイルスプリング
Ｓ５と、によって構成されている。なお、ブロックＣ５
の両面にはシート部材２２，２２がそれぞれ貼付されて
いて、プランジャ２０が保持孔１０から抜けないような
構造になっている（詳細説明は省略）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、被検査部品
の電気的導通検査などを行う場合、高周波の電流が検査
用プローブＡ４，Ａ５に流れる場合もあるが、従来のコ
イルスプリングＳ４，Ｓ５は３〜５mmと長くインピーダ
ンスが大きかったため、端子からの電気信号が減衰して
しまうという問題があった。
の電気的導通検査などを行う場合、高周波の電流が検査
用プローブＡ４，Ａ５に流れる場合もあるが、従来のコ
イルスプリングＳ４，Ｓ５は３〜５mmと長くインピーダ
ンスが大きかったため、端子からの電気信号が減衰して
しまうという問題があった。
【０００６】また、上述した検査用プローブＡ４，Ａ５
の場合、そのプランジャ１３，２０の先端部が尖ってい
たため、平坦な端子からしか電気信号を取り出すことが
できず、例えば図１０に示すようなハンダボール３０を
有する基板３１から電気信号を取り出すことはできなか
った。
の場合、そのプランジャ１３，２０の先端部が尖ってい
たため、平坦な端子からしか電気信号を取り出すことが
できず、例えば図１０に示すようなハンダボール３０を
有する基板３１から電気信号を取り出すことはできなか
った。
【０００７】そこで、本発明は、電気信号を減衰させな
い状態で取り出すことのできる検査用プローブを提供す
ることを目的とするものである。
い状態で取り出すことのできる検査用プローブを提供す
ることを目的とするものである。
【０００８】また、本発明は、ハンダボールから電気信
号を取り出すことのできる検査用プローブを提供するこ
とを目的とするものである。
号を取り出すことのできる検査用プローブを提供するこ
とを目的とするものである。
【０００９】さらに、本発明は、電気信号を減衰させな
い状態で取り出すことのでき、或いはハンダボールから
電気信号を取り出すことのできる検査装置を提供するこ
とを目的とするものである。
い状態で取り出すことのでき、或いはハンダボールから
電気信号を取り出すことのできる検査装置を提供するこ
とを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は上記事情を考慮
してなされたものであり、請求項１に係る発明は、スプ
リング部の付勢力によって被検査部品の端子に接触され
て該端子から電気信号を取り出す検査用プローブにおい
て、前記スプリング部が、外周側から内周側にかけてコ
イル径が次第に小さくなる渦巻き状のスプリングであ
る、ことを特徴とする。
してなされたものであり、請求項１に係る発明は、スプ
リング部の付勢力によって被検査部品の端子に接触され
て該端子から電気信号を取り出す検査用プローブにおい
て、前記スプリング部が、外周側から内周側にかけてコ
イル径が次第に小さくなる渦巻き状のスプリングであ
る、ことを特徴とする。
【００１１】請求項２に係る発明は、請求項１に係る発
明において、前記スプリング部が、外周側が低くて内周
側になる程高くなる略円錐形であることを特徴とする。
明において、前記スプリング部が、外周側が低くて内周
側になる程高くなる略円錐形であることを特徴とする。
【００１２】請求項３に係る発明は、請求項２に係る発
明において、前記スプリング部の略中央部に探針部が連
結され、かつ、該スプリング部の付勢力によって前記探
針部が前記端子に接触される、ことを特徴とする。
明において、前記スプリング部の略中央部に探針部が連
結され、かつ、該スプリング部の付勢力によって前記探
針部が前記端子に接触される、ことを特徴とする。
【００１３】請求項４に係る発明は、請求項１に係る発
明において、前記スプリング部が、外周側から内周側に
かけてほぼ均一な高さである、ことを特徴とする。
明において、前記スプリング部が、外周側から内周側に
かけてほぼ均一な高さである、ことを特徴とする。
【００１４】請求項５に係る発明は、請求項１乃至４に
係る発明において、前記スプリング部における線材自体
の断面形状が略長方形又は略楕円形である、ことを特徴
とする。
係る発明において、前記スプリング部における線材自体
の断面形状が略長方形又は略楕円形である、ことを特徴
とする。
【００１５】請求項６に係る発明は、請求項１乃至５の
いずれか１項に記載の検査用プローブと、該検査用プロ
ーブを支持する支持基板と、を備え、かつ、該検査用プ
ローブを被検査部品の端子に接触させて該端子から電気
信号を取り出す、ことを特徴とする検査装置にある。
いずれか１項に記載の検査用プローブと、該検査用プロ
ーブを支持する支持基板と、を備え、かつ、該検査用プ
ローブを被検査部品の端子に接触させて該端子から電気
信号を取り出す、ことを特徴とする検査装置にある。
【００１６】請求項７に係る発明は、請求項６に係る発
明において、一対の検査用プローブが互いに背中合わせ
になるように前記支持基板に支持された、ことを特徴と
する。
明において、一対の検査用プローブが互いに背中合わせ
になるように前記支持基板に支持された、ことを特徴と
する。
【００１７】請求項８に係る発明は、請求項４に記載の
検査用プローブと、前記スプリング部の変形を許容する
ように該スプリング部の外周側を保持する保持部材と、
該保持部材を介して前記検査用プローブを支持する支持
基板と、を備えた検査装置にある。
検査用プローブと、前記スプリング部の変形を許容する
ように該スプリング部の外周側を保持する保持部材と、
該保持部材を介して前記検査用プローブを支持する支持
基板と、を備えた検査装置にある。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、図１乃至図７を参照して、
本発明の実施の形態について説明する。
本発明の実施の形態について説明する。
【００１９】本発明に係る検査用プローブＡ１は、例え
ば図１に示すようにスプリング部Ｓ１を備えており、図
１１に示すように、該スプリング部Ｓ１の付勢力によっ
て被検査部品３２の端子３３に接触されることにより該
端子から電気信号を取り出すようになっており、該スプ
リング部Ｓ１には、同図（ｂ）に示すように、外周側か
ら内周側にかけてコイル径が次第に小さくなる渦巻き状
のスプリングを用いている。
ば図１に示すようにスプリング部Ｓ１を備えており、図
１１に示すように、該スプリング部Ｓ１の付勢力によっ
て被検査部品３２の端子３３に接触されることにより該
端子から電気信号を取り出すようになっており、該スプ
リング部Ｓ１には、同図（ｂ）に示すように、外周側か
ら内周側にかけてコイル径が次第に小さくなる渦巻き状
のスプリングを用いている。
【００２０】ところで、図１に示すスプリング部Ｓ１
は、外周側が低くて内周側になる程高くなる略円錐形を
しているが、これに限られるものではなく、図２に符号
Ｓ２で示すような、外周側から内周側にかけてほぼ均一
な高さのゼンマイ状のものを用いても良い。
は、外周側が低くて内周側になる程高くなる略円錐形を
しているが、これに限られるものではなく、図２に符号
Ｓ２で示すような、外周側から内周側にかけてほぼ均一
な高さのゼンマイ状のものを用いても良い。
【００２１】ここで、図１（ａ）に示すスプリング部Ｓ
１では、略中央部（円錐の頂上部であって符号Ｂに示す
部分）は単に突出されているだけであるが、図３に示す
ように、スプリング部Ｓ１の略中央部に探針部１を連結
し、該スプリング部Ｓ１の付勢力によって前記探針部１
が前記端子（被検査部品の端子）に接触されるようにし
ても良い。
１では、略中央部（円錐の頂上部であって符号Ｂに示す
部分）は単に突出されているだけであるが、図３に示す
ように、スプリング部Ｓ１の略中央部に探針部１を連結
し、該スプリング部Ｓ１の付勢力によって前記探針部１
が前記端子（被検査部品の端子）に接触されるようにし
ても良い。
【００２２】ここで、図１乃至図３に示すスプリング部
Ｓ１，Ｓ２の断面形状（スプリング部全体の断面形状で
はなく、スプリング線材自体の断面形状を意味する。以
下同じ。）は略長方形であるが、もちろんこれに限られ
るものではなく、略楕円形であっても良い。
Ｓ１，Ｓ２の断面形状（スプリング部全体の断面形状で
はなく、スプリング線材自体の断面形状を意味する。以
下同じ。）は略長方形であるが、もちろんこれに限られ
るものではなく、略楕円形であっても良い。
【００２３】ところで、図１乃至図３に示すいずれかの
検査用プローブＡ１，Ａ２，Ａ３と、該検査用プローブ
Ａ１，Ａ２，Ａ３を支持する支持基板（図４の符号Ｃ
１、図５の符号Ｃ２、図６の符号Ｃ３参照）と、によっ
て検査装置（図４の符号Ｄ１、図５の符号Ｄ２、図６の
符号Ｄ３参照）を構成し、検査用プローブＡ１，Ａ２，
Ａ３を被検査部品の端子に接触させて該端子から電気信
号を取り出して被検査部品の電気的導通検査などを行う
ようにすると良い。
検査用プローブＡ１，Ａ２，Ａ３と、該検査用プローブ
Ａ１，Ａ２，Ａ３を支持する支持基板（図４の符号Ｃ
１、図５の符号Ｃ２、図６の符号Ｃ３参照）と、によっ
て検査装置（図４の符号Ｄ１、図５の符号Ｄ２、図６の
符号Ｄ３参照）を構成し、検査用プローブＡ１，Ａ２，
Ａ３を被検査部品の端子に接触させて該端子から電気信
号を取り出して被検査部品の電気的導通検査などを行う
ようにすると良い。
【００２４】図４は、そのような検査装置の構造の一例
を示す図であるが、同図に示す検査装置Ｄ１では、配線
を有するプリント基板が支持基板Ｃ１として用いられて
おり、検査用プローブＡ３から取り入れた電気信号を不
図示の装置に送るように構成されている。そして、検査
用プローブＡ３は支持基板Ｃ１の一側表面に取り付けら
れており、該支持基板Ｃ１の該表面には、検査用プロー
ブＡ３を囲むようにシート状部材２が貼着されている。
この場合、シート状部材２は、検査用プローブＡ３の先
端が突出するような厚さに設定する必要がある。また、
同図に示す検査装置Ｄ１では、シート状部材２の開口縁
部（符号２ａで示す部分）が内側に突出されていて検査
用プローブＡ３の抜け止めが図られている。
を示す図であるが、同図に示す検査装置Ｄ１では、配線
を有するプリント基板が支持基板Ｃ１として用いられて
おり、検査用プローブＡ３から取り入れた電気信号を不
図示の装置に送るように構成されている。そして、検査
用プローブＡ３は支持基板Ｃ１の一側表面に取り付けら
れており、該支持基板Ｃ１の該表面には、検査用プロー
ブＡ３を囲むようにシート状部材２が貼着されている。
この場合、シート状部材２は、検査用プローブＡ３の先
端が突出するような厚さに設定する必要がある。また、
同図に示す検査装置Ｄ１では、シート状部材２の開口縁
部（符号２ａで示す部分）が内側に突出されていて検査
用プローブＡ３の抜け止めが図られている。
【００２５】なお、同図に示す検査用プローブＡ３は、
図３に示した探針部１を有するタイプであるが、もちろ
んこれに限られるものではなく、図１に示した探針部を
有さないタイプのものＡ１を用いても良い。また、図４
には検査用プローブＡ３は１つしか示されていないが、
もちろんこれに限られるものではなく、被検査部品の端
子に応じた数及び位置に複数配置すると良い。例えば、
スプリング部Ｓ１の外径（最大のコイル径）Φmax を
０．２mmとし、ピッチを０．５mm以下にすれば半導体用
キャリア基板に適用可能である。さらに、上述したシー
ト状部材２には絶縁性のものを用いると良い。
図３に示した探針部１を有するタイプであるが、もちろ
んこれに限られるものではなく、図１に示した探針部を
有さないタイプのものＡ１を用いても良い。また、図４
には検査用プローブＡ３は１つしか示されていないが、
もちろんこれに限られるものではなく、被検査部品の端
子に応じた数及び位置に複数配置すると良い。例えば、
スプリング部Ｓ１の外径（最大のコイル径）Φmax を
０．２mmとし、ピッチを０．５mm以下にすれば半導体用
キャリア基板に適用可能である。さらに、上述したシー
ト状部材２には絶縁性のものを用いると良い。
【００２６】図５は、本発明に係る検査装置の構造の他
の例を示す図である。同図に示す検査装置Ｄ２では、互
いに背中合わせになるようにして一対の検査用プローブ
Ａ３，Ａ３が支持基板Ｃ２に支持されている。なお、図
に示す検査装置Ｄ２では、支持基板Ｃ２には貫通孔３が
形成されていて、一対の検査用プローブＡ３，Ａ３はそ
の貫通孔３の内部に配置されている。なお、これらの検
査用プローブＡ３，Ａ３は、支持基板Ｃ２から外れない
ように固定されている。この場合、支持基板Ｃ２は、検
査用プローブＡ３，Ａ３の先端が突出するような厚さに
設定する必要がある。また、図では検査用プローブＡ
３，Ａ３は一対のみ示されているだけであるが、もちろ
んこれに限られるものではなく、被検査部品の端子に応
じた数及び位置に複数対配置すると良い。
の例を示す図である。同図に示す検査装置Ｄ２では、互
いに背中合わせになるようにして一対の検査用プローブ
Ａ３，Ａ３が支持基板Ｃ２に支持されている。なお、図
に示す検査装置Ｄ２では、支持基板Ｃ２には貫通孔３が
形成されていて、一対の検査用プローブＡ３，Ａ３はそ
の貫通孔３の内部に配置されている。なお、これらの検
査用プローブＡ３，Ａ３は、支持基板Ｃ２から外れない
ように固定されている。この場合、支持基板Ｃ２は、検
査用プローブＡ３，Ａ３の先端が突出するような厚さに
設定する必要がある。また、図では検査用プローブＡ
３，Ａ３は一対のみ示されているだけであるが、もちろ
んこれに限られるものではなく、被検査部品の端子に応
じた数及び位置に複数対配置すると良い。
【００２７】図６は、本発明に係る検査装置の構造のさ
らに他の例を示す図である。同図に示す検査装置Ｄ３
は、図２に示した検査用プローブＡ２を備えており、該
プローブＡ２は保持部材４を介して支持基板Ｃ３に取り
付けられている。ここで、図６に示す保持部材４は円筒
状のパイプ部材であるが、もちろんこれに限られるもの
ではなく、スプリング部Ｓ２の変形（図６（ｂ）に示す
ような変形）を許容するものであってスプリング部Ｓ２
の外周側を保持するものであれば他の形状であっても良
い。
らに他の例を示す図である。同図に示す検査装置Ｄ３
は、図２に示した検査用プローブＡ２を備えており、該
プローブＡ２は保持部材４を介して支持基板Ｃ３に取り
付けられている。ここで、図６に示す保持部材４は円筒
状のパイプ部材であるが、もちろんこれに限られるもの
ではなく、スプリング部Ｓ２の変形（図６（ｂ）に示す
ような変形）を許容するものであってスプリング部Ｓ２
の外周側を保持するものであれば他の形状であっても良
い。
【００２８】ここで、上述したスプリング部Ｓ１，Ｓ２
の外径（最大のコイル径）Φmax は、必要に応じた大き
さに設定すれば良い。例えば、被検査部品の端子３３，
３０の幅寸法よりも大きくしても良く、同程度にしても
良い（詳細は後述）。
の外径（最大のコイル径）Φmax は、必要に応じた大き
さに設定すれば良い。例えば、被検査部品の端子３３，
３０の幅寸法よりも大きくしても良く、同程度にしても
良い（詳細は後述）。
【００２９】また、上述したスプリング部Ｓ１，Ｓ２に
おける線材と線材との間の間隙Δ（以下“線材間隙Δ”
とする）や、線材の幅ｗ（以下“線材幅ｗ”とする）
も、必要に応じた寸法にすれば良い。例えば、該線材間
隙Δをほぼゼロにして、スプリング部Ｓ１，Ｓ２の各部
が互いに接触し合うようにしても良い（詳細は後述）。
おける線材と線材との間の間隙Δ（以下“線材間隙Δ”
とする）や、線材の幅ｗ（以下“線材幅ｗ”とする）
も、必要に応じた寸法にすれば良い。例えば、該線材間
隙Δをほぼゼロにして、スプリング部Ｓ１，Ｓ２の各部
が互いに接触し合うようにしても良い（詳細は後述）。
【００３０】さらに、スプリング部Ｓ１，Ｓ２のバネ力
の大きさや、スプリング部Ｓ１，Ｓ２をどの程度の押し
付け力で端子３３，３０に押し付けるかも、適宜調整す
れば良い（詳細は後述）。
の大きさや、スプリング部Ｓ１，Ｓ２をどの程度の押し
付け力で端子３３，３０に押し付けるかも、適宜調整す
れば良い（詳細は後述）。
【００３１】次に、本実施の形態の作用効果について説
明する。
明する。
【００３２】いま、図７に示すような、コイル径Φが均
一なコイルスプリングＳ４を検査用プローブに用いた場
合、その自然長Ｈ１は、Ｈ１＝線厚ｄ１×ピッチ数ｎ＋
コイルスプリングのストロークとなる。これに対して、
本実施の形態に係る検査用プローブＡ１，Ａ３のスプリ
ング部Ｓ１は、渦巻き状であって隣り合う部位（例えば
図１の符号５及び６参照）は重なり合わないため、その
自然長Ｈ２は、図１（ａ）に示すように、Ｈ２＝線厚ｄ
２＋スプリング部のストロークＧとなり、図７に示すコ
イルスプリングＳ４と比べて、ストロークが等しい場合
であってもその自然長を短くできる。その結果、スプリ
ング部Ｓ１の抵抗ＲやインダクタンスＬと共にインピー
ダンスＺが小さくなり、高周波電気信号であっても正確
に検査できる。
一なコイルスプリングＳ４を検査用プローブに用いた場
合、その自然長Ｈ１は、Ｈ１＝線厚ｄ１×ピッチ数ｎ＋
コイルスプリングのストロークとなる。これに対して、
本実施の形態に係る検査用プローブＡ１，Ａ３のスプリ
ング部Ｓ１は、渦巻き状であって隣り合う部位（例えば
図１の符号５及び６参照）は重なり合わないため、その
自然長Ｈ２は、図１（ａ）に示すように、Ｈ２＝線厚ｄ
２＋スプリング部のストロークＧとなり、図７に示すコ
イルスプリングＳ４と比べて、ストロークが等しい場合
であってもその自然長を短くできる。その結果、スプリ
ング部Ｓ１の抵抗ＲやインダクタンスＬと共にインピー
ダンスＺが小さくなり、高周波電気信号であっても正確
に検査できる。
【００３３】また、スプリング部の断面形状を円形にし
た場合には、スプリング部の外径（最大のコイル径）Φ
max が小さいとバネ圧が小さくなり過ぎて使用に耐え
ず、スプリング部の外径Φmax を大きくすると（バネ圧
は大きくなるものの）検査用プローブを狭ピッチで並べ
ることができず、端子が狭ピッチに形成された被検査部
品を検査することができないという問題があった。しか
し、上述のようにスプリング部Ｓ１，Ｓ２の断面形状を
略長方形や略楕円形にした場合には、スプリング部の外
径Φmax を小さくしたままでバネ圧を大きくすることが
でき、そのような被検査部品（端子が狭ピッチで形成さ
れた部品）の検査が可能となる。
た場合には、スプリング部の外径（最大のコイル径）Φ
max が小さいとバネ圧が小さくなり過ぎて使用に耐え
ず、スプリング部の外径Φmax を大きくすると（バネ圧
は大きくなるものの）検査用プローブを狭ピッチで並べ
ることができず、端子が狭ピッチに形成された被検査部
品を検査することができないという問題があった。しか
し、上述のようにスプリング部Ｓ１，Ｓ２の断面形状を
略長方形や略楕円形にした場合には、スプリング部の外
径Φmax を小さくしたままでバネ圧を大きくすることが
でき、そのような被検査部品（端子が狭ピッチで形成さ
れた部品）の検査が可能となる。
【００３４】さらに、スプリング部Ｓ１，Ｓ２の断面形
状を略長方形や略楕円形にすると共に線材間隙Δをほぼ
ゼロに小さくし、スプリング部Ｓ１，Ｓ２の各部が互い
に接触し合うようにした場合には、端子からの電気信号
は最短経路で伝達されることとなり、高周波の信号であ
っても正確に検査することができる。
状を略長方形や略楕円形にすると共に線材間隙Δをほぼ
ゼロに小さくし、スプリング部Ｓ１，Ｓ２の各部が互い
に接触し合うようにした場合には、端子からの電気信号
は最短経路で伝達されることとなり、高周波の信号であ
っても正確に検査することができる。
【００３５】またさらに、円錐形のスプリング部Ｓ１を
有する検査用プローブＡ１において、線材間隙Δを小さ
くすると共に該プローブＡ１を端子３３に十分に押し付
けた場合には（図１１参照）、接触面積が大きくなっ
て、単位面積当たりの押圧力が減少して端子３３の傷付
きが防止されると共に、接触抵抗やインピーダンス自体
が激減されて高周波電気信号であっても正確に検査でき
る。
有する検査用プローブＡ１において、線材間隙Δを小さ
くすると共に該プローブＡ１を端子３３に十分に押し付
けた場合には（図１１参照）、接触面積が大きくなっ
て、単位面積当たりの押圧力が減少して端子３３の傷付
きが防止されると共に、接触抵抗やインピーダンス自体
が激減されて高周波電気信号であっても正確に検査でき
る。
【００３６】また、図８や図９に示す検査用プローブＡ
４，Ａ５の場合、そのプランジャ１３，２０の先端部が
尖っていたため、平坦な端子からしか電気信号を取り出
すことができなかったが、図６に示すように検査装置を
構成することにより、ハンダボール３０のような突状の
端子からも電気信号を取り出すことができ、検査用プロ
ーブの適用範囲が広くなる。
４，Ａ５の場合、そのプランジャ１３，２０の先端部が
尖っていたため、平坦な端子からしか電気信号を取り出
すことができなかったが、図６に示すように検査装置を
構成することにより、ハンダボール３０のような突状の
端子からも電気信号を取り出すことができ、検査用プロ
ーブの適用範囲が広くなる。
【００３７】かかる検査装置Ｄ３においては、スプリン
グ部Ｓ２は、ハンダボール３０に押し付けられると該ボ
ール３０の形状に従って変形し、大きな接触面でハンダ
ボール３０と接触するので、ハンダボール３０の表面を
傷付けることも無い。この場合、図６（ｂ）に示すよう
に、ハンダボール３０がスプリング部Ｓ２の外周部（同
図に符号Ｋで示す部分）と接触するようにした場合に
は、ハンダボール３０からの電気信号は該外周部Ｋ及び
保持部材４を通って最短経路で支持基板Ｃ３に伝達され
ることとなり、電気抵抗が低減されて、高周波の信号で
あっても正確に検査することができる。
グ部Ｓ２は、ハンダボール３０に押し付けられると該ボ
ール３０の形状に従って変形し、大きな接触面でハンダ
ボール３０と接触するので、ハンダボール３０の表面を
傷付けることも無い。この場合、図６（ｂ）に示すよう
に、ハンダボール３０がスプリング部Ｓ２の外周部（同
図に符号Ｋで示す部分）と接触するようにした場合に
は、ハンダボール３０からの電気信号は該外周部Ｋ及び
保持部材４を通って最短経路で支持基板Ｃ３に伝達され
ることとなり、電気抵抗が低減されて、高周波の信号で
あっても正確に検査することができる。
【００３８】特に、このスプリング部Ｓ２において、線
材間隙Δ及び線材幅ｗの両方を小さくした場合には、ハ
ンダボール３０に接触する部分におけるスプリング部Ｓ
２の巻き数が多くなってハンダボール３０との接触面積
が大きくなり、ハンダボール３０の傷付きが防止される
と共に、検査用プローブＡ２自体の電気抵抗を小さくし
て、高周波電気信号であっても正確に検査できる。
材間隙Δ及び線材幅ｗの両方を小さくした場合には、ハ
ンダボール３０に接触する部分におけるスプリング部Ｓ
２の巻き数が多くなってハンダボール３０との接触面積
が大きくなり、ハンダボール３０の傷付きが防止される
と共に、検査用プローブＡ２自体の電気抵抗を小さくし
て、高周波電気信号であっても正確に検査できる。
【００３９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
ストローク長を確保した状態でスプリング部を短くで
き、高周波電気信号であっても正確に検査できる。
ストローク長を確保した状態でスプリング部を短くで
き、高周波電気信号であっても正確に検査できる。
【００４０】また、ハンダボールのような突状の端子か
らも電気信号を取り出すことができ、適用範囲を広げる
ことができる。その場合、端子の表面を傷付けることも
無い。
らも電気信号を取り出すことができ、適用範囲を広げる
ことができる。その場合、端子の表面を傷付けることも
無い。
【図１】本発明に係る検査用プローブの一実施の形態を
示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図。
示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図。
【図２】本発明に係る検査用プローブの他の実施の形態
を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）のＥ
−Ｅ断面図。
を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）のＥ
−Ｅ断面図。
【図３】本発明に係る検査用プローブのさらに他の実施
の形態を示す側面図。
の形態を示す側面図。
【図４】本発明に係る検査装置の詳細構造を示す断面
図。
図。
【図５】本発明に係る検査装置の詳細構造を示す断面
図。
図。
【図６】本発明に係る検査装置の詳細構造を示す断面
図。
図。
【図７】本発明の作用効果を説明するための図。
【図８】従来の検査装置の一例を示す図。
【図９】従来の検査装置の他の例を示す図。
【図１０】ハンダボールを有する基板を示す図。
【図１１】本発明に係る検査装置を用いて検査している
様子を示す図。
様子を示す図。
１ 探針部 ４ 保持部材 ３０ ハンダボール（被検査部品の端子） Ａ１ 検査用プローブ Ａ２ 検査用プローブ Ａ３ 検査用プローブ Ｃ１ 支持基板 Ｃ２ 支持基板 Ｃ３ 支持基板 Ｄ１ 検査装置 Ｄ２ 検査装置 Ｄ３ 検査装置 Ｓ１ スプリング部 Ｓ２ スプリング部
Claims (8)
- 【請求項１】 スプリング部の付勢力によって被検査部
品の端子に接触されて該端子から電気信号を取り出す検
査用プローブにおいて、 前記スプリング部が、外周側から内周側にかけてコイル
径が次第に小さくなる渦巻き状のスプリングである、 ことを特徴とする検査用プローブ。 - 【請求項２】 前記スプリング部が、外周側が低くて内
周側になる程高くなる略円錐形である、 ことを特徴とする請求項１に記載の検査用プローブ。 - 【請求項３】 前記スプリング部の略中央部に探針部が
連結され、かつ、 該スプリング部の付勢力によって前記探針部が前記端子
に接触される、 ことを特徴とする請求項２に記載の検査用プローブ。 - 【請求項４】 前記スプリング部が、外周側から内周側
にかけてほぼ均一な高さである、 ことを特徴とする請求項１に記載の検査用プローブ。 - 【請求項５】 前記スプリング部における線材自体の断
面形状が略長方形又は略楕円形である、 ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載
の検査用プローブ。 - 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の
検査用プローブと、 該検査用プローブを支持する支持基板と、を備え、か
つ、 該検査用プローブを被検査部品の端子に接触させて該端
子から電気信号を取り出す、ことを特徴とする検査装
置。 - 【請求項７】 一対の検査用プローブが互いに背中合わ
せになるように前記支持基板に支持された、 ことを特徴とする請求項６に記載の検査装置。 - 【請求項８】 請求項４に記載の検査用プローブと、 前記スプリング部の変形を許容するように該スプリング
部の外周側を保持する保持部材と、 該保持部材を介して前記検査用プローブを支持する支持
基板と、 を備えた検査装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000043644A JP2001235486A (ja) | 2000-02-21 | 2000-02-21 | 検査用プローブ、及び該検査用プローブを備えた検査装置 |
| KR1020000063431A KR20010083033A (ko) | 2000-02-21 | 2000-10-27 | 검사용 탐침 및 그 검사용 탐침을 구비한 검사장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000043644A JP2001235486A (ja) | 2000-02-21 | 2000-02-21 | 検査用プローブ、及び該検査用プローブを備えた検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001235486A true JP2001235486A (ja) | 2001-08-31 |
Family
ID=18566528
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000043644A Pending JP2001235486A (ja) | 2000-02-21 | 2000-02-21 | 検査用プローブ、及び該検査用プローブを備えた検査装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001235486A (ja) |
| KR (1) | KR20010083033A (ja) |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20050130456A1 (en) * | 2003-12-12 | 2005-06-16 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Spiral terminal and method of manufacturing the same |
| JP2006120511A (ja) * | 2004-10-22 | 2006-05-11 | Nec Corp | 回路基板間接続用コネクタ |
| US7219426B2 (en) | 2003-10-27 | 2007-05-22 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of manufacturing protruding-volute contact |
| JP2007287690A (ja) * | 2006-04-14 | 2007-11-01 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 電気接続用コネクタ及びこれを用いた電子装置 |
| JP2007287551A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Advanced Systems Japan Inc | リアルサイズパッケージソケット |
| JP2008084877A (ja) * | 2007-12-18 | 2008-04-10 | Fujitsu Component Ltd | コンタクト部材 |
| JP2009146817A (ja) * | 2007-12-17 | 2009-07-02 | Fujitsu Component Ltd | コンタクト部材 |
| US7819705B2 (en) | 2009-01-08 | 2010-10-26 | Fujitsu Component Limited | Contact member and connector including the contact member |
| KR101039389B1 (ko) | 2009-10-27 | 2011-06-08 | 주식회사 오킨스전자 | 코일타입 콘택트 핀 제작용 판재 및 이에 의해 제조되는 코일타입 콘택트 핀 |
| EP2403070A1 (de) * | 2010-07-03 | 2012-01-04 | Amphenol-Tuchel Electronics GmbH | Federkontakt |
| JP2013167616A (ja) * | 2012-02-14 | 2013-08-29 | Human Light Co Ltd | 上下接点構造を有するスプリングタイプのプローブピン、および上下接点構造を有するスプリングタイププローブピンの製造方法 |
| KR102133340B1 (ko) * | 2019-01-09 | 2020-07-14 | 주식회사 이노글로벌 | 테스트 소켓 |
| KR20230005593A (ko) * | 2021-07-01 | 2023-01-10 | 주식회사 아이에스시 | 검사용 소켓 |
| KR20230012152A (ko) * | 2021-07-15 | 2023-01-26 | 주식회사 아이에스시 | 검사용 소켓 |
| WO2023211659A1 (en) * | 2022-04-28 | 2023-11-02 | Microfabrica Inc. | Probes with planar unbiased spring elements for electronic component contact, methods for making such probes, and methods for using such probes |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100450976B1 (ko) * | 2002-12-04 | 2004-10-08 | 리노공업주식회사 | 검사용 탐침장치 |
| KR100952195B1 (ko) * | 2007-07-25 | 2010-04-15 | 한국기계연구원 | 동심원 좌굴을 이용한 수직형 프로브 및 그 제조 방법 |
| KR101288519B1 (ko) * | 2012-01-31 | 2013-07-26 | 박상량 | 달팽이형 포고핀 및 그 제조방법 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6419926A (en) * | 1987-07-14 | 1989-01-24 | Hitachi Metals Ltd | Switching power source |
| JPH09178772A (ja) * | 1995-12-26 | 1997-07-11 | Tokyo Kasoode Kenkyusho:Kk | スプリングプローブ |
| JP3326095B2 (ja) * | 1996-12-27 | 2002-09-17 | 日本発条株式会社 | 導電性接触子 |
| JP3165066B2 (ja) * | 1997-04-15 | 2001-05-14 | アルファテスト・コーポレーション | 管状ばねを持つ弾性コネクタ |
-
2000
- 2000-02-21 JP JP2000043644A patent/JP2001235486A/ja active Pending
- 2000-10-27 KR KR1020000063431A patent/KR20010083033A/ko not_active Application Discontinuation
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|---|---|---|---|---|
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| US7344382B2 (en) | 2003-12-12 | 2008-03-18 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Fine terminal, its manufacturing method, and contact sheet |
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| JP2007287690A (ja) * | 2006-04-14 | 2007-11-01 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 電気接続用コネクタ及びこれを用いた電子装置 |
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| US7559771B2 (en) | 2007-12-17 | 2009-07-14 | Fujitsu Component Limited | Contact member and connector including same |
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| KR101039389B1 (ko) | 2009-10-27 | 2011-06-08 | 주식회사 오킨스전자 | 코일타입 콘택트 핀 제작용 판재 및 이에 의해 제조되는 코일타입 콘택트 핀 |
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| KR20230005593A (ko) * | 2021-07-01 | 2023-01-10 | 주식회사 아이에스시 | 검사용 소켓 |
| KR102571582B1 (ko) | 2021-07-01 | 2023-08-28 | 주식회사 아이에스시 | 검사용 소켓 |
| KR20230012152A (ko) * | 2021-07-15 | 2023-01-26 | 주식회사 아이에스시 | 검사용 소켓 |
| KR102582796B1 (ko) | 2021-07-15 | 2023-09-26 | 주식회사 아이에스시 | 검사용 소켓 |
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