WO2021172061A1

WO2021172061A1 - 筒状体、接触端子、検査治具、および検査装置

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Publication number: WO2021172061A1
Application number: PCT/JP2021/005378
Authority: WO
Inventors: 憲宏太田
Original assignee: 日本電産リード株式会社
Priority date: 2020-02-26
Filing date: 2021-02-13
Publication date: 2021-09-02
Also published as: KR20220149908A; EP4113127A1; EP4113127A4; JPWO2021172061A1; CN115210581A; US20230349946A1; TW202132784A

Abstract

長手方向に延びて導電性を有する筒状体であって、前記筒状体は、前記筒状体の周面に螺旋状の切欠きが形成される第１ばね部と、前記筒状体の周面に螺旋状の切欠きが形成される第２ばね部と、前記第１ばね部と前記第２ばね部とに長手方向に挟まれて配置される第１胴部と、を有し、前記筒状体の長手方向中心から前記第１ばね部の長手方向内側端までの距離と、前記長手方向中心から前記第２ばね部の長手方向内側端までの距離とが等しく、前記第１ばね部の巻数と、前記第２ばね部の巻数とが等しく、前記第１ばね部は、巻き方向が第１方向である第１巻ばね部と、巻き方向が前記第１方向と逆方向の第２方向である第２巻ばね部と、を有する、筒状体。

Description

筒状体、接触端子、検査治具、および検査装置

本発明は、検査対象の検査に用いられる接触端子を組み立てるための筒状体に関する。

従来、検査対象に接触させる接触端子が知られている。このような接触端子は、ばね部が形成された筒状体に、導電性を有する棒状部材を挿入して構成される（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１９－１５５４２号公報

ここで、上記のようなばね部が形成された筒状体に棒状部材を挿入して接触端子を組み立てる際の組み立て性の向上が要望されている。　

上記状況に鑑み、本発明は、導体の旋回量を制御することが可能であり、且つ組み立て性を向上できる接触端子を実現する筒状体を提供することを目的とする。

本発明の例示的な筒状体は、長手方向に延びて導電性を有する。前記筒状体は、前記筒状体の周面に螺旋状の切欠きが形成される第１ばね部と、前記筒状体の周面に螺旋状の切欠きが形成される第２ばね部と、前記第１ばね部と前記第２ばね部とに長手方向に挟まれて配置される第１胴部と、を有する。　

前記筒状体の長手方向中心から前記第１ばね部の長手方向内側端までの距離と、前記長手方向中心から前記第２ばね部の長手方向内側端までの距離とが等しい。前記第１ばね部の巻数と、前記第２ばね部の巻数とが等しい。前記第１ばね部は、巻き方向が第１方向である第１巻ばね部と、巻き方向が前記第１方向と逆方向の第２方向である第２巻ばね部と、を有する。

本発明の例示的な筒状体によれば、導体の旋回量を制御することが可能となり、且つ接触端子の組み立て性を向上できる接触端子が実現できる。

図１は、本発明の例示的な実施形態に係る検査装置の全体構成を示す概略図である。図２は、本発明の例示的な実施形態に係る接触端子を示す側面図である。図３は、図２に示す接触端子に含まれる筒状体を示す側面図である。図４は、図１の一部構成を示す拡大図である。図５は、図３に示す筒状体の設計変更例を示す側面図である。図６は、第１比較例に係る筒状体を示す側面図である。図７は、第２比較例に係る筒状体を示す側面図である。図８は、第１巻ばね部と第２巻ばね部との境界を要部的に示す拡大図である。図９は、本発明の一変形例に係る筒状体を示す側面図である。

以下に本発明の例示的な実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下、接触端子の中心軸Ｊ（図２参照）に平行な方向を「軸方向」と称し、図面において、軸方向一方側をＸ１、軸方向他方側をＸ２として示す。また、中心軸Ｊ周りの方向を「周方向」と称する。　

＜１．検査装置の全体構成＞　本発明の例示的な実施形態に係る検査装置２５の全体構成について図１を用いて説明する。なお、図１において、軸方向一方Ｘ１側が下方となるように、接触端子２は検査装置２５に組み付けられる。　

図１に示す検査装置２５は、検査対象３０の電気的検査を行う。検査装置２５は、検査治具１０と、検査処理部１５と、を備える。検査治具１０は、例えば、いわゆるプローブカードとして構成される。　

検査対象３０は、例えば、シリコンなどの半導体基板に複数の回路が形成された半導体ウェハである。半導体ウェハは、ダイシングされることにより、上記回路の個々を有する半導体チップに個片化される。なお、検査対象３０は、半導体ウェハ以外にも例えば、半導体チップ、CSP(Chip size package)、WLP(Wafer Level Package)、FOWLP(Fan Out Wafer Level Package)または半導体素子等の電子部品とすることができる。　

また、検査対象３０は、基板としてもよい。この場合、検査対象３０は、例えば、プリント配線基板、ガラスエポキシ基板、フレキシブル基板、セラミック多層配線基板、半導体パッケージ用のパッケージ基板、インターポーザ基板、フィルムキャリア等の基板であってもよく、液晶ディスプレイ、EL(Electro-Luminescence)ディスプレイ、タッチパネルディスプレイ等のディスプレイ用の電極板、またはタッチパネル用の電極板であってもよい。　

また、EMIB(Embedded Multi-die Interconnect Bridge)と呼ばれるパッケージング技術による製品を検査対象３０としてもよい。EMIBでは、シリコンブリッジと呼ばれる小さなシリコン基板をパッケージ樹脂基板に埋め込み、シリコンブリッジの表面に微細且つ高密度な配線を形成することで、隣り合うシリコンダイをパッケージ樹脂基板に近接搭載する。　

図１に示すように、検査治具１０は、プローブヘッド１と、ピッチ変換ユニット４と、接続プレート５と、を備える。プローブヘッド１は、接触端子（プローブ）２と、支持部材３と、を有する。　

支持部材３は、複数本の棒状に形成される接触端子２を支持する。すなわち、検査治具１０は、複数の接触端子２と、複数の接触端子２を支持する支持部材３と、を備える。　

ピッチ変換ユニット４は、支持部材３の上方に配置され、支持部材３に固定される。接触端子２は、軸方向一方Ｘ１側に一端部２Ａを有し、軸方向他方Ｘ２側に他端部２Ｂを有する。他端部２Ｂは、ピッチ変換ユニット４の下端部に設けられる各第１電極４１（図４参照）と接続される。　

上記各第１電極４１は、ピッチ変換ユニット４内部に形成される不図示の配線部を介して、ピッチ変換ユニット４の上端部に形成される各第２電極（不図示）と導通される。ピッチ変換ユニット４は、接触端子２間の第１ピッチを上記第２電極間の第２ピッチへ変換する。第２ピッチは、第１ピッチよりも長い。ピッチ変換ユニット４は、例えば、MLO(Multi-Layer Organic)またはMLC(Multi-Layer Ceramic)等の多層配線基板などによって形成される。　

接続プレート５は、ピッチ変換ユニット４を着脱可能に構成される。接続プレート５には、上記第２電極と接続される不図示の複数の電極が形成される。接続プレート５の上記各電極は、例えば不図示のケーブルまたは接続端子等により検査処理部１５と電気的に接続される。　

検査処理部１５は、例えば電源回路、電圧計、電流計、およびマイクロコンピュータ等を備える。検査処理部１５は、不図示の駆動機構を制御して検査治具１０を移動させる。　

検査対象３０が例えば半導体ウェハである場合、検査対象３０において、ダイシング後に形成される半導体チップの個々に対応する回路ごとに、複数のパッドまたは複数のバンプ等の検査点が設定される。検査処理部１５は、検査対象３０に形成された複数の回路のうち一部の領域を検査領域として、検査領域内の各検査点と接触端子２が上下方向に対向する位置に検査治具１０を移動させる。このとき、検査治具１０は、接触端子２の一端部２Ａを検査対象３０側へ向けた状態である。　

そして、検査処理部１５は、検査治具１０を下方に移動させて、検査領域内の各検査点に接触端子２を接触させる。これにより、各検査点と検査処理部１５とが電気的に接続される。　

検査処理部１５は、上記の状態で各接触端子２を介して検査対象３０の各検査点に検査用の電流または電圧を供給し、各接触端子２から得られた電圧信号または電流信号に基づき、例えば回路パターンの断線または短絡等の検査対象３０の検査を実行する。または、検査処理部１５は、交流の電流または電圧を各検査点に供給することにより各接触端子２から得られた電圧信号または電流信号に基づき、検査対象３０のインピーダンスを測定してもよい。または、検査処理部１５は、様々なテストパターンを各検査点に供給することにより、所望の回路動作が行えているかを確認してもよい。　

すなわち、検査装置２５は、検査治具１０と、接触端子２を検査対象３０に設けられた検査点に接触させることにより得られる電気信号に基づき、検査対象３０の検査を行う検査処理部１５と、を備える。　

検査対象３０における検査領域内の検査が完了すると、検査処理部１５は、検査治具１０を上方に移動させ、新たな検査領域に対応した位置に検査治具１０を平行移動させ、検査治具１０を下方に移動させて新たな検査領域内の各検査点に接触端子２を接触させて検査を行う。このように、検査領域を順次変更しつつ検査を行うことで、検査対象３０全体の検査が行われる。　

なお、検査治具１０の位置は固定させ、検査対象３０を検査治具１０に対して移動させる構成としてもよい。　

＜２．接触端子の構成＞　以下、接触端子２の構成について、より詳細に説明する。図２は、接触端子２に荷重がかかっておらず、第１ばね部２０１および第２ばね部２０２が自然長状態である場合を示す。また、図３は、筒状体２０に導体２１を組み付けて接触端子２を組み立てる前の筒状体２０単体での状態を示す図である。　

接触端子２は、接触端子２の軸方向に延びて導電性を有する筒状体２０と、導電性を有する棒状の導体（プランジャー）２１と、を備える。導体２１は、例えばパラジウム合金などの導電性材により形成される。筒状体２０は、長手方向に延びる。当該長手方向は、接触端子２の軸方向と一致する。　

筒状体２０は、円筒状に形成され、例えば約２５～３００μｍの外径と、約１０～２５０μｍの内径とを有するニッケル或いはニッケル合金のチューブを用いて形成される。また、筒状体２０の内周面には、金メッキ等のメッキ層が形成されることが好ましい。さらに、筒状体２０の外周面を必要に応じて絶縁被覆してもよい。　

筒状体２０は、筒状体２０の周面に螺旋状の切欠き２０１１（図３）が形成される第１ばね部２０１と、筒状体２０の周面に螺旋状の切欠き２０２１が形成される第２ばね部２０２と、を有する。第２ばね部２０２は、第１ばね部２０１に対して軸方向他方Ｘ２側に配置される。　

筒状体２０は、第１ばね部２０１と第２ばね部２０２とに軸方向（長手方向）に挟まれて配置される第１胴部２０３を有する。第１胴部２０３は、第１ばね部２０１および第２ばね部２０２に連接される。第１胴部２０３は、螺旋状に形成されない筒状である。　

筒状体２０は、第１ばね部２０１の軸方向一方Ｘ１側に連接される第２胴部２０４と、第２ばね部２０２の軸方向他方Ｘ２側に連接される第３胴部２０５と、を有する。第２胴部２０４および第３胴部２０５は、螺旋状に形成されない筒状である。すなわち、第２胴部２０４は、第１ばね部２０１に対して第１胴部２０３側とは反対側に配置される。　

このような螺旋状体を有する筒状体を製造するには、例えば、芯材の外周にメッキにより金メッキ層を形成した後、形成された金メッキ層の外周に電鋳によりニッケル電鋳層を形成する。ニッケル電鋳層の外周にレジスト層を形成した後、レーザーで露光してレジスト層の一部を螺旋状に除去する。レジスト層をマスキング材としてエッチングを行い、螺旋状にレジスト層を除去した箇所のニッケル電鋳層を除去する。そして、レジスト層を除去した後、ニッケル電鋳層が螺旋状に除去された箇所の金メッキ層を除去し、金メッキ層をニッケル電鋳層の内周に残したまま芯材を除去して筒状体を形成する。　

導体２１は、筒状体２０より軸方向一方Ｘ１側に突出する突出部２１１と、突出部２１１の軸方向他方Ｘ２側に連接されて筒状体２０内部に配置される挿入部２１２と、を有する。　

突出部２１１は、軸方向一方Ｘ１側に先端部２１１Ａを有する。先端部２１１Ａは、後述するように検査対象３０の検査点と接触される。すなわち、導体２１は、検査対象３０に接触可能である。　

なお、図２の例では、先端部２１１Ａは、
円柱状としているが、これに限らず、例えば円錐状、円錐台状、または半球状などとしてもよい。　

図２に示す接触端子２を組み立てる際には、図３に示す筒状体２０の第２胴部２０４に導体２１の軸方向他方側端部２１Ｔ（図２）を挿入し、図２に示すように軸方向他方Ｘ２側端部２１Ｔが第３胴部２０５内部に位置するまで導体２１を軸方向他方Ｘ２側に押し込む。　

そして、挿入部２１２のうち第２胴部２０４内部に配置される箇所の一部を溶接により第２胴部２０４に固定させる。図２には、溶接により固定される部分である溶接部Ｗｄが図示される。接触端子２において溶接部Ｗｄの外径が最も太くなる。このようにして、導体２１は、筒状体２０の第２胴部２０４に固定される。なお、導体２１の筒状体２０への固定方法は、溶接に限らず、圧入またはカシメ等としてもよい。　

なお、筒状体２０の構成に関する詳細については、後述する。　

図４は、接触端子２を支持部材３により支持させた状態を示す図である。図４に示すように、支持部材３は、上側支持体３１と、中間支持体３２と、下側支持体３３と、を有する。ここでは、接触端子２が支持部材３により支持される構成について説明する。　

下側支持体３３は、厚み方向に貫通する貫通孔である支持孔３３Ａを有する。支持孔３３Ａの径は、第２胴部２０４の外径よりも細く、且つ第２胴部２０４の内径より太い。これにより、突出部２１１を支持孔３３Ａに挿入可能であり、且つ第２胴部２０４が下側支持体３３の上面３３１に接触することで接触端子２の脱落が防止される。　

中間支持体３２は、下側支持体３３よりも上方に配置され、支持孔３３Ａと同軸の貫通孔である支持孔３２Ａを有する。支持孔３２Ａの径は、溶接部Ｗｄの外径よりも若干太い。これにより、第１胴部２０３を支持孔３２Ａに挿入可能である。　

上側支持体３１は、中間支持体３２よりも上方に配置され、支持孔３２Ａと同軸の貫通孔である支持孔３１Ａを有する。支持孔３１Ａの径は、溶接部Ｗｄの外径よりも若干太い。これにより、第３胴部２０５を支持孔３１Ａに挿入可能である。なお、支持孔３１Ａ内部には導体２１の軸方向他方側端部２１Ｔが収容される。　

接触端子２を支持部材３により支持させる際には、突出部２１１を上方から支持孔３１Ａ、支持孔３２Ａ、および支持孔３３Ａに順に挿通させる。図４に示すように、接触端子２を支持部材３に支持させた状態では、第３胴部２０５の軸方向他方側端部２０５Ｔが支持孔３１Ａから上方に突出する。　

そして、第３胴部２０５の軸方向他方側端部２０５Ｔをピッチ変換ユニット４の下面に露出される第１電極４１に接触させつつ上側支持体３１の上面３１１をピッチ変換ユニット４の下面に押し当てる。これにより、支持部材３をピッチ変換ユニット４に固定する。このとき、第１ばね部２０１および第２ばね部２０２が軸方向に圧縮される。これにより、軸方向他方側端部２０５Ｔは、ばね部２０１，２０２の弾性力により第１電極４１に押し当てられ、軸方向他方側端部２０５Ｔと第１電極４１とが安定した導通接触状態に保持される。　

さらに、検査対象３０の検査を行う場合、突出部２１１の先端部２１１Ａを検査対象３０の検査点３０１に接触させる。このとき、先端部２１１Ａには軸方向他方Ｘ２側への力が加わり、第１ばね部２０１および第２ばね部２０２は軸方向に圧縮される。これにより、ばね部２０１，２０２による弾性力により、先端部２１１Ａは検査点３０１に押し当てられ、先端部２１１Ａと検査点３０１とが安定した導通接触状態に保持される。このとき、後述するように、ばね部２０１，２０２における巻ばね部の巻き方向および巻数により、筒状体２０、ひいては導体２１の周方向の旋回が制御される。　

軸方向他方側端部２０５Ｔは第１電極４１に予め押し当てられているため、軸方向他方側端部２０５Ｔは固定端として機能する。先端部２１１Ａは周方向に旋回する。このため、先端部２１１Ａは、検査点３０１の表面の酸化膜を削り安定した電気接触状態を奏する。また、後述するように、第１巻ばね部２０１Ａおよび第３巻ばね部２０２Ａの旋回を第２巻ばね部２０１Ｂおよび第４巻ばね部２０２Ｂの旋回が一部キャンセルして和らげるので、検査対象３０への負担が少なくなる。　

＜３．筒状体の特徴＞　次に、筒状体２０の構成の特徴について詳述する。　

図３に示すように、筒状体２０の長手方向中心Ｃから第１ばね部２０１の長手方向内側端２０１Ｔまでの距離Ｌ１１と、長手方向中心Ｃから第２ばね部２０２の長手方向内側端２０２Ｔまでの距離Ｌ２１は、等しい。　

第１ばね部２０１は、第１巻ばね部２０１Ａと、第２巻ばね部２０１Ｂと、を有する。切欠き２０１１は、第１螺旋状切欠き２０１１Ａと、第２螺旋状切欠き２０１１Ｂと、を有する。第１巻ばね部２０１Ａは、第１螺旋状切欠き２０１１Ａを有する。第２巻ばね部２０１Ｂは、第２螺旋状切欠き２０１１Ｂを有する。　

第２巻ばね部２０１Ｂは、第１巻ばね部２０１Ａの軸方向他方Ｘ２側に配置される。第１巻ばね部２０１Ａと第２巻ばね部２０１Ｂは、ほぼ連接している。ただし、後述するように、第１巻ばね部２０１Ａと第２巻ばね部２０１Ｂは、厳密には連接しておらず、このような配置の巻ばね部から構成される構成部も「ばね部」に含まれる。　

ここで、巻ばね部の巻き方向は、巻ばね部を軸方向（長手方向）に視た場合に、巻ばね部に沿って自身へ向かってくるときの回転方向である。すなわち、図３に示すように、第１巻ばね部２０１Ａの巻き方向は、時計方向（第１方向）であり、第２巻ばね部２０１Ｂの巻き方向は、反時計方向（第２方向）である。すなわち、第１ばね部２０１は、巻き方向が第１方向である第１巻ばね部２０１Ａと、巻き方向が第１方向と逆方向の第２方向である第２巻ばね部２０１Ｂと、を有する。　

また、第２ばね部２０２は、第３巻ばね部２０２Ａと、第４巻ばね部２０２Ｂと、を有する。第３巻ばね部２０２Ａは、第３螺旋状切欠き２０２１Ａを有する。第４巻ばね部２０２Ｂは、第４螺旋状切欠き２０２１Ｂを有する。切欠き２０２１は、第３螺旋状切欠き２０２１Ａと、第４螺旋状切欠き２０２１Ｂと、を有する。　

第３巻ばね部２０２Ａは、第４巻ばね部２０２Ｂの軸方向他方Ｘ２側に配置される。第３巻ばね部２０２Ａと第４巻ばね部２０２Ｂは、ほぼ連接している。ただし、後述するように、第３巻ばね部２０２Ａと第４巻ばね部２０２Ｂは、厳密には連接していない。　

第１巻ばね部２０１Ａ、第２巻ばね部２０１Ｂ、第３巻ばね部２０２Ａ、および第４巻ばね部２０２Ｂの各ピッチは、同一である。　

図３に示すように、第３巻ばね部２０２Ａの巻き方向は、時計方向（第１方向）であり、第４巻ばね部２０２Ｂの巻き方向は、反時計方向（第２方向）である。すなわち、第２ばね部２０２は、巻き方向が第１方向である第３巻ばね部２０２Ａと、巻き方向が第２方向である第４巻ばね部２０２Ｂと、を有する。　

図３に示す構成において、第１巻ばね部２０１Ａの巻数は９．５であり、第２巻ばね部２０１Ｂの巻数は３である。第３巻ばね部２０２Ａの巻数は９．５であり、第４巻ばね部２０２Ｂの巻数は３である。従って、第１巻ばね部２０１Ａの巻数と第２巻ばね部２０１Ｂの巻数との和と、第３巻ばね部２０２Ａの巻数と第４巻ばね部２０２Ｂの巻数との和は、いずれも１２．５で一致する。すなわち、第１ばね部２０１の巻数と、第２ばね部２０２の巻数は等しい。　

ここで、第１巻ばね部２０１Ａ、第２巻ばね部２０１Ｂ、第３巻ばね部２０２Ａ、および第４巻ばね部２０２Ｂの各ピッチは同一であるので、第１ばね部２０１の長手方向長さＬ１２と、第２ばね部２０２の長手方向長さＬ２２との差を小さくすることができる。ここで、上記のように距離Ｌ１１とＬ２１は等しいので、第２胴部２０４の長手方向長さＬ１３と第３胴部２０５の長手方向長さＬ２３の差は小さくなる。　

従って、接触端子２を組み立てる作業者が仮に、図２と異なり、第２胴部２０５側から導体２１の軸方向他方側端部２１Ｔを筒状体２０に挿入して接触端子２を組み立てることも可能である。この場合、導体２１の第２胴部２０５内部に収容された箇所の一部が第２胴部２０５に溶接により固定される。そして、図４と同様に、導体２１の突出部２１１を下方へ向けて接触端子２を支持部材３に支持させても、ばね部２０１，２０２は中間支持体３２と干渉することはなく、第１胴部３２Ａを中間支持体３２に支持させることができる。すなわち、作業者は接触端子２を組み立てる際に筒状体２０の向きを確認する必要がなくなり、接触端子２の組み立て性が向上する。　

また、第１巻ばね部２０１Ａの巻数と、第３巻ばね部２０２Ａの巻数との和は、９．５＋９．５＝１９である。第２巻ばね部２０１Ｂの巻数と、第４巻ばね部２０２Ｂの巻数との和は、３＋３＝６である。すなわち、巻き方向が第１方向である巻ばね部の総巻数は１９であり、巻き方向が第２方向である巻ばね部の総巻数は６である。筒状体２０に軸方向のストロークを与えた場合、１巻分の巻ばねのストロークに応じた旋回量に、上記総巻数の差である１９－６＝１３を乗じた旋回量で筒状体２０は旋回する。第１方向の巻ばね部の総巻数と、第２方向の巻ばね部の総巻数のうち大きいほうの巻き方向で筒状体２０は旋回するので、ここでは第１方向に旋回する。　

このように、第１ばね部２０１は、巻き方向が第１方向である第１巻ばね部２０１Ａと、巻き方向が第２方向である第２巻ばね部２０１Ｂと、を有するので、筒状体２０ひいては導体２１の旋回量を制御できる。また、上記のように、第１巻ばね部２０１Ａの巻数と第３巻ばね部２０２Ａの巻数との和（上記例では１９）と、第２巻ばね部２０１Ｂの巻数と第４巻ばね部２０２Ｂの巻数との和（上記例では６）とが等しくないので、筒状体２０を旋回させる制御を行える。　

なお、第１巻ばね部２０１Ａの巻数と第３巻ばね部２０２Ａの巻数との和と、第２巻ばね部２０１Ｂの巻数と第４巻ばね部２０２Ｂの巻数との和とを等しくすることで、第１方向の巻ばね部による旋回と、第２方向の巻ばね部による旋回とをキャンセルして、筒状体２０に旋回が生じないようにしてもよい。例えば、第１巻ばね部２０１Ａの巻数＝９．５、第２巻ばね部２０１Ｂの巻数＝３、第３巻ばね部２０２Ａの巻数＝３、第４巻ばね部２０２Ｂの巻数＝９．５とすればよい。　

また、第２ばね部２０２は、巻き方向が第１方向である第３巻ばね部２０２Ａと、巻き方向が第２方向である第４巻ばね部２０２Ｂと、を有するので、第１巻ばね部２０１Ａと第２巻ばね部２０１Ｂとあわせて、筒状体２０の旋回を制御できる。　

ここで、図５は、図３に示した筒状体２０を設計変更した一例である。図５に示す筒状体２０においては、第１ばね部２０１および第２ばね部２０２の各巻数を図３と変えずに、第１巻ばね部２０１Ａ、第２巻ばね部２０１Ｂ、第３巻ばね部２０２Ａ、および第４巻ばね部２０２Ｂの各巻数を変更している。　

具体的には、図５では、第１巻ばね部２０１Ａの巻数＝８．２５、第２巻ばね部２０１Ｂの巻数＝４．２５、第３巻ばね部２０２Ａの巻数＝８．２５、第４巻ばね部２０２Ｂの巻数＝４．２５とし、第１ばね部２０１の巻数＝１２．５、第２ばね部２０２の巻数＝１２．５としている。　

この場合、第１巻ばね部２０１Ａの巻数と、第３巻ばね部２０２Ａの巻数との和は、８．２５＋８．２５＝１６．５である。第２巻ばね部２０１Ｂの巻数と、第４巻ばね部２０２Ｂの巻数との和は、４．２５＋４．２５＝８．５である。すなわち、巻き方向が第１方向である巻ばね部の総巻数は１６．５であり、巻き方向が第２方向である巻ばね部の総巻数は８．５である。筒状体２０に軸方向のストロークを与えた場合、１巻分の巻ばねのストロークに応じた旋回量に
、上記総巻数の差である１６．５－８．５＝８を乗じた旋回量で筒状体２０は旋回する。　

このように図５に示す設計変更後の筒状体２０では、第１ばね部２０１の長手方向長さＬ１２および第２ばね部２０２の長手方向長さＬ２２は変更しないので、図５に示す筒状体２０から組み立てた接触端子２を支持体３にさせる際に中間支持体３２の位置変更が不要となる。すなわち、筒状体２０の旋回量を設計変更しても、支持部材３の構造変更が不要となる。　

また、図６および図７は、本実施形態との比較のための比較例に係る筒状体２０の構成を示す。図６に示す筒状体２０では、第１ばね部２０１は巻き方向が第１方向である巻ばね部のみから構成され、第２ばね部２０２は巻き方向が第２方向である巻ばね部のみから構成される。そして、第１ばね部２０１の巻数と、第２ばね部２０２の巻数は、それぞれ１２．５で一致させている。従って、この場合は、筒状体２０に軸方向のストロークを与えた場合、第１ばね部２０１による旋回と第２ばね部２０２による旋回とがキャンセルされ、筒状体２０に旋回が生じない。　

図７に示す筒状体２０では、第１ばね部２０１は巻き方向が第１方向である巻ばね部のみから構成され、第２ばね部２０２は巻き方向が第１方向である巻ばね部のみから構成される。そして、第１ばね部２０１の巻数と、第２ばね部２０２の巻数は、それぞれ１２．５で一致させている。従って、この場合は、筒状体２０に軸方向のストロークを与えた場合、１巻分の巻ばねのストロークに応じた旋回量に、１２．５＋１２．５＝２５を乗じた旋回量で筒状体２０は旋回する。　

このように、仮に図６および図７に示す筒状体２０しか用意できない場合は、筒状体２０の旋回の有無しか選択できないが、本実施形態の図３または図５に示すような筒状体２０であれば、旋回量を調整できる。図３の例では、図７に示す筒状体２０に対して約１／２の旋回量に調整でき、図５の例では、図７に示す筒状体２０に対して約１／３の旋回量に調整できる。　

また、例えば、図６に示すような巻き方向が互いに逆方向である第１ばね部２０１と第２ばね部２０２の巻数に差を与えることで、旋回量を調整することは可能である。しかしながら、この場合、第１ばね部２０１および第２ばね部２０２の各長手方向長さに差が生じる。これにより、筒状体２０に導体２１を挿入する方向が決まり、作業者による確認が必要となる。また、旋回量の設計変更のたびに、中間支持体３２の位置変更が必要となる。　

＜４．巻ばね部間の境界＞　次に、本実施形態に係る筒状体２０（例えば図３、図５）における第１巻ばね部２０１Ａと第２巻ばね部２０１Ｂとの境界の構成について、述べる。図８に示すように、第１巻ばね部２０１Ａと第２巻ばね部２０１Ｂとの境界においては、第１螺旋状切欠き２０１１Ａの長手方向内側端部２０１１ＡＴと、第２螺旋状切欠き２０１１ＢＴの長手方向外側端部２０１１ＢＴは、軸方向（長手方向）周りに１８０度離れた位置に配置される。　

これにより、図８に示すように、長手方向内側端部２０１１ＡＴと長手方向外側端部２０１１ＢＴとの間を軸方向に距離Ｄだけ離すことができる。距離Ｄは、例えば５０μｍである。これにより、図８に示すように、長手方向内側端部２０１１ＡＴから第２螺旋状切欠き２０１１Ｂまでの帯幅Ｗを確保できる。従って、筒状体２０に荷重が加わった際に帯幅Ｗにより応力が分散される。すなわち、筒状体２０の強度を向上させることができる。　

上記のように距離Ｄを確保する構成では、第１巻ばね部２０１Ａと第２巻ばね部２０１Ｂは、厳密には連接しないことになる。なお、長手方向内側端部２０１１ＡＴと長手方向外側端部２０１１ＢＴとが接続される構成であってもよい。すなわち、この場合は、螺旋状の切欠き２０１１は、一筆書きのように形成され、第１巻ばね部２０１Ａと第２巻ばね部２０１Ｂは連接することとなる。　

また、図８に示した巻ばね部間の境界での構成は、第３巻ばね部２０２Ａと第４巻ばね部２０２Ｂの境界における構成でも同様である。従って、第１ばね部２０１の長手方向長さＬ１２は、第１巻ばね部２０１Ａの長手方向長さと第２巻ばね部２０１Ｂの長手方向長さの和に距離Ｄを加えた長さとなり、第２ばね部２０２の長手方向長さＬ２２は、第３巻ばね部２０２Ａの長手方向長さと第４巻ばね部２０２Ｂの長手方向長さの和に距離Ｄを加えた長さとなる。第１ばね部２０１の巻数と第２ばね部２０２の巻数は同じであるので、長手方向長さＬ１２とＬ２２は等しい。　

これにより、筒状体２０に対して導体２１をいずれの方向に挿入して接触端子２を組み立てても、接触端子２の機能上の差異がよりなくなる。　

＜５．筒状体の変形例＞　図９は、図３に示した筒状体２０の一変形例を示す。図９に示すように、筒状体２０における第２ばね部２０２の巻き方向は、第２方向のみとしてもよい。図９の例では、第２ばね部２０２の巻数は、１２．５として第１ばね部２０１の巻数と等しくしている。従って、巻き方向が第２方向の巻ばね部の総巻数は、３＋１２．５＝１５．５であり、巻き方向が第１方向の巻ばね部の総巻数は９．５である。これにより、上記総巻数の差である１５．５－９．５＝６に応じた旋回量で、第２方向に筒状体２は旋回する。　

また、第２ばね部２０２の巻き方向を第１方向のみとしてもよい。すなわち、第２ばね部２０２の巻き方向は、第１方向と第２方向のうち一方のみであることとしてもよい。これにより、第１方向と第２方向のうち一方の方向への旋回を調整しやすい。　

＜６．その他＞　以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の趣旨の範囲内であれば、実施形態は種々の変形が可能である。　

例えば、筒状体２０において、巻ばね部の巻き方向の軸方向の並びは図３および図５の構成に限らず、軸方向一方Ｘ１側から軸方向他方Ｘ２側へかけて、第１方向、第２方向、第１方向、第２方向でもよいし、第２方向、第１方向、第１方向、第２方向でもよいし、第２方向、第１方向、第２方向、第１方向でもよい。　

また例えば、上述した実施形態では、導体の数は１本であるが、これに限らず、導体の数を２本としてもよい。この場合、第２胴部２０４側から第１導体が挿入され、第３胴部２０５側から第２導体が挿入される。第１導体および第２導体を筒状体２０に挿入する方向は逆方向としてもよい。これより、接触端子２の組み立て性が向上する。

本発明は、各種検査対象の電気的検査に利用することができる。

Claims

長手方向に延びて導電性を有する筒状体であって、

　前記筒状体の周面に螺旋状の切欠きが形成される第１ばね部と、

　前記筒状体の周面に螺旋状の切欠きが形成される第２ばね部と、

　前記第１ばね部と前記第２ばね部とに長手方向に挟まれて配置される第１胴部と、

を有し、　前記筒状体の長手方向中心から前記第１ばね部の長手方向内側端までの距離と、前記長手方向中心から前記第２ばね部の長手方向内側端までの距離とが等しく、

　前記第１ばね部の巻数と、前記第２ばね部の巻数とが等しく、

　前記第１ばね部は、巻き方向が第１方向である第１巻ばね部と、巻き方向が前記第１方向と逆方向の第２方向である第２巻ばね部と、を有する、

　筒状体。
前記第１ばね部の長手方向長さと、前記第２ばね部の長手方向長さとが等しい、請求項１に記載の筒状体。
前記第２ばね部は、巻き方向が前記第１方向である第３巻ばね部と、巻き方向が前記第２方向である第４巻ばね部と、を有する、請求項１または請求項２に記載の筒状体。
前記第１巻ばね部の巻数と前記第３巻ばね部の巻数との和と、前記第２巻ばね部の巻数と前記第４巻ばね部の巻数との和とが等しくない、請求項３に記載の筒状体。
前記第１巻ばね部の巻数と前記第３巻ばね部の巻数との和と、前記第２巻ばね部の巻数と前記第４巻ばね部の巻数との和とが等しい、請求項３に記載の筒状体。
前記第２ばね部の巻き方向は、前記第１方向と前記第２方向のうち一方のみである、請求項１または請求項２に記載の筒状体。
前記第１ばね部に形成される前記切欠きは、第１螺旋状切欠きと、第２螺旋状切欠きと、を有し、

　前記第１巻ばね部は、前記第１螺旋状切欠きを有し、

　前記第２巻ばね部は、前記第２螺旋状切欠きを有し、

　前記第１螺旋状切欠きの長手方向内側端部と、前記第２螺旋状切欠きの長手方向外側端部は、長手方向周りに１８０度離れた位置に配置される、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の筒状体。
前記第１ばね部に対して前記第１胴部側とは反対側に配置される第２胴部を有する請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の筒状体と、

　前記第２胴部に固定されて導電性を有する棒状の導体と、

を有する、接触端子。
複数の請求項８に記載の接触端子と、

　前記複数の接触端子を支持する支持部材と、

を備える検査治具。
請求項９に記載の検査治具と、

　前記接触端子を検査対象に設けられた検査点に接触させることにより得られる電気信号に基づき、前記検査対象の検査を行う検査処理部と、

を備える検査装置。