JPWO2005015692A1 - コンタクト、及びコネクタ - Google Patents
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Abstract
低接圧で電子部品と良好な接触を保つことのできるコンタクトを提供する。電子部品と接触し、電気信号を授受するコンタクトであって、電子部品と接触する先端部と、先端部から延伸して設けられ、電子部品により失端部が押下された場合に、先端部を予め定められた回動方向に回動させる保持部とを備え、先端部は、保持部から延伸して設けられた延伸部と、延伸部の電子部品と略対向する対向面に、延伸部の延伸方向と垂直な幅方向に沿って、延伸部の幅方向の一端から他端に渡って設けられ、幅方向と垂直な面における断面の電子部品側の稜線が曲線であり、稜線の中央部が稜線の端部より電子部品側に膨らんでおり、電子部品と接触する第1の突起部とを有するコンタクトを提供する。
Description
本発明は、電子部品と接触するコンタクト及びコネクタに関する。
文献の参照による組み込みが認められる指定国については、下記の出願に記載された内容を参照により本出願に組み込み、本出願の記載の一部とする。
特願2003−288380 出願日 平成15年8月7日
文献の参照による組み込みが認められる指定国については、下記の出願に記載された内容を参照により本出願に組み込み、本出願の記載の一部とする。
特願2003−288380 出願日 平成15年8月7日
従来、電子部品と接触するコンタクトとして、例えばスプリング式コンタクトや、板バネコンタクトがある。スプリング式コンタクトは、電子部品と接触する接触部と、接触部に対する押圧力に応じて伸縮するスプリング部とを備えている。ここで電子部品の一例としては、信号の授受を行う電極を有するプリント基板やプローブカード、平面的にIC端子が配列されている半導体デバイス(IC)がある。また、これら電子部品は、半導体試験装置に使用される。例えばウエハプローバ装置やICハンドラ装置等との間で中継接続を行うデバイスインターフェース装置にも使用される。尚、必要とされるコンタクトのピン数は被試験デバイスの品種や同時測定する個数によって変わってくるが、例えば2万ピン数以上が必要とされる場合がある。
また、板バネコンタクトは、弾性を有する板状のコンタクトであって、電子部品により押圧された場合に、コンタクトの弾性により湾曲するコンタクトである。
関連する特許文献は、現在認識していないためその記載を省略する。
しかし、スプリング式コンタクトは、構造が複雑でコストが高く、特に多数のコンタクトを必要とする半導体チップ用のコネクタに用いる場合に問題となる。また、多数の板バネコンタクトをコネクタに設ける場合、コンタクトあたりの荷重及び接圧が小さいため、接触不良を起こす問題がある。このため、低荷重、低接圧において、高い接続信頼性を保つことのできる板バネコンタクトが望まれている。例えば、図10に示す多数個のコネクタ100によりインターフェース部分では数万端子が必要となる場合がある。この場合、両者間の押圧力は大きな力が必要となる。また、両者間の押圧力に伴い、両方の接続面において湾曲変形する難点がある。この為、コネクタ100は可能な限り低い押圧力であることが望まれている。
また、多数の板バネコンタクトをコネクタに設けた場合、それぞれの板バネコンタクトが湾曲するため、それぞれの板バネコンタクト間の絶縁を良好に保つ必要がある。
上記課題を解決するために、本発明の第1の形態においては、電子部品と接触子、電気信号を授受するコンタクトであって、電子部品と接触する先端部と、先端部から延伸して設けられ、電子部品により先端部が押下された場合に、先端部を予め定められた回動方向に回動させる保持部とを備え、先端部は、保持部から延伸して設けられた延伸部と、延伸部の電子部品と略対向する対向面に、延伸部の延伸方向と垂直な幅方向に沿って、延伸部の幅方向の一端から他端に渡って設けられ、幅方向と垂直な面における断面の電子部品側の稜線が曲線であり、稜線の中央部が稜線の端部より電子部品側に膨らんでおり、電子部品と接触する第1の突起部とを有するコンタクトを提供する。
第1の突起部における、延伸方向と垂直な面における断面の電子部品側の稜線が、当該稜線の中央部が当該稜線の端部より電子部品側に膨らんでいる曲線であってよい。また、コンタクトは、延伸部の対向面において第1の突起部と並列に、延伸部の幅方向の一端から他端に渡って設けられ、幅方向と垂直な面における断面の電子部品と対向する稜線が曲線であり、先端部が回動した場合に、電子部品と接触する第2の突起部を更に有してよい。
第2の突起部は、第1の突起部より、保持部に近い位置に設けられることが好ましい。また、接触部が電子部品と接触していない状態において、第2の突起部と電子部品との距離が、第1の突起部と電子部品との距離より大きくなるように、第1の突起部及び第2の突起部が設けられることが好ましい。
またコンタクトは、延伸部の対向面に、第1の突起部より保持部から遠い位置に、第1の突起部と並列に設けられた第3の突起部を更に有してよい。第3の突起部は、第2の突起部と略同一の形状を有することが好ましい。また、接触部が電子部品と接触していない状態において、第3の突起部と電子部品との距離が、第1の突起部と電子部品との距離より大きくなるように、第1の突起部及び第3の突起部が設けられることが好ましい。
本発明の第2の形態においては、電子部品と接触するコネクタであって、電子部品と接触する先端部と、先端部から延伸して設けられ、電子部品により先端部が押下された場合に、先端部を予め定められた回動方向に回動させる保持部とを有する複数のコンタクトと、複数のコンタクトを保持する基板と、コンタクトを通過させるスリットが、同一のピッチで複数設けられた簾状のスリット部とを備え、基板は、複数のコンタクトを、回動方向を基板表面に投影した縦方向に予め定められた間隔で配列させ、縦方向と垂直な横方向にスリットのピッチと略同一の間隔で配列させるように保持し、スリット部は、それぞれのスリットが縦方向に沿って設けられ、横方向において隣接するコンタクトを、異なるスリットを通過させることにより離間させるコネクタを提供する。
スリットの基板表面と垂直な方向における深さは、コンタクトの保持部の基板表面と垂直な方向における高さと略同一であることが好ましい。また、基板は、表面にスリット部の形状と略同一の形状の溝部を有し、溝部にスリット部を格納してよい。
基板は、上側基板と下側基板と上側スリット部と下側スリット部とコンタクト保持部とを備え、上側基板と下側基板とは、上側スリット部と下側スリット部とを収容して保持し、上側スリット部と下側スリット部とは、コンタクト保持部を上下方向から挟み込むように収容保持し、コンタクト保持部は、複数のコンタクトを所定間隔に配設固定して備え、複数のコンタクトが上側スリット部と下側スリット部のスリットに挿入されてスリットから露出すると共に、当該コンタクトがスリットにより案内してよい。
コンタクト保持部は、コンタクトの一列又は複数列単位毎に分割されてよい。コネクタは、電気的に接続する一方の接続相手に取り付けて固定されてよい。
本発明の第3の形態においては、半導体試験装置と被試験デバイスとの間で電気信号の授受を行う中継接続に使用されるデバイスインターフェース装置であって、上記第2の形態におけるコネクタを複数実装して電気信号の授受を行うことを特徴とするデバイスインターフェース装置を提供する。
デバイスインターフェース装置は、複数種類の被試験デバイスに対して共通に使用される共通インターフェース部と、被試験デバイスの種類に対応して交換され得る品種対応部とを備え、共通インターフェース部と品種対応部との間に上記第2の形態におけるコネクタを設けてよい。
本発明の第4の形態においては、被試験デバイスと信号の授受を行うテストヘッドを備え、被試験デバイスを試験する半導体試験装置であって、上記第3の形態におけるデバイスインターフェース装置をテストヘッドと被試験デバイスとの間に備えることを特徴とする半導体試験装置を提供する。
デバイスインターフェース装置は、複数種類の被試験デバイスに対して共通に使用される共通インターフェース部と、被試験デバイスの品種に対応して交換され得る品種対応部とを備え、共通インターフェース部はテストヘッドに接続され、共通インターフェース部と品種対応部との間に上記第2の形態のコネクタを設けてよい。
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
本発明によれば、高信頼性、低荷重、及び低接圧で接続するコンタクトを提供することができる。また、複数のコンタクト間の絶縁を良好に保つコネクタを提供することができる。
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
まず、半導体試験装置の概要を、図10に示す半導体試験装置400を用いて説明する。
図10(a)は、半導体試験装置400の構成の一例を示す図である。半導体試験装置400は、パターン発生部410、波形整形部412、テストヘッド600、デバイスインターフェース装置500、ソケット700、ICハンドラ装置、及び判定部414を備える。
図10(a)は、半導体試験装置400の構成の一例を示す図である。半導体試験装置400は、パターン発生部410、波形整形部412、テストヘッド600、デバイスインターフェース装置500、ソケット700、ICハンドラ装置、及び判定部414を備える。
パターン発生部410は、被試験デバイス200に供給する試験パターンを生成し、波形整形部412、テストヘッド600及びデバイスインターフェース装置500を介してICハンドラ装置のソケット700へ供給して、被試験デバイス200に供給する。デバイスインターフェース装置500は、半導体試験装置400と被試験デバイス200との間で電気信号の授受を行う中継接続に使用され、複数のコネクタ100を実装して電気信号の授受を行う。また、パターン発生部410は、被試験デバイス200が出力する信号に対応した期待値信号を生成して、判定部414に供給する。
波形整形部412は、試験パターンを所定の波形に整形し、所定のタイミングにして、テストヘッドで所定の振幅波形にした後、デバイスインターフェース装置500を介して単一又は複数のソケット700に供給する。被試験デバイス200はソケット700に電気的に接続された状態で、半導体試験装置400との間で信号の授受を行う。判定部414は、試験パターンに応じて被試験デバイス200から出力される出力信号を、デバイスインターフェース装置500とテストヘッド600を介して受け、前記期待値信号に基づき所定のタイミングで比較が行われ、得られた比較結果に基づいて、被試験デバイス200の良否を判定する。
図10(b)は、デバイスインターフェース装置500の構成を示す図である。デバイスインターフェース装置は、図10(b)の構成例に示すように、共通インターフェース部510、複数のコネクタ100、及び品種対応部520を備える。共通インターフェース部510は、被試験デバイスの品種に依存しない部分であり、共通的に使用される。複数のコネクタ100は、共通インターフェース部510と品種対応部520とが分離できるように着脱可能なコネクタで電気的に接続する。品種対応部520は、被試験デバイスの品種に対応して交換される部分であり、その端部がソケット700に接続されて、ICハンドラ装置に電気的/機械的に接続される。テストヘッドは、前記デバイスインターフェース装置500を電気的/機械的に接続して信号の授受、その他を行う。尚、図10(a)に示すソケット700は、ウエハプローバ装置の場合にはプローブカードのプローブ針に該当する。
ここで、共通インターフェース部510と品種対応部520との間で必要とされるピン数は被試験デバイスの品種や同時測定する個数によって変わってくるが、例えば2万ピン数以上が必要とされる。従来では、1ピン当たり10グラム(約0.1ニュートン)の押圧と仮定すると、0.1×20000=2000Nの押圧力で保持する必要があり、両者の接続面の構造体は十分な強度の重量構造を備える必要性があり、実用上の難点がある。尚、ZIF(Zero insertion Force)型コネクタを適用する方法も考えられるが、電気的接触/解放を行う機械的な駆動機構が必要となる為、高密度にピンを配列できない結果、所望の多数ピンを実用的に実装できない。
図1は、本発明の実施形態に係るコネクタ100の一例を示す図である。但し、後述する多数個のコンタクト60の表示は省略している。コネクタ100は、例えば半導体デバイスを試験する試験装置に使用されるものであり、半導体デバイスと半導体試験装置400との間で信号を受け渡しする。
コネクタ100は、基板10、スリット部40、及び基板10に設けられた複数のコンタクト(図2参照)を備える。基板10は、スリット部40を上下から保持して固定するハウジング構造体であって、上側基板12、上側基板12に嵌合する下側基板14、及び上側基板12と下側基板14との間に設けられ複数のコンタクトを保持するコンタクト保持部(図2参照)から構成され、複数のコンタクトを保持する。上側基板12は、例えば半導体デバイス側に設けられる基板であって、下側基板14は、例えば試験装置側に設けられる基板である。また、上側基板12と下側基板14との相対位置は、位置決め孔16により決定される。例えば、上側基板12は、上側基板12を貫通する位置決め孔16を有し、下側基板14は、位置決め孔16に嵌合する突起部を有し、突起部を位置決め孔16に嵌合させることにより、上側基板12及び下側基板14とを嵌合させる。
また、基板10は、複数のコンタクトを基板10の表面の縦方向及び横方向に予め定められた間隔で配列するように保持する。また、基板10は、スリット部40の外形に対応する貫通孔26、56(図3参照)が設けられる。また、当該貫通孔は、コンタクト保持部を表出させる。また、基板10は、試験装置側へ固定する構造として、例えば図1に示す4個の取付孔を四隅に備える。コネクタ100は、電気的に接続する一方の接続相手に、当該取付孔によって取り付けられ固定される。
スリット部40は、基板10に設けられた複数のコンタクトを通過させるスリット48が、同一のピッチで簾状に複数設けられている。例えば、基板10はコンタクト保持部によって複数のコンタクトを保持し、それぞれのコンタクトは、スリット48を通過して電子部品と接続する。また、基板10は、複数のコンタクトを、スリット48のピッチと略同一の間隔で保持することが好ましい。
図2は、コネクタ100の断面の一例を示す図である。図2においては、図1に示したA−A’の断面を示す。前述したように、基板10は、上側基板12と下側基板14との間に設けられたコンタクト保持部20を有する。コンタクト保持部20は、複数のブロックに分割されていてもよい。
また、スリット部40は、上側スリット部42と下側スリット部44とから構成される。上側基板12は、上側スリット部42と略同一の形状の貫通孔を有し、上側スリット部42を格納し、下側基板14は、下側スリット部44と略同一形状の貫通孔を有し、下側スリット部44を格納する。また、コンタクト保持部20は、上側スリット部42と下側スリット部44との間に設けられる。例えば、下側スリット部44のコンタクト保持部20側の表面には、コンタクト保持部20と嵌合する複数の突起部46が設けられる。またコンタクト保持部20の下側スリット部44側の表面には、下側スリット部44と嵌合する複数の突起部22が設けられる。突起部46と突起部22とが嵌合することにより、コンタクト保持部20は、下側スリット部44に対して所定の位置に配置される。
また、コンタクト60は、図6において後述するように、コンタクト保持部20に保持される固定部と、固定部から電子部品側に延伸して設けられる保持部と、保持部から延伸して設けられ、電子部品と接触する先端部とを有する。コンタクト60の保持部は、弾性材料により形成され、先端部が電子部品により押下された場合に、先端部を予め定められた回動方向に回動させる。
また、コンタクト保持部20は、複数のコンタクト60を、回動方向を基板10の表面に投影した縦方向に、予め定められた間隔で配列させ、縦方向と垂直な横方向にスリット48のピッチと略同一の間隔で配列させるように保持する。つまり、複数のコンタクト60は、縦方向及び横方向にそれぞれ予め定められたピッチで連続して設けられており、縦方向に一列に設けられたコンタクト60は、同一のスリット48を通過して電子部品と接触する。
また、スリット部40は、それぞれのスリット48が縦方向に沿って設けられ、横方向において隣接するコンタクト60を、異なるスリット48を通過させることにより離間させる。このような構成により、コンタクト60が電子部品によって押圧された場合であっても、横方向において隣接するコンタクト60がショートすることを防ぐことができる。また、スリット48が、コンタクト60の回動方向を投影した縦方向に沿って設けられているため、それぞれのコンタクト60が電子部品の押圧に応じて回動することができ、コンタクト60が所定の接触圧で電子部品と接触することができる。また、スリット48の基板10の表面と垂直な方向における深さは、コンタクト60の保持部の基板10の表面と垂直な方向における高さと略同一であることが好ましい。つまり、スリット48は、それぞれのコンタクト60の保持部をほぼ覆う形状であり、横方向に隣接するコンタクト60同士が接触することを防ぐことができる。
また、下側基板14は、上側基板12と対向する面に、位置決め孔16と嵌合する突起部18を有する。突起部18が位置決め孔16と嵌合することにより、下側基板14に対する上側基板12の相対位置が定まる。また、図2に示すように、上側スリット部42は、突起部18が貫通する貫通孔を有していてもよい。突起部18が当該貫通孔を貫通することにより、下側基板14に対する上側スリット部42の相対位置が定まる。また、下側基板14は、下側スリット部44と嵌合する突起部24を更に有していてもよい。この場合、下側スリット部44は、突起部24と嵌合する嵌合孔を有する。突起部24が当該嵌合孔と嵌合することにより、下側基板14に対する下側スリット部44の相対位置が定まる。このような構成により、基板10とスリット部40との相対位置を定めることができる。
図3は、コネクタ100のそれぞれの構成部材の関係を説明する図である。但し、コンタクト保持部20に備える多数のコンタクト60は省略している。前述したように、上側基板12は、上側スリット部42を格納するための貫通孔26を有し、貫通孔26に上側スリット部42を格納する。また、上側スリット部42は、下側基板14の突起部18が貫通する貫通孔50を有する。コンタクト保持部20は、図2に示すように下側スリット部44に嵌合して載置される。またコンタクト保持部20は、図5に示すように複数のブロックに分割可能である。例えばコンタクト保持部20は、コンタクト60の一列又は複数列単位毎に分割される。
下側スリット部44には、コンタクトを試験装置側に通過させる複数のスリット48、下側基板14と係合するための係合部52、及び嵌合孔82が設けられる。下側スリット部44のスリット48は、上側スリット部42のスリット48と対応する位置に設けられ、スリット部40を貫通する貫通孔を形成する。スリット48はコンタクト60が押圧により回動するときに、コンタクト60の長い保持部64、66において、スリット48の両面に接触するようにガイドされて回動することで図6に示す先端部68、86が安定した位置関係を保つことができる。これにより、スリット48の間隔を狭くすることができる結果、高密度にコンタクト60を配設することが可能となる。
また、下側基板14は、下側スリット部44を格納するための貫通孔56を有し、貫通孔56に下側スリット部44を格納する。貫通孔56には、下側基板14の係合部52と係合する突起部54が設けられる。突起部54が係合部52と係合し、突起部24が嵌合孔82と嵌合することにより、下側基板14に対する下側スリット部44の相対位置が定まる。
つまり、上側基板12と下側基板14とは、上側スリット部42と下側スリット部44とを収容して保持し、上側スリット部42と下側スリット部44とは、コンタクト保持部20を上下方向から挟み込むように収容保持する。コンタクト保持部20は、複数のコンタクト60を所定間隔に配設固定して備え、複数のコンタクト60が上側スリット部42と下側スリット部44のスリット48に挿入されてスリット48から露出すると共に、当該コンタクト60がスリット48により案内される。
図4は、下側スリット部44の拡大図の一例を示す。図4においては、図3に示した下側スリット部44の部分Bを拡大した図を示す。下側スリット部44は、コンタクト保持部20のそれぞれのブロックのピッチと略同一のピッチで、縦方向に連続して設けられた突起部46を、コンタクト保持部20と対向する面に有する。また突起部46は、横方向においても、スリット48と同一のピッチで連続して設けられる。また、スリット48は、横方向に連続して設けられた突起部46の間に設けられ、コンタクト60を通過させる。
図5は、複数のブロックに分割されたコンタクト保持部20の一つのブロックを示す。コンタクト保持部20の一つのブロックは、前述したように下側スリット部44と嵌合するための突起部22を有する。突起部22は、横方向に連続して設けられた複数の突起部46(図4参照)と嵌合する。本例においては、突起部22が、縦方向に隣接する突起部46により形成される凹部に挿入される。
また、コンタクト保持部20は、縦方向に連続して設けられた複数のブロックにより形成される。複数のブロックは、縦方向に連続して設けられたそれぞれの突起部46と嵌合する。本例においては、コンタクト保持部20のそれぞれのブロックの突起部22が、下側スリット部44の突起部46によって横方向に連続して形成される複数の凹部に挿入される。これにより、コンタクト保持部20のそれぞれのブロックは、下側スリット部44の所定の位置に載置される。
また、コンタクト保持部20のそれぞれのブロックは、複数のスリット48と対応する位置に、複数のコンタクト60を保持する。このような構成により、基板10において連続して設けられるべき複数のコンタクト60を所定の位置に容易に保持することができる。
図6は、コンタクト60の構成の一例を示す。コンタクト60は導電材料による長尺の平板部材で形成され、電子部品側先端部68、電子部品側保持部64、固定部62、試験装置側保持部66、及び試験装置側先端部86を有する。電子部品側先端部68は、基板10の表面より電子部品に近い位置に設けられ、電子部品と接触する。尚、電子部品がプリント基板の場合にはプリント基板のパターン電極に接触する。電子部品側保持部64は、電子部品側先端部68から固定部62まで延伸して設けられ、電子部品により先端部68が押下された場合に、電子部品側先端部68を予め定められた回動方向に回動させる。電子部品側保持部64及び試験装置側保持部66は、電子部品の押下方向に対して斜めに設けられ、弾性材料により形成されることが好ましい。また、電子部品側保持部64は、上側スリット部42のスリット48を通過して設けられ、試験装置側保持部66は、下側スリット部44のスリット48を通過して設けられる。
固定部62は、コンタクト保持部20により保持又は固定される。例えば、コンタクト保持部20は、コンタクト60を保持するための貫通孔を有し、固定部62は、当該貫通孔により保持される。尚、コンタクト保持部20が成形可能な樹脂部材の場合には、複数個のコンタクト60を一体成形で形成してもよい。固定部62は、電子部品の押下方向と平行に設けられることが好ましい。これにより複数のコンタクト60がコンタクト保持部20によって一列に位置決めされて整列保持された状態になる。これにより、スリット48の間隔に対応した狭いピッチで整列することができるので、高密度にコンタクト60を配設することができる。
試験装置側保持部66は、固定部62から試験装置側先端部86まで延伸して設けられる。また試験装置側先端部86は、基板10の裏面に対向する位置にある試験装置側の電極面と接触する。また試験装置側先端部86は、図7〜図9において説明する電子部品側先端部68と同一の形状を有してよい。
図7は、電子部品側先端部68の一例を示す図である。図7(a)は、電子部品側先端部68の斜視図を示し、図7(b)は、延伸部70の幅方向と垂直な面における電子部品側先端部68の断面図を示す。電子部品側先端部68は、電子部品側保持部64から延伸して設けられた延伸部70と、延伸部70の電子部品と略対向する対向面に、延伸部70の延伸方向と垂直な幅方向に沿って、延伸部70の幅方向の一端から他端に渡って設けられる第1の突起部72とを有する。
図7(b)に示すように、第1の突起部72は、延伸部70の幅方向と垂直な面における断面の電子部品側の稜線が曲線であり、稜線の中央部が稜線の端部より電子部品側に膨らんでいる。また、第1の突起部72は、延伸部70より電子部品側に突起しており、電子部品と接触する。第1の突起部72の稜線は、円の外周の一部を有してよく、また楕円の外周の一部を有していてもよい。また、第1の突起部72の、延伸部70の幅方向と垂直な面における断面は、左右非対称であってもよい。
このような構成により、コンタクト60は、第1の突起部72の曲面部分で電子部品と接触する。このため、コンタクト60と電子部品との接触面積を小さくでき、単位面積あたりの接触圧を大きくすることができるため、高い信頼性で電気的に接続することができる。また、コンタクト60と電子部品との接触圧が小さくした場合であっても、接触圧が大きい場合と同等の接続信頼性を得ることができる。このため、多数のコンタクトを有するコネクタと電子部品との接触圧を低減することができ、コネクタと電子部品とを容易に着脱することができる。
また、コンタクト60と電子部品との接触面積を小さくすることにより、効果的にワイピングすることができる。このため、電子部品の電力に付着する酸化被膜等の異物を容易に除去することができる。また、コンタクト60と電子部品とが曲面で接触することにより、コンタクト60が押下され電子部品側先端部68が移動した場合に、第1の突起部72の異なる箇所で順次電子部品と接触する。このため、ワイピングにより異物を除去するときに電子部品と接触する第1の突起部72の箇所を異ならせることができ、接続の信頼性を向上させることができる。
図8は、電子部品側先端部68の他の例を示す図である。図8(a)は、電子部品側先端部68の斜視図を示し、図8(b)は、延伸部70の延伸方向と垂直な面における第1の突起部72の断面図を示す。図7に関連して説明した例と同様に、電子部品側先端部68は、電子部品側保持部64から延伸して設けられた延伸部70と、延伸部70の電子部品と略対向する対向面に、延伸部70の延伸方向と垂直な幅方向に沿って、延伸部70の幅方向の一端から他端に渡って設けられる第1の突起部72とを有する。また、第1の突起部72は、延伸部70の幅方向と垂直な面における断面の電子部品側の稜線が曲線であり、稜線の中央部が稜線の端部より電子部品側に膨らんでいる。また、第1の突起部72は、延伸部70より電子部品側に突起しており、電子部品と接触する。
本例において、延伸部70の延伸方向と垂直な面における、第1の突起部72の断面の電子部品側の稜線は、図8(b)に示すように曲線であり、当該稜線の中央部が当該稜線の端部より電子部品側に膨らんでいる。また同様に、延伸部70の延伸方向と垂直な面における、延伸部70の断面の稜線も、中央部が当該稜線の端部より電子部品側に膨らんでいてよい。このような構成により、コンタクト60と電子部品側先端部68との接触面積を更に低減することができる。また、第1の突起部72周辺の剛性を高めることができる。
図9は、電子部品側先端部68の更なる他の例を示す図である。図9(a)は、電子部品側先端部68の斜視図を示し、図9(b)は、延伸部70の幅方向と垂直な面における電子部品側先端部68の断面図を示す。図7に関連して説明した例と同様に、電子部品側先端部68は、電子部品側保持部64から延伸して設けられた延伸部70と、延伸部70の電子部品と略対向する対向面に、延伸部70の延伸方向と垂直な幅方向に沿って、延伸部70の幅方向の一端から他端に渡って設けられる第1の突起部72とを有する。また、第1の突起部72は、延伸部70の幅方向と垂直な面における断面の電子部品側の稜線が曲線であり、稜線の中央部が稜線の端部より電子部品側に膨らんでいる。また、第1の突起部72は、延伸部70より電子部品側に突起しており、電子部品と接触する。
また、本例における電子部品側先端部68は、第2の突起部74、第3の突起部76、第4の突起部78、及び第5の突起部80を更に有する。第2の突起部74〜第5の突起部80は、延伸部70の電子部品と対向する対向面において、第1の突起部72と並列に、延伸部70の幅方向の一端から他端に渡って設けられる。また、第2の突起部74〜第5の突起部80は、延伸部70の幅方向と垂直な面における断面の電子部品と対向する稜線が曲線である。第2の突起部74〜第5の突起部80は、第1の突起部72と略同一の形状を有してよい。
第2の突起部74は、第1の突起部72より電子部品側保持部64に近い位置に、第1の突起部72と隣接して設けられ、第4の突起部78は、第2の突起部74より電子部品側保持部64に近い位置に、第2の突起部72と隣接して設けられる。また、第3の突起部76は、第1の突起部72より電子部品側保持部64から遠い位置に、第1の突起部72と隣接して設けられ、第5の突起部80は、第3の突起部76より電子部品側保持部64から遠い位置に、第3の突起部76と隣接して設けられる。
図9(b)に示すように、電子部品側先端部68が電子部品と接触していない状態において、第2の突起部74〜第5の突起部80と電子部品との距離が、第1の突起部72と電子部品との距離より大きくなるように、第1の突起部72〜第5の突起部80が設けられることが好ましい。また、第4の突起部78と電子部品との距離が、第2の突起部74と電子部品との距離より大きくなるように、第2の突起部74及び第4の突起部78が設けられることが好ましい。また、第5の突起部80と電子部品との距離が、第3の突起部76と電子部品との距離より大きくなるように、第3の突起部76及び第5の突起部80が設けられることが好ましい。
電子部品側先端部68と電子部品とを接続する場合、例えばまず第1の突起部72が電子部品と接触する。そして、電子部品が電子部品側先端部68を押下することにより、電子部品側先端部68は回動方向に回動する。このとき、第1の突起部72により、電子部品の電極がワイピングされ異物を除去することができる。次に、第2の突起部74が電子部品と接触し、異物が除去された電極と電気的に接続する。このように、本例の構成によれば、複数の突起部を設けることにより、ワイピングを行う機能を有する突起部と、電子部品と電気的に接続する機能を有する突起部とを設けることができ、接続の信頼性を更に向上させることができる。また、本例のように、複数の突起部を連続して設けることにより、複数のコンタクト60の角度にバラツキが生じた場合であっても、いずれかの突起部により上述したワイピングを行う機能を得ることができる結果、接続の信頼性を更に向上させることができる。これにより、低接圧であっても良好な電気的接触が得られる。
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
例えば、図6から図9に示す電子部品側先端部68の構造を試験装置側先端部86側に適用しても良い。前記の場合には上下両方の接触点において、接触圧が小さくても効果的にワイピングすることができるため、接触圧が大きい場合と同等の接続信頼性を得ることができ、上下両面に電子部品を接続することもできる。
また例えば、図6に示す電子部品側先端部68と電子部品側保持部64との形状が上下対称となるように形成しても良い。また例えば、図5に示すコンタクト保持部20のブロックはコンタクト60を一列に配列するブロック単位の具体構造例で示したが、コンタクト60の複数列をブロック単位とした構成としても良い。
また例えば、図5に示すスリット部44と嵌合する突起部22を下側のみに備える具体例で示したが、上下両方に備えて、図3に示すコンタクト保持部20が正転/反転の何れでも実装可能にしても良い。また例えば、図5に示すコンタクト60の電子部品側先端部68の配設方向は全て同一方向へ配列する具体例で示したが、図3に示す奇数列のスリット48に対応するコンタクト60の配設方向と、偶数列のスリット48に対応するコンタクト60の配設方向とを、逆方向に配設しても良い。この場合には、全コンタクトにおける半数が互いに反対方向に向いている結果、上下方向からの押圧力によって横方向への分力が相殺できる。特に、プローバ装置又はICハンドラ装置と、前記装置に接続される半導体試験装置のテストヘッドと、の間を中継接続するデバイスインターフェース装置のように、多数個のコネクタ100を使用する場合に有効である。
また例えば、図1に示すスリット48は横方向へ長く形成したスリット形状とした具体例で示したが、縦方向へスリットを形成しても良い。このときは、縦方向のスリットに対応するように、上側スリット部42と下側スリット部44とコンタクト保持部20とを形成する。
また例えば、図10及び図11に示すように、共通インターフェース部510と品種対応部520との間で多数のコネクタ100を配列する実施例がある。ここで、必要とされるコンタクト60のピン数は被試験デバイスの品種や同時測定する個数によって変わってくるが、例えば2万ピン数以上が必要とされる場合がある。本願のコンタクト60において、1ピン当たり2グラム(約0.02ニュートン)の押圧と仮定すると、0.02×20000=400Nの押圧力で足りるので実用可能である。更に、本願のコネクタ100は狭ピッチで高密度に多数個のコンタクト60を配設でき、且つ低荷重で高信頼性のある接続が可能であるからして、機械的な構造も軽量化でき、より実用的な実装が可能である。
また例えば、ウエハプローバ装置のプローブカードの一方の基板面に備える電極と、前記基板面に対向して配設されるデバイスインターフェース装置側の基板面との間に本願のコネクタ100を適用することで、高密度で多ピンを配設でき、且つプローブカードへの押圧ストレスが低減できる。
また例えば、図3に示したコネクタ100では、上側基板12と上側スリット部42とを分割構造とし、下側基板14と下側スリット部44とを分割構造とした具体例で示したが、所望により、上側基板12と上側スリット部42とを一体構造とし、下側基板14と下側スリット部44とを一体構造としても良い。
10・・・基板、12・・・上側基板、14・・・下側基板、16・・・位置決め孔、18・・・突起部、20・・・コンタクト保持部、22・・・突起部、24・・・突起部、26・・・貫通孔、40・・・スリット部、46・・・突起部、48・・・スリット、50・・・貫通孔、52・・・係合部、54・・・突起部、56・・・貫通孔、60・・・コンタクト、62・・・固定部、64・・・電子部品側保持部、66・・・試験装置側保持部、68・・・電子部品側先端部、70・・・延伸部、72・・・第1の突起部、74・・・第2の突起部、76・・・第3の突起部、78・・・第4の突起部、80・・・第5の突起部、82・・・嵌合孔、86・・・試験装置側先端部、100・・・コネクタ、200・・・被試験デバイス、400・・・半導体試験装置、410・・・パターン発生部、412・・・波形整形部、414・・・判定部、500・・・デバイスインターフェース装置、510・・・共通インターフェース部、520・・・品種対応部、600・・・テストヘッド、700・・・ソケット
Claims (18)
- 電子部品と接触し、電気信号を授受するコンタクトであって、
前記電子部品と接触する先端部と、
前記先端部から延伸して設けられ、前記電子部品により前記先端部が押下された場合に、前記先端部を予め定められた回動方向に回動させる保持部とを備え、
前記先端部は、
前記保持部から延伸して設けられた延伸部と、
前記延伸部の前記電子部品と略対向する対向面に、前記延伸部の延伸方向と垂直な幅方向に沿って、前記延伸部の幅方向の一端から他端に渡って設けられ、前記幅方向と垂直な面における断面の前記電子部品側の稜線が曲線であり、前記稜線の中央部が前記稜線の端部より電子部品側に膨らんでおり、前記電子部品と接触する第1の突起部とを有するコンタクト。 - 前記第1の突起部における、前記延伸方向と垂直な面における断面の前記電子部品側の稜線が、当該稜線の中央部が当該稜線の端部より電子部品側に膨らんでいる曲線である請求項1に記載のコンタクト。
- 前記延伸部の前記対向面において前記第1の突起部と並列に、前記延伸部の幅方向の一端から他端に渡って設けられ、前記幅方向と垂直な面における断面の前記電子部品と対向する稜線が曲線であり、前記先端部が回動した場合に、前記電子部品と接触する第2の突起部を更に有する請求項1に記載のコンタクト。
- 前記第2の突起部は、前記第1の突起部より、前記保持部に近い位置に設けられる請求項3に記載のコンタクト。
- 前記接触部が前記電子部品と接触していない状態において、前記第2の突起部と前記電子部品との距離が、前記第1の突起部と前記電子部品との距離より大きくなるように、前記第1の突起部及び前記第2の突起部が設けられた請求項4に記載のコンタクト。
- 前記延伸部の前記対向面に、前記第1の突起部より前記保持部から遠い位置に、前記第1の突起部と並列に設けられた第3の突起部を更に有する請求項4に記載のコンタクト。
- 前記第3の突起部は、前記第2の突起部と略同一の形状を有する請求項6に記載のコンタクト。
- 前記接触部が前記電子部品と接触していない状態において、前記第3の突起部と前記電子部品との距離が、前記第1の突起部と前記電子部品との距離より大きくなるように、前記第1の突起部及び前記第3の突起部が設けられた請求項6に記載のコンタクト。
- 電子部品と接触するコネクタであって、
前記電子部品と接触する先端部と、前記先端部から延伸して設けられ、前記電子部品により前記先端部が押下された場合に、前記先端部を予め定められた回動方向に回動させる保持部とを有する複数のコンタクトと、
前記複数のコンタクトを保持する基板と、
前記コンタクトを通過させるスリットが、同一のピッチで複数設けられた簾状のスリット部とを備え、
前記基板は、前記複数のコンタクトを、前記回動方向を前記基板表面に投影した縦方向に予め定められた間隔で配列させ、前記縦方向と垂直な横方向に前記スリットのピッチと略同一の間隔で配列させるように保持し、
前記スリット部は、それぞれの前記スリットが前記縦方向に沿って設けられ、前記横方向において隣接する前記コンタクトを、異なる前記スリットを通過させることにより離間させるコネクタ。 - 前記スリットの前記基板表面と垂直な方向における深さは、前記コンタクトの前記保持部の前記基板表面と垂直な方向における高さと略同一である請求項9に記載のコネクタ。
- 前記基板は、表面に前記スリット部の形状と略同一の形状の溝部を有し、前記溝部に前記スリット部を格納する請求項10に記載のコネクタ。
- 前記基板は、上側基板と下側基板と上側スリット部と下側スリット部とコンタクト保持部とを備え、
前記上側基板と前記下側基板とは、前記上側スリット部と前記下側スリット部とを収容して保持し、
前記上側スリット部と前記下側スリット部とは、前記コンタクト保持部を上下方向から挟み込むように収容保持し、
前記コンタクト保持部は、複数のコンタクトを所定間隔に配設固定して備え、前記複数のコンタクトが前記上側スリット部と前記下側スリット部のスリットに挿入されてスリットから露出すると共に、当該コンタクトがスリットにより案内される、ことを特徴とする請求項9に記載のコネクタ。 - 前記コンタクト保持部は、前記コンタクトの一列又は複数列単位毎に分割されることを特徴とする請求項12に記載のコネクタ。
- 前記コネクタは、電気的に接続する一方の接続相手に取り付けて固定されることを特徴とする請求項12に記載のコネクタ。
- 半導体試験装置と被試験デバイスとの間で電気信号の授受を行う中継接続に使用されるデバイスインターフェース装置であって、
請求項12に記載のコネクタを複数実装して電気信号の授受を行うことを特徴とするデバイスインターフェース装置。 - 前記デバイスインターフェース装置は、複数種類の前記被試験デバイスに対して共通に使用される共通インターフェース部と、被試験デバイスの種類に対応して交換され得る品種対応部とを備え、
前記共通インターフェース部と前記品種対応部との間に前記コネクタを設けることを特徴とする請求項15に記載のデバイスインターフェース装置。 - 被試験デバイスと信号の授受を行うテストヘッドを備え、被試験デバイスを試験する半導体試験装置であって、
請求項15に記載のデバイスインターフェース装置を前記テストヘッドと前記被試験デバイスとの間に備えることを特徴とする半導体試験装置。 - 前記デバイスインターフェース装置は、
複数種類の前記被試験デバイスに対して共通に使用される共通インターフェース部と、
前記被試験デバイスの品種に対応して交換され得る品種対応部とを備え、
前記共通インターフェース部は前記テストヘッドに接続され、
前記共通インターフェース部と前記品種対応部との間に前記コネクタを設けることを特徴とする請求項17に記載の半導体試験装置。
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