CN102207435B - 消除牵引力测试装置水平偏移的方法及其牵引力测试装置 - Google Patents
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 146
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 26
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 23
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 17
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 claims description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 4
- 230000008030 elimination Effects 0.000 claims 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 10
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 16
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000009659 non-destructive testing Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N19/00—Investigating materials by mechanical methods
- G01N19/02—Measuring coefficient of friction between materials
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y35/00—Methods or apparatus for measurement or analysis of nanostructures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
- G01Q60/24—AFM [Atomic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. AFM probes
- G01Q60/36—DC mode
- G01Q60/366—Nanoindenters, i.e. wherein the indenting force is measured
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2203/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N2203/02—Details not specific for a particular testing method
- G01N2203/026—Specifications of the specimen
- G01N2203/0286—Miniature specimen; Testing on microregions of a specimen
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
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Abstract
消除牵引力测试装置水平偏移的方法及其牵引力测试装置，该装置包括结构相同的第一单臂悬臂梁(100)、第二单臂悬臂梁(100’)和基板(300)，所述第一单臂悬臂梁(100)和第二单臂悬臂梁(100’)平行设置，所述第一单臂悬臂梁(100)和第二单臂悬臂梁(100’)同一侧的两个端头固定连接，所述第一单臂悬臂梁(100)或第二单臂悬臂梁(100’)的另外一个端头固定在基板(300)上，剩余的未被固定的单臂悬臂梁的自由端与带钩子(500)的测试工具(400)相接。本发明采用反向水平位移的偏移量补偿结构，可以完全克服了未被固定的单臂悬臂梁的自由端水平偏移的问题。如果利用垂直方向设置的2套同样结构的反向安装的悬臂梁来悬挂测试工具，其效果更好。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于细线间距和超细线间距半导体器件及其导线或导体焊接牢固性牵引力测试装置，以及消除牵引力测试装置的测试工具的水平偏移的方法。
背景技术
随着半导体科技的不断发展，越来越多的功能被集成到尺寸很小的晶元基板上，晶元基板上的布线越来越密集。目前，65nm线宽器件已经开发成功，而45nm线宽技术终将实现量产。细线间距(Fine Pitch)或超细线间距(U1tra Fine Pitch)引线键合技术逐步推广应用，使得焊接于晶元上的导线或导体间的间距越来越小，达到了60-40um。未来的几年甚至可能达到35-30um的极细线间距。同样大小的芯片，具有了更为强大的功能。
而焊接在晶元上的导线直径通常为25.4um/20um或更细的直径如18um.焊接金球的直径则相应为32um-50um。这些连接导线和金球焊接点必须牢固可靠地焊接在晶元基板上的焊盘上。因为被测试焊接目标物很小，测试力值很大一部分都集中在2-3克至100克之间。测试装置如何尽可能理想及方便地施加牵引力测试动作，以得到最接近于被测试目标物牢靠性的力学测试结果成为行业内值得研究的一个课题。
已知的测试装置是使用一个很细的钩针，通过一个测力传感器钩住IC内被测试的焊接引线作拉伸动作以破坏性或非破坏性测试方式测量焊接引线的焊接牢靠度或引线本身的强度，基本原理很简单。但事实上，实际测试中的要求远非以上测试原理所述如此简单。
测试力传感器在受到力的作用都会发生形变，并且通过弹性体的形变来识别测试力的大小。之前的一种测试仪器使用如图1所示的悬臂梁结构的力传感器，在悬臂梁1的前端安装有一个具有一定长度且尖部是一个很细的钩子2结构的测试工具3，当测试力加载在其测试工具3上的时候，悬臂梁结构的力传感器因为测试力F会使悬臂梁1发生一个弯曲形变。不同大小的测试力，弯曲形变的程度相应不同。安装于该传感器前端的刚性的测试工具3就会和测试力F的方向形成一个测试本生并不期望的旋转角度A(如图2所示)，从而影响测试结果的真实性。在这里我们并不想讨论以上所说的弯曲形变的程度和旋转角度A与测试力之间的定量关联性，实际上以上所述的这种关联性要想准确的要定量是相当复杂的。但可以很明显的知道以上所述的测试工具跟随悬臂梁结构力传感器弯曲形变所产生的旋转角度A有可能带来糟糕的事：在IC内焊接引线密集的产品测试中，发生偏转角度A的测试工具3前端的钩子2损坏了旁边还没有测试的IC内焊接引线。
另外一种采用等长度的双悬臂梁结构力传感器的IC内焊接引线牵引测试方案如图3。在测试力F的作用下，等长度的第一悬臂梁11和第二悬臂梁12发生了近乎相同的弯曲形变，因而测试工具3及其前端的钩子2能够保持依旧竖直的姿态，避免了之前述的旋转角度A的发生，但也可以很容易的看到测试工具3及其前端的钩子2发生了一个位移X。也就是说在IC内焊接引线密集的产品测试中，测试工具前端的钩子2也仍然很可能会损坏旁边还没有测试的IC内焊接引线。图中虚线部分为未受测试力F作用时力传感器的状态。
美国的专利：US6301971提出了另外的一种方案：采用了不相等的双悬臂梁结构力传感器。如图4所示，长短不等的第一悬臂梁11和第二悬臂梁12在测试力F的作用下，第一悬臂梁11和第二悬臂梁12因为长短不同，弯曲形变也不相同。具体而确切的弯曲形变量的大小和加载测试力之间的关系是相当复杂的，但如图4所示的这种不相等的双悬臂梁结构力传感器在测试力加载的时候，测试工具3和其前端的钩子2会按照预先设计的一种倾斜方向旋转。其用意是使测试工具3和钩子2的轴线方向尽量和测试力F的方向重合。但是，这种双悬臂梁结构力传感器，其前提是先假设测试力F的方向是倾斜的。而实际上测试力的方向很可能是各种各样的，例如图4中所标出的假想测试力F’和做传感器标定的时候挂上的砝码的重力的方向，这种测试力的方向和测试工具的轴线就很难保证可以重合。但因为测试工具受力时的这种特定设计的偏转角度，使得测试工具前端的偏移量X有减小的趋势，从而比前面所述的方案较好地减少了损坏旁边还没有测试的IC内焊接引线的可能。但从原理上分析，测试工具3前端的偏移量X还是会发生的。
发明内容
本发明的目的是克服上述缺陷，向社会提供一种在牵引力测试过程中具有水平位移补偿抵消功能、能够从原理上消除牵引力测试装置水平偏移的方法。
本发明的第二个目的是提供一种可以保证牵引力测试具有更高的可靠性和精确性的牵引力测试机构。
本发明的基本想法是，本发明所采用的传感器结构导入了一种主动自然的反向水平位移的偏移量补偿，从原理上最大限度的减少这种测试过程中偏移的发生。本发明中反向安装的第一单臂悬臂梁和第二单臂悬臂梁，在受到相同大小的测试力F的作用各自发生了弯曲和前端水平位移X1和X2。很显然，水平位置偏移X1和X2位移的方向是相反的。如果第一单臂悬臂梁和第二单臂悬臂梁结构相同的情况下，水平位置偏移X1和X2的位移不但方向是相反的，而且位移的量是相同的。如果把这两个方向安装的第一单臂悬臂梁和第二单臂悬臂梁整合起来：即将第一单臂悬臂梁和第二单臂悬臂梁平行设置，并将第一单臂悬臂梁和第二单臂悬臂梁同一侧的两个端头固定连接，再将第一单臂悬臂梁或第二单臂悬臂梁的另外一个端头固定在基板上，这个被固定的端头就是被固定的单臂悬臂梁的固定端，剩余那个端头为未被固定的单臂悬臂梁的自由端，未被固定的单臂悬臂梁的自由端与测试工具相接，在未被固定的单臂悬臂梁的自由端加载测试力F时，未被固定的单臂悬臂梁的自由端产生的远离测试工具的垂线的水平偏移量X1，会被固定的单臂悬臂梁的自由端则产生的朝向测试工具的垂线的水平偏移量X2相互补偿抵消掉，未被固定的单臂悬臂梁的自由端只会发生垂直方向上的位移，不会有水平偏移的产生，从而完全克服了未被固定的单臂悬臂梁的自由端水平偏移的问题。
为了确保测试工具整体移动时保持垂直，而不产生幌动现象，可以使用两组同样反向安装的第一悬臂梁和第二悬臂梁，第三悬臂梁和第四悬臂梁，第一悬臂梁固定在基板上，第一悬臂梁的自由端和第二悬臂梁的固定端固定在一起；第三悬臂梁与第一悬臂梁在垂直方向上相隔一定距离固定在基板上，第三悬臂梁的自由端和第四悬臂梁的固定端固定在一起；测试工具固定在第一悬臂梁和第四悬臂梁的自由端。当测试力F加载在测试工具上的时候，第一悬臂梁、第二悬臂梁、第三悬臂梁、第四悬臂梁所发生的水平位移总和对于第二悬臂梁的自由端和第四悬臂梁的自由端，也就是测试工具来说相互抵消，测试工具只发生上下方向上的位移H，而没有水平方向的偏移出现，以及测试工具旋转角度的出现。第一悬臂梁自由端E 1和第三悬臂梁自由端E 2的水平位移X，因不影响我们的测试，就不是我们需要考虑的问题了。这样就最大程度上避免了IC内焊接引线牵引力测试过程中损坏旁边还没有测试的焊接引线的可能。而且，因为测试工具在测试过程中始终保持垂直姿态并且没有水平方向上的位移的出现，极大地优化了测试系统的力学测试性能和测试结果的可靠性。以上所述是以第一悬臂梁和第三悬臂梁一端固定在基板上，而第二悬臂梁和第四悬臂梁的自由端与测试工具相连接来加以说明的，实际应用中，也可以设计成以第二悬臂梁和第四悬臂梁一端固定在基板上，而第一悬臂梁和第三悬臂梁的自由端与测试工具相连接的结构，具有同样的效果，这里不作展开分析。
本发明的具体技术方案是：提供一种消除牵引力测试装置水平偏移的方法，在第一悬臂梁的自由端反向固定另外一个第二悬臂梁的固定端，在第二悬臂梁的自由端垂直安装测试工具和钩子，构成一个测力传感器整体。第二悬臂梁的自由端即为该测力传感器的自由端(测试力加载端)，第一悬臂梁的固定端即为该测力传感器的固定端，固定在可以移动的基板上。当测试力加载到所述测力传感器的自由端(测试工具和钩子)时，通过所述第一悬臂梁和所述第二悬臂梁的反向水平位移X1和X2，对所述测力传感器自由端(测试工具和钩子)的水平位移进行补偿和抵消，以达到所述测力传感器自由端(测试工具和钩子)在受到测试力加载的时候，只发生垂直方向上的位移而没有水平位移的目的。从而确保了测试的安全性和测试数据的可靠性。
为了保证测试的效果，本发明的一种实用机构采用了2套所述反向安装的悬臂梁构成；即第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁、第四悬臂梁。在第一悬臂梁的自由端反向固定一个第二悬臂梁的固定端，在第三悬臂梁的自由端反向固定一个第四悬臂梁的固定端。所述第一悬臂梁的固定端和所述第三悬臂梁的固定端固定在可以移动的基板上，所述第二悬臂梁的自由端和所述第四悬臂梁的自由端连在一起。测试工具和钩子垂直安装在所述第二悬臂梁的自由端和所述第四悬臂梁的自由端，并向下延伸出来。为了实现方便地旋转测试工具和钩子，在测试工具上还安装有微型旋转马达以带动测试工具和钩子旋转，因其是通用设计本说明就不作过多的描述。在测试力量程范围很小的情况下，为了减少环境的震动或测试系统本身的震动所带来的干扰，还可以对由第一悬臂梁和第二悬臂梁构成的所述的力传感器的自由端施加抗震动阻尼，以及对第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁、第四悬臂梁构成的力传感器的自由端施加抗震动阻尼，如磁场阻尼、液体或气体阻尼等等。
为了实现本发明的第二个目的，本发明还提供了一种牵引力测试装置，包括结构相同的第一单臂悬臂梁、第二单臂悬臂梁和基板，所述第一单臂悬臂梁和第二单臂悬臂梁平行设置，所述第一单臂悬臂梁和第二单臂悬臂梁同一侧的两个端头固定连接，所述第一单臂悬臂梁或第二单臂悬臂梁的另外一个端头固定在基板上，剩余的未被固定的单臂悬臂梁的自由端与带钩子的测试工具相接。
在第一单臂悬臂梁和第二单臂悬臂梁的垂直方向上相隔一定距离，还设有结构相同的第三单臂悬臂梁和第四单臂悬臂梁，所述第三单臂悬臂梁和第四单臂悬臂梁平行设置，所述第三单臂悬臂梁和第四单臂悬臂梁同一侧的两个端头固定连接，所述第三单臂悬臂梁或第四单臂悬臂梁的另外一个端头固定在基板上，剩余的未被固定的单臂悬臂梁的自由端与所述带钩子的测试工具相接。
对所述的未被固定的单臂悬臂梁的自由端施加有用于减少环境的震动或测试系统本身的震动的抗震动阻尼。
在所述测试工具上还设有用于旋转测试工具和钩子的微型旋转马达。
所述第一单臂悬臂梁和第二单臂悬臂梁是用铝材制造的。
所述第一单臂悬臂梁、第二单臂悬臂梁、第三单臂悬臂梁和第四单臂悬臂梁是用铝材制造的。
所述抗震动阻尼是磁场阻尼、液体或气体阻尼。
所述第一单臂悬臂梁和第二单臂悬臂梁同一侧的两个端头固定连接，构成一个U字形；所述第三单臂悬臂梁和第四单臂悬臂梁同一侧的两个端头固定连接，也构成一个U字形。
本发明从方法上由于采用了主动自然的反向水平位移的偏移量补偿，从原理上最大限度的减少这种测试过程中偏移的发生；从结构上采用了至少1套反向安装的悬臂梁构成；即第一单臂悬臂梁和第二单臂悬臂梁平行设置，所述第一单臂悬臂梁和第二单臂悬臂梁同一侧的两个端头固定连接，所述第一单臂悬臂梁或第二单臂悬臂梁的另外一个端头固定在基板上，剩余的未被固定的单臂悬臂梁的自由端与带钩子的测试工具相接的结构，这样，在未被固定的单臂悬臂梁的自由端加载测试力F时，未被固定的单臂悬臂梁的自由端产生的远离测试工具的垂线的水平偏移量X1，会被固定的单臂悬臂梁的自由端则产生的朝向测试工具的垂线的水平偏移量X2相互补偿抵消掉，未被固定的单臂悬臂梁的自由端只会发生垂直方向上的位移，不会有水平偏移的产生，从而完全克服了未被固定的单臂悬臂梁的自由端水平偏移的问题。如果利用垂直方向设置的2套同样结构的反向安装的悬臂梁来悬挂测试工具，其效果更好。
附图说明
图1是现有的一种力传感器结构示意图。
图2是图1的形变后的力传感器结构示意图。
图3是现有的另一种力传感器结构示意图。
图4是现有的第三种力传感器结构示意图。
图5和图6是本发明的原理结构示意图。
图7和图8是对图5和图6整合后的原理结构示意图。
图9是本发明一种实施例的立体结构示意图。
图10是本明的一种较佳实施例的立体结构示意图。
具体实施方式
一种消除牵引力测试装置水平偏移的方法，本方法导入了一种主动自然的反向水平位移的偏移量补偿，从原理上最大限度的减少这种测试过程中偏移的发生。如图5和图6中反向安装的第一单臂悬臂梁100和第二单臂悬臂梁100’，所述第一单臂悬臂梁100和第二单臂悬臂梁100’的固定端110、110’被固定，在所述第一单臂悬臂梁100和第二单臂悬臂梁100’的自由端120、120’受到相同大小的测试力F的作用各自发生了弯曲和前端水平位移X1和X2。很显然，水平位移X1和X2位移的大小相同，但方向是相反的。如果第一单臂悬臂梁100和第二单臂悬臂梁100’在结构相同的情况下，X1和X2的位移不但方向是相反的，而且位移的量是相同的。
如果把这两个方向安装的第一单臂悬臂梁100和第二单臂悬臂梁100’整合起来(如图7和图8所示)：即将结构相同的第一单臂悬臂梁100和第二单臂悬臂梁100’两端对齐平行设置，并将第一单臂悬臂梁100和第二单臂悬臂梁100’同一侧的两个端头，即第一单臂悬臂梁100的自由端120和第二单臂悬臂梁100的固定端110’固定连接，再将第一单臂悬臂梁100或第二单臂悬臂梁100’的另外一个端头，图中为第一单臂悬臂梁100的固定端110固定，这个被固定的端头就是被固定的单臂悬臂梁的固定端，剩余那个端头为未被固定的单臂悬臂梁的自由端，图中为第二单臂悬臂梁100’的自由端120’，在未被固定的单臂悬臂梁的自由端加载测试力F时，未被固定的单臂悬臂梁的自由端所产生远离测试工具的垂线的水平偏移量X1会被固定的单臂悬臂梁的自由端产生的朝向测试工具的垂线的水平偏移量X2相互补偿所抵消，由于第一单臂悬臂梁100和第二单臂悬臂梁100’的各项性能一致，未被固定的单臂悬臂梁的自由端就只会发生垂直方向上的位移，不会有水平偏移的产生。
为了确保测试工具整体移动时保持垂直，使用两组同样反向安装的第一悬臂梁100和第二悬臂梁100’，第三悬臂梁200和第四悬臂梁200’，如图7和图8所示，第一悬臂梁100的固定端110固定在基板300上，第一悬臂梁100的自由端120和第二悬臂梁100’的固定端110’固定在一起；第三悬臂梁200与第一悬臂梁100在垂直方向上相隔一定距离第一悬臂梁100和第二悬臂梁100’，第三悬臂梁200的固定端210固定在基板300上，第三悬臂梁200的自由端220和第四悬臂梁200’的固定端210’固定在一起；测试工具400分别固定在第二悬臂梁100’和第四悬臂梁200’的自由端120’、220’。当测试力F加载在测试工具400上的时候，第一悬臂梁100、第二悬臂梁100’、第三悬臂梁200、第四悬臂梁200’所发生的水平位移总和对于第二悬臂梁100’的自由端120’和第四悬臂梁200’的自由端220’，也就是测试工具400来说相互抵消，测试工具400只发生上下方向上的位移H(即从测试工具受力前的位置700到从测试工具受力后的位置800)，而没有水平方向的偏移出现，以及测试工具400旋转角度的出现。第一悬臂梁100自由端110’和第三悬臂梁200自由端210’的水平位移X，因不影响我们的测试，就不是我们需要考虑的问题了。这样就最大程度上避免了IC内焊接引线牵引力测试过程中损坏旁边还没有测试的焊接引线的可能。而且，因为测试工具在测试过程中始终保持垂直姿态并且没有水平方向上的位移的出现，极大地优化了测试系统的力学测试性能和测试结果的可靠性。
请参见图9和图10，图9和图10揭示的是一种牵引力测试装置，包括结构相同的第一单臂悬臂梁100、第二单臂悬臂梁100’和基板300，所述第一单臂悬臂梁100和第二单臂悬臂梁100’平行设置，所述第一单臂悬臂梁100和第二单臂悬臂梁100’同一侧的两个端头固定连接，即第一单臂悬臂梁100的自身端120和第二单臂悬臂梁100’的固定端110’固定连接，构成一个U字形结构，所述第一单臂悬臂梁100(也可以用第二单臂悬臂梁100’的另外一个端头)的另外一个端头(本实施例中是第一单臂悬臂梁100的固定端110)固定在基板300上，剩余的未被固定的单臂悬臂梁的自由端(本实施例中是第二单臂悬臂梁100’的自由端120’)与带钩子500的测试工具400相接；为了保证测试的效果，防止带钩子500的测试工具400幌动，在第一单臂悬臂梁100和第二单臂悬臂梁100’的垂直方向上相隔一定距离，还设有结构相同的第三单臂悬臂梁200和第四单臂悬臂梁200’，所述第三单臂悬臂梁200和第四单臂悬臂梁200’平行设置，所述第三单臂悬臂梁200和第四单臂悬臂梁200’同一侧的两个端头固定连接，即第三单臂悬臂梁200的自身端220和第四单臂悬臂梁200’的固定端210’固定连接，构成一个U字形结构，所述第三单臂悬臂梁200(也可以用第四单臂悬臂梁200’)的另外一个端头(本实施例中是第三单臂悬臂梁200的固定端210)固定在基板300上，剩余的未被固定的单臂悬臂梁的自由端(本实施例中是第四单臂悬臂梁200’的自由端220’)与所述带钩子500的测试工具400相接。对所述的未被固定的单臂悬臂梁的自由端(即本实施例中的第二单臂悬臂梁100’的自由端120’和第四单臂悬臂梁200’的自由端220’)施加有用于减少环境的震动或测试系统本身的震动的抗震动阻尼900，本实施例中的抗震动阻尼900是磁场阻尼，显然，根据需要也可以采用液体或气体阻尼代替磁场阻尼。
本实施例中，在所述测试工具400上还设有用于旋转测试工具400和钩子500的微型旋转马达600。本发明中，所述第一单臂悬臂梁100、第二单臂悬臂梁100’、第三单臂悬臂梁200和第四单臂悬臂梁200’均可以用铝材制造的，包括铝合金材料。
Claims (10)
1.一种消除牵引力测试装置水平偏移的方法，至少包括结构相同的第一单臂悬臂梁(100)和第二单臂悬臂梁(100’)，其特征在于：将第一单臂悬臂梁(100)和第二单臂悬臂梁(100’)平行设置，并将第一单臂悬臂梁(100)和第二单臂悬臂梁(100’)同一侧的两个端头固定连接，再将第一单臂悬臂梁(100)或第二单臂悬臂梁(100’)的另外一个端头固定在基板上，这个被固定的端头为被固定的单臂悬臂梁的固定端，剩余那个端头为未被固定的单臂悬臂梁的自由端，未被固定的单臂悬臂梁的自由端与测试工具相接，在未被固定的单臂悬臂梁的自由端加载测试力F时，未被固定的单臂悬臂梁的自由端产生的远离测试工具的垂线的水平偏移量X1，会被固定的单臂悬臂梁的自由端产生的朝向测试工具的垂线的水平偏移量X2相互补偿抵消掉，未被固定的单臂悬臂梁的自由端只会发生垂直方向上的位移，不会有水平偏移的产生。
2.如权利要求1所述的消除牵引力测试装置水平偏移的方法，其特征在于：在第一单臂悬臂梁(100)和第二单臂悬臂梁(100’)的垂直方向上相隔一定距离，还设有结构相同的第三单臂悬臂梁(200)和第四单臂悬臂梁(200’)，将第三单臂悬臂梁(200)和第四单臂悬臂梁(200’)平行设置，并将第三单臂悬臂梁(200)和第四单臂悬臂梁(200’)同一侧的两个端头固定连接，再将第三单臂悬臂梁(200)或第四单臂悬臂梁(200’)的另外一个端头固定在基板上，这个被固定的端头为被固定的单臂悬臂梁的固定端，剩余那个端头为未被固定的单臂悬臂梁的自由端，未被固定的单臂悬臂梁的自由端与测试工具相接，在未被固定的单臂悬臂梁的自由端加载测试力F时，未被固定的单臂悬臂梁的自由端产生的远离测试工具的垂线的水平偏移量X1，会被固定的单臂悬臂梁的自 由端产生的朝向测试工具的垂线的水平偏移量X2相互补偿抵消掉，未被固定的单臂悬臂梁的自由端只会发生垂直方向上的位移，不会有水平偏移的产生。
3.一种牵引力测试装置，包括结构相同的第一单臂悬臂梁(100)、第二单臂悬臂梁(100’)和基板(300)，其特征在于：所述第一单臂悬臂梁(100)和第二单臂悬臂梁(100’)平行设置，所述第一单臂悬臂梁(100)和第二单臂悬臂梁(100’)同一侧的两个端头固定连接，所述第一单臂悬臂梁(100)或第二单臂悬臂梁(100’)的另外一个端头固定在基板(300)上，剩余的未被固定的单臂悬臂梁的自由端与带钩子(500)的测试工具(400)相接。
4.如权利要求3所述的牵引力测试装置，其特征在于：在第一单臂悬臂梁(100)和第二单臂悬臂梁(100’)的垂直方向上相隔一定距离，还设有结构相同的第三单臂悬臂梁(200)和第四单臂悬臂梁(200’)，所述第三单臂悬臂梁(200)和第四单臂悬臂梁(200’)平行设置，所述第三单臂悬臂梁(200)和第四单臂悬臂梁(200’)同一侧的两个端头固定连接，所述第三单臂悬臂梁(200)或第四单臂悬臂梁(200’)的另外一个端头固定在基板(300)上，剩余的未被固定的单臂悬臂梁的自由端与所述带钩子(500)的测试工具(400)相接。
5.如权利要求4所述的牵引力测试装置，其特征在于：对所述的未被固定的单臂悬臂梁的自由端施加有用于减少环境的震动或测试系统本身的震动的抗震动阻尼。
6.如权利要求5所述的牵引力测试装置，其特征在于：在所述测试工具(400)上还设有用于旋转测试工具(400)和钩子(500)的微型旋转马达(600)。
7.如权利要求3所述的牵引力测试装置，其特征在于：所述第一单臂悬臂梁(100)和第二单臂悬臂梁(100’)是用铝材制造的。
8.如权利要求4所述的牵引力测试装置，其特征在于：所述第一单臂悬臂梁(100)、第二单臂悬臂梁(100’)、第三单臂悬臂梁(200)和第四单臂悬臂梁(200’)是用铝材制造的。
9.如权利要求5所述的牵引力测试装置，其特征在于：所述抗震动阻尼是磁场阻尼、液体或气体阻尼。
10.如权利要求5所述的牵引力测试装置，其特征在于：所述第一单臂悬臂梁(100)和第二单臂悬臂梁(100’)同一侧的两个端头固定连接，构成一个U字形；所述第三单臂悬臂梁(200)和第四单臂悬臂梁(200’)同一侧的两个端头固定连接，也构成一个U字形。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011100757501A CN102207435B (zh) | 2011-03-25 | 2011-03-25 | 消除牵引力测试装置水平偏移的方法及其牵引力测试装置 |
| US14/005,553 US9377393B2 (en) | 2011-03-25 | 2012-03-18 | Method for eliminating horizontal offset of traction testing device and traction testing device thereof |
| PCT/CN2012/072501 WO2012130057A1 (zh) | 2011-03-25 | 2012-03-18 | 消除牵引力测试装置水平偏移的方法及其牵引力测试装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011100757501A CN102207435B (zh) | 2011-03-25 | 2011-03-25 | 消除牵引力测试装置水平偏移的方法及其牵引力测试装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102207435A CN102207435A (zh) | 2011-10-05 |
| CN102207435B true CN102207435B (zh) | 2013-06-26 |
Family
ID=44696375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2011100757501A Active CN102207435B (zh) | 2011-03-25 | 2011-03-25 | 消除牵引力测试装置水平偏移的方法及其牵引力测试装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9377393B2 (zh) |
| CN (1) | CN102207435B (zh) |
| WO (1) | WO2012130057A1 (zh) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102207435B (zh) * | 2011-03-25 | 2013-06-26 | 宾伟雄 | 消除牵引力测试装置水平偏移的方法及其牵引力测试装置 |
| CN109932315B (zh) * | 2019-04-17 | 2024-05-31 | 深圳市德瑞茵精密科技有限公司 | 用于检测半导体器件键合强度的测试装置及测试方法 |
| CN110530562A (zh) * | 2019-07-17 | 2019-12-03 | 深圳市德瑞茵精密科技有限公司 | 一种推拉力测试机及其压力传感器的防震机构 |
| CN113865837B (zh) * | 2020-06-12 | 2023-11-03 | 广州汽车集团股份有限公司 | 挂车牵引测试装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6078387A (en) * | 1997-11-20 | 2000-06-20 | Dage Precision Industries, Ltd. | Test apparatus |
| US6301971B1 (en) * | 1997-11-20 | 2001-10-16 | Dage Precision Industries, Inc. | Apparatus for testing the integrity of a bond |
| CN101014847A (zh) * | 2004-08-10 | 2007-08-08 | 达格精度工业有限公司 | 剪切测试设备 |
| CN201945495U (zh) * | 2011-03-25 | 2011-08-24 | 宾伟雄 | 牵引力测试装置 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2859613A (en) * | 1956-04-06 | 1958-11-11 | Baldwin Lima Hamilton Corp | Multiple bending beam force measuring device |
| US3199345A (en) * | 1962-12-26 | 1965-08-10 | Lee Shih-Ying | Temperature compensated transducer |
| US4506557A (en) * | 1983-03-24 | 1985-03-26 | Revere Corporation Of America | Load cell apparatus |
| US4895028A (en) * | 1989-01-27 | 1990-01-23 | U.S. Philips Corporation | Method of pull-testing wire connectors on an electrical device |
| NL1001532C1 (nl) * | 1995-10-31 | 1997-05-02 | Gerold Staudinger | Inrichting voor het beproeven van verbindingen tussen een (electronisch) bouwelement en een van geleidende sporen voorziene drager. |
| US6127832A (en) * | 1998-01-06 | 2000-10-03 | International Business Machines Corporation | Electrical test tool having easily replaceable electrical probe |
| JP2008539421A (ja) * | 2005-04-29 | 2008-11-13 | エージェンシー フォー サイエンス，テクノロジー アンド リサーチ | マイクロ衝撃試験装置 |
| JP5077735B2 (ja) * | 2006-08-07 | 2012-11-21 | 軍生 木本 | 複数梁合成型接触子組立 |
| DE102006056646B4 (de) * | 2006-11-29 | 2009-04-30 | Suss Microtec Test Systems Gmbh | Sondenhalter für eine Sonde zur Prüfung von Halbleiterbauelementen |
| CN102207435B (zh) * | 2011-03-25 | 2013-06-26 | 宾伟雄 | 消除牵引力测试装置水平偏移的方法及其牵引力测试装置 |
| CN102252786B (zh) * | 2011-06-13 | 2013-04-03 | 宾伟雄 | 剪切力测试装置 |
-
2011
- 2011-03-25 CN CN2011100757501A patent/CN102207435B/zh active Active
-
2012
- 2012-03-18 US US14/005,553 patent/US9377393B2/en active Active
- 2012-03-18 WO PCT/CN2012/072501 patent/WO2012130057A1/zh active Application Filing
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6078387A (en) * | 1997-11-20 | 2000-06-20 | Dage Precision Industries, Ltd. | Test apparatus |
| US6301971B1 (en) * | 1997-11-20 | 2001-10-16 | Dage Precision Industries, Inc. | Apparatus for testing the integrity of a bond |
| CN101014847A (zh) * | 2004-08-10 | 2007-08-08 | 达格精度工业有限公司 | 剪切测试设备 |
| CN201945495U (zh) * | 2011-03-25 | 2011-08-24 | 宾伟雄 | 牵引力测试装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN102207435A (zh) | 2011-10-05 |
| WO2012130057A1 (zh) | 2012-10-04 |
| US9377393B2 (en) | 2016-06-28 |
| US20140007648A1 (en) | 2014-01-09 |
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| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
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