JP6105515B2 - 力センサ試験装置 - Google Patents
力センサ試験装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6105515B2 JP6105515B2 JP2014106957A JP2014106957A JP6105515B2 JP 6105515 B2 JP6105515 B2 JP 6105515B2 JP 2014106957 A JP2014106957 A JP 2014106957A JP 2014106957 A JP2014106957 A JP 2014106957A JP 6105515 B2 JP6105515 B2 JP 6105515B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rod
- load
- sensor
- test
- test apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims description 167
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 6
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 240000006829 Ficus sundaica Species 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Description
図1に示す本実施例の試験装置2は、被験センサSに対して、X方向(図1の左右方向)、Y方向(図1の紙面垂直方向)およびZ方向(図1の上下方向)の荷重を印加する。被験センサSは、例えば3軸力センサや触覚センサといった、微小なMEMSセンサである。被験センサSは、ベース4に固定されたセンサ取付治具6に取り付けられている。ベース4とセンサ取付治具6は、被験センサSを保持するセンサ保持部ということもできる。被験センサSの受力部Rには、ロッド8の下端に形成されたヘッド10が取り付けられている。ロッド8は、その軸方向がZ方向に沿うように配置されている。ロッド8の上端は、fz荷重計12を介して、ベース4に支持されたZステージ14に取り付けられている。Zステージ14をZ方向に変位させることで、被験センサSに対してZ方向の荷重を印加する。fz荷重計12は、Zステージ14から被験センサSに印加されたZ方向の荷重の大きさを検出する。ロッド8の下端は被験センサSとセンサ取付治具6によってX方向およびY方向の変位が拘束されている。ロッド8の上端はfz荷重計12とZステージ14によってX方向およびY方向の変位が拘束されている。
図7に示す本実施例の試験装置22では、図1に示す実施例1の試験装置2と異なり、ロッド8の上端とZステージ14の間に、fz荷重計12の代わりに、3軸荷重計24が配置されている。3軸荷重計24は、X方向、Y方向およびZ方向の荷重の大きさをそれぞれ検出する。このような構成とすると、3軸荷重計24で検出されるX方向の荷重Δfxから被験センサSに作用するX方向の荷重Fxを算出することができる。同様に、3軸荷重計24で検出されるY方向の荷重Δfyから被験センサSに作用するY方向の荷重Fyを算出することができる。
図8に示す本実施例の試験装置32では、図7に示す実施例2の試験装置22と異なり、ベース4とセンサ取付治具6の間にfz荷重計34が配置されており、ロッド8の上端とZステージ14の間に2軸荷重計36が配置されている。言い換えると、fz荷重計34はセンサ保持部に備えられている。fz荷重計34は、Z方向の荷重の大きさを検出する。2軸荷重計36は、X方向およびY方向の荷重の大きさをそれぞれ検出する。
図9に示す本実施例の試験装置42は、ベース44に支持されたX−Y−θステージ46を備えている。X−Y−θステージ46には、fz荷重計48を介して、センサ取付治具50が載置されている。センサ取付治具50には、被験センサSが固定されている。X−Y−θステージ46は、ベース44に対する被験センサSのX方向およびY方向の位置およびZ軸周りの角度を調整する。
また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
4 ベース
6 センサ取付治具
8 ロッド
10 ヘッド
12 fz荷重計
14 Zステージ
16 紐
22 試験装置
24 3軸荷重計
32 試験装置
34 fz荷重計
36 2軸荷重計
42 試験装置
44 ベース
46 X−Y−θステージ
48 fz荷重計
50 センサ取付治具
52 ロッド
54 ヘッド
56 2軸荷重計
58 Zステージ
60 分銅
62 プーリ
64 紐
66 分銅
68 プーリ
70 紐
72 凹部
74 丸み
76 加工溝
78 樹脂
80 上側ロッド
82 下側ロッド
84 外筒
86 バネ
Claims (13)
- 被験センサを保持するセンサ保持部と、
一端が被験センサに取り付けられたロッドと、
ロッドの他端に軸方向の荷重を印加する縦方向荷重印加装置と、
ロッドに軸方向に直交する方向の荷重を印加する横方向荷重印加装置を備えており、
ロッドの両端において軸方向に直交する方向の変位が拘束されているセンサ試験装置。 - 縦方向荷重印加装置が、ロッドを軸方向に変位させる第1ステージ装置であって、
横方向荷重印加装置が、ロッドに取り付けられた紐に張力を付与する張力付与装置である、請求項1のセンサ試験装置。 - ロッドの他端から紐の取り付け位置までの軸方向の距離をaとし、ロッドの一端から紐の取り付け位置までの軸方向の距離をbとしたときに、a/bが5以上である、請求項2のセンサ試験装置。
- 張力付与装置が、紐に支持された分銅と、紐を案内するプーリを備えている、請求項2または3のセンサ試験装置。
- 張力付与装置が、紐を引っ張る電動モータを備えている、請求項2または3のセンサ試験装置。
- 横方向荷重印加装置からロッドへの着力点においてロッドに作用する軸方向に直交する方向の荷重の大きさを特定する横方向荷重特定装置をさらに備える、請求項1から5の何れか一項のセンサ試験装置。
- ロッドの他端においてロッドから受ける軸方向に直交する方向の荷重の大きさを検出する横方向荷重検出装置をさらに備える、請求項1から6の何れか一項のセンサ試験装置。
- センサ保持部において軸方向の荷重の大きさを検出する縦方向荷重検出装置をさらに備える、請求項1から7の何れか一項のセンサ試験装置。
- センサ保持部が、ロッドの軸方向に直交する方向の位置およびロッドの軸周りの角度を調整可能な第2ステージ装置に載置されている、請求項1から8の何れか一項のセンサ試験装置。
- ロッドの一端にヘッドを備えており、
被験センサの受力部が嵌合する凹部が形成されている、請求項1から9の何れか一項のセンサ試験装置。 - 凹部の内側面に丸みが形成されている、請求項10のセンサ試験装置。
- ロッドの一端にヘッドを備えており、
ヘッドの先端に樹脂が塗布されている、請求項1から9の何れか一項のセンサ試験装置。 - ロッドがバネピン構造を備える、請求項1から12の何れか一項のセンサ試験装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014106957A JP6105515B2 (ja) | 2014-05-23 | 2014-05-23 | 力センサ試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014106957A JP6105515B2 (ja) | 2014-05-23 | 2014-05-23 | 力センサ試験装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015222216A JP2015222216A (ja) | 2015-12-10 |
JP6105515B2 true JP6105515B2 (ja) | 2017-03-29 |
Family
ID=54785306
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014106957A Active JP6105515B2 (ja) | 2014-05-23 | 2014-05-23 | 力センサ試験装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6105515B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108051303A (zh) * | 2017-12-26 | 2018-05-18 | 天津航天瑞莱科技有限公司 | 一种产品的轴向载荷加载装置 |
CN109827705B (zh) * | 2019-04-08 | 2023-10-03 | 中国工程物理研究院总体工程研究所 | 一种用于弯矩传感器性能检测的标定装置 |
CN113447198B (zh) * | 2021-07-09 | 2023-07-04 | 深圳市德瑞茵精密科技有限公司 | 一种推拉力测试机的推力校准装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02140633A (ja) * | 1988-11-21 | 1990-05-30 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 荷重センサの校正装置 |
JPH0926368A (ja) * | 1995-07-11 | 1997-01-28 | Fanuc Ltd | 力学量センサ装置用自動較正装置 |
JP3627028B2 (ja) * | 1997-05-21 | 2005-03-09 | 独立行政法人 宇宙航空研究開発機構 | 力/トルクセンサ校正方法及び装置 |
KR100202276B1 (ko) * | 1997-07-14 | 1999-06-15 | 정명세 | 6분력 힘/모멘트 교정기 |
JP2002257665A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-11 | K-Tech Devices Corp | 応力センサ検査方法及び応力センサ検査装置 |
JP2011112414A (ja) * | 2009-11-25 | 2011-06-09 | Leptrino Co Ltd | 力センサ試験装置 |
JP5608865B2 (ja) * | 2011-10-03 | 2014-10-15 | 国立大学法人信州大学 | 荷重測定システム |
-
2014
- 2014-05-23 JP JP2014106957A patent/JP6105515B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015222216A (ja) | 2015-12-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7568397B2 (en) | Magnetic stability for test fixture | |
TWI475201B (zh) | Torque Correction Device of Multi - Force Meter and Torque Correction Method | |
JP6122512B2 (ja) | 切り離されたロケータカップリングを有する測定機のプローブ展開機構 | |
US9823148B2 (en) | Force-measuring device | |
JP6105515B2 (ja) | 力センサ試験装置 | |
JP2009139187A (ja) | トルク測定装置 | |
JP6692181B2 (ja) | 動釣合い試験装置 | |
US20170191888A1 (en) | Multi-component force-torque sensing device with reduced cross-talk for twist-compression testing machine | |
US9103682B2 (en) | Apparatus for applying multi-axial inertial force | |
US10663384B2 (en) | Drop testing apparatus | |
CN108825674B (zh) | 手术动力装置性能测试装置 | |
JP2007212383A (ja) | 油圧緩衝器の加振装置 | |
KR101176958B1 (ko) | 3점 지지 굽힘 시험기 | |
WO2015164931A2 (en) | Contact microelectromechanical sensor and method for position monitoring therewith | |
CN101261206A (zh) | 材料纳米力学性能测试中的两自由度加载装置 | |
JP2008111739A (ja) | シート状材料の厚さ方向せん断試験用治具および厚さ方向せん断試験機 | |
JP2011149788A (ja) | 材料試験機の軸芯調整装置 | |
KR101988605B1 (ko) | 휠 동력계의 특성 시험 장치 | |
JP6309885B2 (ja) | 引張試験装置及び引張試験方法 | |
WO2018131418A1 (ja) | 試験治具および試験方法 | |
KR100953521B1 (ko) | 마이크로 하중시험장치 및 이를 이용한 시험방법 | |
KR101275171B1 (ko) | 유도탄 환경시험 시스템 | |
KR101793593B1 (ko) | 저하중 정밀 마찰시험기 | |
KR101222868B1 (ko) | 힘 측정 장치 | |
Zhang et al. | Design and characterization of a silicon piezoresistive three-axial force sensor for micro-flapping wing MAV applications |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160615 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170228 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170302 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6105515 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |